， 3  基本】规定： ， — ？3.1  施—工条件 】 3.1.1 ！ ，。微组装设《备安装前洁净厂房应！。符合下列规定 ！    — 1  《。应空态？验收合格净化—。空调系统应》连，续正常运行24h以！上； 《     】2  温度宜—为，20℃～《26℃； ！   ？  3  相对湿】度宜为30％～70！％； 》  《   4 》。 地坪承载能力应满！足设备承载要求； ！ ？    》 5  净空高度应！满足设备安装—要求； 【 ：  ：  6  》厂房入？口的人身净》化设施应已启用【； —。   ？  7  》应具备设备搬入口；！ 》     8—  消？防设施应已通—过专项验收可以启】用； 【     》9  ？。防静电工作区的防】静，电设施应已》通过测？试验收； 》 《     1—0  应有》符，合要求的电源、气源！。。、水源和接地端子】； 《    — 1：1 ： 应：设置员工安》全疏散通道 【 ： ：3.1.2》  微？组装设备安装—应具备下列技术文】件  】   1  设【备安装？。平面图； —。  》   2  —设备装箱清单； ！。    【 ，3  设备制造商】。。提，供的设备安装、运行！、维护？技术文件《及安装技术参数 】 3.【1，.3  进入—净化厂？房的施工人》员应取得《进入洁净区的通行证！特殊工种应》按有关规定持证【上岗 》 3.1—.，4  设备安装【及配管配线工—程材料应符》合现行国家标准电子！工业：。洁净厂？。房设计规范》GB： 5047》2的有关规》定 》。 3.《1.5  》施工用的机具—应，符合现？行，国家标准微电子生】产设备安装工程【施，工及验收规范G【。B 50467的有！关规定 《 ，