10—.4  《特，种气体系统》 【 10.《4.1  由于电子！。产品：生产工艺所使用的特！种气体是品种多【、单：一品种数量少所【以均为外购供应一般！采用钢？瓶包装、运》输、储存《或少量采用槽车【运输在钢瓶(储罐)！内，的，状态有气体及液【体，根据生产《工艺所使用的特种】气体物？。化，性质、？。。耗量、品质要—求在电子工厂内应】合理设置储》存，、分配系统 — 10【.4.2  本【条规定的特种—气体：储存分配间是指电子！工，业洁净厂房中—。设置特气柜的专【。用房间该特气柜【间属：于洁净厂房中的生产！辅助房间通常—设在靠外墙的边跨中！有时为？了平面布局的需要】也可设在其他—场所该特《气间生产危险性类】别的划？分应根据放置的【特气种类确定—而电子工《业洁净厂《房中的特气间常常】设有可燃性、毒【性、：氧化性特种气体所以！应，按甲、乙《类，生产类别进行设【计参照现行国家【标准建筑设计防火】规范GB 50【0，162006—中，的相关规定在甲、乙！、，。丙类厂房内布置【有不同类别火灾【危险性的房间—的隔墙应采用耐【火，极限不低于2—.，0h的不燃烧—体隔墙上的门窗应】为，甲，级防：火门：窗并根据多年的工程！。实践：制定本条规定并为】强，制性条文《 《 ， 10.4.—3  可燃或—有毒的特种》气体具有对》安全：生产、人员健康极】大，的危：害，因此本条《的第1～《3款对其分配系【统的设？。置作了强制性规定 ！ 1 【 特种气体钢—瓶及其分配系—。统，应设：在具有？连续机？。械排风的《特气柜中《该特气柜应配有气】体泄漏检测报—警系统、手动或自】动切换系统、自动】。切断输送气》体及自动吹扫的【设施气体泄漏检测】报，警，。系统：应与事故机械排风机！联锁该特气柜设排】风装置并应排入相应！的生产？废气处理系统—经集中处理达—标后方能排放至【大气对储存》高危害性特种气体的！钢瓶柜应配置就地废！气，处理装置《经集：中处理达《标后才能《排入上？述相应的生产废气】处理：系统 ？ 》。2  为确保连【续不中断运行分配系！统所设置的》自控系？统、报？警系统及《与之所联锁的事故】。排风机的《电源均应设应急电源！ 3【  特种气体系【统的阀？门、附件及连接【件，都，应设在多路阀门箱(！盘)(VMB—或VMP)内—该阀：门箱／盘均设机械排！风装置、气》体泄漏检测及声光报！警系统并能》在事故发《生时及时切》断气体供应和—启，动所联锁《。的事故排风机排入】相应的生产废气处】理系统 《 ， ， 10.4.】4  特《种气体分配系统中具！有危：害性：的特种气体钢瓶气】源应配备《吹扫盘为《。此本条？作了相应规定— 1 】 现将美国消—防协：会，发布的NFPA 3！18洁净室消—防标准第6.—3节：有，关特：。。种气体吹扫盘的相关！规定摘要如下 【 1)所】有危险的压缩工【艺气体钢瓶在—使用时应《设，置吹扫盘； 】 ： ，2)选用的吹—扫盘所？使用的管道、配【件的材料与所输送的！气体应具《有相容？性； 《 《。3)应设置过流量】控，制并设紧急切断【阀； 【 4)只有用于相容！气体的吹扫盘才容许！共用：。吹，扫，气瓶：。； 5】)设手动切断阀【以便将吹《。扫盘整体《取下进行《。修理 】。2  吹扫盘的吹】扫气源一《般采用以《下两种方式.—。 1)】采用常用《气体输配系统作为吹！扫气：源系统？应设置防回流措【施以防止吹扫—气体：与，其他工艺特气的交】叉，。污染； 】 2)采用专用吹】扫气体？钢瓶或？钢瓶组作为吹扫气源！对物化性质不相【。容，的两个或两个以【上特气钢瓶》气源：所配置的吹扫盘不允！许合用一气体钢瓶或！钢瓶组吹扫气源 】 《 10.4.—5  本条规定硅烷！或硅烷混合物气瓶应！存放在电子工—业洁净？。厂房建筑外的储存】。区内并规定了这类】。储存区设置的相关规！定这些规定主要是】参考了美《国消防协《会发布的NF—PA 318—((洁净室》消防标准第6.4】节的有关《规定 — ：1  储《存区必须是三—面敞开的气瓶用钢制！框架保护 【 ？2  气瓶》与周：围构筑？物，。及围：栏最小间《距应大？。于等：于，95：英尺(约2.7m】。) 3 ！ 当储存区设有雨】篷时其净高》应为：12英尺(约3.7！m) 《