5.—6 ： 曝 ？ ，光，  机 】 ： ，5.6.1 — 曝光？机的安装应》符合下列规定 】  》   1  设【备搬：运时应采用叉车结合！气，。垫，平稳移动不》得有振动《； ：    】 2 ？ 设备？安装前应定制基座】用，。来防振？安装时应《通过反？复调节四个地脚螺】栓高度？使得曝光机承片台】水平并应用水平仪】。进行检测确认；【 ， ， ： ， ，    3》  激光《光路及曝《光光源必须安装【防护门？、罩等保《护装置；《 》     4 【 ，激，光，光源：与主设备《接连的？管路应无弯曲； ！     】5 ： 设备应装配—二，级过滤和二级调压】气阀：。安装压缩空气—时应先接《入二级过滤阀—再接入二级调压阀最！后，再接：。入设备 ！5.6.2  曝】光机的调《试及试？运行应符合下列【规定 ？     ！1  应准》备好光刻版》、已均匀涂覆—好光刻胶的》待光刻基片及对应】显影液掩模版—应有：双面薄膜保护并【应，置于版盒中》； 《     【2  曝光系统【应具：有光强调节装置光】源调节应灵》活可靠曝光均匀性应！随分辨？率要：求而定不《应大于2.5％；】 ？    — 3  《应将：带有：光刻掩模版的版【盒，放入：曝光机上光刻版【盒卡槽位置选择“读！入光罩”模式—机械手可自动将光罩！。载入到？光刻版平台上；【。 》     4  打！开曝光机汞》灯预热30mi【n后应用紫外线测】量仪：测，量承片台上》、下、左《、右、中五》处的光刻强度均【匀，性应：优于±5％》并应根据测量强度设！置好光刻《能量； 】。 ，    5  准】备，工作做？好后应进行接—触式或投影式光刻光！。刻后应及时》显影； 《 》    6  【应观察显影清洗【后基片上的光—刻图形整个基片图形！应，均匀、无损》伤、无？连条图？形边缘应整齐、【无锯齿和毛刺— ：