5》.3  真空—蒸发镀膜机 】 ：。 5《.3：.，1  真《空蒸发镀膜机—的安装应《符合下列规定 ！     1】。  设备的主泵为】扩散泵时应在泵的】进，气口一侧安装油蒸】气捕集？井，； 《  《 ，  2  在—镀膜：过，程中发生射线的设备！应加装防射线镜片】； ：。 《 ，    《3  ？真空室内的部件在安！装前：应进：行清洁和干燥处理；！  【   4  应装好！真空测量规管且与】。真空：计连接好； ！   《  5  》设备接地电阻—应小于？4Ω 》 5.3.【2，  真空蒸发镀【膜机的？调试及？试运行应符合下列】规，定 《 ：。     1  应！检测设备管》路接口？是否漏气具备加热功！能的应先《空，载烘：烤 》    》。 2  应》核查设备机械—真空：泵，、分子泵《、低温？泵等是？否，运转：正，常应检测极限真【空、漏气《率是否满足》要求 ？ 《     3  】应检查紧急按钮【是否有效 】。   《  4  制冷系】统和输液系统应连】续运行24h无渗漏！现象 】    5  【应将待？镀工件清洗》干，净烘干装在机内【的载片台上应在【电子：。束，蒸发枪？坩埚内装入镀膜材料！ ，     ！6  关上》镀膜室大门启动真】。空泵时运行》状态应符合下列规定！ ， ， ？    《     1)噪声！、振动应无异常； ！ 《      —   2《)真空？室真空度《。可，在规定时间内—降到规定值本—底真空？的压力？。值应控制在2×1】0，-4P？a以下极《限真空的压力值可达！到2×10-—5Pa？； ： ？  ？       3】)，应延长真空泵的抽气！。时间  ！   7  应通】过变频器调频将【工件架调节转速 】 》   ？ 8  《应向镀膜室》内充入反应气体【并，维持所？需的真空度运行中】还应定期测》。量，真空管？道及镀膜《室等部位的》压力：  【  ： 9 ？ 应调整电子—枪的阴极电流—先，预熔镀膜材料—。当镀膜材料充—分预熔后应加—大，阴极电流 【 ：    《 10 《 ，应设置？蒸发工艺参数镀膜开！始时应根据膜厚仪】读数达到所需镀【膜厚度后关闭蒸发挡！板然后应将电—子束：蒸发枪阴《极电：流，调，至，零 ？ ，。     11！  ：在工件加热烘烤过程！中，设备传动部分应【运转自如应》无卡：。滞、松动现象—    ！ 12？  取出工件后测】试膜层的厚度及均】匀性、膜层附—着力应？。满足设？备，指标要求 —