1》5  微振控制 】 】 15.1  一】般规定 《 》 影？响洁净厂房》内精密设备、仪器的！微振控制《。设施不能达到—微，振动容许值》的因素主要》有环境的干扰—振动洁净厂房—内公用动力系统【。、净化空《调系统的设备、管道！在运转过程中—。产生的？振动等；洁净厂【房的建筑基础—。构，造、结？构选型、《隔振缝的设置—等能否满足微振控制！。要求；微振动控制设！。施中：所，采取的主动隔振【。措施：、被动隔《振措施的准确性等】微振控制设》施的工程设》计、施工、测试【和实际运转的—实践表明洁》净厂房的精密设备、！仪器：的微振控制设—施的设计《应分阶段进行—这里所？。谓的分阶段进行【微振控制设施的设计！是根据微振动测试】所得到的《。数据进行分析研【究后作为设》计，依，据按具体项》目工程设计的要【。求一般是按》2，～3阶段《进行精？密设备、仪》器的微振控制设计】工作一是按场地【环境测试数据和精】。密，设，备、仪器《的微振控制要—求，合，。理进行所在洁净厂】房的总平面布—置和建筑基础以及隔！。振措施的设》。计，二，是根据？建筑结构振动—特性测试和精密【设备：安装地点环境—振动：测试及其分析—研究结果合理、准确！地进行微振控制【设施的设计三—。是在微？振控制设备》的最终测试和分析】研，究后若微振控—制设施没有达到控】制要求时《尚需进行调整设计 ！ ，