。 ， ？。5.3  真—空蒸发？镀膜机？ ， 5】.3.1  真空蒸！发，镀膜机的安装应符合！。下，列规定 《 ： ，    》 1  《设备的主泵为—。扩散泵时应在—泵的进？气口：一，。侧安装油《蒸气：捕，集井； 】   ？  2 《 在：镀膜过程中发生【射线的设备》应加装防射线镜片；！ ，    】 3 ？ 真空室内》的，部件在安装前应进行！清洁和干燥处理； ！。     ！4  应装好真【。空测量规管》且与真？。空，计连：接好； 《 ：     【5  ？设备接地电阻应【。小于4Ω 】 5.3.—2  真空蒸发镀膜！机，。。的调试及试》运行应符合下—列规定 — ：     》1  应检》测，设备：管路：接口是否漏气具备加！热功能的《应，先空载烘烤 【 ：  ？   2《。  应核查设备机械！真空泵、分子泵、】。低温泵等是否—运，转正常应检测极限真！。空、漏气率是否满足！要求： ，。     ！3  应检查紧【急按钮是否有—。效  】   4  制冷系！统和输液《系统：。应连续运行24【h无渗漏现象 ！     【5  应将待镀工件！清洗干净烘干装在】。机内的载片》台上应在电子束【蒸发枪坩埚内—装入镀膜材料— 》     6 【 关上镀《膜室大门启动—。真空：。泵时运？行状态应《符合下列规定 【 》   ？  ：   1《。)噪声？、振动应《无异常？； 《 ：        】 2)真空室真空】。度可在？规定：时间内降到规定值本！底，。真空的压力值应控】制，在2×？10-？4Pa？以下极限真》空的压力值》可达：到2×10》-，5Pa； —    【     3)应】延长真空泵》的抽气时间 ！    》 7  应》通过变频《器调频将工件—架调：节转速 】     》8  应向》镀膜：室内：充入反应《气体并维持所需的】真空度运行中—还应定期测量真【。空管道？。。。及镀膜室等》部位的？压力 《 ：     9  ！应调整电子枪的【阴极电流先预熔镀】膜材料当镀膜材料】充分预熔后应加【大阴极？电流 【     1—0  应《设置：蒸发工艺参数镀膜】开始时应根》据膜厚仪读数达到】所需镀膜厚度后关】闭蒸：发挡板然后应将电】子，束蒸发？枪阴极电流调—。。至零  ！   11  【在工件加热烘烤过】程中设备传》动部分应运》转自如应无卡滞【、松动现象》  【   12  取】。出工件后测试—。膜层：的厚度及《均匀性、膜层附着力！应满足？。设备指标要求 【 ，