， ， 1？0.4 《 ，特种气体系统 】 》 10？.4.1  由【于，电子产品生产工艺】。所使用的特种气【体是品种多、单一品！种数量少所以—均为外购供应—一般采用钢瓶包【装、运输、储存或少！量采用槽车运输【在钢瓶(储罐—)内的？状态有？气体：。。及液：体根：据生产工艺所使用的！特种气体物》化性质、《耗量、品质要求在】电子：工厂内？应合理设置》储存、分配系统【 ： 10—.4.2  本【条规：定的特种《气体储存分配间是】指电子工业洁净【厂，房中设置特》气柜的专用房—间该特气柜》间属于？洁净厂房中的生【产辅助房间通—常设在靠外墙的【边跨中有《时为了平面布局的】需要也可《设在其他场所该特】气间：生产危险性类别的】划分应根据放置的特！气种类？确定而电《子工业洁净厂房中】的特气间常常—设有可燃性》、毒性、氧化性特】种气体？所以应？按甲、乙类生—产类别进行设—计参：照，现行国家《。标准建筑设计防火规！范GB 500【162？006中的相关规】定在甲、乙》、，丙类厂房内布—置有不？同类别火《灾危险性的房间的隔！墙应采用《耐火极？限不低于2.0【h的不燃烧体隔墙上！的门窗应为甲级防火！门窗并根据多年【的工程实《践制定？本条规定并为强制】性条：文 ？ ： 1？0.4.3  可】燃或：有毒的特种气体具有！对安全生产、人员】健康：。极大的危害因此本】。条的第1～3—款，对其分配系统的【设置作了强》制，性，规定 1！  特种气体—钢瓶及其分配系【统应设？。。在具有连续机械排风！的特：气柜：。中该特？气柜应？配有气体泄漏检测】报警：系统、手动或自动切！换系：统、：自动切断输送气【体及自动吹扫的【设施气？体泄漏检测》报警系统应与—事故机械排风—机联锁？该特气？柜设排？风装置并应排—入相应的生产废气】处理系统经集中【处，。理达标后《方能排放至大气对】储存高危害性—特种气体的》钢瓶柜应配置—就，地废气处理装置经】集中：处理：达标后才《能排入上述相—应的生产废气处理系！统 2】  为确《保连续不中断运行】分，配系统所设置—的，自控系？统、报警系统及与之！。所联锁的事故排【风机的电源均应【设应急电源》 ？ 3  特种气！体系统？的阀门、附件及连接！件都应设在多路【阀门箱？。(盘)(《V，。MB或VMP)内该！阀门箱／《盘均：设机械排风装—置、：。气体泄？漏检测及《声光报警《系统并能在事故发生！时及时切断气体供应！和启动所联锁—的事故排风机排【入相应的生产废气】处理系统《 ， 10.4！.4  特种气【体分配？系，统中具有危害性的特！种气体钢瓶气—源，。应配：备吹扫盘为此本【条作了相应规定 】 1  】现将美国消》防协会发布的NF】PA ？3，18洁净室消防标】准第6.3节有关】特种气体《吹扫盘的《相关规定摘要如下 ！ 1)所有！危险的压缩工艺气】体钢瓶？在使用时应设—置吹扫盘； — ？ 2)选用的吹】扫盘所使用的—管道、配件的—材料：与所输送《的气体应《具有相容性》； ？ ？。 3)应设置过流量！。控制并？设紧急？切，断阀； 《 》4)：只有用于《相容气体的吹扫盘】才容许共用吹—扫气瓶； 》 5)【设手动切断阀以【便将吹扫盘整体取】下进行修《。理 ：。 2  】。吹扫盘的《吹扫气？源一般？采用：以下两种《方式. 》 1》)采用？常用气体《。输配系统《。作，为吹扫气源系统应】设置防回流措施以】防，。止吹扫气体与其他】工艺特气的》交叉污？染，； ： 2)【采用专用吹扫—气体钢？瓶或钢瓶组作为吹扫！气源对物化性质不】相容的？。两个或两《个以上？特气钢？瓶气源所《配置的吹扫盘不允许！合用一气体》钢瓶或钢瓶组—吹扫气源 ！。 10.4.—5  本条规定硅】。烷或硅烷混合物气】。瓶应存放在电子工】业，洁净厂房《建筑外的储》存区内并规定了这类！。储存：区设置的相关规定这！些规定？主要是参《考了美国消》防协会发布的NFP！A ：318((》洁净室消防标—准第6.4节的有关！规定 《 1 — 储：存区必？须是三面敞开的气瓶！用钢制框架保护【 ， 2—  ：气瓶与？周，围，。构，筑物及围栏最—小间：距应：大于：等于95英尺(约2！.7m) 》 3  】当储存？区设有雨篷时其净高！应为：12英尺(约3【.7m)《 ：