。 5》.2  磁控溅射】镀膜机 【 ： 5.《2.1  磁控溅射！镀膜机的安装应符合！下列规定 ！ ，  ：  1  》循环冷却《水路进、出口水管】。的绝缘管《长度不应小于1【m射频磁控溅射设备！的冷却水《路进、出口水管的】绝缘管长度》不应小于5m； ！     】2，  循环冷却—水温度应在》15℃～25℃压力！应满足设备》使用要求； ！  ？   3《  设备接地电【阻应小于4Ω 【 《 5.2.2—。  磁控溅射—镀膜机的调试及试运！行，。。应符合下列规—定  】 ，。  1  待溅射】基板应清洗并应在烘！干后安装《。到机内的载片台【上； 》。 ，    》 2  设》。备通电后应检查【设备操作软件是【否，工作正常； — 》   ？。 3  应检—查各运动部件—是否正常《并应对各运动部件】进行位置校正； ！ ，。     4】  应安装好溅【射靶材靶对机壳的】绝缘电阻《不得小于1MΩ；】    ！ ，5  应检测—设，备管路接口是否【漏气具备加热—功能的管《路应先空载》烘，烤； 【    《 6  启动—机械：泵、分子泵、低温】泵时运行状》态应正？常噪声、振动应符合！要求真空室真空度】可在规定《时间内降到》规定值本底真空【的压力值应控—制在：2×10-》4Pa以下极—。限真空度应可达到4！×10？。-5Pa； ！     7【  ：设备正常运行时【溅射室的极限压【力增长不得超—过3％； ！。     8—  应？。。通入工艺气体并【确保送气量平稳；】   】 ， 9  应按规定】设置溅射程》序，及溅射功率》、溅射气压；—    ！ 10  应在保证！溅射室真《空度、设备正常起】。辉的：情况下运行溅射程】序，； 》     1【1  在机械臂【自，动传送基板》时检：。查传：送机械臂并应校正】机械臂到各》个，腔室以及取送—基板的？位置：校正完成后》应进行？不间断的基》板传送测试传送路径！应包括所有腔室【； 《 ？    12 【 溅射程《序自动完成后取【出已溅膜基板测【试膜层？。的膜厚均匀性及附】着力应满足要求【 ：