3  基本！规定 】 3》.1  施工—条件： ： ： 3.—1.1  》微组装设备安装【前洁净厂房应—。符合下列规》。定 —     1 【。 应空？态验收合格净—。化，空调系统应连—续正常？运行24h以上；】。  【。   2  温度宜！为20℃～26℃】；  】   3《  相？对湿度宜为3—0％～70％—； 《 ：     4  地！坪承载能力应满足设！备承载要求； 】 ？     5 【 净空高度应满足设！备安装？。要求； —     6 ！ 厂房入口的—人身净化设施应已】启用； 》。 ， ？    7 — 应具备《设备搬入口》； ？ 《    8  【消防设施应》已通过专《项验：收可：以启用； 【    — 9 ？ 防：静电工？作区的防静电设施】应已通过测》试验收；《  【 ，  10 》 应：有符合？要求：的电：源、：气，源，。、，水源和接《地端子； 【     【1，1  应设置员【工安：。。全疏散通道 【 ： 3？.1.？。2  微组》装，设备安装应具备【下列技术文件 【 《     》1  设备安装【平面：。图；：。   】  2？。  设？。备，装箱清单；》 《  ？。   3  设【。备制造商提供的设】备安：装、运行《、，维护技术文件及安】装技术参《数 — 3.1.》3  进入净化【厂，房的：施工人员应取得进】入，洁净区的通》行证特殊工》种应按有关规定【持证上岗 — ？ 3.1.4  设！备安装？及配管配《线工程材料应符【合现：行国家？标，准电子工业洁净【。厂房设计规》范GB 50—472的有关规定 ！ 3.1.！。5  施工用的【。机具应符合现行国】家标准微电》子生产设备安装工程！施工及？验收规范GB 50！467的有关规【定 ？