1》5.：3  微振动控【制设计 《 《 15.3【.1 ？ 电子工业洁净厂】房中微振控制设计应！按图10所示—的程：序进行工程实践表明！该程序是电》子工厂特别》是微电子工厂—洁，净厂：。房中微振控》制，设，计的有效《程序图中指》出的四次测试—就是本条《制，定的依据 》 》15.3.》2，  有微振控制要】求的：洁，。净室：(区)？的建筑结《构设计是微振控制】。。设计的重要部分【实践表明大》量的环？境振动能量是通过】建筑结构传递到【精密设备、》仪器的基《础底部所以建—筑结构的微》振动控制设计—的基本要求是建筑】物的基础应尽可能地！置于坚硬土层上或】置于动力特》性良好的地》。基上并且基础—。。应具：有足：够的刚度；设置【独立：的建筑结构微振动】控制体系并与厂房】主体结构脱开减少厂！房主体结构振动的】影响；厂《房的主？体结构？还应根据微振—动控制？。的需要在《可能情？况下适当增》大，结构截面尺寸增【加整体建筑的刚度建！筑结构微振动控制】体系的内容随不【同电子产品的生产工！。艺要求有所不同如集！成电：路芯片生产用洁净】厂房的建《筑结构微振》动控制体系》包，括独立于厂房主【体结构的《基础一般采用深基】础或复合地基以【确保基础具有足【。够刚度？和较少沉降》量设置防微振平台该！平台与主体结构【脱开并应具有较【大的质量及较好的刚！度平：台下：支撑柱一般采用较小！的柱距；《在防微振平台下一】般设必？要的：。防微振墙以减弱水平！向振动的传递；微】。振动：控制体系底》部一般？设置厚重地面层【等根据？上述要求和》工程实践制定本条规！定 《 ： 15！.3：.3、15.—3，.4  对》洁净厂？房内的各类振—源进行？积极：隔振以减少》它们对洁净室(【区)：。内的精密设备、【仪器的振动影—响是洁净厂房设计】的重要内容之一洁净！厂房内的振源形【式大体有冲击型(冲！床，、各类？介质输送《管，道等)、往复型(】各种压？缩机等)、旋—转，型(通风《机、：离心式压缩机、泵、！电动机等)对它们的！隔振措施设计包括隔！振元：件的选用、》。隔振台座的形式和构！造的设计、静—力计算及振动计算】等 对精！密设备、仪》器采用隔振器—隔振以减弱支承结构！传递的振动影响达】到容许？振，动值的要求这被称】为，消极隔振根据近年】来微振控制设—计、测试、建造的工！程实践制《定了本条规定 】