《15  微振控【。制 》 ？ 15.1 】 一般规定》 —。 影响洁净—。厂房内精密设备、】仪器的微振控制设施！不能达？到微振动容许值【的因素主要有环【境的干扰《振动洁净厂房—内公用动力系统、净！化空调系统的设【备、管道在》运，转过：程，中产生的振》动等；洁《净厂房？的建：筑基础构造、结构】选型、？隔振缝的《。设置等能否满—足微振控制要求；】微，振，。动控制？设施中所采取的主动！隔振措施、》被动隔振措施—的准确？性等微振《控制设施的》工程设计《、施工、测试和【实际：。运转的实践表明【洁净：厂房：的精密设备、—。仪器的微振控—制设施的设计应分】阶段：进行这里《所谓的分阶段进行】微振控制设施的设计！是根据微振动测试所！得到的数据》进行：分析研究后作为设】计依据按具体—项，目工程设计的要求一！般是：。按，2～3阶段进—行精密设备、—。仪器的微振控—制设计工《。作一：是按场地环境测【试数据和精密设【备、仪器的微振【控制要求合理进【行，所在：洁净厂房的》总平面布置和—。建筑基础以及隔振】措施的设计二是根据！。。建筑结构振动特性】测试和精密设—备安：装地点？环境振动测试及其分！。析研究结《果合理、准》确地进行微振控【制设施？的设计三《是在微振《控，制设备的最终测试和！。分析研究后若—微振：控制设施没有达到控！制要求时尚需—进行调整设》计 ？