15.3 ！。 微振？动控制设计》 】15.3《.1  电子工业洁！净厂房中微振控制设！计应按图10所示的！程序进行《工程：实践表？明该程序《是电子工厂特别【是微电子工厂洁【净厂房中微振—控制设计的有—效程序图中指—。出的四次测试就【是本条制定》的依：据 【15.3.2  有！。。微，振控：制要求？的洁净室(》区)的？建筑结构设计—。是微振控制》设计：的重要部分实践表】明大量？。的环境振动能量【是通过建筑结构【传递到精《密设备？、仪：器的：基础底部所以建筑】结构的微振动—控制设计《的基本要求是建【筑物的基础应—尽可能？。地置于坚硬土层上或！置于动力特性—良好：的地：基上并且基础应【具有：足够的？刚度；设置》独立的建筑结构【微振：动控制体系并—与厂房主体结—构脱开减《。少厂房主体结—构振动？的影响；厂房的主体！结构还应《根据微振动控制的需！要在：可能情况下》适当增大结构截面】尺寸：增加整？体建：筑的刚度建筑结构微！振动控制体》。系的内？容随不同电子—产品的生《产工艺要求有—所不同如集成电路芯！片生产用《洁净厂房《的建筑结构微振动控！制体系包括独立【于厂房？主体结构的》基础一般采》。用深基础《或复合地基以确保基！础具有足够》刚度和较少沉降量】设置防微振平台【该平台与主体结构】脱，开并：应具：有较大的《质量及？较好的刚度平台【下，支撑柱一般》。采用较？小的柱距；在防微振！平台下一般设必要的！防微振墙以减弱【水平向振动的传【递；：微振：动，控制体系底部一般】设置厚重地面层等根！据上述要求和—工程实践制定本条规！定 — 【15.3.》3、15.3—.4  对洁净厂】房内的？各，类，振源进行积极隔振以！减少它们对洁净【室(区)内》的精密设备》。、仪器？的振动影响是洁净】厂，房，。设计的重要内容之】一洁净厂房内的振】源形式大体有冲击型！(冲床、《各类介质输》送管道等)、往复】型(各？种压缩机等)、【旋转型(通风机、】离心式压缩机、泵】、电：动机等)对它们【的隔振措施设计【包括隔振元件的选】。用、隔振台座的形式！和构造的设》计、静力计》算及振动计算—等 对】精密设备《、仪器采《用隔振器隔振以减弱！支承结？。构传递的振动—影响达？到容许振《动值的要求这被【称为消？极隔振？。根据近年来微振控制！设计、测试、建【。造的工程实践制定】。了，本，条规定 》