。
《12: 电气设》计
】
12.1 】 配 电【
1!2.1.3》 电子工业—洁净厂房中》的产品生产用—主,要,工艺设备《一般都是《电子生产线》的关键设《备、核心设备它们的!正常、?连续运转对确—保生:产线的正《常运转至关》重要所以近年来【的一些?电子产品生产用【主,要设备都要》求由专用《变压:器或专用低压馈【电线路供电随着科学!技术的发展电子产品!生,产的精细化、—微,。型化、高质量和【高可靠性的要求日益!严,格对洁净室(区【)的空?气,洁净度?等,级,要求:严,格和连续运转—、高纯物质(高【纯水、高纯气、高】纯化学?品)供应可》靠和连?续这些都对洁净室】。(区)的电力供【应提出了连续甚【至不间断供》。应和电压稳定—性要求据《。不完全?统计近年来设计的】大规模集成电—路芯:。片制造工厂、TF】T-L?CD制造工》厂中均要求电—力供应中设置备用发!电机:组供应有特殊要求】的生产工艺设备和】公用:动力:设备(包括》高,纯气、特种》气体、部分净化空调!系统、化学品等供应!系统)等所需—电力应急《发电机供《应电力的《能力约占全》厂装设?功率的2%》~15%《不间:断电:源(UPS)的电力!供应能力《占全厂?装设:功率的1%~15】%;一些《大规模集成》电路芯片制造工厂】的应:急发电?装置设?有,8,~12台《单台发?电能力1《500~2000k!W虽然有上述工【程实践但《电子:产品类?型很多据了》解并不是所有电【子产品生产》用洁净厂《房都采用上述配置】因此作了《本条:规定
—
12.1—.4: 为确保洁净厂】房的净?化空调系《统(含制冷机)连续!、稳定地运行应由】变电所低压》馈电专线供》电
《
12.1.】。6 ?本条规?定电子工业》洁净室(区》)中的配《电设备?应采用暗装是为了防!。止,或减少?产生、积聚微粒方】便清洁近年来电子工!。业洁净厂房中采用】垂直单向《流洁净室时下—技术夹层高度常常】为4m以上此时配】电系统的配电箱基本!。上均:布,置在下技术》。夹层内故《本条规定“配电设】备宜设置在下技【术夹层”《
》
12.1.7 !洁净室?(区)?为密闭空间一—旦,出现火情时烟气不易!排出:为,确保工作人员的安全!和健康宜采用低烟、!无卤型电缆》避免电缆《燃,烧产生的烟》雾和卤?素毒气危《及工作人员的安全】为保证?洁净生产区》的洁净度、》不,积聚尘埃电缆不【宜在洁净生产—区明敷为《避免防止污染物从】接缝渗漏人洁净室】(区:)对各种接缝、【电气管线口》。应进行密封处—理
》
12.》1.8 》电,。子工业洁《净厂房?内使用的可燃气体】、危险化学品的种】类,很多各自的》物理化学特性不同】和供应系统配置不同!且具体工《程中的系统》。、设备和安》防设:施的配置也不—相同所以电》气设计应按》现,行国家标准爆炸和】火灾危?险环:境电力装置设—计规范GB 50】058的规定由工】艺专业?等确定其设防等【级
?