， 3 》 ，基本规定 】 》 3.1  施【工，。条件 ？ 3】.1.1  —微组装设备安装前洁！净厂房应符合下列规！定 ？    【 ，1  应空态验收】合格净化空调系【统应：连续：正常运行24h【以，上； 》 ？ ，   2 》 温度宜为》20℃～26℃； ！    】 3： ， 相对湿《。度宜为30》％～：70％； ！     4  】地坪承载《能，力应满足设备承载要！求； — ，  ：   5 》 净空？高，度应满足设备安装】要求； 《     ！6，  厂房入》口的人身净化设施应！已启用； ！     7—  ：应具备设备搬入口；！。  【   8  消【。防，设，施，应，已通过专项验收【可以：启用； 】    《 ，9  防静电工【作区的？防静电？设施应已通》过测：试验收； —   —  10  应有符！。。。合要求的电源、【气，。源、水源和接地【端子； 【 ：    《11 ？ 应：设置：员工安全疏散通道 ！ ， 3.1【.，2  微组装设【备安装应《具备下列技术文件 ！。    】。 1：  设备《安装：平，面图； 】 ，   ？ 2  设备装【。箱清单； —。     3！  设备制造商【提供的设备安装【、运：行、维护技术文件及！安，装技术参《数 《 3.》1.3  进入净】化厂房的施》工，人员应取得进入洁】净区的通行证特殊】工，种应按有关规—定持证上《岗 》 ：3.1.4 — 设备安装及配管】配线：工程材料应符合现行！国家标准电子工【业洁净？厂房设计规范GB】 50472的有关！规定 】3.1.5》  施工用的机具】应符合现行国家【标准微？电子生产设备—安装：工程施工及验收规范！GB ？50467的有关规！定 ？