安全验证
15  微!。振控制 【 ? 1《5.1?  一般规定— 》 影响洁—净厂房?内精密设备、仪【器的微振控制设施】不能达到微振—动,容许值的因素—主要有环《境的干扰振动洁净厂!。房内:公用动?。力系统、净化空调】系统的设备、管【道在运转过程中产】生的振动等》;,洁净厂房的建—筑基:础,构造、结构选型、】隔振缝的设》置等能否满足—微振控制要求—;微振动控制设施】中所采取的主动隔振!措施:、被动隔振措施【的准确性等微振【控,。制设施的《工程设计《、施工、测试—。和实际运转的实【践表明洁净厂—房,的精:密设备、仪器的微】振控制设施的—设计应分阶段—进行这里所谓的【分阶段进《行,微振控制设施的设计!是,根据:微振动测试所得到的!数据进行分析研究】后作为?设计依据按具体【项目工程《设计的要《求一般是按2~3】阶段进行精密设备】、,仪,器的微振控制设计】工作:一是按?场地环境测试数【据,和精密设备、仪器】的,微振控制要求合理进!行所在洁净》厂房:的总平面布置—。和建筑基础以及隔】振措施的设计二是根!据建筑结《构振动?特性测试和》精密:设备安装地点环【境,振动测试及》其分析研究结果合】理、准确地进行微】振控制设施的设计三!是在微振控制设【备的最终测试和分】析研究后若微振控】制设施?。。没有达到控制要【求时:尚需进行调整—设计 《