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,10.3 干燥】压缩空气《系统
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:1,0.3.《1 : 干燥?压缩空气系统是电】子工厂中《的一种重要动力源】它用于许多》电子产品《。生产:工艺设备气动—设备或仪器》仪表:的动力气源》一旦供气《量不足或供气品质下!降都将影响产品生】产过程的正常进行】严重时还将停产【。。故本条对电子工【业洁:净厂房?中的干燥压缩空气系!统作了相关的规定】。
1【 应按生产工艺】、公用动力系—统对于燥压缩空气品!质、:消耗量确《。定,设计规模为确保生】。产工艺供气的安全、!可靠、稳定性要求】应留有合理的—富余量当产品—生产过程要求不能中!断供气或《中断供气将》会引起?安全事故时应设【置一定的备用供气】装置等
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2 —电子产品生产过程】对干燥压缩》空气的含水量—(或露点)、含【油量:。、微粒粒径及其【。浓度的要求较为严格!表24是一些电子】产品生产工》艺对干燥压缩空气】品质的主要要求
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3? 电子《工,厂所:需干燥?压缩空气大多—要求严格控制含油】量或无油;即使少数!产品因生产工艺对干!。燥压缩?空,气无:含油量要求但—。为了:确保干燥装置的安全!可靠运?。。。行应:采用无油《润,。滑空气压《缩机或采取多级【过,。滤器:除油所以本条推荐】“宜选用无油润滑】空气压缩《。机”:
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