《5.5？。  ：旋涂及热板系统 ！ 5.5！.，1  旋涂及热板系！统的安装《。。应符合下列规定 ！     1！  应调《节四个地脚高度使匀！胶承片台水》平； ？ ？   《 ， 2 ？。。 应：设置与工艺线排风管！道口相连接》的，。接口：； 【    3 — 高速旋盘上方应】安装可靠的》防护罩； 【    — ，4  工作台应设】有减：。振装置； 】   《 ， 5  自》动滴胶系统应—由，专业：人员安装好储胶罐的！接口密闭情》况以及胶阀的—气压应符合要求； ！。 《   ？  6  断—电，保护装置《应运行？正常 】5.5？.2  《旋涂及热板系统的】调，试及试运行应—符合下列规定 【 《 ，   ？ ，1  应准备好光】刻胶、基片等材【料及必要的工具【；， ？    — 2  待旋涂【基，片平整度《应小于？。0.05mm—； 》    》 3 ？ 运行？设备设备自动—开，合旋涂盖《功能、涂胶单元真】空吸附功能》、旋：转涂胶功能、顶针】上下运动功能、加热！部件真空吸附功能】应正常涂胶》台应润滑良好； ！ ？    《 4  应将吸【管插：。入光刻胶瓶中并将】光刻胶放入设备【自带化学品柜内【并应设置好胶阀压力！、，滴胶时间、旋涂转速！、，旋涂时间和热板【温度； ！    5  应分！别设定烘烤温度为6！0℃、120℃和1！80℃待温度稳定】后应在加热器—表面Φ200mm范！围内选？择中心点及外圆【周上与？。X轴：、Y轴相交的—四点等五处》进行温度测》量然后计算》平均值所测各点的温！度值与平均值相【比较：时允许偏差应为【±1.5％；— 《     —6  应分别用【手，。动模式和自动模式】进行旋涂操作其【他参数应保持一【致每个基《片，旋涂结束后应放【到热板台上烘烤； ！   【  7  应用膜厚！测量仪测量》基片：的上、下、左、右、！中，五个：点的光刻胶厚—度片内和片间—厚度允许偏》差，应为±5％ — ，