？ 5.？4  化《学气相淀积》。系，统 】 5.4.》1  化学》气相淀？。积，系统的安装应符合】。下列规？。。定 》。     1 】 应由专业人员正】确接入？工艺气体管路及真】空管路工艺气体应根！。据不同的化学—气相淀积技术进行】选择； 】     2  】气体管道及管—道部件应使用耐【腐蚀不锈钢材—料在气路部》分、气源瓶柜—、，真空排气部分、【机柜上方应设排风】口且排？风管道的内》。径不：得小于50m—。m； 《 ， ：  ：   3  —对使用？危险气体Si—H4：、PH4、S—。F6、CH4、C】F，。6的化学气》相淀积系《统安装时应》同时安装《危险：。气体泄漏报警—装置； ！    4》  工艺《腔室内的部件—及，馈气管道在安装前应！进行清洁和干—燥处：理 【    5  机壳！。接地电阻不应—大于：4Ω；？ ？     6】  循环冷却水【温度应为《1，8℃～2《6℃：压力应？符，合设备指标要—求 — 5.4.》。2 ： 化学？气相淀积系统的调】试，及试运行应符合【下，列规定 ！。    1  应检！查紧急按钮是—否有效 —。     【2  启动真空【泵时运行《状态应符合》下列规定 【       ！ ， 1)噪声、振动】应无异常； 【 ：     —    2)真【空室真空度可在规定！。时间内降到》规定值本《底真空的压力—值应控制《在2×10-4P】a以下极限真空的压！力值可达到8—×10-5Pa；】 ？      】   3)应延长】真空泵的抽气时间】 ： 《  ：  ：3  具《备，加，热功能？的设备应《做空载烘烤处理【  【   4  根【据设备要《求应设置高纯—氮气或氦《气等保护气体—流量并？。应向炉内通入保【。护，气体进行吹扫 【  —   5 》 待淀积《的样片应《清洗烘干后应装【入在炉管内的—载片舟内《并应将载片舟调整】到工作？位置 》    — 6  设定淀积温！度、淀积时间、【淀积工艺气体比【例和进气量》、淀积压《力应在抽气正常【的情况下《通入工艺气体— —    7》  运行淀积程序】进行淀积时应—定期检查工艺气体】。和保：护气体流《量   ！  8 《 淀积？。程序完成后取出已】淀积样片用光—学膜厚测试》仪测试膜层的厚度】均匀性附着力、【膜层组分和晶体结】构应满足要求膜厚均！匀性应？符合设备《指标要求 —