： ， 10.4》  特种气体系【统 ？ ？ ： 10.《4.1  由—于电子产品生产【工艺所使用的特种气！体是品种多、单一品！种数量少所以均为】外购供应《一般：采用钢瓶包装、运输！、储：存或少量采》用槽车运输在钢瓶】(储罐)《。内的状态有气—。体及：液体根据生产工【艺所使用的特种【气体物化性》质、耗量、品—质要求在《电子工厂内应合理】设置储存、分配【系统 ？ 1—0.4.2 —。 本条规定的—。。特种气体储存分配间！是，指电子工业洁净【厂房中设《。置特气柜的专—用房：间该特气柜间属于】洁净厂房《。中的生产《辅助房间通常设【在靠外墙《的边跨中有时—为了平面《布局：。的需要也可》。设在其？。他场所该特》气间生产危险性【类别的划分应—。根据放置的特气种】。类确定而电子—工业洁？净，厂房中？的特气间常》常设有可燃性、毒性！、氧：化性特种气》体所以应按甲、【乙类生产类别—进行设计参照—现行国家标》准建筑设《计防火规范GB 5！00162006】中的相？关规定在《甲，、乙、丙类厂—房内布？。置有不同类别火灾危！险性的？房间的隔墙应—采用耐火《极限不低于2—.0h的不燃—烧体隔墙上的门窗应！为甲级？防火门？窗，并根据？多，年的工程实》践制定本条》规定并为强》制性：条文 — 10.4.3 ！ 可燃或有毒的特】种气：。体具有对安全—生产、人员健—康极大的《。危害因此本》条的第？1，～3：款对：其分配系《统的设？置作了强制》性规定 ！1  特种气体【。钢瓶及其分》配系统应设在具有连！续机械排风的特气】柜中：该特：气柜：应配有气《体泄漏检测》报警：系统、手《动或自动切换系统、！自动切断《输送气？。体及自动吹扫的设】施气：体泄漏检测报警系】。统应与事故机械排风！机联：锁该特气柜设排【风装：置并应排《。入相应？的生产废气处理系】统，。经集中处理达—。标后方能排放—至大气对储》存高危害性特种气】体的钢瓶柜》应配置就地废气【处理装置经集中【。处理达标后才—。能排入上述相应的】生产：。废，气处理系统 — 2—  为确保连续不中！断运行分配系统所】设置：的自控系《统、：报警系统及》与之所联锁》的事故排风机的电源！均应设应急》电源： ： 3》  特种气体系【统的阀门、附件及】连接件都《应，设在多？路阀门箱(盘)(】VM：B或VMP)内【该阀门？箱／盘均设机—械排风装置、气体】泄漏：。检，测，及声光报警系统并能！在，事故发生时及时切断！气体供应和启—。动所联锁的事故排】风机排入《相应的？生产废气处理系统 ！ 10.4！.4  特种—气体分配《系统中具《。有危害性的特—种气体？钢瓶：气源应配备》吹，扫盘：为此本条作了相【应规定 — 1  现【将美国消防协会发布！的，NFPA 318洁！净室消防标准第6】.3节？有关特？。种气体吹扫盘的相关！规定摘？。要如下 《 》1)所有危险的压】缩工艺气体》钢瓶在使用》时，应设置吹扫盘；【 ？ 2)》选用的吹《扫盘：所使用的管道、【配件的材《料与所输送的气【体应具有相容性【； — 3)？应设置过流量—控制并设紧急切【断阀； 】 4)只有用于相】容气体？的吹扫？盘才容？。许共用吹扫》气，瓶； 5！。。)设手动切断阀以便！将吹扫盘整体取下进！行修：理 ？。 2》  吹扫盘的吹【扫气源一般采用【以下两种方式—. ？ 《1)采用常用气体输！配系：统作：为吹扫气源》系，统应设置防回流【措，施，以防止吹扫气—。体与其他《工，艺特气的《交，。叉，污染； 《 《。。 2)采用专用【吹扫气？体钢瓶或《钢瓶组作《为吹：扫气源对物》。化性质不相容的【两，个或两个以上特气钢！瓶气源所配》置的吹扫盘不允许合！用一气体《钢瓶或钢《瓶组吹扫气源 ！ ， ， 10.4.5 】 本条规定硅烷或】硅烷混合物气瓶应】存放在电子工业洁净！厂房建筑外的储存】区内并？。规定了这类》储存区设置的相【关规定这些规定【主要：是参考了美国消防协！会发布？的NF？PA： 318((—洁净：室消防标准第—6.4节的》有关规定 【 1  储【存区：必须是三面敞—开的气瓶用钢—制框架？保护 2！  气瓶与周围【构筑物及《围栏最小《间距应大于等于【。9，5英尺(约2.7】。m) 》 3  —当，。储存区设有雨篷时】其净高应为12英尺！(约3.《7m) 》