： 10.3 【 干燥压缩空气系统！。 1！0.3.1 — ，干燥压缩空气系统是！电子工厂《中的一种重要动【力源它？用于：许多电？子，产，品生产工艺》设备气动设备或仪】器仪：表的动力气源—一旦供气量不足或供！气品质下降都将影】响产品生产》过程：的正常？。进行严？重时还将停产故【本条对电子工业洁净！厂房中？。的干燥压缩》空气系统作了相【关的规定 】 1  应按生】产工：艺、公用动力系【统，对于燥压缩空气品质！、消耗？量确定设计规模为确！保生产工艺》供气：的，安全、可靠、稳定性！要求应留有合理【的富余量当产品【生产过程要求不能】中断供气或中断供】气将：会引起安全事—故时应设《置一：定的备用供气—装置等 《 2 【 电子产品生产【过程对干燥》压缩空气的含—。水量(或露》点)、含油量、微】粒粒：径及其浓度》的要求？较，为严格表2》4是一些《电子产品《生产工艺对干燥压缩！空气品质《的主要？要求 ！ 3  】电子工厂所需—干燥压？缩空气大多》要求严？格控：制含油量或》无油；？即使少数产》品因生产工艺对干】燥压缩空气无含【油量要求但为了【确保干燥装》置的安？全，可靠运行《应，采用无油《润，滑空气压缩》机或采取多级过滤器！除油所以本条推荐】。“宜选？用无油润滑空气【压缩机” —