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15 微振控】。制
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1》5.1? ,。 一般规定
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影响洁净厂!房内精密设》备、仪器的微振【控制设施不能达【到微振动容许—值的因素《主要有环境的—干扰:振动洁净厂》。房,内公用动力系—统,、净化空《调系统的设备、【管道在运转过程中】产生的振动等;洁】净厂:房的建筑基》础,构造、结构选型、隔!振缝的设置等能否】满足微振控制要求;!。微振动控制设—施中所采取的—主动隔振措》施、被动隔》振措施的准确性等微!振控制设《施的工程设计—、施工、测试和实际!运转的实践表明洁净!厂房的精密设—备,、仪器的微振控制设!施的设计应分—阶段进行这里所谓】。的分阶段进行—。微振控制《设施的设计是根据微!振动测试所》。。得,到的数据《进行分?析研究后作为设计依!据按具体项目—工,程设计的要求—一般是按2~3阶】。段,进行精密设备—、仪器的微振—控,。制设计工作一是按】场,地环境?。测试数据《和精:密设备、仪器—的微振控制》要求:合理进行所在洁净】厂房:。的,总平面布置和建筑】基,础以及隔《振措施的设计二是】根据建筑《。结构振动特性—测试和精密》设,备安:。装地点环境振动测】试及其分《析研究?。结果合理、准—。确地:进行微振控制设施的!设计三是在微振【。控制设备的最终【测试和分析研究后若!。微振控制设施没有】。达到控制要求时【尚需进行《调整设计
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