15.2 ！ 容许振动值 】 精【密设备、《。仪器是？微振控制设计的【主要对象当》作用：于精密设《备、仪器的微振【动超过一定》的界限时此类设备、！仪器就无法进行正】常的工？作不能按要求生【产合格的产》。品或中间产品这【一界：限就是微振动—控制值或容许振【动值容许振动值是指！保证：精密仪器、设—备，。正常工作条件—下其支撑结构—面的容许振》动幅值电子工业洁】净厂：房内的精密设—备、仪器种类很多】它们都有各自的特】性或所生产电子产】品的不同精度有其】特定的容许振动【值如集成电路生产】的，光刻：机、图？像发生器光》。导纤维生产》。的光纤拉制机—TFTLC》D生产的电》子速曝光机、光刻】机等 【 精密设备、仪器】。的容许振动值的物理！量表：达有：多种目前在微振控制！设计时常《用的有振幅或容【许振动位移量(μ】m)、？振，动速度(量纲为m】m／s)、振—动加速度(量—纲为mm／》s2)精密设备、仪！器，根据本身的使用特点！采用不同的》物理量进行微振控制！设计 】精密：设备、仪器的—容许振动值一般是通！过试验？确定：或在实际生产运行】中的经验总结或【实测数据这》些值与设《备、仪器《。的特性和产品工艺】要求关系密切目前】微振控制设计时的容！许振：动值一般由生产【工艺提供方》或设备制造厂—家按其用途提供这】些数据？本规范附录C列出一！些精密设备、仪器的！容许振动值供参考】。 ：