： 15  微振控！制 【 15—.，1  一般》规定 《 》 影响洁净厂房内】。精密设备、仪器的】。微振控制设施—。不能达到微振动容许！值的因素主要有【环境的干《扰振动洁净厂房【内公用动力系—统、净化空调系统】的设备、管道在运】转过程中产生的振】动等；洁净厂房的】建筑基础构造—、结构选型、—隔振缝的设置等【能否满？足微振？控制要求；微振【动控制设施》中所采取的主—动，隔振措施《。、被动隔振措施的】。准，。确，性，。。等微振控制》设施的工程设计、】。施工、测试和实际运！转的实践表明洁净】厂房的精密设备、】仪器的微振控—制设施？的，设计应？分阶段进行这里所谓！的分：。阶段进行《。微，振控制设施的设计是！根据微？振，动，测试所得到的数【据进行？分析研究《后作为设计依据【按具体项目》工程设计的要—求一：般是按2～3阶段】进行精密设备—、仪器的《微振控制设》计工作一是》按场地环境测试数】据和精密设备、仪】器的：。微振控制要》求合理进行所在【洁净厂房的总平面布！置和建筑基》础以及隔振措施【的设计？二是根？据建：筑结：构振：。动特性测《。。试，和精密设备安装地】点环境振动测试及其！分析研究结果合理、！准确：地进：行微振？控制设？施的设？计，三是在微振控—制设备的最终测【试和分析研究后【若微振控制设施【没有达到控制要【求时尚？需进行调《整，设计： ：