。 《10.？2 ： 常：用气体系统 】 1—0.2.1 —。 常用气体主要包括！氢气、氮气、氧【气、氩气《。和氦气在《电子工厂中》它们的供气方式主】要有三种第一种【是，。在电子工《厂内或邻《近处设制气装置采用！管，道输送至用气厂房、！车间或设备；—第，二种外购液态气体在！。电子厂房内》设液：态气体储罐、—气化：器，及气体过滤、调压、！输配装？。置由管道送至用气】厂房、车间或设【。备；第三种外购【。瓶装压缩《气体：瓶装：。压缩气体有单个钢瓶！或钢：瓶，集装：格或长管气瓶拖【车等形？式在电子工厂内设】压缩气体钢瓶储存、！气体分配装置或汇】流，排，再由管？道输送至《用气厂房、》车，间或设备表23是】三种方式的》。比较 【 ： 《 10？.，2，.3～10》。.2.5  这3条！。是对：电子工？业洁净厂房中的气体！纯化装置的设置【、气体入口室的设】置和气体纯化间、】气体入口室内设【有氢气等可燃气体】纯化装置或管道时】为了安全、稳定【运行作的规定或要】求 1 ！ 根据电子产品【生产：工艺：要求和气源的品质】电，子工业洁净厂房【内常常？设有：不同类型的气体纯】化装置如电子产品】生产工艺《要求气？体中杂质《含量达到10-9时！即使管道供》应或外购气瓶—。的气体纯度达99.！ 99％或99【.999％尚—需设置金《属吸气剂法、低温】吸附法和钯膜—扩散法等《类，气体纯化《装置对气《体进行提纯》 2 】 根：据国内已建各类电子！工业洁净厂房的【状况：对于用气设备较多】的厂房为方》便，。管理和？安全运行各种气体纯！化装置大多设在【气体纯化间(—站)内并且常常【将，多种气？体纯化装置集中设置！在一气体纯》化间：(站)内一般氧气纯！化装置？。由于不需要用氢气】进行活化再生配置】。非，防爆电气装》置时可将氧气纯化装！置与配置有》防爆电气装置的气】体纯化装置分—开设置 【 ：3  为了对进【入电子？工业洁净厂》房的各种气体管道进！行集中管理目—前，国内各工厂》大多设？有气体？入口室也有的—工厂为管理方便【将部分气体纯化装置！或全部气体纯化装置！。也设置在气体—入口室内或将—气体进？入洁净厂房》的相关控制阀—门，设在气体《纯化：间内 】4  由《于，气体终端纯化装【置，是确保？用气设备处的—气体品质并》且这：类设备对气体—品质：要求均十分》严格为了减少高纯气！体输送？过程被污染》和减少管《路投：资以及管《理方便宜将气—体终端纯化》设备设在邻近用气点！处 《 ， 5  对于甲】。类，火灾危险生产的气】体纯：化间：(站)？。或气体入口》室根据现行国家【标准建筑《设计防火规》范，GB 5001【6的要求应靠外墙设！置 6 ！ 氢：气等可燃气体引【入管道上应设自【动切断？。阀对洁净室(区【)的安全《。可靠：运，行十分有利一旦出】现异：常，时切断可《燃气体气源防止事故！扩大美？国消防？协会颁？布的：NFPA 3—。18洁净《室消防标《准第6？.6.3条规定“…！…可燃和有毒—气体探测器必—须启动报警器和【切断气体《供给” 】 7  《设有氢气等可—燃气体？的气体纯《化间或？气体入口室应设有】良，。。好，的自然通风设—。施以确保一》旦，氢气等泄《。漏时及时排放避免】在，室内积累；当房间】内，泄，漏气体达到规定浓】度时气体泄》漏报：警装置报警并启动事！故排风装置工程实】践证：明自然通《风、事故《排风均？为，可靠的、行之有【效的安全技术—措施 《 10.【2，.6  鉴于氧气的！特性氧气与油脂【。。接，触后如？碰上：。。着火源极易引起燃烧！事故所以氧气管道】、阀门？及附件均应忌油都】必须进行严格的脱】脂处理；氧气是典】型的氧化性》气体只要在氧气管】道内：因各种原因存—在机械杂质》。、，铁锈等可《燃物时一旦》有着火源都》极易引发着火燃【烧事故因此》氧气管道等均应【。设有导除静电的接】地设施？以，及时消除《管道：内，气，。流摩擦等因素产生】。的静电聚集；当洁】净厂房因各》种原因出现》火，情或重大事故时为了！。避免引发氧气管道产！生次生灾害减—少损失应及时—切断氧气供》气气源为此》制定本条规定并为】强制性条《文 【1，。0.2.9  【由于：洁净室(区》)内密闭《性好为避《免各类气体泄漏【后不易排出》。积，聚在洁净室(—区)内或技术夹【层、技术夹道内根】据电子工业》洁净厂房设计、【建造的实践经—验气体管道》的连接应采用焊接当！气，体管道的材质采用】不锈钢管时应采用氩！弧焊并宜采》。用等离子《熔融对接焊》气体管道与设—。备或阀门的连接宜采！用，表面密封《接头(VCR)或双！卡套高纯气体管道应！采用表？面密：封接：头(V？CR)采用双卡套】接头时其《密封材？料宜采用金属—。。或聚四氟《乙烯垫 》