安全验证
1》2  ?电气设计 — : 《 12.》1  配   【 电 — ? 12.1.3【  电子《工业洁净厂》。房中的产品生—产用主要工艺设备】一般都是电子—。。生产线的关键设【备、核心设》备它们的正常、【连续运转对确保【生,产,线的正?常运:转至关重要所以【近年:来的一些电》子产品生产用主【要设备都要求由【专用变压器或专【用低压馈电线路供】。电随着科《学技术的发展电【子产品生产的精细化!、微型化、》高质量?和高可靠性的要【求,日益:严格对?洁净室(区)的空气!。洁净:度等级要求严格和】连续:。运转、高《纯物质(高纯—水、高纯气、—高纯化?学,品)供应可靠和连】续这些都对洁净室】(区:)的电力供》应提出了连续甚至不!间,断供应和电压稳【定性要求《。据不完全统》。计近年来设计—的大规模集成—电路芯片制造工厂、!TF:。T-LCD制造【工厂中均要》求电力供应中设【置备用发电机组供应!有特殊要《求的生产工》艺设备?和,公,用,动力设备《(包括高纯》气,、,特,。种气体、《部分净化空调系【统、:化学品等供应—系统)等所》需电力?应急发电机供—应电:力的能力约占全厂装!设功率的2%—~,15%不间断电源】(UPS)的电力供!应能力?占全厂装设》功率的1%~15】。。%;一些大规—。模集成电路芯片制造!工厂的?应急发电装置设【有8:~12台《。单台发电《能力1500~2】000kW虽然【有上:述工程?实践但电子产品类型!很多据了《解并不是所有电子产!品生:产用洁净厂房都采用!上述配置因此作【了本条规定》 》 12?.1.4  为确保!洁净厂房的》。净化空调系统(【含制冷机《)连续、稳》定,地运行应由变电【所低压馈电》专线供电 》 《 ,12.1《。。.,6  本条规定电子!工业洁净室(区)中!的,配电设备《应采用暗装是为了防!止或减少产生、【积聚微粒《方便清洁近年来【电子工?业洁:净厂房中《。采,用垂直单向》流,洁净室时《下技术夹《层高度?常,常为4m《以上此?时配电系统的配电箱!基本上均布置在下】技术夹层内故本条规!定“配电设备宜设置!在下技术夹层—” : , 12.【1,.7  洁》净室(?区)为密闭空间一】。旦出现火情时烟气不!易排出为确保工【作人员的《安,全和健?康,。宜采:用低烟?、,无,卤,型电缆避免电—缆燃烧产生的烟雾和!卤素毒气《危及工作人员的安全!为保证洁净生产【。区的洁净度、不积】聚尘埃电缆》不宜在洁净生产区】。明,敷为:避免防止污》染物从?接缝渗漏人》洁净室?。(区:)对各种接缝—。、,。电气管线口》应进行?。密封处?理 12!。.1.8《。  电子工》业洁净厂房内—使用的可燃气体、】危险化学品的种【类很多各自的物理化!学特:性不同和供应—系统配置不同且【具体工?程中的系《统、设备和》安防:设施:的配置也不相同所以!电气设计应按—现行:国家标准爆炸—。和火灾危险》环境电力装置—设计:规,范GB 《。。50058的—规定由?工,艺专业等确定其设】防等级 《。 ,