安全验证
。。 11 【。 化学品《供,。应 》 —。11:.1 ? 一般规定 ! 11.1.!1  电子工业洁】净厂房常常需—使用:各种化学品根据电子!产品品种及其生【产,工艺的不同各种电子!产,品生产?所使用的化学品是】。不相:同的其中以集成电路!芯片制?造过程、TF—TLCD生》产过程所需的化学】品品种?多有的纯度要—求严格表25—是,这两种电《子产品生《产用:洁净厂房内所用【的主要化学》品种类表26是有】关资料?提出的集成电路芯片!64M生产过程部分!化学:品,的质量?要求 》 , 《 : — 1?1.1.2  电】子工业?洁净厂房所用化学品!如表25所列—品种较多它们的分】。类、:储,存应符合现行国【家标准常用危险化学!。品,的分类及标志GB !13690、—常用危?险化学品贮存通【则GB 《1,。56:0,3等:的相关规定》危,险化学品《按主要危险》特性分为8类即第1!类爆炸品第2类压】缩气体和《液化:气体:第3类?易,。燃液体第4类易燃】固体:、自:燃物品和遇湿易【燃物品第5》类,氧化剂和《有机氧化《物,第6类有《毒品第7类放射性物!品第8类腐蚀品【 ? 由《于各类化学品的性质!不同因此常用化【学危险品应分—区、:分,类、分库《储,存并不得与》禁忌物料混合储存】储存化学危险品【的建:筑物不?得,有地下?室或其他地下建【筑其耐火等》级、层数、占地【面积、安全疏—散和防火间距应符合!国家有关规定 】