： 5.4  化】学气相淀积系—统 ？ 5.】4，.，1  ？化学气相淀积—系统的安装应符合下！列规定 《 》    1  应】由专业人《员正确接入工—艺气体管路及真【空管路工艺气体应根！据不：同的：化学气？。相淀积技术进行【。选择； —    — 2  气体管道及！管道：部件应使用耐—腐蚀不锈钢材—料在气路部分、【气源瓶柜、》真空排气部分—、机柜上方》应设排风口且排【风管道的内》。径不得小于5—0mm； 【     3】  对使用危险【气体SiH4、【PH：4、SF6、CH】4、C？F6：的化学气相淀积系统！安装时应同》时安：装危险气体》泄漏报警装》置，； ：   【  4  》工艺腔室内的部件及！馈气管道在》安装前应进行清【。洁和干燥处理 【    】 5  机壳接地电！阻不应大于》4Ω； 【     6  ！循环冷却《水温度应为18【。℃，～26℃压力应符合！设备指标要》。求 ： 《 5.4《.2  化》学气相淀积系统的】调试及试运行应符】合下列规定 — ？     1【  应检《。。查，紧急按钮是》否有效？   】  2  启动真空！泵时运行状态应符】合下列规定 ！  ？      —。 1)噪声、振动应！无异常； 】 ：     》   2)真空室真！空度可在规定时间内！降到规定《值本底真空的压力】值应控制《在2：。×10-《4Pa以下极限真空！的压力值可达到【8×1？0-5Pa； ！ ，     —。    3)—。应延长？真空泵的抽气时间】 《     —3  ？。具备加热功能的设】。备应：做空载烘烤处理 ！ ：   《  ：4  根《据设备要求》应设置？高纯：氮气或氦气等保护气！体流量并应向炉【内通入保护气体进】行吹扫 】。     5 【。 待淀积的样—片应清洗烘干—后应装入在》炉管内的载》。片舟内并应将载【片舟调？整到：工作位置 ！     6  设！定淀积温度、—淀积时间、淀积工艺！气体比例和进气【量、淀积压力应在抽！气正常的情》况下通入工艺气体】 —    7  运】行，淀积：程序进行淀积时应】定期检查工艺气体和！保护气体流量 【 ？     8【  淀积程序—完成后取出已淀积】样片用光学膜—厚测试？仪测试膜层的厚度】均，匀性附？。着力、膜《层组分和晶体结构应！满足要求膜厚均【匀性应符合》设备：。指标要求 》 ，