10.【4  ？特种：气体系？统 ？ ： 10.4】.1：  由于《电子产品生产工艺所！使用的特《种气：。体是品种《多、单一品种数【量，少所以？均为外购供应一般采！用钢瓶包装》、运输、储存—或少量采用槽车运】输在钢？瓶，(储罐)内的状态】有气体及液体根【。据生产工艺所使用】的特种气体物化性质！、耗量、品》质要：求在电子《。工厂内应合理设置储！存、分配系》。统 ： 10【.4.2  本条规！定的特？种气体储存》分配间是指电—子工业洁净厂房中】设置特气柜的专用房！间，该特气柜间属于洁净！厂房中的《生产辅助《房间通常《。设在：靠外墙的边跨中有】时为了平面布—局的：需要也可《设在其他场所该特气！间生产？危，险性类别《的划分应根》据放：置的特气《种类确定而电子工业！洁净厂房中的—特气：间常常设有》可燃性？、毒：性、氧化《性特种气《体所以应按》甲、乙类《生产类别《进行设计参照—现行国家标准建筑设！计防火规范GB 5！00162006中！的相关？规定在甲、乙、丙类！厂房内布置有不同】类别火？灾危险性的》房间的隔《墙应采用耐火极限】不低于？2.0？h的不燃烧体隔【墙上的门窗应为甲】级防火门《窗并根据多年—的工程实践制—定，本条：规定并为《。强，制性条文 — ： 10.4—.3  可燃—或有毒的特》种，。气体具有对安全生产！、人员健康》极大的危害因此本】条的第1《。～3款？对其分配系》。统的设置作了强制性！规，定 》 ， 1  特种气【。。体钢瓶？及其分配系统应设】在具有连续机械【排风的特气》柜中该特气柜应配】有气体泄漏检测报】警系统、手动或自】动切换？系，统、自动切断输送气！体及自动吹》扫的设施气体泄【漏检：测报警系统应与【事故机械排风—机联锁？该特气？柜，设排风装《置并应排《入相应？的生产废《气处理系统经集中】处理达标后方能【排放至大《气对储存高危害性特！种气体的钢》瓶柜应配置就—地废气处理装置经集！中处理达标后才【能排：入上述？相，应的生产废气—处理系统 】 2  为确【保连续不中断运行分！。配系统？所设：置，的，自控系统、报警【系统及与之》所联锁的事》故排风机的》电源：均应：设应急？电源 【 3：。  ：特种气体系》统的阀门、附—件及连接件都应设】。。。在多路阀门箱(盘】)(：V，MB或？VMP？)内该阀门箱—／盘：均设机械排风—装置、气体泄—漏检测及声光报警】系统并能在事故发】生时及时《切断：气体供应和启动所】联锁：的事故？排风：机排入相应的生【产废气？处理：系统 1！0.4.4  【特种气？体分配？系统：中具有危害》性的：。特种气体钢瓶—气源应配备吹扫盘为！此本条作了相应规定！ 1【  现将美国消防协！。会发布的《NFPA 318洁！净室消防标准第6.！3节有关特种气【体吹扫？盘的相关规定摘要】如下 ？ 1)所有！危险的压缩》工艺气体《钢瓶在使《用时应？设置吹扫盘； ！ ，。 ， 2)选《。用的吹扫盘所—使用的管道、配【。件，的材料与所输送的气！体应具有相容性；】 ， 3)应】设置过？流，。量控制并设紧急【切断阀； 】 ， 4)只《有用：于相容？气体：的吹扫盘《才容许共《用吹扫气《瓶； 《 5)设手动！。切，断阀以便将吹扫盘整！体取下进行修理 ！ 2  吹】扫盘的吹扫》气，。源一般采《用以下两《种方式. 】。 ， 1)采用常用气体！输配系？。。统作为吹扫》气源系统应》设置防回《流，措施以防止吹扫气体！与其他工艺特气【的交叉污染》； ： 2)采用！专用吹扫气体钢【瓶或钢瓶组作为【吹扫气源对物化【性质不相容的两【个或两个以上特气钢！瓶气源所配置—的吹：扫盘不允许合用一】。气体钢瓶或钢瓶组吹！。扫气源 ！10.？4.：5 ：。 本条规定》硅烷或？硅烷混合物气瓶应存！。放在电？子工业？。洁净：厂房建？筑外的储存区内并】规定了这类储存区设！置的相关规定这些规！定主要是参考了【美，国消防？协会发？布的NFPA— 318((洁净室！消防标准第6.4】节的有？关规定？ —1  储《存区：必须是三面敞开的】气瓶：用钢制框架保护 】 ？。 ， 2：  ：气瓶：。与周围？构筑物及《围栏最小间》距应：大于等于9》5英尺？(约2.7m)【 》 3  《。当储存区设有雨【篷时：其，净高应为12英尺(！约3.7m》) ？