， 5.》4，  化学气相淀【积系统？ ， — 5.4《.1  化学气相】淀积系统的安装应符！合下：列规定 《     ！1  应由专业【人员：正确接入工艺气体管！路及真空管路工【艺气体应根据不同】的，化学：气相淀积技术进行选！择； 》 ？ ，   2  气体管！。道及：管道：部件应使用耐腐蚀不！锈钢材料在气—路部分、气源—瓶柜、真空》排气：部分、机柜上方应设！排风口且《排风管道的内径【。不得小于50—mm：； — ，    3  对】使用危险气体S【iH4、P》H4、SF》6、：C，H4、CF6—的化学气相淀—积系统安装时—应同时安装危险【气体泄漏报警装置】；   ！  4 《 工：艺腔室内的部—件及：馈气管道在安装前应！进行清洁和干燥【处理：   】  5？  机壳《接，地电阻？不应大于4Ω—；，。 ： 《    6  循环！。冷却水温度》应为18℃》。～，26℃压力应符合】设备指标要求 】 5.—4.2  化学【气相淀积系统的调】试及试运行应—符合下列规》定 ？     1！  应检查紧急按】钮是否有效 —   【  2  启—动真空泵时运行状】态应符合下》列，规定 】        1！)噪声、振动应【无异常； 【 ？     》 ，  2)真空室真】。空，度可在？规定：时间内降到规定【值本底真空的—压力：值应控？制在2×《。10-4Pa以下】极限真空《的压力？。值可达？到8：×10-5Pa【；， ： 《。   ？   ？  3)《应延长真空泵的抽气！时间 】 ，   3  —具备加热功能的【设备：应做空载烘烤处理】 ：   —  4  根据【设备要求应设置【高纯氮气或氦气【等保：护气体？流量并应向》炉内：通入保护气》体进：行吹扫？ —    5  待淀！积，的样片应清洗烘干】后应装入在炉管内】的载片舟内》并应将载片》舟调整到工作位置 ！ ： ：     6—  设定淀积温度】、淀积时间、—淀积工艺气体比例】和进气量、淀积压】力应：在抽气正常的情况下！通入工艺气》体 —     7— ， 运：行淀积程序》进行淀积时应定【期检查工艺》气体和？保护气体流量—。 《    》。 8  淀积程序完！成后取出已淀积【。样片用光学膜厚【测试仪测试》膜层的厚度均匀【性附着力、膜层组分！和晶：体，结构：应满足？要求膜厚均匀—。性应符合设备指标要！求 ？