： 5.7  显 ！ ，影  台《 ？。 ， ， 5.7.1】  显影台》的，安装应符合下列规定！ 《   《  1  搬运时】应防撞防抖不得直接！拖动； 《    】 2  应通—过调节？四个：地，。脚高：度使得真空吸盘呈水！平状态并应用水平】仪进行测试和确认】。；， ： ，  《   3  显【影／清洗腔的排风】系统应与厂房—内的排风系统相连】接； 《 《    4  【应接入压缩空气、氮！气及真空三种气路冲！洗，用纯水压力应—为0.？13MP《a～0.《35MPa； 】 ，    — 5  设》备的排液管》必须接？入废液管道废液管】。。。道必须通向废液处理！池； 】    《6  存《储，。显影液和漂洗液的储！液罐及自动》喷溅系统《安装好后不应—漏液：； —     7  】应核查设备的氮气欠！压保护、真》空保护、设备急停报！警，功能是否正常承【片台吸附《时，的真空压力》值应低于35k【Pa 【 5.7.》。2  显影台的【调试及试《运行应符合》下列规定 【     【1  应先》连接好显影液—供应管道、去离【子水管道；》    ！ 2  开》。机后：设置好工艺液体的】温度液体温度应在】1，。0℃～30℃间可调！应调节好喷头喷【溅压：力，其调节？范围应在0～—。14.7×》10：4，Pa间； —     3！  应设定》好，真，空口及盘旋转速度、！显影时间《、漂洗时《间、冲洗时间—以及主？轴转速并应进入工】艺设置选项设—置，好试运行工》艺步骤； 】  ？   4  应将已！。曝光的基片放入片盒！然后将片盒放入片盒！卡槽位置； ！    》 5  应选择要运！行的程序《并单击屏幕主运行】界面上的“启动”按！钮系统？可按设定的参数和】工艺步骤《进行自动显影／【清洗操作；》 ， 》    《。6  进行显影、】漂洗和烘干工序操作！时基片均应有氮【气保护？。工艺结束后应自【动进行氮《气吹：干和高速甩干； 】 ， ：     —7  机械手—自动：。进行取片和收—片时不得手动在片盒！中取片或放》片； ？ ：。。。 ？ ，   8  —设备运行时应—无振动和噪声； ！     】9  设备显影、】漂洗后应进行烘【干，处理温度控制—范围宜在《。60℃？～1：80℃控温精—度应为±2℃； ！ ，   》  1？。0 ： 结束后应》对基：片进行目检整—个基片表面》应冲洗干《。净并且完全》干燥应无微》粒、：污点：。或瑕疵；显影合格】的基片应均匀线条应！整齐应？无残：胶、无毛《刺， ：