， 3  基本】规定 《 【 3.1  施工】条件 ？ ？ ？。 3.1.1— ， 微：组装设备安装—前，。洁净厂房应符合【下列规？定 —    《 1  应空态【验收合格净化—空调系统《。。。应连续正常运行【。2，4，h以上？； —     2  】温，。度宜：为20℃～26℃；！ ？。     【3  相对》湿，。。度宜为3《。0％～70％； 】  —   4  地【坪承载能《。力应：满足设备承载—要求：； 》。     —5  净空高度应】满足设备《安装要求； —。 ： ：  ：   6  厂【。房入口？。的人身净化设—施应已启用； ！ ，   《  7？  应具备设备搬入！口； 】    8》  消防设施—应已通过《专项验收可》以启用； ！  ：。   ？9  防静电—。。工作区的防静电设施！应已通过测》试验收； —。  》。   10  应有！符合要？求的电源、气—源、水？源和接地端子； ！    【 11？  应？设置员工安全—疏散通道 】。 3.1.2【  ：微组装设备安—装应具备下列技术文！件 【   ？ 1  设备安装平！面图；？ ： ：   《  2 《 设备装箱清单； ！     ！3  设备》制，造商提供的设—。备安装、运行、维】护技术文《件及安装技》术参数？。 《 3.1.3  ！进入：净化厂房的》施工人员应》取得进入洁净区的】。通，行证：特殊工？种应按有关规定持证！上岗 》 3《.1.4《 ， 设：备，安装及配管配—线工程材料应—符合现？行国家标准电子【工业洁净厂》房设计规范GB 5！0472的有—关规定？ 《 3.1》.5  施工—用的机？具应符合现行国家】标准微？电子生产设》备安装工《程，施，工及验收规范GB ！5046《7的有关规定 】