5.—4，  化学气相—淀积：系统 【 5.4—.1  化学气相】淀积：系统的安《装应符合下列规定 ！。 ：。。 ：     》1  应由》专业人员正确接入工！艺气：体管路及真空—管路工艺气体应【根，据，。不同的？化学气相淀积—技术进行选择；【  【   2《  气体管道及管道！部，件应使？用耐腐蚀不锈钢【材料在气路部分、】。气，源瓶柜、真》空排气？部分、？机柜上方应设—排风：口且排风管道的内径！不得小于50—。mm：； ？   —  3  对使【用，危，险气体？SiH4、P—H4、S《F6、CH4、【CF6的化学气【相淀积系《。统安装时应》同时安装危险气体泄！。漏报警装置； ！。     【4  工艺》腔室内的部件及【馈气管道在安装【前应进行《清，。洁，和干燥处理 ！ ，     》5  机壳》接地电阻《不应大于4Ω； 】 《。     6  】循环冷却水温度应为！18℃～26℃压力！应符合设备指标要求！ —5.4？.2  化学—气相淀积系》统的调试及试运行】。。应符合下列》规，。定 《 ？    1 — 应：检，查，紧急：按钮是否有》效  】   2 》 启动真空泵时【。运行：状，。态应符合下列规定】 ？       ！  1)噪声、振动！应无异常； ！     —    2)真空室！。。真空度可《在规定时《间内降到规定值本底！真空：的压力值应控制在】2×10《-，4Pa以《。下极限真空的压力值！可达到8×1—0-：5Pa； ！ ，       【 3)？应延长真空泵的抽】气时间？。 《 ，     》。3  具《备加热功《。能的设备应做—空，载烘烤处理》 ， ？    》 4 ？ 根据设备要—求应设置高纯氮气】或氦气等保护—气体：。流量并应向炉—内通入保《护气体？进行：。吹扫： 《     5 】 待淀积的样片应清！洗烘：干，后应装入在炉—管，内的：载片舟内并应将载】片舟调整到》工作位置 】     6 】 设定淀《积温度、《淀积时间、淀积工】艺气体比例和进气】量、淀积压力应在】抽气正常的情况下通！入工艺气体 ！     7 】 运行淀积》程，序进行淀积时应定期！检查工？艺气：。体，和保护气体流量【 —    8 — ，淀积程序完成后取出！已淀积样《片用光学膜厚测【试仪测试膜层的厚度！均匀性附着力—。、膜层组《分和晶体结构应满足！要求膜厚均匀性应】。。符合设备指标—要求 《