15.【2  容许振动【值 】 精密设《备、仪器是微—。振控制设计的—主，要对象当作用—。于精：。密设备、仪器—的微振动《超过一定的界限【时此类设备、仪器】就无法进行正常的】工作不能按要求【生产合格的产品或中！间产品这一界限就】是微振动《控制值或容许振动】值，容许振动值是指保】证精密仪器、设备正！常工作条件》下其支撑《结构面的容》许振动幅值电子【工业洁？净厂房内的精密【设备、仪器种—类很多它们都有各自！的特性或所》生产电子产品—的，不同精度有其—特定的容许振动【值如集成电路生产的！光刻机、图像发生器！光导纤维生产的光】纤拉制机TFTL】CD生产的电—。子速曝光机、光刻机！等， 精密】设，备、仪？器的容许振动值的物！理量表达有多种目前！在微振控制设计时常！用的有振《幅或容许《振动位移量(μm】)、振动速度(量】纲为mm／s—。)、振动加》速，度(量纲为》m，m／s2《)精密？设备、？仪器根据本身—。的，使用特点采用不【同的物理量进—行微：。振控制设计 【。 精密设备、！仪器的容许》振动：。值一般是通过试验】确定或在实际生【产运行中的经验【总结或？实测：数据这些值与设【备、仪？器的特性和产品【工，艺要求关系》密切目前微振—控制设计时的容【许振动值一》般由生产工艺—提供：方或设备制造厂家】按其用？途提供这些数据【本规范？附录：C列出一些精密【设备、？。仪器的容许振—动值供参《考 ？