： ， 5.7  显【  影  台— 】5.7？.1 ？ 显影台的》安装应符合》下列规定《 ：     1！  搬运时应防撞防！抖不得直接》拖动； 《 ： ？  ：  2  应通过调！节四：个地：脚高度使得》真空吸？盘呈水平状》态并应用水》平，仪进行测试和确认】。；   ！  3  显影【／清：洗腔的排风系—统，应与厂房内的—排风系统相连接；】 ： 《。    4  【应接入压缩空气、】氮气及真空三种气】路冲洗用纯水压力】应，为，0.13《M，Pa：～0.35M—。Pa； 【     —5  设备的排液】管必须接入》废，液管道废液管道【必须通向废液处【理池； 【 ， ，    6 — 存储显《影液和？漂洗液的储》液罐及自动喷溅系】统，安装好后不应—漏液； 】  ：   7  应【核查：设备的氮气欠压【保护、？真空保护、》。设备急停《报警功能《是否正？常，。承片台？吸附时的真空压力值！应低：。于3：5，kPa 《 ， 5.7.2！  显影台的调试及！试，运行应符《合下列？规定  ！。   ？1  应先》连接：好显影？。液供应管道、去离】子水：管道； ！    2  开机！后设置好工艺液【。体的温？度液体？温度应在《10℃～30℃【间可调？应调节？好喷头喷溅》。压力其调节范围【应在0～14.【7×：104？Pa间？； —     3 【 应设定好》真空口及盘旋转速】度、显？影时间、漂》洗时间、冲洗时间】以及主轴《转速并应《进入工艺《设置选项设置好【试运行工艺步骤；】 ，     ！4，  ：。应将已曝光的基片放！入片盒？然后：将片：盒放入片盒卡槽位】。置； 【  ：   5 》 应选择要运行【的程序并单击屏幕】主运：行，界面上？的，“启：动”按钮系统可按设！定的参数和工—艺步骤？进行自？动显影／《清洗操作； — ？     6  ！进行显影、漂—洗和烘干工序操作时！基片均应有氮气保护！工艺结束后应自【动进行氮气吹干和】高，速甩干？； 《     【7  机械手自【动进行取片和收【片时不得手动在片】。盒，中取片或放片； 】  —   8  设备】运行时应无》振动和噪声； 【    】 9  设备显影、！漂，洗后：。应进行烘干》处理温度控制—范，围宜：在60℃～18【0℃控温精度应为±！2℃； — ？。  ：  10 》 结束后应对基片进！行，。目检整个《基片表面《应冲洗？干净并？且完全干《燥应无微《粒、污点或》瑕疵：；，显影合格的基片应】均匀线条应整齐应】无残胶、无毛—刺 ？