《。。5，.6  曝 — 光  《机 —。 5.6—.1  曝光机的安！。装应符合下列规【。定 —     1—  ：设备搬运时应—采用：叉车结合《气垫平稳《移动不得有振动【； 》   《  ：2  设备安装【前应：定制基座用来防【振安装时应通过反复！调节四个地脚—螺栓高？度使得曝光机承片】台水平并应用水【平仪进行检测确【认； ？ ：  《   ？3  激光》光路及曝光光源必须！安装防护《门、罩等保护装置；！ 》。 ，    4  激】光光源与主设—备接连的管路—应无弯曲； ！     —5  设备》应装配二级过—滤和二级调压—气阀：安装压缩空气时【应先接入二级过滤阀！再接入二级调压阀】最后再接入设—备 5】.6.2《  曝光《机的调试及试运【行应符合下列—规定 《 ： ，   ？  1  应准备好！光刻版、已均—匀涂覆好《光，刻胶的待光刻基片】。及对应？显影液掩模版应有双！面薄膜保护》并应：置于版盒《中；： ？ ，     —2  曝光系统【应具有？光，强调节装置光—源，调节应灵《活可靠曝光均匀性应！随分辨？率要求？而定不应大于2.】5％； 》 ，   》  3  应将【带有：。光刻掩模版的版【。盒放入曝光》机上光刻版盒—卡槽位置选择“读入！光罩”模式》机械手可自》动将光罩载入—到光刻版平》台上；？ ： ：     —4  ？打开曝？光机汞灯《预热：30min后应用】紫外线测量仪测量承！片台上？、下、？左、右、中五—处的光刻强度均匀性！应优于±5％并应根！。据测：。量强：度设置？好光刻能量； ！     【5 ： 准：备工：作做好后应进行【接触：式或投影式光刻光】刻后应及时》显影； — ：     6  】应观察显影》。清洗后基片上的【光，刻图形整个基—片图形应均匀—。、无损伤、》无，连条图形边缘应整齐！、无锯齿和毛刺【 ：