5》.3： ， 真空蒸发镀膜机 ！ 《 ？5.3.1  真空！。蒸发镀膜机的安装】应符合下列》规定  ！。 ， ， 1  设备—的主泵为扩散泵时】应，在泵的进气口—一侧安装油蒸气捕集！井； ？ 《     2  在！镀，膜过：程中发生射线的设】备应加装《防射线镜片； ！     3】 ， 真空？室内的部件在安装前！应，进行清洁和干—。燥处理； — ， ：    《 4  应》装好真空测量规管】且与真空计连—接好； 》 ？。    《 5  设备接地电！阻应小于4Ω ！ ： 5.3.2  】真空蒸发镀膜机【的调试及试运—行应符合下列规定】 》   ？  1？  应检测》。设备管路接口是否漏！。。气具备加《。热功能的应先空载烘！烤 》     —2  应核查设备】机械真空《泵，、分子泵、》低温泵等《是否运转正》常应检测极限真【空，、，漏气率是否满足【要求  ！   3 》 ，应检查紧急按钮是】否有效 ！    《4  制冷系统【。和输液？系统应连续运行【。24h无渗》漏现：象 【 ，。   ？5  ？应将待镀工》件清洗干《净烘干装在》机内的载片台—上应在电子束蒸发】枪坩埚？内装入镀膜》材料 》     【6  关上镀膜【室大门启《动，真空泵时运行状态】应符合下列规定【 《     —    《1)噪声、振动应无！异常； ！ ，。     》  2)真空室【。真空度可在》规定时间内降到规】定值本底真空—的压力？值，应控制在《2×10《-4P？a以：下极限？真空的压力值—可达到2×10【-5：Pa：； 【       【 3：)应延长《真空泵的抽气—时间  ！   7  —应，通过变频器调频将】工件：。架调节转速 — ： ， ，  ：   ？8  应向镀膜室内！充入反应气体—并维持所《需，。的真空度运行中【还应：定期测？量真空？管道及？。镀膜室等部位的压力！ 《 ，     9 【 应调？整，电，子，枪的阴极电流先预熔！镀膜材料当镀—膜材料充分预熔后】应加大阴极电流【 《  ？   10  应设！置蒸发？工艺：参数镀膜开》始，时应：根据：膜厚仪读数达到所需！。镀膜厚度后关—。闭蒸发挡板然后应】将，电子束蒸发枪阴【。极电流调至零 ！。 ？    11—  在工件加—热烘：烤过程？。中设备？传动：部，分应运转自如应无卡！滞、松动现象 ！ ？    12—。  取出工件后测试！。膜层的厚度及均【。匀性、？。膜层附着力应满足】设备：。指标要求 —