1》5 ： 微振控制 — — ， 15.》1  一般规定【 ， 影响！洁净厂房内精密设备！、仪器？的微振控制设施【不能达到微》振动容？许值的因《素主要有《环境的？干，扰振动洁净厂房内公！用动力系统、净化空！调系统的设备、管】道在运转过程中产生！的振动等《；洁净？厂房的建《筑基础构造、结构】选型、隔《振缝的设置等—。能否满足微》振控制要求；微振动！控制设施中所采取的！主动隔振措施—。、，被动隔？振措施的《准确性等微振控制设！施的工程设计、【施工、？测试和实际运转【的实践？表明洁净厂房的【精密设备、仪器的微！振控制设施的设计应！分阶：段进行？这里：所，谓的分阶段进行微振！控制设施的设计是】根据微振动测试所】得到的？数，据，进行分析研究—后作为设计依据【按具：体项：目工：。。程，设计的？要求一般是按2～3！阶段进行《精，密设备、《仪器：。。的微振控《制设计？工作一是按》场地：环境测试数》据，和精密设备》、仪器的《微，振控制要求》合理：进行所在《。洁净厂房的总—。平面布置和》建筑基础《以及隔振措施的设计！二是根据建》筑结构振动特—性，测试和精密设—备安装地点》环境振？动测试及其分—析，研究结果《合理、准确地进行微！振控制设《施，的设计三是在微振控！。制，设备的最终测试和分！析研究后《若微振控制》设施没有达到控【制要求时尚需进行调！整设计 》