5.7 】 显 ？。 影  台 】 5.7】。.1：  显影台》的安装应符合下列规！。定 【 ，   1  搬【运时应防《撞防抖不得直接拖动！； ： 《     》2  应《。通过调节四个地脚高！度使得真空吸盘呈】水，平状态并应用—水，。平仪进行测试—和确认？；   ！  ：3  显影／—清洗腔的排风系统应！与厂房内的》排风系统相连—接； ？。   【  4  应接【入压缩空气》、氮气及真空三种】气路冲洗用纯—水压力应为0.13！MPa～0.35M！Pa； 《     ！5 ： 设：备，的排液管必须接入】废液管？道废液管道必须【通向废？液处理池； —     ！6  存储》显影液和漂洗液的储！液，罐及自动《喷溅系统安装好【后不应漏液； 【 ？     7  ！应核查设备的—氮气欠压保护、【真空保护《、设备急停报警功】能是否正常》承，。片台吸附时的真空】压力值应低》于35kPa 【 5.7.！2  显影台—的调试及《。试运行应符合下列】规定 【     1—  应先连接好显】影液供应管道、去】离子水管道》； 《   》  2 《 开机？后设：置好工艺液体—。的温度？液体温度应在10】℃～3？。0℃间可调应调节】好喷头喷《溅压力其调节—范围：应在：。0，～14.7×—1，。04Pa间； ！     3】。  应？。设定好真空》口及盘旋《转，速度、显《影时间、漂洗时【间、冲洗时间以及】主轴转速并应进入工！艺设置选项设置好】试运行工《。艺步：。骤； 》     4 ！。 应将已曝光—的基片放入片盒然后！将，片盒放入片盒—卡，槽位：置； 【     5 【 应选择要》运行的程序并单【击屏幕主运》行界：面上的“启动”【按钮系统《可按设定《的参数和工艺步【骤进行自《。动显：。影／清洗操》作；： 《    》 6：  进行显影、漂】洗和烘干工》序，操作：。时基片均应有氮气保！护工艺结束》后应自动进行氮【。气吹干？。和高速甩干；— ？ ，     7【  机械手自动【进行取片和收—片时不得手》动在片盒中取片【或，放片； — ：    《 8  设备运行时！应无振？动和噪声； 】。 ？    9  设】备显影、《漂洗后应《进行烘干处》理温度控制》范围宜在《60：℃～180℃—控温精度应》为±2℃；》 》     10【。  结束《后应对基片进—。行目检整《。。个基片表面应冲洗】干净并且《完全干？燥应无微粒、污点或！瑕疵；显影合—格的基片应均匀【线条应整《齐应无残胶、—无毛刺 》