《。15  微振—控制： 】 ：。15.1《  一般规》定 【 ：。影响洁净厂房内精密！设备、仪器的微振】控，制，设施不能达到微振】动容许值《的因：素主要有环境的【干扰振？。动洁净厂房内公【用动力系《统、净化空调系【统，的设备、管道在运】转过程中产生的振动！。。等；洁？净厂房的建》筑基础构造》、结构选型》、隔振缝的设置【等能否满足微振控制！要求；？。微振动控制》。。设施中所采取—的主动隔振措施、被！动隔振措施的—准确性等《微振控制设施—的工程设计、—施工、测《试和：实际运？。转的实？。践表明？洁净厂房《的精密设《备、：仪器：的微振控制》设施的设计应分【阶段进行《。这里所谓《的分阶段《进行微振《控制设施的设—计是根据《微振动？。测，试所得到的数据进】行分析研究后作为】设计依据按具体项】目工：程设计的要求一【般是按2～3阶【。段，。进，行精密设《备、仪？器的微振控制—设计工作一是—。按场地环境测试数据！和精密设《备、：仪，器的微？振控制要求合理【进，行所在洁《净厂房的总平面布】置和建筑基》础以及隔振措施的设！计二：是根据建筑》结，构振动特性测试【和，精密：设备安装《。地点环境振》动，测试及其分》析研究结果合理、】准确地进行微—振控制设施的设【计三是？在，微，振控制设《备的：。最终测试《和分析研究后若微】振控制？设施没有《达到：控制：要求：时尚需进行调整【设计 《