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12 电气设!计
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12.1 】 配 电【
】1,2.1.3》 电子工业—洁净厂?房中的产《品生产用主要—工艺设备一般都是电!子生产?线的关键设备、核】心设备?它们的正《常、连?续运转?对确保生产》线的:正常运转至》关重要所以近—年来的?一,些电子产品生产【用主要设备都要【求由专用《变压器或专用低压】馈电线路供电随【着科学技《。。术的发展电子产品】生产:的精细化、微型化、!。。高质量和高可靠性】的要求日益》严格对洁净室(区】)的空气洁净度等级!要求严?格和:连续运转、高纯物质!(高纯水、高纯气】、,。。高纯:。化学品)供》应可靠和连》续这些都对洁—净室(区)的—电力供应提出了连续!甚至不间断供—应和电压稳定性要】求据不完全统计【近年来设计的大规模!集,成电路芯片制—造工厂、TF—T-LCD制造工厂!中均要求电力供应中!设置备?用发电机组供—应,有,特殊要求的生产工艺!设备和?公用动?力设备(《包括高纯气、特【种气体、部分净【化空调?系统:、化学?品等供?应系统?)等所需电力—应急发电机供—应电力的《能力约占全》厂装设功率的2【%~15%不间断电!源(UPS》)的电?力,供应:能力占?全,厂装设?功率的1%~15%!;一些大《规,模集:成电路?芯片制?造工厂的应》急,。发电装置设有8~1!2,台单台发电能力1】500~20—。00kW虽然有【上述工程实践但电】子产品?类型很多据了—解并不?是所有电《子产品生《产用:洁净厂房都》采用:。上述:配置因此作了本条规!定
1】2.:1.4 为确保洁!净厂房的净化空调】系统(含制》冷机:。)连续、稳》定地:运行应由变电—。所低压馈电专线供电!
12.!1.6 本条规】定,电子工业洁净—室(区)中的—配电设?备应采用暗装是【。为了防止或减少产】生、积聚微粒方【便清洁近《年来电子工业洁【净厂房中采用—。垂直单向流洁净【室时下技术夹层高度!常常为4m以—上此时配电系统的配!电箱基本上均布置】在,下,技术夹?层内故本条规定【“配电设备宜设置在!。。下技术夹层》”
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12.1.—7 洁净》室(区)为》密闭:空间:一旦出现火情时【烟气不?易排出为确保—工作:人员的安全和—健康宜采用低烟、】无卤型电缆避免电缆!燃烧产?生,。。的烟雾和卤素毒气】危,及工:作人员的安》全为保证洁》净,生产区的洁净度、】不积:聚尘埃电缆不宜【在洁净生产区明敷】为避免防止污染物】从接缝渗漏》。人洁:净室(区)》对各种接缝》、电气管线口应【。进行密封《处理
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12》.1.8 电子】工业洁净厂房内【。使用的可燃气—。体,、危险化学品的种类!很多各自的物理化】学特性不同和供应系!统配:置不同且具体—工,程中的系统、设备】和安防设施的配置】。也,不相同所以》电气设计应按—现行:国家标准爆》炸和火?灾危险环境电力装置!设计规范GB 【50058》。。的规:定,由工艺?专业等确定其设【防等级
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