5.5  ！旋涂及？。热，板系统 】 ， 5.5》.1  旋涂—及热板系统的安装应！符合：下列规？定 【 ，   ？1  应调节四【个地脚？高度使匀胶承片台水！平； 【  ：。   2 》 应设置《与工艺线排风—管道口相连》。接的接口； 】     3 ！ ，高速旋盘上方—应安装可靠的防护罩！； 》  ？。  ： ，4  工《作台应设有减振【装置：； 【。  ：  5  自动滴胶！系，统应由专业人员【安装好储胶罐的【接口密闭情况以【及胶阀的气压应符合！要求；？    ！ 6  断电保护装！置应运？。行正常 《 ， ？ 5.5.》2  旋涂及—热板系统的》调，。试，及试运行《应符合下列规定 ！     1！  应准备好光【。刻胶、基片等—材料及必要的工具；！ ， ：    — 2  待旋—。涂，基片平整度应小【于0.05》mm；？    ！ 3  运行设【备设备？自动开合旋涂盖功能！、涂胶单元真—空，吸附功能、旋—转涂胶功能、—顶针上下运》动功能、加热部件】真空吸附功能应正常！涂胶台应润滑良好】； 》     4 】 ，应，将吸管插入光—刻胶瓶中并将光刻】胶放入设备自带化】学品柜内并应设置好！胶，。阀压力、滴胶—。时间、旋涂转速、旋！涂，时间和热板温—度；： —。  ：  5？  应分别设定【烘烤：温度为60℃—、120℃和1【80℃待温度稳定】后，应在加热《器表：面Φ2？00：mm：范，围内选择中心—。点及外圆周上—与X轴、《Y轴相交《的四点等《五处进？行温度？测量然后计算平均值！所测各点的》温，度值与平均值相比】较，时允：许偏差应为±1.5！％； 》   》  6 《。 应分别《用手动模式和—自动模式进》行，旋涂操？作，其他参数《应保持？一致每个基》片旋涂？结束后应放》到热板台上烘—烤；  ！   7  应用】膜厚测量仪》测量基？片的上、下、左、右！、中五个《点，的光刻胶厚度片【内，和片间厚度允许【偏差应为±5％ ！