《5.3  真—空，蒸发：镀膜机 】 ： 5.3.1—  真空蒸发镀膜】机的安装应》符合：。下列：规定 【     》1  设备》的主泵为扩》散泵时应《在泵的进气口一侧安！装油蒸气捕》集井； — ：   ？  2  》在镀膜过程》中发生射线的—设备应加装防—射，线镜片； 》   【  ：3  真空》室内的部件在—安装前应进行清【洁和干燥《处理； 【     4【  应？装好真空测量规【管且与真《空，计连接好；》 ？ ：     》5，  设备接地—电阻应小于》4Ω ？ ： 5《.3.2  —真空蒸发《镀膜机的调试及【试运行应《符合下？列，。规定 》    — 1：。。。  ：应检测设备管路【接口是否《漏气具备《加热功？能的应先空载烘烤】  【  ： 2  应核—查设备机械》真空泵？。、分子泵、低温泵】等，。是否运转《正常应检测极限真空！。、漏气率是否满足】要求 ？ ：    —。 3  应检查紧】急按钮？。是否有效 》   【  4  制冷【系，统，。和输液系统》应连：续运行24h无渗漏！现象 】    5  【应将：待，镀工件清《洗干净烘《干装：在机内的载片台上应！在电子束蒸发枪坩】埚内装？入镀膜？材料 》。。 ，     —6 ： 关：上镀膜室大门启【动真空泵时运行【状态应符合下—列规定 —   》。   ？  ：。 1)噪声》、振动应《无异常；《 ？   》      —2，)真：空室真空度可在【规定时间内降到【规定值本底真空的压！力值应？控制在2×10-4！。Pa以下极限—真空：的压力值可》达到2×10-5P！a； 《  》      — 3)应延长—真空泵的《抽气时间 】     7【  应通过变频【器调频将《工件架？调，节，转，速 【 ，   ？8  应向镀—膜室内充入》反应气？。体并维持所需的真】空度运行中还应定期！测量真空管道及镀】膜室等部位的压力】 《     9 】 应：调整电子枪的阴极】电流先预熔镀膜【材料当镀膜材料【充分预熔后应加大阴！极电流 《。。    】 10  应设【置蒸发工《艺参数镀膜开始时应！根据膜厚仪读数达到！所需镀膜厚》度后关闭蒸》发挡板然后应将【电，子束蒸发枪阴极电】。流调至零 》  —  ： 1：1  在工件—加热烘？烤，过程中设备传动部】分应运转《自，如应无卡滞》、松动现象 【     】1，2  取出工—件后测试膜层—的厚度及均匀性、膜！。层附着力应满足【设备指？标要求 》