： 5？.5  旋涂及热】板系统 《 》 5.5.1【  旋涂及热—板系统的安装应符合！下，列规定 】    《 1  应调节四】个地脚高度》使匀胶承片台水平】； —    《 2 ？。 应设置与工艺线排！风管：道口相？连接的接《口；  ！   3  高速】旋盘：上方：应安装？可靠的防护罩；【  【 ， ， 4  工作台【应设有？减振装置； 】 ？    5  自】动滴胶系统应由【专，业人员？安装好储胶罐的接】口密：闭情况？以及胶阀《。的气压？应符合？要求：。；  】   ？6  断电保护装】置应运行正常— 5【.，5.2？  旋涂及热板系】统的调？试及试运行应符合下！列规：定 ： 《     1  应！准备：好光刻胶、基片等材！料及必要的工具【； —     》2  待旋涂—基片平整《度应小于0.0【5mm； 【 ，     3【。。。  运行设备设备自！动开合旋涂盖功能】、涂胶单《元真空吸附功能、】。旋转涂？胶功能、顶针上下运！动功能、《加热部？件真空吸附》功能应正常涂胶台应！润，滑良好；《 《   《  4  应将【吸管插入光刻胶瓶中！。并将光刻《胶放入？。设备自带《化学品？柜内并应设置好【胶阀压力、滴胶时】间、旋涂转速—、旋涂时间和—。热板温度；》 —    5  应】分别设定烘烤温【度，为60？℃、120℃和1】80℃待《温度稳定后》应在加？热器：表，面Φ200mm范围！内选择中心点及【外圆周上与》X，轴、Y轴相交—的四点？等，五处进行温度测量然！后计算？平均值所测各点的温！度值：与平均值相比较【时允许偏差》应为±1.5％【；   ！  6  》应分别用手》动模式和自动模【式进行旋涂操作其他！参数应？保持一致每个—基片旋涂结束后应】放到热板台上烘烤】； 【    7  【应用：。膜，厚测量仪测量—基片的上、下、左、！右、：中五个点的》光刻胶厚度片内【和片间？厚度允？许偏差？应为±5％ 【