15.2】  ：容许振动值 ！ ： 精密设》备，、仪器是微》振控制设计的主【要对象当作》用于精密设备、仪器！的微振动超过一定】的界限时此类设【备、仪器《就无法进行正常的】工作不能按》要求：生，产合格？的产品或中间产【品这一界限就是微】振动控制值》或容许？振动值容《许振动值是指保【。证精密仪器、—。设备正常工作条【件下其支撑结构【面的容许振动幅值】电子工业洁净厂【房，内的精密设备、仪】器种类很多》它们都？有各自的特性或所】生产电子《产品：的不同精度有其特定！的容许振动值—如，集成电路《生产的光《刻机、图像发生【器光导纤维生产的光！纤拉制机TF—TLCD生产—的电子速曝光机【、光刻机等 — 精密设】。备、仪器的》容许振？。动值的物理量表【达有多种目》前在微振控制设计】时，常，用的有振幅或容许振！动，位移量(μm)、】振动速度(量纲为m！m／s)、振—动加：速度(量纲为—mm／s2)精密】设备、仪器根据本身！的使用特《点采用不同的—物理量进行微振控】制设计 】 精密？设，备、仪器的容—。许振动值一般是通】过试验确定或—在实际生产运行中】的经验总《。结或：实，测数据这些值与设】备、仪器的特性【和，产品工艺要求关系】密切目前微振控【制设计时的容许【振动值一般由生产】工艺提供方或设备制！造厂：家，。按其用途提》供这些？数据本规范》附录C列出一些【精密设备、》仪器：的容许振动值供【参考 《