， ： 5.6  曝【  光  机 】 5.】6.1 《 曝光机的安装应符！合下列规定 ！     1  ！设备搬运时》应采用？叉车结合《气垫：平稳移动不得有【振动； 】     2  设！备安装？。前应：定制基座用来—防振安装时应通过反！复调节四个地脚螺栓！高度使得曝光机【承片台水《平并应用水》平，仪进行检《测，确认； 】     3  激！光，光路及曝光光—源必须安装防—护门、罩等保护装】置； 》  《   4 》 激光光源与主设】备接连的管路—应无弯曲； —    】 5 ？ 设备应装配二【级过滤？和，。二级调压气阀安装压！缩空气时应先—接，入，二级过？滤阀：再，接，。入二：级调压阀最》后再：接入：设备 —。 5.6.2【 ，。 曝光？机的调试及试运【行应符合下列规【定 《 ，  ？   ？1  应准》备好光刻《版、已均匀涂—覆好光刻胶的待【光刻基片及》对应：显影液？掩模：版应有双面》薄，膜保护并应置于版】。盒中； —   》  2  曝光系统！应具有光《强调节装《置光源调节应灵活】可靠：曝光均匀性应随分】辨率：要求而定不应—大于2.5％； ！   —。  ：3  应将带—有光刻掩模版的版盒！放入曝光《机上：光刻版盒卡》槽位置选《择“读入光罩”【模式机械手可自【动将光罩载入到光】刻版平台上； 【 《   ？  4  》。打，。开曝光机汞灯预【热30mi》n，后应用紫外线测【量仪测量《承片台上、》下、左、《右、：中五处？的光刻强度》均匀性应优于±5】％并应根《据，测量强度设置好光】刻能量； 》。   【  ：5  准备》工作做？好后应进行接触式】或投：影式光刻光刻—后应及？时显影？；  】   6  —应，观察显影清洗后基片！上，的光刻？图形：整个基片图形应【均匀：、无损伤、无连条】图形边缘《应整齐、《无锯齿？和毛刺 》