1》5.2 《 容许振动值— ， 《 精密》设备、仪器是微振控！制设计的主》。要对象当作用于精】密设：备、仪？器的微振动超过一】定的界限时此类设备！、仪器就无》法进行？正，常的工作不能按要求！生产合格《的产品或中间产品】这一界限就是—微，振动控制《值，或容许？。振动值容许振动值】是指保证精密仪器】、，设备正常工作条【件下：其支撑结《构面：的容许？振动幅值电子工业洁！净厂：房内的精《。密设备、仪》器，种，类很多它们都—有各自的特》性或所生产电—子产品的《不同精度有其特【定的容许振》。。动，值，如集成？电路生产《的，光刻机、图》像发生器《。光导纤维生》产的光纤拉制机T】FTLC《D生产的电子速【曝，光机、？光刻机？等 》 精密设备、仪】器，的容许振动》值的物理量表达有多！种目：前在微振控制设计时！。常用的？有振：幅或容许振动—。位移量(μm—)、振动速度(量】纲为mm／s—)、振动加》速度(量纲》为mm／s2)【精密设备、仪器【。根据本身的》使用特点采用不同的！物理量进行微振控制！。设计 【 精密设备》、仪：器的容许振动值一般！是通：过，试验确定《或在实际生产运行中！的经：验，。总结或实测》数据这些值与—设备、仪器的特性和！。产品工艺要求关【系，密，。切，目前微振《控制设计时》的容许振动值一般】由，生产工艺提供方或】设备：制造厂家按其用途提！供这些数据本规范附！录C列出《一些精？密设备、仪器的容】许振动值供参—考 ？