5》.3  真空—蒸发镀膜机 —。 ：。 《 5.3.1  真！空蒸发镀膜机的【安装应符合》下列规？定 【  ：  ：1，。  设备的主—泵为扩？散泵时？。应在泵的进气口一侧！安装油蒸气》捕集井； 】     2【 ， 在镀？膜过程中发生射线的！设备应？。。加装防射线》镜片：； 《     3 ！ 真：空室内的部》件在：安装前应进行清【洁和干燥处理； 】 》  ：  ：4  应装好真【空测量规管且与真】空，计连接好； 】  《   5 》 设备接地电阻应】小于4Ω《 ： 5.3.】2 ： 真：空蒸发镀膜》机的调试及试运行应！符合下列规定 【     ！1  应检测设备】管路接口是否漏气】。具，备加热功能的应先】空载烘烤 【     2 ！ ，应核查？设备：。机械真空泵、—分子泵、低温泵【等是否运转正常应】检测极限真》空、漏气率是否满】足要求 【     3【  应检查紧急【。按钮是否有效— ：     】4  ？制冷系统和》输液系统应》连续运行24h【无渗漏现象 【。 ：   《  ：5  应将待镀【工件清？洗干净烘干装在机】内的载片台上应在电！子束蒸发枪》坩，埚内装？。入镀膜材料 】     6 ！ 关上镀膜》室大：门启动真空》泵，时运行状态应符【合下列规《定 ？ 《     》   1)噪声、】振动：应无异常； 【 ：     —    2)真空室！真空度可在规—定时间内降到—规定值？。本底：真，空，的压力值应控制在】2×10-4Pa】以下极限真空的压力！值可达到《2×10-5Pa；！ 》   ？      —3)应？延长真空泵的抽【气，时间 —     —7  应通过—变频器调频将工件】架调节？转速 】   ？ 8 ？ 应向镀膜》室内充入反应—气体并维持所—。需的真空度运行中还！应，定期：测量真空管道及镀膜！室等部位的压力 】 《。。     9—  应调整电子枪】的阴极电《流先预？熔镀膜材料当镀【膜，材料充？分预熔后应》加大阴极电流 【。     ！10  《应设置蒸《发工艺参数镀—膜开始时应》根据膜厚仪读数达到！所需镀？膜厚度后关闭蒸【发挡：板然后应《将电子束蒸发—枪阴极电流调至零】 》    《 1：1  在工件加【热烘烤过程中设备传！动部分？应运转自如应—无卡滞、松动—现象 《 ， ？    12 【 取出工《件后测试膜层的厚】度及：均匀性？、，膜层：附着力应满》足设备指标要求 】 ，