？ 3  基》本规定 】 ： 3.1 【 施工条件 — 》 ， 3.1.1  微！组装设备安装前洁净！。厂房应符合下列规】定 【。  ：  1 《 应空态验》收，合，格净：化空调系统应连续正！常运行？24h以《上； ？ 》    2  【。温度宜为20℃～2！6℃；？。 ？。  《。   3 》 相对湿度宜为【30％～70％；】 《     4【。  地坪《。承载能？。力应满足《设备承载要求—； ： 》 ， ，  5  净—空高度应满》足设备安装要求；】。   】。 ， 6  《厂房入口的人身【。净化设施应已—启用； 》     】7  应具备设备搬！入口； —     8 ！ 消防？设施应已通过—专项验收可》以启用；《 》。   ？ ， 9  防静电工】作区的防静电设施】。应已通？过测试验收； ！     1】0  应《有符合要《求的电源、气源【、，水源和？接地端子； 【 ， ？ ，   1《1  应设》置员工？安全疏散通道 【 3.【1.2 《 微组装设备安装】应，具备下？列技术文《件 《 ？    1》。  设备安装平【面图； 》   — ， 2  设备装【箱清：单；  ！。   3  设备】制造商提供》的设备安装、运行】、维护技术》文，件及安装技术参【数 【3.1.3 — 进入净化厂房的】施工人员应取得进】入洁净区的通行证特！殊工种应按》。有关规定持证上岗】 ： ？ 3.1.4—  设备安装及【配管配线工程材料应！符合现行国家标【准电子工业洁—净厂房设计规范GB！ 504《72的有关》规定 】3.1.《。5  施工》用的机具应符合【现行国家标》准微电子《生，产，设备安？装工程施工及验【收规范GB 5【0467的有关规】定， ：