？。 15？.3  《微，振动控制设计— —。 15.3.1 ！ 电子工业》洁净厂房《中微振控《制设计？应按图1《0所示的程序—进行：工程实践表》明该程序是电子工厂！特别：是微电？子工：厂洁净？。厂房：中微振？。控制设？计的有效程序—图中指出的四—。次测试就是本条制定！的依据 【 15《.3：.2  有微—振控制要求的洁净】室(区)的建筑结】构设计是《微振：控制设计的重要部分！实，践表明？大量的环境振动能量！是通：过建：筑结构传递到—精密设备《。、仪器？的基础底部所—以，建筑结构的微—振动：控制设计的基本【要求是？。。。。建，筑物的？基础应尽可能地置于！坚硬土层《上或置于动力特性】良好的地基》上并且基础应具【。。有足够的刚度；设】置独立的建筑结构】微振动控《。制体系并与厂—房主：体结：构脱开减少厂房主体！结构振动《的影响；厂房的【主体结构还应根据微！振动控制的需要【在可能情况》下适：当增：。大结构截面尺寸增加！整体：建筑的刚《度建筑结构微振【动控制体系的内容随！不同电子产品—的生产工艺要求【有所不同如集成【电路芯？片，生产用洁净厂—房，的建筑结构微振动控！。制体系包括独立【于厂房主《体结构的基》础一般？采用：深基础或复》合，。地基以确保基础具有！足够刚度和较少沉降！量设置防《微振平台《该平台与主体—结构：脱，开并：应具有较大》。的质量及较好的【刚度平？台下支撑柱一般采用！较小：的柱：距；在？防，微振：。平台下一般设必【要的防微振墙以【减弱水平向》振动的传递；—微，振动控制体系底部一！般设置厚《。重地面层《等，根，。据上述要求和工【程实践制定本条规】定 ！ ： 15《.3：.3、15》。.3.4 》 对洁净厂》房，内的各类振源—进行积极隔》振以减？少它们对洁》。净室(区《)内：的精：密设：。备、仪器《的振动影《响是洁？净厂房设《计的重？要内：容之一洁《净厂：房内：的振源形式大—体，有冲击？。型(冲床、各类介质！输送管道等》。)、往复型(各种压！缩机等)、旋转型】。(通风机、》离心：式压缩机、》泵，、电动机等》)对它们的隔振措施！。设计包括隔振元【件的选？用、隔？振台座的形》式和：构造的设计、静力计！算及振动计算等 ！。 ？ 对精？密设备、仪器—采用隔振器隔振以】减，弱支承结构传递的振！。动影响达到容许振】动值的？要求这被称为消极隔！。振根：据近年来微》振控制？。。设计、测《试、建？造，的工程实践制定【了本条规定 【