？ 5.4  化学气！相淀积系统 【 ？ ？5.4.1  化学！气相淀积系统的安】装应符合下》。列规定 》   —  1  应由专业！人，员正确接入工艺气体！管路及？真空管路工艺气体】应根据不同的化学气！相淀：积技术进《行选：择； 》。 ，  ？   2  气【体管道及管道部件】应使用耐腐蚀—不锈钢材料》在气路部《分、气源《瓶柜、真空排气部分！、，机，柜上方应《设排风口且排风【管道的内径不得【小于5？0mm； —     】3， ， 对使用危险气【体SiH4、—PH4？、S：F6、CH4—、CF6的化学气】相淀积系统安装【时应同时《安，装危险气体泄—漏报警装置； 】   —  4  工艺【。腔室内？的部件及馈气管道】在安装前《应进行清洁和—干燥处理 》 ？ ：。    5》  机壳接》地电阻不《应大于4Ω； 【  —  ： 6  循环—冷却水温度》应为1？8℃～2《6℃压？。力应符合设备指标】要求 ？ 5.4】.，2，  化学气相淀积系！统的调试及试运行】应，符合下？列规定 【 ，     》1  应《检查紧急《按钮是？否有效 ！    2  启动！。真空泵？时运行状态应符合】下列规定 】     — ，   1)噪声【、振动应无异常【；  】 ，    《  2)真空室真】空度可在规》定时间？内降到规《定值本？底真空的压力—值应：控制在2×10-4！Pa以下极限真空的！压力值？可达到8《×10-5》Pa； 《 ，    【     3)【应延长？真空泵的抽气时间】 ？ ：     3  】具备加热功能—的设备应做》空载：。烘烤处理《 ： ： ：。   ？ 4：  根据设备要求】应设置高《纯氮气？或氦气等保护气【体流量并《应向炉内通入保【护气：体进行吹扫 【 ：   《  5  待淀积的！样片应清洗》烘干后应装》入在炉管内的载【片舟内？并应将载片舟调【整到工作位置 】 ？   ？  6  设定淀】积温度、《淀积时间、淀积工艺！气体比例和》进，。。气量、？淀积压力应在抽气】正常的情《况下通入工艺气体 ！  —   7  运行】淀积程序进行淀积时！应，定期检查工艺气【。体和保护气体流【量   ！  8？  淀积程序—完成后取出已—淀积样片用光—。学膜厚测《试仪测试膜层—的厚度均匀性附着力！、膜层组分和晶【体结：构，应满足要求》膜厚均？匀性应符合设备指标！要求 《