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11《.3 管材—、阀门
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11.《3.1? 电子工业—洁净厂房《所,。需化学品《。的品:质较多包括》具有可?燃性、氧化性、腐蚀!性的:。各,种,酸碱、有机溶—剂等为确保化—学品的输送质量、】安全运行和使—用寿命输送化学【品的管?道材质应根据管内流!过化学品的物—理化学性质》进行选择如酸碱【类,。输送管?道材质通常采—用聚:四氟:乙烯:管并以?透明PVC》管做保护套管避免输!送管道被《腐蚀和预防酸碱【液泄漏?时造:成人:身(设备)》受伤(受损)为防止!各类化?学品特别是一些【高纯化学品》在输送过《。程中被污染》或因管道材质选用不!当引发不应》发生的化学反应【影响化学品质量所】以输送化学品管【道的材质应选用化】学,稳定性?。良好和相容性好的】材料如输《送有机溶剂类化学品!管道材质《通常采用管内—壁抛光的低》碳不:锈,钢管(SUS3【16L EP/BA!)等本条为》强制:性条文
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11.3.】2 : 据调查了》解在电?子工:业洁净厂《房中为防止有—腐蚀性的酸碱类管】。道泄:漏,殃及操作人》员或生?。产设备各类》腐蚀性?的酸碱类《管道均采《用带套管《的聚四氟乙》烯管(P《FA管)外套管为透!明的PVC管等
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在美国消防协】会颁布的NFPA】 31?。8洁净室消防—标准中有一条例外】的说明“易》燃液体的加》压输:送系统?容许用非金属—管道输送但》必须设?置于熔点《高于1093—℃(2000—°F)的金属制【造,的外壳中”
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鉴于上述情况】作了本条规定
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11《.3.3 对【一些使用多种化学】品的:管道供应《。系统的国内电—子工:业洁净厂房的调查和!相关的?技术资?料介绍表明》为确保?。化学品供应》输送:系,统的安全和有利【于连接多台》生产:。设备共?用一条管路系统一般!。。在液体化学品供应】系统中设有化学【品供应分配阀箱(】Val?。ve Mani【fold《 Box简称VMB!如图9所示》)故作本规定
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