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《11:.1 一》般规定?
】11.1.1— 电子《工业洁净厂房常常】。需使:用各:种化学品根据—电子产品品》种及其?生产工艺的不同各】种电子产品》生产所使用的化【。学品:是不相同的》。其中以集成》电路芯片制造过程、!TFTLC》D生产过程》所需的?。化学品品《。种多有的《纯度要求《严格表25是这两】。种电子产品生产用】洁净厂?房内所用的主要化】学品种类《表26是有关资料提!出的集成电路芯片6!4M生产过程—部分化学品的质【量要求
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11.1.】2 电子工业【洁净厂房所》用,化学品如表》25所列品》种较多它《们,的分类、储存应符】合现:行国家标准常用危险!化学品?。的分类及标志G【B 136》90、常用》危险化学品贮存通则!GB 15603】等的相关规》定危险化学品按主】要危险特《性分为8类即—第1类爆炸品—第2类压缩气体和液!。。化气体第3类易【。燃液体第4》类易燃固体、自【燃,物品和遇《湿易燃物《品,第5类氧化剂和【有机氧化物》第6类有毒》品第7?类放射性《物品第8类腐蚀品】
由于各!类化学品的性—质,不同因此常用—化学危险《品应分区、》分类、分《库储:存并不得《与,禁忌物料混合储【存,储存化学危》险品的建筑》。物,。不得有地下室—。或其他地《下建筑其耐火等级】、层数、《占地面积、安—全,疏,散和防火间》距应符合国家有关】规定
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