15—.2  《容许振动值》 【 精密设备、仪【器是：微振：控制设计的主要对】象当作用《于精密设备、仪器的！微振动？超过一定的》界，限时此类设备—、仪器就无法进行正！常的工作不能按【要求生产合格—的产品或中间产品这！一界限就《是微振？动控制值或容许振动！值容许振动值是指】保证精密仪》器、：设备正常工作条件下！。其支撑结构》面的容许振动幅值】电子：工业洁净厂房内【的精密设备》、仪器种类很多它】。们，都有：各自的特性或所生】产，电子产品的不同【精度有其特》定的容许振动值如集！成电路生产的光刻】机、图像发生—器，光导纤维生产—的光纤拉《制机：TFTLCD—生产的？电子速曝光机、光】刻机等 — 精密设备、仪！器的容许振》动值的物理量表【。达，有多种目前在微【振控制设计时常用】的有振？幅或容许振动位移】量(μm)、—振动速度(量—纲为m？m／s)、振—动加速度(量纲【为mm／《s2)精《密设备、仪》器根据本身的使用特！点采用？。不同的物理量—进行微振控制设计 ！ ？ 精密设》备、仪器《的容许？振动值一般是—通过试验确定或在】实际生产运行中【的经验总结或—实测数据《这些：。值与设备、仪—器的特性和产品【工艺要求关系密切目！前，。。微振控制《设计时的容许振动值！一般由生产工艺提】供方或设备制造厂】家按其用途提供这些！数据本？规范附录《C列出一些精密设备！、仪器的《容许：。振动值供参考 【 ，