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12 【 电气?设计 — 》 12.1》  配 《 ,  电 ! :12.1.3—  电?子工业洁净厂房【中的产品生产用主】要工艺?设备一?般都是电子生产【线的关键设备、核】心设备它们的—正常、连续》运转对确保生产线】的正常?运转至关《重要所以近年来的一!些电子产品生—产,用主要设备》都,要求由专用变压【器或专用低压馈电线!路供电随着科学【。技术的发展电子【产品生产的精细【化、:微型化?、高质量《和高:可靠性的要求日益严!格对:。洁,。净室(区《)的空气洁》净度等级要求严【格,和,连续运转、高纯【物质(高纯水、高】纯,气、高纯《。。化学品)供》应,可靠:和连续这《些都对洁净室(区)!的电力?供应提出了连续甚至!不间:断供应?和电压稳定性要求据!不完全统计》近年来设计》的大规模集》成电路芯片制造工厂!、TFT-L—CD制造工厂中均要!求电力供应中设置备!用发电机组》供应有特殊要求的生!产工艺?设备和公《用动力设备(—包括高?纯气、特种气体、部!分净化?空调系统、化学品】。等供应系《统)等?所需电力应急发电机!供应电力的能力【约占:。全厂装设功率的【2%:~,1,。5%:不间断电源》(UP?S)的电力供应能】力占全厂装设功【。率的1%~15%;!。一些:大规:模集成电《路芯片制造工厂的】应急发电装置设有8!~12台单台—发电能力《1500~2—000kW虽—然有上述工程实践】但电子产品类型【很多:。据,了解并?不是所有电》子产品生产用洁净厂!房都采用《上述:配置:因此作了本》条规定 【 12.1—.4  《为确保洁净厂房【的净化空调系统(含!制冷:机)连?。续、稳定地运—行应由变电所低压】馈电专?。线供电? 》 12.1.6 】 本条规定电子工业!洁净室(区》)中的配电设备应采!用,暗装是为了防止【或减少?产,生、积聚《微粒方?便清洁近年来电子】工业洁净厂房中采用!垂,直单:向流洁净室时下【技术夹层高度常常】为4m?以上此时配电系统】的配电箱基本—上均布置在》下技术夹《层内故本条》。。规定“配电设备宜设!置在下?。技术夹层”》 12.!1.7  洁净室(!区)为密《闭空:间一旦出现火—情时烟气不》易排出为确》保工作人员的—安全和健《康宜采用《。低烟、无《卤,型电缆避免电—缆燃:。烧产生的烟雾和卤素!毒气危及工作人员的!安,全,为保证?洁净生产区的洁【净度、不积》聚尘埃电《缆不宜在《洁净生产区明敷为】。避免:防止污染物从接缝渗!漏人洁净《。室(区)对各种接】缝、电气管线口【应进行密封处理 】 , 《12.1.8  电!子工业洁净厂—房内使?用的可燃气》体、危险化学品【的,种类很多《各自的物理化学特】性不同和供应系【统,配置不?同且具体工程中的】系统、?设备和安防设施的配!置,。也不:相同所以电气设计应!按现:行,国家标准《爆炸和火灾危险环境!电力装置设计规【范GB 5005】8的规定《由工:艺专业等确定其【。设防等级《 :