？ 5.？。6  ？曝  光  机 】 5.！6.1 《 曝光？。机的安装应符合【下列规定 ！  ：   1 》 设备搬运》时应：采用：叉车结合气垫平【稳，移动不得有振动； ！  —。   ？2  设备安装前】应定制基座用—来防振安装》时，应通过反复调节【四，个地脚螺栓》高度使得曝光—。机承片？。台水平并应用—水平仪进行检测确】认； —    》 ，3  激光光路及曝！光，。光源必？须安装？防护门？、罩等保护装置；】。。 ：     】4  激光光源与】主设备接连》的管：路应无？弯曲； 》     5！  设备应装配二级！过滤和二《级调压气《阀安装压缩空气【时应先接入二级【过，滤阀再？接入二级调压阀【最后再接《入设备 【 5.6.—2 ： 曝光机的调试及】试运行应符合—下列规定 —    【 1  应》准，备好光刻版、已均】匀涂覆好光刻—胶的待光刻基—。片及对应显》影液掩模版应有【双面薄膜保》。护并应置于》版盒：中； 【。     2 【。 曝光系《统应具有光强—调节装置光源调节应！灵，。活可靠？曝，光均匀性应随分辨率！要求而定不应大【于2.5％》；   ！  3  应—将带：有光刻掩模版的【版，盒放入曝光》机上：。光刻版盒卡槽位置选！择，“读入光罩》”模式机械手可自动！将光：罩载入到光刻版平台！上；  ！   4  打【开曝：光机汞灯预热—30min后—。应用紫外线测量仪测！量承片？台上、下、左、右、！中五处的光刻—强度均匀性应优【于，±5％并应根据【测量强度《设置好光刻能—量；：    ！ 5  准备工作】做好后应进行接触】。式，或投影式光刻光刻】后应及时显》影； 【     6  应！观察显影清洗后基片！。上的光刻图形整【个，基片图形应均—匀、无损伤》、无连条图》形边缘？应整齐、无锯齿和毛！刺 ： ，