。 ： ：10.4  特【种气体系统》 1！0.4？.1  《由于电子产》品生产工艺所使【用的特种《气体是品种》。多、：单一品？种数：量，少，所以均为外》购供应一般采用【钢瓶包？装、运输、储存或】少量采？用槽车运输在—钢瓶(？储，罐)内的《状态：。有气体及液体根据生！产工艺？所，。使用的特《种气：体物化性质》。、耗量、品》质要求在电》子工厂内应合理设】置储存、分》配系统 【 1？0.4.2》  本条规定—。的特种气《体储存？分，配间是指电子工【业洁净厂房中—设置特？气柜的专用房间该特！气，柜间属于洁净厂房中！的生：产辅助房间通常设在！靠外墙的边》跨中有？时为了平《面布局的《。需要也可《设在其他场》所该特？气间生？产危险性类》别的划分应根—据放置的特气种类确！定而电子工业洁【净，厂房中的特气—间常常设有可—燃性、毒性、氧【化，性特种气体所—以应按甲《、乙类生产类别进】。行设：计参照现行国—家，。标准：建筑设？计防火规范GB 5！00：162006中的】相关规定《。在甲、乙、丙—类厂房内《布置：。有不同类《别火灾危《险性：的房间的隔墙应采】用，耐火：极限不低于》2.0h的不燃烧】体隔墙？上的门？窗应为甲级》。防火门窗并根据【多年：的工程实践制定本条！规定：并为强制性条文【 ， 》。10.4.3 【 可：燃或有毒的特种气体！具，有对：安全生？。产、人员健康—极，大的危害因此本条的！第，1～3款对其—分配系统《的设置作了》强制：性规定 — ？1  特种》气体钢瓶及其—分配系统应设在【具有连续机械排【风的特气柜中该特】气柜应配有气体泄】漏检测报警系—统、手动或自—动切：换系：。统、自动切断输送气！体，及自：动吹扫的《设施气体泄漏检测报！警，系统应？与事：故机械排风》。机联锁该特气—柜设排风装置并【应，排入相应的生产废】气处理系统经—集中处？理达：标后方能排放至大气！对储存高危害—性，特种气体的钢瓶柜应！配置：就地废气处理装置经！集中：处理达标《后才能排入上述相】应的生？产废气处理系统 ！ ？ 2：  为确保》。连，。续不中断运行分【配系统所设置的自控！系统、报警系统【及与之所联锁的【事故排风机的电【源均：应设：。应，急电：源 3 ！ 特种气体系统的阀！门、附件及》连接件都应设在多】路，阀门箱(《盘)(V《MB或VMP)【内该阀门箱》／，。盘均设机械排—风装：。。。置、气体泄漏检测】及声光？报警系统并能在事】故发：生时及时切》断气体供应和—启动所联锁的—事，。故排风机排入—相应的生产废—气处理系《统， 《 10.4.4 ！ 特种气体分配系统！中，具有危害性的—特种：气体钢瓶《气源应？配备吹扫《盘为此本条作了【相应规定 ！ 1  现将美【国消防协会发布【的NFP《。。A， 318洁净—室消防标准第—6.3节有关—特种气体吹扫—盘的相关《规定摘要如下 】 ： 1)所有危险的！压缩工艺气体钢【瓶在使？用时应？设置吹扫《盘； 【 2)选《用的吹扫盘所使【。用的管道、》配，件，的，材料与所输》送的气体应具—有相容性； 【 3》)应设置过流量【控制并？设紧急切断阀—； 4】)只有用《于相容气体的吹扫】盘，才容许共用吹—。扫气瓶； ！。。 5)设手动切断】阀以便将《吹扫盘整体取下进行！修，理 — 2：  吹扫盘的吹扫气！源一般采用以下两】种，方式. 】 1)采用常—用气：体，输配系统作为吹【扫气：源系统？应设置防回流措施】以防止吹扫气体与】其他工艺特气—。的交叉污染； 】 ， 2)采用专用！。吹，扫气体？钢瓶或钢《瓶组作为吹扫气源】对物：化性质不相容—的两个？或两个以上特气钢】瓶气源所《配置的吹扫盘不【允，。许，合用一气体钢瓶或钢！瓶组吹扫《气源： 1【0.4.5  本】条规定？硅烷或硅烷混合物】气瓶应存放在电【子工业？洁净厂房建筑外【的储存区内并—规定了这类》储存区设置的相关】规定这些规定主【要是：参考：了美国消防协会发布！的，NFPA 31【8((洁净》室消防标准第6.4！节的有关规定 ！ ？1  储存区必【。须是三面敞开—的气瓶用钢》制框架保护》 2 】 气瓶与周围构筑】物及围？栏最小间距应—大，于等：于95英尺(约2】.7m？) ？ ： 3  当储存区！设有雨篷时其净【。高应为？12英尺(约3.】7m) 》