3  【基本规定 【 》 3？.，1  施《工条件？ ， 》 3.1.1【。。  微组《装设备安《装，前洁净厂房应符合】下列：。规定 》 ：     1—  应空态验—收合格净化空调系】统，。。应连续正常运行2】4h以上； 】 ？    《2  温度宜为2】0，℃～26℃；—  【   3  —相对湿度《宜为30《。％～70％》；  】  ： 4：  地坪承载能力应！满足：设备承载要求； 】 ， 《    5 — ，净空高？度应：满足设备安装要求】； ？。 ？ ，    6  厂房！入口的人《身净：化，设施应已启用—； 》     7 】。 应具备设备搬入口！；   ！  8？  消防设施—应已通过专项验【收可以启用； 【 《  ：   9 》 防静电工作区【。的防静电《设施应已通过—测试验收；》 ：     1！0  应有》符，合要求的电源、【气源、水源和接地端！子；：    ！ 11  应设置】员工安全疏散—通道 《 3》.1.2 》。 微组装设备安装】应具备？下，列技术文件 【 ？     1  设！备安装？平面图； ！     2 【 设备装箱清单；】   】  3 《 设备制造商提供】。的设：备安装、运》。行、维护技术文件及！安装技术参》数 ？ ， ？3.1.3》  进入《净化厂房的施工【人员应取得进入洁净！区的通行证特殊【工种应按有关规定持！证，上岗 【 ，3.：1.：4  设《备安装？及，配管配线工》程材：。料应符合现行—国家：标准电？子工：业洁净厂房设计【规范G？B 5？。0，472的有关规【定 ： 》3.1.5》。 ， 施工用的机具应】符合现行国》家标准微电子生【产设备安装工程【施工及验收规范GB！ 504《6，7的有？关规定 》