5.—3 ： 真空蒸《发镀膜？机 【 ，。 5：。。.3.1  真【空蒸发镀《膜机的安装应符合】下列规定 】     1  ！。设备：的主泵为扩》散泵时应在泵的【进气：。口，一，侧安：装油蒸？气捕集？井，； 《 ， ，     》2  在镀膜过程】中发生射《线的：设，备应加装《。。防射线镜片》；  】   3 》 真空室内的部件】在安装前应进行【清洁和干燥处理；】   】  4  》应装好？。真空测量规》管且与真空计连接好！； 》     5【  设备接地电【阻应：小于4Ω ！ 5.3.》。2 ： 真空蒸发镀膜机的！调试及试《。运行应符合》下，列规定 】    《 1  应检测设】备管路接口是否漏气！具备加热功能—的应先空载烘—烤 》     2  ！应，。核查设备机械真空】泵、分子泵、低【温泵：等是否运《转正常？应检测？极限真空、漏气【率是否满足要求 ！。     3！  ：应检查紧急按—钮是否有效 【 ， ：   ？  4  制—冷系统？和输液系统应连续】。运，行24h无渗漏现】象   ！  5  应将【待镀工件清洗干净】烘干装？。在机内的载》片台上应在电子【束蒸发？枪坩埚内装入镀膜材！料   ！  6？  关上镀膜室【大门启动真空泵时】运行状态《应符合下列规—定，  【       1)！噪声：、振动应《无异常； ！      —   2)真空室】真，空度可在规定—时间内降到规—定值本底真空的【压力值？。应控：制，。在2×10-4Pa！以下极限真空的压力！值可达到2×10】-5Pa；》 》         ！3)：应，延长：真空泵的抽气时【间   ！  ：7 ：。 应通？过变频器调频将【工件架调节转—速 《   》  8  应向镀】膜室内充入反应气】体并维持所需—的真空度运行中还】应定：期测量真空管道及】镀膜室等部位—的压力 【   《  9  应调整】电子枪？的阴极？电流先预熔镀膜【材料当镀膜材料充】分预熔？后应加大阴极电流】   】  10  —应，设置蒸发工》艺参数镀膜开始时】应根据膜厚仪—。读，数达：到所需镀膜厚度【后关闭蒸发》挡板然后应将电子束！蒸发枪阴极电—流调至？零   ！  11  在【工件加热烘》烤过程中设备—传动：部分：应运：转，自如应无卡》滞、松动现象—   】  ：12  取出工件】后测：试膜层的厚度及均】匀性、？膜，层附着力《应满足设备指标要求！ ：