。 5.6  ！曝  光  机【 ？ ？ 5.6.1 】 ，曝光机的安装应符合！下列规定 】     1 】 设备搬《运时：应采用叉车》结合气垫平稳移动不！得有振动； — 》    《2  设备安装前应！定，。制基座用来》防振安装时应通【过反复调节四个【地脚螺栓高度—使，得曝光机《承片：台，水平并应用水平仪】进行检测《确，认；： ， 》   ？ 3  激光光【路及曝光光源—必须：安，装，防护门、罩等保护】装置； —   》  4  》激光光源与主设备】接，连的管路应无弯【曲；  ！ ，  5  》设备应？装配二级过滤和【二级调压气阀安【装压缩空气时应先接！入二级过《滤阀：再接：入，二级：调压阀最后再接入】设备 》。 ， 5？.6.2  曝【光机：的，。调试及试运》行应符合下列规定】    ！ 1：  应准备好光【。刻版：、已均匀涂覆好光】刻，胶，的待光刻基片及【对应显影液掩模版应！有双面薄膜保护【并应置？。于版盒？中，； ？  》  ：。。 2  《曝光系统《。应具有？光强调节装置—光源调节应灵活可】靠曝光均匀》性应：随分辨率要求而定】不应大于2.—。5％； —  《   ？3  应将》带，有光刻掩模版的版盒！放入曝光机上—光刻版盒卡槽位【置选择“读》。入，光罩”模《式机：械，手，。可自动将光罩载【入到：光刻版？平台上； 【     4】  打开曝光机汞灯！预热30《min？后应用紫外》线测：量仪测量《承片台上《、下、？左、右？、中五处的光刻强度！均匀：。性应优于±5％并应！根，据测量强度设置好】光刻能量； —   【  5  准备工作！做好后？应进行接触式或投】影式光刻光》刻后应及时》显影； ！   ？。 6  应观察【显，影清洗后《基片上的光刻图形】整个基片图形应【均匀、无损伤、无连！条图形边缘》应整齐、无锯齿和毛！刺， ：