5.7  ！显  影《  台 】 5.7.1】  显影台》的安装应符合—下列规定《。 》     1— ， 搬运时应防撞【防抖：不得直接拖动； ！。。 ？     2  】应通过调节》四个地脚《高，度使得真空吸盘【呈水平状《态并应用水平仪进行！测试和确《认；  ！   3  显影／！清洗腔的排风系统】应，与厂房内《的排风系统相连接】； ？ ，。。 ？    4  【应接入压缩空气、】。氮气及真空三种气路！。冲洗用纯水压力应为！0.13《MPa～0》.35MPa； 】 ？。     5  ！设备的排液管必须接！入废液？管道废液《管道必须《通向废液《。处理池？；，    ！ 6  存储显影】液和漂洗《液的储液罐及—自动喷溅系统—安装好后不应—漏液； 】。     7  】应核查设备的氮气】欠压保护、真—空保：护、设备急停报警】功能是否正常承【片台吸？附时的真空》压力值应低于35】kPa — 5《.7：.2 ？ 显影台的调试及】。。试运行应符合下列】。规定 】    1  【。应先连？接好显影液供应管】道，、去离子水管—道； 】    《2  开机后设置】好工艺？液体的温《度液：体温度？。应在1？0℃～30℃间【。可调应调节好喷【头喷溅压力其调节】。范围：。应在0～14.7】×104Pa—间； 】    3 — ，应设定好真空口及】。盘旋转速度、显影】时间、？漂洗时间、冲洗【时间以及主轴—转速并应进入工【。。艺设置选《项设置好试运行工艺！步骤； 《 》    4  应将！已曝光？的基片放入》片盒：然后将？片盒放？。入片：。盒，。卡槽位？。置；  ！   5  —应选择要运行的【程，序并单击屏幕—。主运行界面》上的“启动》。”按钮？。。系统可按设定的【参数和工艺步—骤进行自动显—影／清洗操作； ！ ： ：。  ：  ：6，  进行显影、漂洗！和烘干工《序操作时基片—均应有？氮气保护《工艺结束后》应自动进行氮气吹干！和高速甩干； 】     】7  机械手自【。动进行取片和—收片时不得手动【。在片：盒中取片或放片；】  【   8  设备】运行时应无振动和噪！。声；  ！   9  设备显！影、漂洗后》应，进行烘干处理—温度控制范围宜【在60？℃～1？80℃控温精度【应为±2℃； 】。。     】10  结束后应】对基片进行目检【整个基？片表面应冲》洗干净？并且完全干燥—应无微粒、污点或瑕！疵；显影合格—的基：片应均匀《线条：。。应整齐应无残胶、无！毛刺 《