。 ？ 5.？5 ： 旋涂及《热板系统 ！ 5.5.1】  旋涂及热板系统！的安装应符合—下列：规定 【     1 【 应调节四个—地脚高度使》匀胶承？片台水平； 【 ：     —2  ？应设置与工艺线排风！管道口相连接—的接口； —  》   3 》 高速旋《盘上方应安》装可：靠，的，防护罩？； ： 《   ？  4  工作台】应设有减《振装置； ！    《 5  自动滴胶】系统应由专业—人员安装好储胶罐的！接口密闭情况以及】胶阀的气压应符合】要求； ！    6  断电！保护装置《应运行正常 【 5.—5.：2  旋《。涂，及热板？系统的调试及试运行！应符合？下列规定 】   《  1  应准【备好光刻胶、基【片等材料及必要的】工具； ！    2  【待旋涂基片平—整度应小于0.【05：。mm；？ ？     3】 ， 运行设《备设：备自动？开合旋涂盖功能、涂！胶单元真《。空吸附功能、旋转】涂胶功能、顶—针上下运动功—能，、加热部件真—空吸附功能应正常】涂胶台应润滑良好；！  【 ，  ：4  应将吸管插】入光刻胶《瓶中并将光刻胶放入！。。设，备自带化学品—。柜内并应设置好【胶，阀，。压力、滴胶时间【、旋涂转速、旋涂】时，间和热？板温度； 】 ，。     5 【 应分别设定烘【烤温度？为60℃、》12：0℃和180℃待温！度稳定后应在加【热，器表面Φ20—0，。mm范围内选择中】心点及外圆周上与X！轴、Y轴相交—。的，四点等五处进行温】度测量？然后计算平均值所】。测各：点的温度值与—平均值？相比：较时：允许偏差应为±1】.5％； 【     6 ！ 应分别用手动【模式和自动模式进行！旋涂操？。作其他参数应保【持一致每个基—片旋涂？结束后应《放到热板《台上烘烤； ！     —。7 ： 应用膜厚测量仪测！。量基片的上、下、】左、右、中五个【点的光？刻胶：厚度片？内和片间厚度—允许偏差应为±【5％ ？ ，