： 3？。  基本规定 】 — 3.1  【施工条件 】 ： 3.1.1【 ，。 微：组装设备安装前洁】净厂房应符合下列】规定  ！   1  应空】态，验收合格净化空调】。系统应连续正常运】行24h以上—；，   】 ， ，2 ： 温度？宜为2？0℃～2《6℃：；， 《    》 3 ？ ，相对湿？。度宜为3《0％～70％； ！ 《    《4 ： 地：坪承载能《力应满足设备承【载要求； 》 ？ ，     5  】。净空高？度应：满足设备安装要求；！ ，。 ，  》   6  厂房入！口的人身净化—设施应？已启用？； 》     7 】 应具备《。设备搬入口》； 【    8》  消防设施应【已通过专项验—收可以启用； 】   —  9  防静电】工作区的防静—电设施？应已通？过测试验收； ！ ？   ？ 10  》应有符合要求的电】源、：气源、水源》和接地？端子； ！    11  】应设置员工》安全疏？散通道？。 3【。.1.2  微【组装设备安》。装应具备下列技术】文件 《    【 1 ？ 设：备安装平面图； 】    】 2  《设，备，装箱清单； 【 ？   ？  3  设备【制造商提供的—设，备，安装、运行》、，维护技术《文，。件及安装《技术参数 》 ，。 ？ ，3.1.3  【进入净化厂房的施工！人员应取得进入洁】净区的通行证特殊】工种应？按有关规定》持证上岗《 3.1！.4：  设备安装及配管！配，线工程材料应—。符合现行国家标【准电子工《业，洁，净厂房设计》规范：GB 50》472的有关—规定 】3.1.5 — 施工用的》机具应符合现—行，国家标准微电子生产！设备安装工程施工】及验收规范GB 5！0，46：7的：有关规定 》 ，