安全验证
,。 11.3【 ,。 管材、阀门 【 , : , ?11.3.》。1  电《子工:业洁:净厂房所需化学品】的品质?较多包括具有—可燃性?、氧化性、腐蚀性的!各种酸碱、》有机溶剂等为确保化!。学品的输送质量【、安:全运行和《使用寿命输送—化学品的《管道材质应根据【。管内流过化学—品的物理化学性质】进行:选择如酸碱》类输:送管道材《质,通常采用《聚四氟乙烯管并以透!明PVC管做保护套!管避免输《。送管道被腐蚀和预】防酸碱?。液泄漏时造成人身(!设备)受伤(受损)!为防:止各类化学品特别】是,一些高纯《化学品?在输:送过程?中,被污:染或因管道材质选用!。不当引发不应发生的!化学反应影响—。化学品质量所—以输送化学》品,管道的材质应选【用化学稳定性良【好和相容性好的【材料如输送有机溶剂!类化学品管道材质通!常采用管内壁抛光】的低碳不锈钢管【(SUS316L !EP/BA)—等本条为《强制性条《文 《。 11.3【.2  据调—查了解?在电子工业》洁净厂?房中为防止》有腐蚀性的酸—碱类管道泄漏—殃及操?作人员或生》产设备各类腐蚀性】的酸碱?。类管道均《。采用带套《管的聚?四氟乙烯管(PF】A管)外套管为【透明的PV》C管等 【 在美国消—防协会?颁,布的NFPA 31!8洁:。净室消?防标准中有》一条例外的说—明“易燃液体的加】压输送系统容许用非!金属管道输送—但,必须:设置于熔《点高于109—3,℃(2000—°,F)的金属制造的外!壳中” 《 《 ,鉴于上述情况作了】本条规定 — 11.3.!3  ?对一些使用多—种化学品《的管:道供应系统》的国内电子工业【洁净厂房的调查和相!关的技?术,资料:介,绍表明为确》保,化学品供应》输送:。系统的安全和—有利于连接多台【生产设备共用一条管!路系统一般在—液体化学品供应系】统中:设有化学品供—应分配阀箱(Va】lv:e, Manif—old Bo—x简:称V:MB:如图9?所示)?故作本?规定 — 《