， 1《5  ？微振控制 【 《 15.1  ！一般：规定 ！ 影响洁净厂—房内精密设》备，、仪器的微振控【制设施不能达到【微振动容《许值的因素主—。要有环境的干扰振动！洁净厂房内公用【。。动力：系统、？净化空调系统—的，。设备、管道在—运转过程中产生【的振动等；洁净厂房！的建筑基础构造、结！构选型、隔振—缝的设置《等能否？满足微振控制要求】；微振动控制设施中！所采取的主动隔振措！施、被动隔》振，措施：的准确性等微振控制！设施的工程设计、】。施工、？测试和实际运—转的实践表明洁净】厂，房的精密设》备、仪器的微振控制！设施的设计》应分阶段进行这里】。所谓的分阶段—进行微？振控制设施的设计】是根据微振》动测试所得到的数据！进行分析研究后作】为设计依据按具体】项目：工程设计的要—求一般是按2～【3，阶段进？行精密设备、仪器的！。微，振控制设计工作【一是按场地环境测】试数据和精密设备】、仪器的微》。振控制要求合理进行！所在洁净厂房的【总平面布置和建【筑，。基础以及隔振措施】的设计二是根—据建筑结构振动【特性测试和精密设备！安装地点《环境振动测试及【其分：。析研究结果合理、准！。。确地进行《微振控？制设施的设计三是在！。微振控制设备的【最终测试和分析研】究后若微振》控，制设施没有达到【控制要求时尚—需进行调《整设计 》