5.6  ！曝  光 》 机 】 ， 5.？6.1  曝光【。机的安？装应符合下列规定】 》     1  】设备搬运时应采用叉！车结合气《垫平稳？。移动不得《有振动； ！    《 2  《设备安装前应定制基！座用来防振安装【时应通过反》复调节四《个地脚螺栓高度使】得，曝光机承片台水【平并：应用：水平：仪进行？检测确？认； 》  《。   3  激光光！路，及曝光？。光源必须安装—防护门、罩等保护装！置；  ！  ：。 ，4  激光》光源与主设备接【连的管路应无弯【曲； ？ ：     【5 ： 设备应《装配：二级过滤《和二：级调压？气，。阀安装压缩空气时应！先接入二级》过滤阀再《接入二级调压阀最】。后再接入《设备： ： 5》.6.？2  曝《光机的调试及试运】行，应符合下列规定 ！    【 1  《。应准备好《光刻版、《已均匀？涂覆：好光刻胶《。的待光刻基片及对应！显影液掩模版应有双！面薄膜保护》并，应置于版盒中； 】 ？。     2 】 曝光系统》。应具：。有，光强调节《。装，置光源调节应—灵活可靠曝光均匀】性应随？分，辨率要？求而定不应大于2】.5％；《 —  ：  3  应将【带有光刻掩模版【的版盒？放入曝光机上光【刻版盒卡槽位置选择！“读入光罩”模【式机械手可自动将】光罩载入到》光刻版平台》上； 》     4 ！ 打开曝光》机汞灯？预热30《min后应用紫外线！测量仪测《量承片台《上、下、左、右、中！五处的光刻强度均】匀性应优于±5％】并应根据测量强度设！置好光刻能量—。。； ？     】5  准《备工作做好后应进】行接：触式或投影式—。光刻光刻《后应及时显影； 】    】 ，6  应观》察显影清洗后基【片，上的光刻图》形整：个基片图《形应均匀《、无损伤、无—连条图形边缘应整齐！、，无锯齿和毛》刺 ： ，