， ， 3  基本规定！ ， ： 《 ， 3.《1  施工条件 】 【3.1.1  【微组装设《备安装前洁净厂【房应符合下》列规定？    ！ 1  应空态验】收，合格净化空调系统应！连续正常运行2【4h以上； — ，  》 ，。  2 《 温度宜为20【℃～26℃》；  】。   3  —相对湿度宜为30】％～：70％； 【     【4  地坪》承载能力应满足设备！承载要求； 【     】5，  净空《高，度应：满足设备安装要【求；  ！   6  厂【房入：口的人身净化设施】。应，已启用？。；  】   7 》 应具备《设备搬入口； ！    — 8  消防设施】。应已通过专项验收】可以启用； —  —   9  —防静电工作区的【防，静电设施应已通过测！试，。验收； 】     10【。。  应？有符合要求的电【源、气？源、水源《和接地端子； ！     1】1 ： 应设？置，员工安全疏散通道 ！ 《 3.1.2 【 微组装设备安【装应具备下》列技术文件 ！     1【  ：设备安装平面图；】    ！ ，2  设备装—箱清单； ！    《 3  设备制【造商提供的》设备安装《、运行、维护—。技术文件及》安装：。技术参？。数 ： 3.【。1，.3  进入净化厂！房的施工人员应取得！进入洁净区的通行】证特殊工种》应按有关规定—持证上岗 【 3.1—.4：  设备安装及配管！。配线工程材》料应符合现行国家标！准电子？工业洁净厂房设【计规范GB 504！72的有关规定 】 3.1.！5  ？施工用的《机具应？符合现行国》家标准微电子生产设！备安装工程》施工：及验：收规范GB 5【0467的有关规定！ ：