5.7  ！显  影  —台， 《 5.7.1！。  显？。影台的安装》应符合下列规定 ！     】1 ： 搬运时《。应防撞？防抖：不得直接拖动—； ？     】2  应通过—调节四个地脚高度使！得真空？吸盘呈水平状态并】应用水平仪进行测试！和确认；《。 》     3—  显影／清洗腔】的排风系统应与【厂房内？的排风系统相—连接；？    ！ 4：  应接入压缩【。空气、氮气》及真空三种》气路冲洗《用，纯水压力应为0.1！3MPa～0.3】5，MPa？； ： ？  ？   5 》 设备的排液管必】须接入废液管道【废液管道必须通向】废液处理池；—    ！ 6  存储显【影液和漂洗液—的储液罐及自动喷】溅系：。统安装好后不应漏】液； 《   — ， 7  应核查【设备的氮气》欠，压保护、真空保护、！设备急停《报警功能是否正常】承片台吸附时—的真：。空压力值应低于【35kP《a 《。 5.》7.2  显—影台的调试》及试：运行应符合下列【规定： ，。     ！1  应《。先连接好《显影：液供应管道》、去离子水管道； ！   【  2  》开机后设置好—。工艺液体的》温度液体温度应【。在10℃～》30：℃间可？调应调节好喷头喷】溅压力其调》节范围应在0～14！.7×104—Pa间； 【。 ：    《 3  应设—。定，好真空口及盘旋【转速度、显影时间】、，漂，洗时间、《。冲洗时间以及主轴】转，。速并应进《入，工艺：设置选项设置—好试运行《工艺步骤《；， ？     4 ！ 应：将已曝光《。的基：片放入片盒然后将】片盒放入片盒卡槽】位置； — ：    《 ，5  ？应选择要运行的程】序并单击屏幕主运行！界面上的“》启动”按钮》系统可按设定的【参数和工艺步骤进行！自动显影／清—洗操作； 》    】。 6  进行—显影：、漂洗和《烘，干工序操作时基片】均应有氮气保—护工艺？结束：后，应自动？进行氮气吹干和高速！甩干； 】    《 7 ？ 机械手自动—进，行取片和《收片时不得手动在片！盒中：取片或放片》； ：  —   8  —设备运行时应无【振动：和噪声； 》  —   9  —设备显影、漂洗后应！进行烘干《处理温度控制范【围宜在60℃—～180《℃控温精度应为±2！℃； — ，     1—0，。 ， 结束？后应对基片进行目检！整个基？片表面应冲洗干净】并且完全《干燥应无微粒、污点！或瑕疵；显》影，合格的基片应均匀】线条应整齐应—无残胶、无》毛刺 《