《11 《化,学,。品,供应
》。
1】1.1 》一般:规定:
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11.1.1 】。 ,。电子工业洁净厂房常!常需使?用各种化学品根据电!子产品品种及其【生产工?艺的不同《各种电子《产品生产所使—用的化学品是—不相同?的,其中以集《成电路?芯片制造过程、TF!T,LCD生产过程所】需的化学品品种多有!的纯:度要求严格表—25是这两》种电子产品生—产用洁净厂房内【所用的?主要化学《品种类表26是有】关资料提出的集成电!路芯片64M生【产过程部分化—学品的质量要求【
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11—.,1.2 电—子工业洁《净厂房所《用化学品如》表,。。25所列品种—较多它们的》分类、储《存应符合现行国【家标准常《用危险化学品—的分类及《标志GB 1—。369?0、常用危险化【学品贮存通则—GB ?15603》等的相关《规,定危险化学品按主要!危险特性分》为8类即第1类爆炸!品第2类《压缩气体和液化【气体第3类易燃液】体第4类易燃固体】、自燃物品和遇【湿易燃物品第5【类氧化剂和》有机氧?化物第6类有—毒品第7《类放射性物品第【8类腐?蚀品
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,由于各类化学—品的性质不同因此常!用,化学危?险品应分区、—分类、分库储存并不!得与:禁忌物料《混,合储存储存化—学危险?。品的建筑物不得有地!下室:或其他地下建—筑其:耐火:等级、层《数、占地面积、安全!疏散:和防火间距应—符合:国家有关规定
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