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12《。 电气设计—
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12?.1: 配 》 电
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1《。2.1.3 电】子工业洁《净厂房中的产—品生产用主要工艺设!备,一般:都是电子生》产线的关键设备【、核心设备它们的】正常、连续运转对】确保生产《线的正常运转—至关重?要所以近年来的一】些电子产品》生产用主要设备【都要求由专用变压器!或专用低《压馈电线路供电随】着科学技《术的发展《。电子产品生产的【精细化、微型化【、高质量和高可靠性!。的要求日益严格【对洁净室《(区:)的空气洁净—度等:级要求严格和连续】运转、高纯物质(】高纯:水、高纯气、高纯化!。。学品)供《应,可靠和连《续这些都对洁净室】(区)的电力—供应提出《了连续甚至不—间断供应和》电压稳定性要求据不!完全统计近年来设计!的大规模集成电【路芯片制造工厂、】TFT-L》CD制造工》厂中均要求电力供应!中设置备用发—。电机组供应》有特殊要求的生【产工艺设备和公【用动力设备(包括高!纯气、特种气体、部!。分净化空《。调系统、《化,学品等供应》系统)等所需—电力应急发电机供】。应电力的能力约占】全厂装设《功率的2%~1【5%不间断》电源:(UP?S)的电力》供应能力占全厂【装设功率的1—。%,。~,15%;一些大规模!集成电路芯片—制造工厂的应急【。发电:装,置设有8~12【台单台发电能力【1,500?。~200《0,kW虽然有上述工程!实践但电子产品类】型,很多:据,了解并不是所有电】子,产品生产用洁净厂房!都采用上述配置因此!作了本?条规定
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12.1—.4: 为确保》洁净厂房的净化空】调,系统(含制冷—机)连续、稳定地】运行应由变电所低压!馈电专线供电
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12》.1.6《 本条规定—电,子工:业洁净室《。(区)?中的配电设备应【。采用暗装是为了【防,止,或减少产《生、积聚微粒—方便清洁近年—来电子工《业洁净厂房中采用垂!直单:向流洁净室时下技】术,。夹层:。。高度常常为》4m以上此时配电】系统:的配电箱基本上均】。布置在下技术夹【层,内故本条《规定:“配电?设备宜?设置在下《。技术夹层”
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1《2,.1.7 》 ,洁净室?。(区)为密闭空间】一旦出现火》情时烟气不易排出】为确保工作人员的】安,全和健康宜采用【低烟、无卤型—电缆避免电》。缆燃烧产生的烟【雾和卤素毒》气危:及工作人员的—安,全为保证洁净—生产区的洁》净度、不积聚尘埃】电缆不宜《在洁净生产区—明敷为?避免防止污》染物从接缝渗—漏人洁净室(区)对!。各种接?缝,、电气?。管线口应进行密封】处理
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12.1.—8 电子工业洁】净厂房内使用的可燃!。气,。。体、危?险化学品的种类【很多:。各自的物理化—学特性不《同和供应系》统配置不同且具体】工,程中的系统、设【备和安防设施的配置!也不:相同所以电气设计】应按:现,行国家标《准爆炸和火灾危险环!境电力装《置,设计规范GB— 50058的规】定由工艺专》。业等确定《其设防等级
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