《。5.7 《 显  影  台】 《 5》.7.1  —显影台的安装应【符合下？列规定 】  ： ，  1？  搬运时应防【撞防抖不得直接【拖动：；， ，     ！2  应通过调【节四个地脚高—度，。使，。。得真空？吸盘呈水平状态并应！用水平仪进行测试和！确，认； ？ ？  ？   3《  显影／清洗【腔的排风系统应与厂！房内的排风系—统相连？接；  ！   4  应接入！压缩空气、》氮气：及真空？三种气路冲洗用纯】水压力应为0—.，13MP《a～0.35—M，Pa；？。 — ，   5  —设备的排液管必须接！入废液？。管道废？液管道必须通向【废液处理《池；： —    6  【存，储显影液和》漂洗液的储液罐及】自动喷溅系统安装】好后不应漏液； 】     ！7  应核查设备】的氮气欠压保—护、真空保护、设】备急：停报警功能是否正常！承片：台吸附时《的真空压力值应【低于：35kPa》 5.7！.2  显》影台的调试及—试运行应符合下列】规定 — ，     1—  ：应先连接好显影【液供应管道》、去离子《水管道； 】  ？   2 》 开机后设》置好工艺液体的【温度液体温度应在】10℃～《3，0℃：间可调应调节好【喷头喷？溅压力其调节—范围应在0～—14.？7×104P—a，间； 《 ， ？    《3  应设》定好真空口及盘旋】转速度、显影时间】、漂洗时间、冲洗】时间以及主轴转速】并应进入工》艺设置选项设置好】试，。运行工艺步骤； ！   —。  4？  应将已》曝光的基片放入片盒！然后将？片盒：放入片盒卡槽—位，置； ？     ！5  应选择—要运行的程序并单击！屏幕主运行界面【上的“启动”—按钮系统可按设定的！。参数和工艺》步骤进行自动显影／！清洗操作； ！ ， ，    《。6  进行显影、】。漂洗和烘《干工序操作时基【片均应有氮气—保护：。工艺结？束，后应自？动，进行：氮气吹？。干和高？速甩干？；   ！  7  机械【手自动进行取片和收！。片时不得《手动在片盒中取片或！放片； 】。  ：   8  设备运！行时应无《振动和？噪，。声； 【     》9  设备显—影、：漂洗后应进行烘【干处理温度控制范】围宜在60℃～1】80℃控温》。精度应为±2℃； ！ ？     —10  《结束后应对》基片进行目检—整个基？片表面应冲洗—。干，净并且完全干—。燥应无？微，粒、污？点或瑕疵；显—影合格的基片应均】匀线：条应整？齐应无残《胶、无毛刺 【