：。 3  基本【规定 — ： ？ 3.1《  施工《条件 — 3.1【.1  微组装设】备安：装前洁净《厂房应符《合下列规定 — ？     1 】 应：空，态验收合格》净化：空调系？统应连续正常运【行，24h以上；— ， ，     】2  温《度宜为20℃～26！℃； 【  ： ，  3  相对湿度！宜为3？。0％～70％—； ？ 《    《4  地坪承—载能力应满》足，设备承载《要求； 】 ， ，  ： 5  净空—高度应满足设备【安装要求； 】     【6  厂房》。入口：的人身净化设施应已！启用；？ 》。 ，  ：  7  》。应具备设备搬—入口； ！    8 — ，消防设施《。应已通过专项—验收可以启用—； 《     9】  防静电工作【区的防静电设施应已！通过测试验收；【 ： ： ：    《。10  应有符合】要求：的电源、气源、【。水源和接地端子； ！  —。   11 — 应设置《员工安全疏散通【道， ？ ？3.：。1.2  》微组装设《备安装应《具，。备下列技术文—件，。。 《     1  ！设备安装平面图；】 ， 》    2 — ，设备装？箱清单； — ， ？   ？ 3：  设备制》。。。造商提供的设备【安装、运行》、维护技术文件及】安装技术参》。数 》 3.1》.3  进入净化】厂，房的施工人员应取】得进入洁净区的【。通行证？特殊工？种应按有关规定【持证：上岗 【 3.1.4—。  设备安装及配】管配线工程材料应符！合，现行国家标准电子】工业洁净厂房—设计规范GB 【50472的有【关规：定 3.！1.5  施工【用的：机具应符合现行国】家标准微《电，子生产设备安装工程！施工及验收规范G】B 504》6，7的有关《规定 ？ ，