？ 10.4》  特种气体系【统 《 10.4！.1  由于电子产！品生产工艺所使用】的，特种气体《是，品种多、单一品【种数量少《所，以均：为，外购供应一般采用钢！瓶包装？。、运输、《储存或少量采用【槽车运输在钢瓶(】储罐)？内的状态《有气体及液体根据生！产工艺所使》用的特种《气体物化性质—、耗量、品质要【求在电子工厂—内应合理《。。设置：储存：、分配系统 — 》10：.4.2《。  ：本条规定的特种气体！储，。存分配间是指电【子，工业洁？净厂：房中设置《特气柜的专用房间该！特气柜间《属于洁净厂房中的】生产辅助《房间通常设在—。靠外墙的边跨—中有时为了平面布局！的，需要也可设在其【他场所该特气间生产！危险性类别》的划分？应，根据放置《。的，特气种类确定—而，电子工业洁净厂房中！的特气间常》常设有可燃性—、毒性、氧化—性特种气体所以应】按甲、乙类生产类别！进，行设计参照现行【国家标准建筑设【计防火？规范GB 5—00162006】中，的，相，关规定在甲、乙【、丙：类厂房内布》置有不同类》别火灾危《险性：的房间的隔》墙应采用耐火—极限不？低于2.0》h的不燃烧》体隔墙上《的门窗应为甲级防火！门窗并根据多年【的工程实践制定【本条规定并为强制性！条文 — 10.》4.：3 ： 可燃或有毒的特种！气体具？有对安全生产、【。人员健康《极大的危《害因：此本条的第1～3款！对其分配系统—的设置作《了强制性规定 ！ 1  特【种气体？钢，瓶及其？分，配系统应《设在具有连》续，机械排风的特气柜中！该特气？柜应配有气体泄漏】检测：报，警系：统、手动或》自动：。。切换系？。统、：自动切断输送气体】及自动吹扫的设施气！体泄：漏检测报《警系统应与》事故机械排》。风机联锁该特气柜设！排风装置并应排入相！应的生产废》。气处理系统经集中处！理达标后方》能排放至大气对【储，存高危害性特种【气体的？钢瓶柜应配》置就地废气》。处理装？置经集？中处理达标后才能】。。排入上述相》应的生产废气处【理系统 ！2，  ：为确保连续不中断运！行分配？系统所设《置的自控系统—、报警系统及与之所！联锁的事《故排风机的电源均应！设应急电源 ！ 3  特—种气体系统的阀门、！附件及连《接，件都应设在多路阀门！箱(盘)(VMB】或VMP)内该阀】门箱／？盘均设机械排—风装置、《气体泄？漏检测及声》光报警系统并—能在事故《发生时及时切断气】体供应和启动所联锁！的事故排风机排入相！应的生产废》。气，处理系？统 10！.4.4  特【种，气体分配系统中具】有危害性的特—种气体钢瓶气—源应配备吹扫盘【为此本条作》了相应规定 】 1  现将】美国消防协会发【布的NFPA 3】18洁净《室消防标准第6.3！节有关特种》气体吹扫盘》的，相关规？。定摘：要如下 【 1)所有危险的！压缩：工艺气体钢瓶—在使用时应设—置吹扫盘； — 《 2)选《用的吹扫《盘所使用的管道【、配件？的材料与《所输送的气体应【具有相容性；— 3【)，应设置？过流量？控制：并，。设紧急切断阀； 】 4)【只有用于相容—气体的吹扫盘—才容许共用吹—扫气：瓶； 》 ： 5)设《手动切断阀以便【将，吹扫盘整体取下进行！修理 2！  吹扫盘》的吹扫气源一般采用！以下两种《方式. 《 ，。 ， ： ，1，)采用常《用气体？。输配系统作为吹【扫，气源系？统，应设置防回流措【。施以防止吹扫气体】与，其他工艺特气的交叉！污染：； —。。 2)采《用专用吹扫气体钢瓶！或钢：瓶组作为吹扫气源对！物化性质不相容的两！个，或两个以《上特气钢瓶气源所】配，置的吹扫盘不允【许合用一气体—钢瓶或钢瓶组吹扫】气源： ：。 10.4】.5  本条规【定硅烷或硅烷—混，合物：气瓶应存放在—电子工业《洁净厂？房建筑外的储存区】内并：。规，。定了这类储存区【设置的相关规—定这些规定主要【是参考了美国消防】协会发布《。的NFPA —31：。8，(，(洁净？室消防标准第6.】4节：的有关规定 — 《 1  储存区【必须：是三面敞《开的气瓶用钢制框】架保护 】 2 ？ ，气瓶与周围》构筑物及《围栏最小间距应【大于等于《95英尺(约2.7！m) 》 ？3  当储存区【设有雨篷时其净高应！。为12英《尺，(约3.《7m) 》