15.2 ！ 容许？振动值？ ， 精】密设备、仪》器，是，微振控制设计的主要！对象当？作，用于精？。密设备、仪器的微振！动，超过一定《的，界限时？此类设？备、仪器就无法进】行正：常的工作不能按要求！。生产合格的产品或】中间产品这一界限就！是微振动控制值或容！许振动？值容：许振动值是》指保证精密仪器、设！备正常工作条件下】其支撑结构面的【容许振动幅》值电子工业洁—。净厂房内的精密设备！、仪器种类很多它们！都有各自的特性【或所生产《电子产品的不—同精：度有其？特定的容许》振动值如集成—电路生产的》光刻机？、图像发生器光导纤！维生：产的光？纤拉制机TFTLC！D生产？的电子速曝光机、光！。刻，机，。等 ？ 精》密设：备、仪器的容许振】动值：的物理量表达有多】种目前在微》。振控制设计》时常用的《有振幅或容许振动】位移量？(μm)、振动速】度(：量纲为mm》／s)？、振动加速度(量纲！为mm／s2—)精密设备》、仪器根据本身的使！用特点采《用不同的《物理量？进行微振控》。制，设计 】精密设备、仪—器的容许振》动值一般是通过试】验确定或在实际【生产运？行中的经《。验总结或实测—数据这些《值与设备、》仪器的特性》和产品工《艺要求？关系密切目前微【振控制设《计，时，的容许振《动值一般由》生产工艺《提，供方或设《备制造厂家按其用途！提供这些数据本规范！附录C？列出一些精》密设：备、仪器的》容许振动值供参考 ！ ，