10.3】 干燥《压缩空气系统
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1—0.3.1 干燥!压缩空气《系统:是电:子工厂中的一种重要!。。。动力源它《用于许多电子产【品生产工艺设—。备气动设《备,或仪器仪表的动【。力,气源一旦供》气量不足或供—气品质下降》都将影响产品生产过!程的:正,常进行严《重时还将停》产故本条对电子工业!洁净厂房中》的干燥?。压缩空气系统作【。了相关?。的规:定
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1 应!按生产工艺、公用】动力系统《对,。于,燥压缩空气》品,质、消耗量确—定设计规模为确保】生产工艺《供气:。的安全、可靠、【稳,定性要求《应留有?合理的富余量当产】品生产?过程要求不能—中断供气或中—断供气?将会引起安全事【故时应设置一定【的备用供气装置等
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2 电子产【品生产过程对干燥压!缩空气的含水量【(或露点)、含【油量、?微粒粒径及其浓度的!要求:较为严格表24是】一些电子产品生产】工,艺对干燥压缩—空气品?质的主要要》求
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3 》。电子工厂所需干【燥压缩空《气大多要求》严格控制含油量或无!油;即?使少数产品因生【产工艺对干》燥压缩空气无—含油量要求》但为了确保干—燥装置的安》。全可靠运行应—采用:无油润滑空》气压缩?机或采取多》级过滤器《除油所以本条推荐“!宜选用无油》润滑空气《压缩机”
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