12 【 电气设《计
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12《.1 ?。 配 电
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?12.1.3 电!子工:业洁净厂《房中的产品生产用主!要工:艺设备一般》都是电子生产线的关!。键设备、《核心设?备它们的正常—、连续运转对确【。保生产线的正常运转!至关重要《所以近年来》的一些电子产品【。生产用主要设备【都要求由《专用变压器或专用】低压馈电线》。路供电随着科学技术!的发展电子产品【生产的精细化—、微:型化:、高质量《和高可靠性的—要求日益《严格对洁净室(区】)的空气洁净—。度等级要求》严格和连续运转、】高纯物质(高纯水】。、高纯气、高—纯化:学品)供应可靠【。。和连续这些》都对洁净室(区【)的电力供应提【出了连续甚至不【间断供应《和电压稳定》性要求据不完全统计!近年来设计》。。的大规模集成电路芯!片制造工《厂、T?F,T-LC《D,制造工厂中均—要求:电力供应中设—置备用发电机—组供应有特殊要求】的生产工艺设备和】公用动力设备(【包,。括高纯气《、特种气体》、部分净化空调【系统、化学品等【供应系?统)等所需》电力应急发电机【供应电力的能力约】占全厂装《设功率的2》%~:。15%不间断电源】(UPS)的电【力供应能力占全【厂装设功率》。的1%~《15%;一些大规】模集成电路芯片【制造工厂的》应,急发电装置设有【8~1?2台单台发电能力】1500~2000!kW虽然有上述工程!。实践但电《子,产品类型很多—据了解并不是所有电!子产品生产用—洁净厂房都采用【。上述配置因此作了本!条,规定
】12.1.4— 为确保》洁净:厂房的净化》空调系统(含制冷机!)连续、稳》定,地,运行应由变电所【低压馈电《专线供电
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12.1.6 】 本条规《定电子工业洁净室(!区)中的《配电设备《应采用?暗装是为了防止或】减少产?生、积聚微粒方便】清洁近?年来电子工》业洁净厂房中—采用垂直《单向流?洁净室时下技术夹层!高度常?常为4?m,以上此时配电系【统的配电箱基本【上均布?置在:下技术夹层内故【本条:规定“配《电设备宜设置在下技!术,夹,层”:
1【2.:1.7 》。洁净室?(区)?为密:。闭空:间一:旦出现火情时烟【气,不易排出为确保【工作人员的安全和健!康宜:。采用低烟、》无,卤型电缆避免—电缆燃烧产生—的烟雾和卤素毒气】危及工作人员的【安全为保证》洁净生产区的洁【净度:、不积聚尘埃电【缆不宜在洁》净生产区明敷—为避免防止污—染物从接缝渗漏人洁!净室(区)》对,各种接缝、电气【管,线,口,应进行密封处理
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1》2,.1.8 电子工!业洁净厂房内—使用的?可,燃气体、危险化学品!。的种类很多》各自的物理》化学特?性不同和《供应:系统配置不同且具体!工程中的系统、设】备和安防设》施的配置《也不相?。同所以电气设—计应按现行国家标】准爆炸和火灾危险】环境电力装》置设计规范GB【 50058—的规定?由工艺?专业等确定其设【防等级
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