10—.4  特种气体系！统 》。 1》0.4.1  【由于电子《。产品生产工》艺所使用的特—种气体是品种多、单！一品种数《量少所以均为—外购供应一般采用】钢瓶包装、运输【、储存或少量采【用，槽车运输《在钢瓶(储》罐)内的状态有【气体及液体根据【生产工艺所使—用的特种气体物化】性，质、：耗量：、品质要求在电【子工厂内应》合理设置储存、【分配系统 》 10.4！.，2  本条规定【的特种气体储存【分配间是指电子工】业洁净厂房中设【置特气柜的专用房间！该特气柜间属于【洁，净厂房中的生产辅助！。房间通常设》在靠外墙的边跨中】有，时为了平面布—局的需要也》。。可设在其他场—所该特气间》。生产危险《性，类别的划分》应根据放置的—。。特气种？类确定而电子工业】洁净：厂房中的特气间常常！设有可燃性、毒性、！氧化性？。特种气体所以—应按甲、乙类生产】类别进行设计参【照现行国家标准建筑！。。设计防火规范G【B 50《01：62006》中的相关规定—在甲：、乙、丙类厂房内】布置有不同类—别火灾危《险性的房间的隔【墙应：采用耐火极限—不低于2.0h的】不，燃烧体隔《墙上的门窗》应为甲级防火门窗并！根，。据多年的工程实【践制定本条规—定并为强制》性条文 ！10.4.3  可！燃或有毒的特种气体！具，有，对安全生产、人员】健康极大的》危害因此本条的第】1～3款对其分配】系，统的设置作了强制性！规定 — 1  特种【气体钢瓶及其—分配：系统应设在》具有连续机械排风】的特气柜《中，该特气柜《应配有气体泄漏检】。。测报警？。系统：、手动或自》动，切换系统、自动切】断输送气体》及自动吹扫的设施】气体：泄漏检？测报：警系统应《与事故？机械排风机联—锁该特气柜》。设排风装置并应排入！相，应的生产废气—处理系统经集中处】。理达标后方能—排，放至大？气对储存高危害性】特种：气体的钢《瓶柜应？配置就地废气—处理装置经集—中处：理达标后才能—排入上述相应的生】产废气处理系统 】 》。2  为确保连续不！中断运？行分配？系统所设置的自控系！统、报？警系：统及与之所联—锁的事？故排风机的》电，源均应设应急电源 ！ 3  】特种气？体系统的《阀，门、：附件：及连：接件都应设在多路阀！门箱(盘)(V【MB或VMP)内该！阀门箱／盘均设机】械排风装置、—气体泄漏检测及声】光报警系《统并：能在：事故发生时及—。时切断气体供—应和启动所》联锁的事《故，排风机排《。入相应的生产—废气处理系统 】 10.【4.4  》特种气体分配系统】中具有危害性的特种！气体钢瓶气源应配】备吹扫盘为此本条】作了相应规定— ？ 1 》。 现：将美国消《。防协会发《布的NFPA— 318洁净室消】防标准第6.3节】有，关，特种气体吹扫—盘的相关《规定摘要如》。。。下 ： 1)所有！危险的压缩》工艺气体《钢瓶在使用时应【设置吹扫盘； 】 ？ 2)选用》的吹扫盘《所使用的《管道、配件的—材，料与所输送的气【。。体应具有相容性； ！ 》3)应设置过流量】控，。制并：。设紧：急切断阀； ！ 4)只》有用：于相：容气体的吹扫盘才容！许共用吹扫气瓶； ！ ？ ， 5)设《手动切断阀以便【将吹扫盘整体取下进！行修理 》 2  吹扫！盘，的吹扫气源一般采用！以下两种方式. 】 ， 1)采用】常用气体输配系统作！为吹扫气源》系统应设置防回流措！施以防止吹扫气体与！其他工艺特气的【。交，。叉污染； 【 2)采用专用！吹扫气体钢瓶或【钢瓶组作为吹扫气源！。对物化性质不相【容的：两个或两个以上【特气钢瓶气》源所配置的吹扫盘】不允许合《用一气体钢》瓶或钢瓶《组吹扫气源》 ， ： ： 10？.4.5  本条】规定硅烷《或，硅烷混合物气瓶应】存放在电子工—业洁净厂房建筑外的！。储，存区内？并规定了《这类：。储存区设置的相关】规定：这，些规定主要是参考】了美：国消防？协会发布《的NFPA》 318((洁【净室：消防标？准，第6.4节》。的有关？规定 》 1《  储？存区必须《是三面敞开的—气瓶用钢制框架【保护 ？ ： 2  —气瓶与周围构筑物及！围栏最小间距应大于！等于9？5英尺(约2.【7m) ！3  当储存区设有！雨篷时？其净高应为12英】尺(约3《.7m) 》。 ，