5.3 】 真空？蒸发镀膜《机 — 5.3.1】  真空蒸发镀【膜机的安《装应符合《。下列：规定  ！   ？1  设备的主泵】为扩散泵《时应在泵的》进，气口一侧安装油蒸气！捕集井； 】   《。  2  在—镀膜过？程中发生射线—的设备应《。加装防射线镜—。片； 】    3》  真空室》内的部件《在，安装前应进》行清洁和《干燥处理； 【   —  4  应装【好真空测量》规，。管，且与：。真空计？连，接好；？   】 ， 5 ？ 设备接地电—阻应小于4Ω— ： 5》.3.2  真空蒸！发镀：膜机的调试》及试运行应符—合下列规定 ！    》 1：  应检测设备【管路接口是否—漏气具备加热功能】的应先空《载烘烤 】     2 【 应核查设备机【械真空？泵、分子泵、—低温泵等是否运转正！常应检测《极限真空《、漏气率是否—满足要？求  】   3《  应？检查紧？急按钮？是否有效 【     【4  制冷系统和输！液系统应《连续运行24h无渗！漏现象 】  ：   5  —应将待镀工件—清，洗干：。净烘干装在机内【的载片台上应在电子！束蒸发枪坩埚内装入！镀膜：材料 《 ？     》6  关上》镀膜室大《门启动真空泵—时运行状态》应符合下《列规定 《 ， ：    》  ：。   1)噪声、】振，动应无？异常； —      】   2《)真空室真空度可】在，规定时间内降到规定！值本底真空的—压力值应控》制，在，2，×10-《4Pa以下极限真空！的压力值可达到【2×10-》5Pa； 【 ，   《。      3【)应延长真空泵的】抽气时间 ！。  ：   7《。  应通过变频【器调频将工件—架调节转速 【 《    8》  应？。向镀膜室内充—入，反，应气体并维》持所需的《真空度？运行中还《应定期测量真空管】道及镀膜室等部位的！压力 ？ 》   ？。 9  应》调整电子《枪的阴极电流—先预熔镀膜材料【。当镀膜材料充—分预熔后应加大【阴极电流《 》     1—0  应设置蒸【发，工艺参？数，镀，膜开始时应根据膜厚！仪读数达到所需镀】膜厚度后关闭蒸【发挡板然后应—将电子束蒸发枪阴】极电流？调至：零 》   《  ：11  在工—。件加热烘烤过—程中设备传动部分】应运转自如应无卡】滞、松动现象— 》     12  ！取出工件《后测试膜层》的厚度？及均匀性、膜层附着！力应满足设备指标要！求 ？