5.4  ！化，学，气相淀积系统 ！ 5.4.！1  化学气相【淀积系统的》安装应符《合下列规定 ！  ？   ？1  应由专业【人员正？确，接入工艺《气体：管路及真空管路工】艺气体？应根据不同的化学气！相淀积技术》进行选择； ！  ？   2 》 ，气体管道及》管道部件应使用耐】腐蚀不锈钢材—料在：气路部分、气源瓶柜！、真空排气部分、机！柜上方应《设，排风口且排》风管道的《内径不得小于50】mm：； 【    3  【对使用危险》。气，体，Si：。H，4、PH4、—SF：6、CH4、CF】6的化？学气相淀积系统安装！时应同时安装—危险：气体泄漏报警装【置； ？ 《     4—  工艺腔》室内的部件及馈气管！道在安？。。装前应？进行清洁和》。干燥处理 】 ：  ：  5  机壳接地！电阻：不应：大于4Ω；》 ，   【  6  循环冷却！水温度？应为18℃～26】。℃压力应符》。合设备指标要求 】 5—.4.2  化学】气相淀积系统的调】试及试运行应符合下！列规：定， 《 ，     1  应！检查：紧急按钮是否—有效 【   ？  2  》启动真空泵时运行状！态应符合下列规定】 》  ： ，      1)噪！声、振动《应无：异常； — ，   《     》 2)真空》室真空度可在规【。定时间内降到—规定值本底真—空的压力值应控制在！2×10-4Pa以！下极限真空》的压力？值可：达到8×《10-5Pa—； 【      —  3)应延长真】空，。泵的抽气时间 ！   》  3  具备【加热功能的设备【应，做空载烘烤处理 ！  》  ： 4  根据设【备要求应《。设置高纯《氮气或氦《气，等保护气体流量【并应向炉《内通入保护气体【进行吹扫 —   — ， 5：  待淀积的—样片应清洗烘干【后应装入在炉管【内的载片舟内并应】将载：片舟调整到工作【位置 ？     ！6  设定》淀积温度《。、淀：积，时间、淀积工—艺气体比例和—进气量、淀积压【力应在抽气正常【的情况？下通入工艺气体【 《   《  7  运行淀】积程序进行》淀积时应定期检查工！。艺气体和保护气体流！。量 — ，    8  淀积！。程，序完成后取出已淀积！样片用光学膜厚测】试仪测？试膜层的厚度均【。匀性附着力、膜层组！分和晶体结构应满足！要求：膜，厚均：匀，性应符合设备指标要！求 ？