？ 15  微振控】制 《 ： ， ： 15.1 【 一般规定》 《 影响洁净厂！房，内精密设《备、仪？器的微振控制设【施不能达到微振动容！许值的因素主要有环！境的干？。扰振动洁净厂—房内公用动力—系统、净化》空调系统《的设备、管道在运】。转过程中《产生的振动等；【洁，净厂房？的建筑基础构—造、：结构选型、》隔振：缝的设置等能否满足！。微振控？制要求；《微振动控制设施中】所采取的主动—隔振措施、被动【隔振措施《的准确性《等微振？控，制设施的工程设计】、施工、测》试和实际运转的实】践表明洁净厂房【的精密设备、仪器的！微振控制《设，施的设？计应分阶段进行【这里：所谓的？分阶段进《行微振控制设施的】。设计是？根据微振动测试【所得到？。的数据进《行分析研究后作为】设计：依据按具《体项目工程设计的要！求一般是《按2～？3阶段进《行精密设《备，、仪器的微振—控制设？计，工作：一，是按场？地环境测试数据和精！密设备、仪》器的微振控制—。要求：合理进行所在洁净】厂房的总平》面布置和建筑基础以！及隔振措施的设计】二是根据建筑结构振！动特性测试》和精密设备》安装地点《环境振？动测试及《其分析研究结果合理！、准确？地进行微《。振控制设施》的设计三是在微振】控制设备《的最终测试》和分析？研究后若《微振控制《设施没有达到控制要！求时尚需进行调整设！计 ？