10.【4  特种》气体系统《 】10.4.1—。  由于电子产【品生产？工艺所使用的特种】气，体是品种多》、单一品《种数量少所以—均，为外购供《应一般采用钢—。。瓶包装、《运，输、储存或少量采】。用槽车运输在钢瓶(！储罐)内的》状态有气《体及液体根据生【产工艺所使用—的特种气《体物化性质、耗量】、品质要求在电【子工厂内应合—理设置储存》、分配系《统 ？ 10.4】.2  本条规定】的特种气体储存分】配间是指《。电子工业洁净—厂房中设《置特气柜的专用房间！该特气？柜间属于《洁净厂房中》的生：产辅助房间通—常，设在靠？外，墙的边跨中有时为了！平面布局的》需要也可《设，在其：他场所该特气间【生产危险性》类别的划分应根据】放置的特《气种类确定而电子】工业洁净《厂房：中的特气《间，常常设有《可燃性、毒性、氧化！性特种气体所以应按！甲、：乙类生？产类别进行》设计参照现行国家】标准建筑设》计防火规范GB 5！0016200【6中的相关规定【在甲、乙、丙类厂房！内布置有不同—类别火灾危》。险性：的，房间的隔墙》应，采用耐火极限不【低于2.0h的不】。燃，烧体隔？墙，。上的：门窗应为甲级防火门！。窗并：根据：多，年的工程实》践制：定本条规定并为强制！性条文 》 ： 1？0.4.3  【可燃或有毒的特【种气：体具有对《安全生产、人—员健康极大的—危害因此《本条：。。的第1～3款对其】分，配系统的设置—作了强制性规定 】 ， 1  【特种气？体钢瓶？及其分配系统应设】在具有连续机—械，排风：的特气？柜中该特气柜应配有！气体泄漏检》测报警系统、手【动或自动切》换系统、自》动切断输《送气体及《自动吹扫的》设施气体《。泄漏检测报警系统】应与事故机械排风】机联锁？该特气柜《设排风装《置并应排《入相应的《生产废气处理系统经！集中处理达标后方】。能，。排放至大气对储存】高危害性特》种气体的《。钢瓶柜应配置就【地废气处理装置经集！中处理达标后—才能排入上述相【应的生产废》气处：理系统 《 《 2 ？ 为确保连续不中断！运行分配系统所设】。置的自控系统、报】警系统及与之所联】锁的事故排风—机的电源均》应设应急《电，源 3】。  特种气体系统】的阀：门、附件及连接件都！应设在多路阀门箱(！盘)(？VMB或VM—P)：内该：阀，门箱／盘均设机械】排风装置、气—体泄：漏，检测及声光》报警系统并能—在事故发《生时及时切断气体供！应和启动所联锁【的事故排《风机排入相应—的生产？废气处理系统 】 ， 1《0.4.4 — 特种？。。气体分配《系统中具有危—害性的特种气—体钢瓶气源应配【备吹扫盘为此—本条作了《相，应规定 》。 1 — 现将？美国消防协会发布的！NFPA 318洁！净室：消防标？准第6.《3节有？关特种气体吹—扫盘的相关规定摘要！如下 ？ ： ， 1)所》有危险的压缩工【艺气体钢瓶在—使用：时应设置吹扫—盘； 2！)，选用的吹《扫盘：所使用的管道、配件！的材料与所》输送：的气体应具有相容】性； 《 ： 3)应设置过】流量控制并》设紧急切断阀—； ？ ， 4《)只：有用于？相容气体的》吹扫盘才容许—共，用吹扫气《瓶； — ， 5)设手动切断阀！以便将？吹扫盘整体取下【进行修理 【 ： ，2  吹扫盘的吹扫！气，源一般？采用以下两种方【式.： ？ 1)采—用常用气《体输配？系统作？为吹扫气源系统【应设置？防回流措施以防止吹！扫气：体与其他《。工艺特？。气，的交叉污染；— ： ？ ，2)采用专用—吹扫气体《钢瓶或钢《瓶组作为吹》扫气：源对：物化性质不相—容的两个或两个以】上特气钢《瓶气源所配》置的吹？扫盘不？允许合用一气—体，钢瓶或钢瓶组吹扫】气，源 【10.4.5  】本条规定硅烷或硅】。烷，混合物气瓶应存放在！电子工业洁净厂房】建筑外的储》存区内并《规定了这类储—存区设置的相关规定！。这些规定主要—是参考了美国—消防协会发布—的NFPA 31】8((洁净》室消防标准第6.4！节的有关规定 【 ？ 1  储存【区必须是三面敞【开的气？瓶，用钢制框架保护【 《 ：2  气瓶与周【围构筑物及围—栏最小间距应大于】等于95英尺(约】2.7m) 】 3《  当储存区设有雨！篷时其？净高应为12英尺】(约3.《7m：) ？