《11 ? 化学品供》应,
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11.1 ! 一般规定
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》11.1.1— 电子工业洁净】厂房常常需使用各】种化学品《根据电子产品品种及!其生产工艺的不【同各种电子产品【。。生,产所使用的》化,学品是不相同的【其中以集《。成,电路芯片制造—过程、TFT—LCD?生,。产过:程所需?的化学品《品种多?有的纯度要》求严:格表25是》这两种电子产品生】产用洁净厂房—内所用的主》要,化学品种类表2【6是有关《。资料提出的集成电路!芯片:64M生《产过:程,部,分化学品的质量【要求
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11.1.!2 电子工业【洁净厂房所用化学】品如表25》。所列品种较》多它们的分类、【储存应符合》现行国家标准常【用危险化《学品的?分类及标《志GB 《。136?90、常《用危:险,化学品?贮存通则GB— 15?603?等的:相关规定《。危险化学品按主要危!险,特性分为《8,。类即第?1类爆?炸品第2类压缩气体!和液化气体第3类易!燃液体第《4类易燃固体、自】燃物品和《遇湿易燃物品第5类!氧化剂和有机氧化】。物第6类有毒品第】7类放射性》物品第8类腐蚀品
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由于各类!化学品的性质不【同因此常《用化学危险品应分】区、分?类、分库储存并不】得与禁忌物料—混合储存储存化学危!险品的建筑》物不得有地》下室或其他地下【。建筑其耐火》等级、层《数、占?地面积、《安,全疏散?和防:火间距应《符合国家有关规【定,
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