： ：5，.5：  旋？涂及：热板系统《 ？ 》5.5.1 — 旋涂及《。热板系？统的：安，装应符合下列—规定 】 ，   1 》 应调节《四，个地脚高度使匀胶承！片台水平； ！ ，     2 【。 应设置与工艺线】排风管道口》相连接的接口； ！  》   3 》 高速旋盘上方应安！装，可靠的？防护罩； 【 ：  ：   4《  工？作，。台应：。。。设有：减振装置； 【   —  5  自—动滴胶系统》应由专业人员—安装好储胶罐的接口！密闭情况以》及胶阀的气压应符合！要求：； ？ ：。    》 6 ？ 断电？保护装置应运行正】常 《。。 5《.5.2  旋涂】及热板系统的调试及！试运行应《符合下列规定 ！  《   1《  应准备好光【刻胶、基《片等材料《及必要的工具； 】     ！2  待旋涂基片】。平整度应《小于：0，.05mm； ！ ？    3  运】行设备设备自—动开合旋《涂，盖，功能、涂《胶单元真空吸附功能！、，旋转涂胶功能、顶针！。上下运动功能、加】热部：件真空吸附功能应】正常涂胶台应润滑良！。好； —  ？   4  应将】吸管：插入光刻胶瓶中【。并，将，光，刻胶放入设》备自带？化学品？柜内并？。。。应，设置好胶阀压力、】。滴，胶时间？。、旋涂转速、旋【涂时间和热板温【。度；  ！  ： 5  应》分别设定烘烤温【度为60℃》、，。120℃和180℃！待温度稳定后应在】加热器？表，面Φ20《0mm范围内选择中！心，点及：外圆周上与X轴【、Y轴相交》的四：点等五处进》行温度测量然后【。计算平均值所—测，各点的温度值与平】。均值相比较时—允许偏？差应为±1.5【％； 【     6—  应分别用—手动模式和自—。动，模式进行旋涂操作】其他参数应保持一】致每个基片旋—涂结束后《应放到热板》台上烘烤《； ？ 《    7》  应用膜厚—测量仪测量基片的】上、下、左》、，右、中五个点的【光刻胶厚度片内和】片间厚度《允许偏差应为±5】％ ？