《15.2  —容许振？动值 ？。 — 精密设备、仪器】是微振控制设计【的主要对象当作【用于精密设》备，、，。仪器的微振动超过】一定的界限时—。此类：设备、？。仪器就无《法，进行正常的工作不】能按要？求生：产合格的产品或【。中，间产品这一》界限就是微振动控制！值或：容许：振动值容许振动值】是指保证精密—仪器、设备正常工】作条件下《其支撑结构面的容】。许振动幅值》。电子工业洁》净厂房内《的精密设备、—仪器种类很多它们都！有各自的特性或【所生：产，电子产品的不同【精度有其特》定，的容许振动值如【。集成：。电路：。生产的光刻》机、图？。像发生器光》导纤维生产的光纤拉！制机TFT》LC：D生产的电子速【曝光机、光》刻机：等 ： 》精，密设备、《仪器的容许振动值】。的物理量表达有【多种：目前在微振》。控制设计《时常用的有振幅或容！许振动位移量—。(μm)、振—动速：度(量纲为》mm／s《)、：振，。动加速度(量纲为】mm／s《2)精密设备、仪】器根据本身的使用】特点采用《不同的物理量进行微！振控制设计 ！。 精密设备、仪器！的容：许振动值一般是通过！试验确？定或在实《际生产运行中的经验！总结或实测》数据这些值与—设，备、仪？器的特性和产—品工艺？要求关系密切目前微！振控制设计》时的：容许振动值一—般由生产工艺—提供方或设备制【造厂家按其用途提供！这些数据本规范附录！C列出一些精密【。设备、仪器的容许】振动值供《参考 《