： 15  微振】。控制 》 1】。5.：1  一般》规定 【 ？影响洁净厂》。房内精密设备、仪】器的微振控制设【施不：能，。达到微振动容许值】的因素主要有环【境的干扰振》动洁净厂房内—公用动力系统、净】化空调系统的设【备、：管道在运转过程【中产：。。生的振动等；—洁净厂房的建筑基础！构造、结构选型【。、隔：振缝的设《置等能否满》足微振控《制要求；微振动控】制设施中所采取的主！。动，隔振措施、被动【隔，振措施的准确性等微！振控制设施的工【程设：计、施工《、测试和实际运转的！实，践表明洁净厂房的精！密设备、仪器的【微振控制《设施的设计应分阶】段进行？。这里所？谓的分阶《段，进行微振控制设施】的设计是根据微振】动测试所得到—的数据进行分析研究！后，作为设计依据按具】体项目工程设计【的要求一般》是按2～《3阶段进行精密设】备、仪器《的，微振控制设计工【作一是？按，场地环境测试数【据和精密设》备、仪器的微振【控制要求《合理进行所在洁净厂！房的总平面布置和建！。筑基：础以及？隔振措施的设计二是！。根据建筑结构振动特！性测试和精》密设备安装地点环】境振动测试及其【分，。析，研究结？。。果合理、《准，确地进行微》振控制？设施：的，设计三是在微振【控制设备的最—终测试和《。分，析研究后《若微：振，控制设施没有达【到控制？要求时尚需进行调】整设计 》