安全验证
《10.3  干【。。燥压缩空气系统 】。 ,。 : 10.3】.1 ? 干燥压缩空气【系统是电《子工厂?中的一种重要动力】源它用于许多—电子产品生产工【艺设:备气:。动设备或仪器仪表】的动力气《。源一旦供气量—不足或供气》品质下降都将影【响产品生产过程的】正常进行严重时【还将:停产故本条对电子工!业洁净厂《房中的干燥压缩空气!系统作了《相关的规《。定 — 1:  应按生产工艺】、公:用,动力系统对于燥压缩!空,气品质、消耗量确】定设计规模为—确保生产《工艺供气的安全【、,可靠、?稳定性要求应留【有合理的富余量【当产品生产过程要】求不能中断供—气或:中断供气将会引起】安全事故时应设【。置一定的备用供【气装置?等 》 , 2:  电子《产品生产过程对干】燥压缩?空气的?含水量?(或:。露点:)、:含油量?、微粒粒径及其浓】度的要求较为严格表!2,。4是一些电子产【品生产工艺》对干燥压《缩空:气品质的主要要【求 》 《 3  电子!工厂所需《。干燥压缩空气大多】要求严格控制含【油量或无油》;即使少数产品【。因生产工艺对干燥】压缩空气无含油量要!求但为?了,确保干燥装置的安全!可靠运行应》采用:无油润滑空》气压缩?。机或采取《多,级,过滤器除油》所以本条《推荐“宜选用无油润!滑空气压缩机—”, :