15.3 ！ 微振动控制设计】。 》 15.3.1！。  电？子工业洁《净厂房中微》振控制设计应—按图10《所示的程序进行工】程实践表明该程序】是电子工厂特—别，是微：电子工？厂，洁净厂房中》微振：控制设计的》有，效程序图中》指，。出的四次测试—就是本条制定的依】据 《 ， 15《。.3.？2  有《微振控？制要求的洁净—室(区)的》建筑结构设》计，是微振控制设计的重！要部分实践表明【大量的环境》振动：能量是通过建—筑结构传《。递到精？密设备、仪器的【基础底部所以建【。筑结构的微振动控制！设计的？基本要？求是建筑物的基础】。应尽可能地置于坚】硬土层上或置于动】力特：性良好的地基上并且！基础应具有》足够：的刚：度；设置独立的建】筑结构？微，振动控制体系—。并与厂？房主体结构》脱开减少厂房主体结！构振动的影响—；厂房的主体结【构，还，应根据微振动控【制的需要在可—能情况？下适当增《大，。结构截面尺寸增【加整体建筑的刚度建！。筑结构微《振动：。控制体系的内—容随不同电》子产品的《生产工艺《要求有所不同如集】成电：路芯片生产》用洁净厂房的—建筑结构微振—动控制体系》包括独立于厂房【主体结构的基础一般！采用深基础》或复合地基以确保】基础具有足够刚度和！较少沉降量设置防微！振，平台该平台与主【体结构？脱，开，并，应，具有较？大的质量及》较好的？刚，度平台下支撑柱一般！采用较小的柱距【；在防？微，振平台下《。。一般设必要的防微振！墙以减弱水》平向振动的传递；微！振，动，控制体？系底：部一般设置》厚重地面《层等：根据上述要求和工程！实践制定《本条规定 】 ？ ， 15.3】.3、15.3【.4 ？。。 对洁净厂房内的各！类振源进《行积极隔《。振以减少它们对洁】净室(区)》内，的精密设备、—仪器的振动影响是】洁净厂？房设计？的重：要内容之一洁净厂】房内的振源》形式大体有冲击型】(冲床、《各类介质输送管道等！。)、往复型(—。各种压缩机等)、旋！转型(通风机—、离心式压缩—机、泵、电动机等】)对它？们，的隔振措《施设计包括隔振元】件的选用、隔振台】座的形式和构造的设！计、静力计》算及振动计算等【 ？ 对精密设备、！仪，器采用隔《振，器隔振以减弱支承结！构传：递的振动影》响达：到容许振动值—的要求这被称—为，消极隔振根据近年】来微振控制设—计、测试、》建造的？工程实践《制定了本条规—定 ？