安全验证
11  化!学品供应 —。。 《 ? 11.1》  一般规定 】 ? 11.1.1!  电?子,工业洁?净厂房常常》需使用?各种化学品根据【电,子产品品种及其生产!工艺的?。。不同各种电子产品】生产所?使,用的化学品是不【相同的其中以集成电!路芯片制造过程、T!FT:L,CD生产过程所需的!化学品品种多—有的纯度《要求:严格表25是这【两种电?子产品?生产用洁《净厂房内所用的【主要化学品种—类表26《是有关资料提出【的集成电路芯片【。。64M生《。产过程部分化学品】的质量要求 —。 【。 — ? 11.1.—2  电子工—业,洁净厂?房所用化学品如表2!5所:列品种较《多它们?的分:类、储存应符合【现行国家《标准常?用危险化学品的分类!及标志GB 136!90、常用危—险,化学品贮存通则GB! 15?603?等的相?关规定危险化学品】按主要?危险特?性分为8类即第【1类:爆炸品第2类压【缩气体和液化气【体,第3类?易,燃液体?第4类易燃固体、自!。燃,物品和遇湿》易,燃物:。品第5类氧》化剂和有机》氧,。化物第6《类有毒品第7类放射!性物品第8类—腐蚀品 【 由于《。各类:化学品的《性,质不同?因此常用化学—危险品?应分区、《分类、?分库储?存并不?得,与,禁忌物料《混合:储存储存化学危险品!。的建筑?物不得有地》下室:或其他地下建筑【其耐火?等级、层数》、占地面积、安全疏!散和防火间距应符合!国家有关规定 】