《12 电气—设计
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12.【1 配 》 电
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12.1.3【 电子工业洁净厂!房中的产品生产用主!要工艺设备一—般都是?电子生产线的关键】设备、?核心设备它》们,的正常、《连续运转对确—保生产线的》。正常运转至》关重要所以近年来的!一些电子产品生产用!。。主要:设备都要求由专【用变压器或》专用低压《馈电线路供电—随着:科学技术的发—展电子产品生—产的精细化、微型化!、,高质量和高可靠【性的要求日益严【格,对洁净室(区)【的空:气洁净度等级要求】严格和连续运转【、高纯?物质:(高:纯水、高纯气、【高纯化学《品)供应可》靠,和连:。续这些都对洁净【室(:区)的?电,力供应提出》了连续?甚至不间断供—应和电压稳》定性要求《据不完全《统计近年来设计的大!规模:集成电?路芯片制造工—。厂、TFT-—LCD制造工厂中】均要:求电力供应中设置】备用发电《机组供?应有特殊要求的生】产工艺?设备:和公用动力设备(】包括高纯气》、特种气体、—部分净化空调系统】、化:学品等供应系统【),等所需?电力:应急发电机》供应电力《的能力约《占全厂?装设功率的2%~】15%不间》断电源?。(UPS)》的电力?供应能力占全厂【装设功率的1%~1!5%;一《。些大规模集成—电,。路芯片制造》工厂:的应急?发电装置设有8【~12台单台—发电能力1500~!2000kW虽然有!上,述工程?。实践但电子产—品类型很多据了解】并不是?所有电子产品—生产:用洁净厂房》。都采用上述配置因】此,作了本条规定—
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12.1【.4 为》确保洁?净厂房的净化空调】系统(含《制冷机)连》续、:稳定地?运行应由变》。电所低压馈电—专,线,供电
】。12.1《.6 本条规定电!子工业洁净》室(区)中》的,配电设备《应采用暗《装是为了防止或【减,少产:生、积聚微粒方【便清洁近《年来电?子工业洁《净厂:房中采用《垂直单向流》洁净室时下技术【夹层高度常》常为4m以》上此时配电系统【的配电箱《基本上均布置在下】技术夹层《内故本?条规定“配电设备】宜设置在下技术夹层!”
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12》.1:.,7 洁《净室(区《)为密闭空》间一旦出现》火情时烟气不易排出!为确保工作人—员,的,安全和健康》宜采:用低烟、无卤型【电,缆避免电缆燃—烧产生的烟雾和【。卤素毒气危及工作人!员的安全为保证洁净!生产区?的洁净度、》不,积聚尘埃《电缆不宜在洁—净生产?区明:。。。敷,为避:免防止污《。染,物从接缝渗漏人洁净!。室(:。区)对各种接缝、】电气管线口应进行】密封处?理
1】2.1?.8 电》子工业洁净厂房内使!用的:。可燃:气体:、危险化学品—的种:类很多各自的物理化!。学,特性不同和供应系统!。配置不同且具—体工程中的系统【。、设:备和安防设》施的配置也不相同】所以电气设》计应按现行国家标准!爆炸和火灾危险环境!。电力:装置设计规范—GB: 5005》8的规定《。由,工,。艺专业等确定其【设防等级
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