， ？10：.2 ？ ，常用气？体系统 — 1—0.2.《1 ： 常：。用气：体主要？包括氢气、氮—气、氧气、氩气【和氦气在《电子工厂中它们的】供气方式主要有三】种第：一种：。是在电子工厂内【或邻近处设制气装】。置采用？管道：输送至？。用气：厂房、车间或设【备；第二种外—购液态气体在—电子厂？。房内设液态气体储】罐、气化器及气体过！滤，、调：。压、输配《装置由管道送至【用气厂房、车间【或设备；第》三种：外购瓶装压缩气体瓶！装压缩气体有—单，个，。钢瓶或钢瓶》集装格或长》管气瓶拖车等形式在！电子工厂内设—压缩气？。体钢瓶储存、—气体分？配装置？或汇流排再由管【。道输送？至用气厂房》、，车间或设备》表23是三》种方式的《比较 ！ ？ 10.2.【3～10.2.【5  ？这3条是对》电子工业洁净厂【房中的气体纯化装】置的设置《、气：体，入口室的设置—。和气体纯化间、【。气，。体入口室内设有【氢，气等可燃气体—纯化装置或管道时为！。。了，安全、稳定》运行作的规定或要】求 《 1  根据电！子，产，品生产工艺要—。求和气源的品—质电子工业》洁净厂房内常常【设有不同类型的气】体纯化？装置：如电：子产品生产工艺要求！气体：中杂质含量达到1】0-9时即使管道】供应或外购气瓶【的气体纯《度达99. 9【9％：。。或，99.99》9％尚？需设置？金属吸气剂法、低】温吸附法《和钯膜扩散法等类】气体纯？化装置对气》体，进行提纯 》。 2 【 根据国内已—建各类？电子工业洁》净，厂房的状况对于用气！设备较多《的厂房为方便管理和！安全：运行各种气体纯化】装置大多设在气【体纯化间(》站，)内并且《。常，常将：多种气体纯化装【置集中设置在一气】体纯化间(》站)内一《般氧气纯化装置由于！。不需要用氢气—进行活？化再生配置非—防爆电气装置时可】将，氧气纯化装置与配】置有防爆电》气装置的气体纯【。化装置分开设置【 3  ！为了对进《入电：子工业洁净》厂房：的各种？气体管道进行集中】管理目前国内各工】。厂大多设有气体【入口：室也有的工厂为【管理方便将部分气】体，纯化装？置或全部《气体纯化装置—。也设置在气体入口】室内或？将气体进入洁净厂房！的相关控制》阀门设在气体纯化】间内 — 4  由—于气：体终端纯《。化装置？是，确保用气设备处【的，气体品质并且—这类设备对气体品】质要：。求均十分严格为了】减少高纯气体—。输送过？程被污染和减少管路！投资以及管理—方便宜？将气：体终端纯化设备设】在邻近用气点处 】 》5  对于》甲类火灾《危险生产的气—体，纯化间(《站)或气体入口室】根据现行国家标【准建筑设计防火【规范G？B 5001—6的要求应》靠外墙设置 】 6  氢气等！可燃气体引入管道上！应设自动切断阀【对洁净室(》区)的安全可靠运行！。。。。十分有利一旦出现异！常时切？断可燃气体》。。气源防止《事故扩？大美：国消：防协会颁布的—NFPA 318】洁净室消防标准第】6.6.3条规【定“……可燃和有】毒气体探测器—必须启动报警—。器和：切断：气体供给” ！。 7  设有氢】气等可燃《气体：的气体纯化间或【。气体入口《室，应，设有良好《的，自然通风设施以【确保一旦氢气等【泄漏时及时》排放避免在室—。。。内积累？；当房？间内泄？漏气体达《到，规定浓度时气体泄漏！报警装置报警并【。启动：。事，故排风装置工程实】践证明自然通风、】事故排风均为可【靠的、行之有效【的，安全技术措施 ！。 10.2.6！  鉴？于氧：。。气，的，特性氧气与油脂【接触后如《碰，。上，着火：源极易引起》燃烧事故所》以氧气管道、阀门及！附件均应忌油都必须！进行严格的脱脂处理！；氧气是典型—的氧化性气体—只要在氧气管道【内因各种《原因存在《机械杂质、铁锈【等可燃物时一旦有】着火源都《。极易：引发着火燃》烧事故？因此氧气管道等均应！设有导除静电—的接地设施以—及时消除管道—内，气流摩擦等因素【产生的静电聚集；】当洁净？厂房因？各，种原因？出现火情《或重大事《故时为了避免—引发氧气管道产生次！。生灾害减少损失应】及时切断氧气—供气气？源为此制定本条规定！并为强制性条文 】 10.】2.9 《 由于？洁净：室(区)内》密闭性好为避免各】类气体泄《漏后：不易排出积聚—在，洁净室(区)内或】技，术，夹层：、技术？夹道内根据》电子工业洁》净厂房设《计、建造的实践【。经验气体管》道的连接应采—用焊接当《气体管？道的材？质采用不锈钢管时应！采用氩弧焊并宜采】用等离子熔融对【接焊气体管道与【设备或阀门》的连接？宜采用表面密封接头！(VCR)或—双卡套高《。纯，气体：管道应？采用表面密封—接头(VCR)采用！双卡套？接，头时其密封材料【宜采用金属或聚四氟！乙烯垫 《 ，