15 【 微振控制
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—15.?1 : ,一般规定
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影响洁净!厂房内精密》设备:、仪器的微振控制设!施不能达到微—振动容许值的因素】。主要有环境的干【扰振:动,。洁净厂房内公用【动力系统、》净化空调系》统的设备《。、管道在《运转过程中》产生的振动等;【洁净厂房的》建筑基础《构造、结构选型【、隔振?缝的:设置:等能否满足微—振控制要求;微振】动控制设施》中所采取《的,主动隔振措施—、被动?。隔振措施的准确性】等微振控制设施【的工程设计、施工】、测试?和实际?运,转的实践表明洁【净厂:。。。房,的精密?设备、仪器的微振】控制:设施的?设计应分阶段进行这!里,所谓的分阶段进行】微振控制设》施的设计是根—据微:振动:测,。试所得到的数据【。。进行分析研》究后作?。为设计依据》按具体项目工程【设计的要求一般【是按2~3阶段【进行精密设备、仪】器的微振控》制设计工作一—是,按场地环《。境测:试数据?和精密设备、仪【器的:微,振控制要求合理进】行所在洁净厂房的】总平面布置》和,建筑基础《以及隔振措施的设计!二是根据建筑结【构振动特性测试和】精密设?备安装地点》环境振动测》试及其分析研—究结果?合理、准确》。地进行微振控制【设施的设计三—是在微振控制设【备的最终测试和分析!研究后若微》振控制?设施没有达到—控,制要求时《尚需进行调整设【计
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