5.7 】 显  影  【台 】 5.7《.1  显》影台的安装应符合下！列规定 —    — 1  搬运时应】防撞防抖不得—直接：拖动：。； — ，    2  应通！过，调节四？个地脚高度》使得真空吸盘呈水】平状态并《应用水平《仪进行测《试和确认《； —   ？  3 《 显影／清洗腔的排！风，系统：应与：厂房内的《排风系统《相连接； ！ ，    《4  应接入压缩空！。气、：氮气及？真空三种气路—冲洗用纯水》压力应为0》.1：。。3M：Pa～0.》35：MPa；《 ， 《    《 5  设备的排液！管必：须接入？废液：管道废液《管道必须通向废液】处理：池； 》    — 6  《存储显影液和—漂洗液的《储液罐及自动喷溅】系统安装好后不【应，漏液； 《   【。。 ， ，7，  应核查设备的氮！气欠压保护、真空保！护、：设备急？停报警功能》。是否正常承片台吸】附时的真空压—力值应低于35【。kPa 【 5.7.2  ！显影台的调》试及试运行应—符合下列规定 【 ，  》  ： 1  应先连接好！显影液供应管道、】。。去离子水管道； ！     】2 ： 开机？。。后设置好工》艺液体？的，温度液？体温：度应在10℃～【30℃？间可调应《。。调节：好，喷头喷溅压力—其调节范围应在0～！14.7×10【4Pa间；》 —    3  应】设，定好真空口》及盘旋转速度、【显影时间、》漂洗时间、》冲洗时间以及主【轴，转速并？应，进入工艺设置选项】。设置好试《运，行工：艺步骤； ！     4 【 ，应将已？曝光的基片放入片盒！然后将片《盒放入片盒卡—槽位置； 】 ：   ？ ，5  应《。选择要运行的程序】并单：。击屏幕？主运行？界，面上的“《启，动”按钮系》统可按？设定的参数和工艺步！骤进行自动显影／】清洗操？作；：    ！ 6  进》行显影、《漂洗和？烘干工序操》作时基片均应有氮气！保护工艺结束后应自！动进：行氮气吹干和高速】甩干； 】   ？  7  机—械，手，自动进？行取：片和收片《时不得手《。动在片盒中取片【或放片？；， ， 》    8 — 设：备运行时应无—。振动和噪《声； 《 ，   》  9  》设备：显影、漂洗后应【进行：烘干处理温度控制】范围宜在60℃～1！80℃控温》精度应为±》。2℃； —  《 ，  10  结束后！应对基片进行目【检整个基片表面应冲！洗干净？并且完全干燥应无】微粒：、污点或瑕疵；显影！合格的基《片应均匀线条应整】齐应无残胶、—无毛刺 》