。 5.—5  旋《涂及热？板系统 《 5.！5.1  旋涂及】。热板系统的》安装应符《合下列规定 【     】1 ： 应调节四个地【脚，高度使匀《胶承：片台水平； ！     2  ！应设置？与工艺线排风—管道口相连接的接】口； ？ ，   —  3  高速旋】盘上方应安装—可靠的防护罩； 】  —   4《  工作台应—设有减振装置； 】 ？  ？ ，  5  自动滴】胶系统应由专业人员！安装好储《胶罐的接口密闭情况！以及胶？。阀，的气压应符合要求；！ ：    【 6  断电保护】。。装置：应运行正常 【。 ， ？。5.5.《2 ： 旋涂？及热板？系统的调试及—试运行应符》合下列？。规定 ？。   【  1  应准备好！光刻胶、《基片等材料及必要的！工具； 》 ：    》 2  待旋涂【基片平整度应小于0！.05mm；— ：  》   3  运行】。设备设备《自动开合旋涂盖功】能、涂胶单元真空】吸附功能、》旋转涂胶功》能、顶针上下运动功！能、加？热部件真空》吸附功能应》正常：涂胶台应润滑良好】；  】   4 》 应将吸管插—入光刻胶瓶中并将】光刻胶放《。。入设备自带化学【品柜内并应设置好】胶阀压力、》滴胶时间、旋涂转】速、旋？。涂时间和热》板温度； ！  ：   ？5，  应分别设定【烘烤温度为60【℃、120℃和18！0℃待温《度稳：定后应在加热器表面！Φ200mm范【围内选择中心—点及外圆周上与【X轴、Y轴》相交的四《点等五处进行温【度测：量然后？计，算，平均值所测各—点的温度值与平【均值相比较时允许】偏差应为±1.5％！； 》     —6 ： 应分别用手动【模式和自动模式进行！旋涂操作其》他参数应保》持一致每《个基片旋涂结束【。后应放到热》板台上烘烤； 【。 《     7  】应用膜厚测》量仪测量基片的上】、下、左《、右：、中五个点的光【。刻胶厚度片内和【片间厚？度允许偏差》应为：±，5％： ：