15.2】  ：。容许振动值》 》 精密设—备、仪器是微振控】制设计的主》要对象当作用于【。精密设备、仪器【的微振？动超过一定的—界限时？此类：设，备，、仪器就无法进行正！常的工？。作不能按要求生产】合格的产品或中间产！品这一界限》就是：微振动控制值—或容许振动值容许】振动值是指保证【精密仪？器、设？备正：常工作条件》下其支撑结构面【。的容许？振动幅值电子工业】洁净厂房内的精密】设，备、仪器种类—很多它？们都：有各自？的特性或所生产【。电子产品的不同【精度有其特定的容】许振动值如集成电路！。生，产的光刻机、图像】。发生器光《导纤维生产的光纤拉！制机TFTLCD】生产的电子速曝光机！、光刻机《等 精】密设备、仪器—的容许振动值的物】理量表达有多种目】前在微振控制设【计时常用的有振幅】或容许振动》位，移量(μm》)、振动速》度(量纲为mm／s！)、：振动：加速度(《量纲为？mm／s2)精密设！备、仪器《根据本身的使—。用特点采用不—。同的物理量进行微振！控制设计 【 精《密设备、仪器的【容许振动值一般是】通过试验确》定或在实际》生产运？行中的经验总结【或实测数据》这些值与设备、仪器！的，特性和产品工艺要】。求，关系密？切目前微振控制【设计时的容》许振动？值一般由生产工艺】提供方或设》备制造厂《家按：其用途提供这些数】据本规范附录—C列出一些精密【设备、仪器的—容许振动《值，供参考 》