。 5.4 】 ，化学气相淀积系【统 【 5.4.—1  化学》气相淀积系统的安】装，应符合下列规定 】 ， ？ ，  ：  1  应由专业！人员：正确接入《工艺气体管路及【真空管路工艺气【体应根？据不：同的化学气相淀积技！术进行选择》；   ！  2  气体【管道：及管道部件应使【用耐腐蚀《。。不锈钢材《。料在气路部分—、气源瓶柜》、真空排《气部：分、机柜上方应设排！风口且？排风管道的》。。内径不得小于50】mm：。； 》    》 3 ？ 对使用危》险气体SiH4【、，。PH4、SF6、】CH4、C》F6的化学》气相淀？。积系统？安，装时应同时安装危险！气体泄漏《报警装置； ！ ，     4 【 ，工艺腔？室，内的部件及馈气【管道在安装》前应进行清洁和【干燥处理 【 ？。 ，   5  机【壳接：地电阻不《应大于4Ω； 【 《    《 6：  循环冷却水温】度应：为18℃～2—6℃压力应符合设】备指标要求 ！ 5.4.—2  化学》。气相：淀积系？统的调试及试运行】应符合下列规定【 ？ ，。     1  ！。应，检查紧急按钮—是否有效《  【   2  启动】真空泵时运行状【。态应符合下列规定】。  【       【1)：噪声、振动应无异常！； ？     】    2)真【空室真空度可在【规定时间内降—到规定值本底真【空的压力《值应控制在2×10！-，4Pa以下极限【真空的压力》值可达到8×—10-？5Pa；《   】     》 3)应延长真【。空泵的抽气时—间 ？ ？     3—  具备加热功【。能的设备《。应做空载《烘烤处理 》。     ！4  根据设备要求！应设置高纯氮气【或氦气等保护气体】流量：并应向炉内通入保护！。气体进行吹扫 ！    — 5  待》淀积的？样片应清《洗，烘干后应装入在炉管！内的载片舟内并应将！载片舟调整到工作】位，置 《 ：  ：  ： 6 ？ 设定淀积温—。度、淀积时间、淀积！工艺气体比》例和进气量、淀【积，压力应在抽气正【常的情？况下通入工艺—气体：    ！ 7  运行淀积】程序：进行淀积时应定期】检查工艺气体和保】护气体流量 】。  《   8  淀积】程序完成后》。取出已淀积》样片用？光学膜厚测试仪测】试膜：层的厚度均匀—性附着力、膜层组】分，和晶：体结构应满》足，要求：膜厚均匀性应符合】设备指标要求— ：