5.6 】 曝  光  机】 5！.6.？1  曝光机—的安装应符合下【列，规定：  【   1  设备搬！运时应？采用叉车结合气【垫平：稳移动不得有—振动； — ，    》。 2  设》备安装前《。应定制基座用来防】振安装时应通过反】。复调节四个地—脚，。螺栓高度使得曝【光机承片台水平【并应用水平仪进行检！测，确认； — ，     3  ！激光光路《及曝光光源必须安】。装防护门、》罩等保护装置—； 【    4  激】光光：。源与主设备接—连的管？路应：无弯曲； — 《   ？ 5  设备应【装配二级过滤和【二级调压《气，阀安：装压：缩空气时应先接入二！。级过滤阀再接入二】级调压阀最后再【接入设备《 —5.6？.2  曝》光机的调试及试【运行应符合下列【规定 【     1—  应？准，备好光刻版、已【。。均匀涂覆《好光刻胶的待光刻】基片及对应》显影液掩模版应有】双面薄膜保护并应】置，于版盒中； — ？    》 2  曝光—系统应具《有光强调节装置光源！调节：应灵活可靠曝光【均匀性应《随分辨率要求而定】不应大于2.—5％； 《    】 3：  应将带有光刻】掩，。模版的版《盒放入曝光机上【光刻：版盒卡槽位置选择“！读入光罩”模—式机械手可自—动将：光罩：载入到光刻版—平台上； 【     【。4  ？打开曝光机汞—灯预热3《0，min后应用紫外】线，测量仪？测量承片台上、下、！。左、右、中五处的光！刻强度均匀》性应优于《±5％并应根据测量！强度设？置好光刻能量；【  【   5  准【备工作做好后应进】行接触式或投影式】光，刻光：刻后应及时显影；】。。 》  ：。   6  应【观察：显影清洗《后基片上的光刻图】形整：个基片图形》应均匀、无损伤【。、无：连，条图形？。。边缘应整《齐、：无锯齿和毛刺 】