3  【基本规定 — 》 3.1  施！工条件 ！ 3.《1.1  》微，组装设备安装前洁净！厂房应符《合下列规《定  】   ？1  应空》态验收合《格净化空《调系统应连续正常运！行24h以上； 】     ！2  温度宜—。为20℃～26℃】； 》 ，     3  相！对湿度宜《为30？％～70％》； —  ：。   4  地坪】承载能力应满足设】备，承载要求； ！  ？   5  净空高！度，。应满足设备安装要】求； ？    】 6  《厂房：入口的人《身净：化设施应已启用；】 ：。    【 ，7  应具备设【备搬：入，口； —     8  ！。消防设施《应已通过专项验收可！以启用； 》 ，。 《    9 — 防静？电工作区的》。防，静电设施应》已，通过测试《验收； 【     10】。  应？有，符合要？求的电？源、气源、水—源和接地端子；【 》。    《 11  应设置】员，工安全？疏散通道 — 3.1【.2  微》组装设备安装应具备！下列：技术文件 》 ：  《   1  —设备：安装平？面图； 】     2  设！备装箱清单； 】 ，     【3  设备制—造商提供的设备安装！、运：行、维？护技术文件及安装】技，术参数 【 3.1》.3  进》入净化厂房的施【工人员应取得进【入洁：。净，区的通行证特—殊工种应按》有关规定持》。证上岗 ！3.：1.4  设—备安装及配》管配线工程材料应】符合现行国家标准电！子工业洁净》厂房设？计规范？G，B 50472【的有关规定》 ？ 3.1.5】  施工用》的机具应符合现行】国家标？准微电子《生产设备安》装工程施工及验【收规范G《B 50《467的有关规定 ！。 ，