《5.5 《 旋涂及《热板系统 ！ ，。 5.5.—1  旋涂及—热，板系统的安装应符】合，下列规定 》 ， 《 ，   1  应调】节四个地脚高度使】匀胶承片台水平； ！  —   2  应设置！与工艺线排风管道口！相连接的接口—； ？     】3  高速旋盘【上方应？。。安装可靠的》防护：罩； 】    4  【工作台应设有—减振装置； 【 《 ，   5  —自动滴胶系》统应由专业人—员安装好《储胶罐的接口密【闭情况以及》胶阀的气压应符合】要求； —     【6  断电保—护装置应运》行正常 ！5.：5.2 《 旋涂及热》板，系统的调试》及试运行《应符合？下列规定 【 ，     —1，  应准备好光【。刻胶、基片》。等材料及必要的工具！。； 《     2】  待？旋涂基片平整度应小！。于0：.0：5m：m，；， ？     3】  运行设备设【。备，自动开合旋涂盖【。功能、涂胶单元真】空，吸附功能、旋—转涂胶功能、—顶针：上下：运动功能《、加热部件真空【。吸附功能应正常涂胶！台应润？滑良好； ！    《 ，4  应将》吸管插入光刻胶瓶中！并将光刻胶》放入设？备自带化学品柜【内并：应设置好胶阀压力、！滴，胶时：间、：旋涂转速、旋涂时间！和热板？温度：；   ！  5  应分别】设定烘烤《温度为60℃—、120℃和180！。℃待温度稳定后应在！加热器表面Φ2【00mm范围内选择！中心：点及外？圆，周上与X轴、—Y轴相交的四点等】五处：。进行：温度测量然后计算平！均值所？测各点的温度—。值与平均值相比较】时允许偏差应为±1！.，5％； —  《   6 》。 应分别用手—动模式和自动模式】进行旋？涂操作其他参数【应保持一致每个基】片旋涂结束后应放到！热板台上《烘烤； 】     7—  应？用膜厚？测量仪测量基片的】上、下、左》、右、中《五个点的光》刻胶厚度片内—和片：间厚：。度允许？偏差应为±5％【 ，。 ，