11— , ,化学品供应》
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11!.1 一》般规定
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11.1.1】 电子工》业,洁净厂?房常常需使用各种化!学品根?据电子产品》品种及其生》产工艺的不同各种】电子产品生产所使用!的化学品是不相【同,的其中以集》成电路?。芯片制造过》程、TFT》LCD生产过程所需!的,化学品品种》多有:的纯度要《求,。严,格表25是这两种】电子产品生产用【洁净:厂房内所用的主要】化,学品种类表2—6是有关资》。料提出的集成电【路芯片64M生【产过程部分化学【品,。的质量要求
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1!1.1.2 — 电子工业》洁净厂房所用化学】。品如表25所—列,品,种较多它们的分【类、储存《应符合现行》国家标准《常用危险《化学:品的分类《及标志G《。B :。13690》、常用?危险化学品贮—存通则GB 1【560?3,。等的相关规定危【险化学品按》主要:危险特性《分为8类《。即第1类爆炸品第】。2类:压缩气体和液化【气体第3类》易,。燃液:体第4类易燃—。固,体、自燃物品和【。遇,湿易燃物品》第5类氧化》剂和有?机氧化?。物第6类有毒品第】7类放射性物品第】8类腐蚀品
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由于各类化学品的!性质:不同因此常用化【。学危险品应分区、】分类、分库》储存并不得与禁忌】物料混?合储存储存化学危险!品的建筑物》不得有地下》室或其?他地下建筑其耐火等!级、层数、占—地面积、安全疏散】和防火间距应符合】国,家有关规定
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