10.2】  常用《气体系统 ！ ， 10.2.1】  常？用气体主要》包括：氢气、氮气、—氧气：、氩：气和氦气在》。电子工厂中它们的供！气方式主要》有三种第一种—是，在，电子工厂内或—。邻近处设《制气装置采》用管道？输送至用气厂房、】车间或设备；第【。二种外购液态气体】在电子？厂房内设液态气体】储罐、？气化器及气体过【滤、：调压、输配装置由】管道送至《用气厂房、车间【或设备；第三种外】购瓶装压缩气—体瓶装压缩》气，体有单个《钢瓶或钢瓶集—装格或长管》气瓶拖车等形—式在电子《工厂内？设压缩气体钢瓶储存！、气：体分配装置或—汇，流排再？由，管道输送至用气厂房！。。、车间？或设：备，。表23？是三种方式的比较】 》 ， 《 ：10.2.》。3～10.2.【5  这3条—是，对电子工业洁净【。厂房中的气体—纯化装置的设置、气！体，入口室？的设置和气体纯化】间、气体入口室内设！有氢气等可燃气体纯！化装置或《管道时为了安全【、稳定运行作的【规，定或：要求 》 ， 1  根据【电，子产品生产工艺要】。求和气源的》品质电子工业—洁净厂房内》常，常设有？不同类型的气体纯化！装置如电《子，产品生？产工艺要求气体中杂！质含量？达到：10-9时即—使管道供应》或外购气《瓶的：气体纯度达》。99. 99％或】99.999—％尚需设置》金属吸？气剂：法、低温吸附—法和钯膜扩散—。法等类？气体纯化装置对气体！进行提纯 】 ， 2  根据国【内已建各类电子工】业洁净厂房的状况对！于用气设备》较多的厂房为—。方便管理和》安全运行各》种气体纯化》装置：大多设在气体纯化间！(站)内并且—常常将多种》气体纯化装置集中设！置，在一气体《纯，化间(站)内—一般氧气纯化装【置由：于不需要用氢—气进行活化再生【配置：非，防爆电气装》置，时可将氧《气纯化装置与配置】有防爆电《气装置？的气体纯化》装置分开设》置 ？ ： ， 3  《为了对？。进入电子工业洁净】厂房的各《种气体管道进行【集中管理目前国内各！工厂大多《设有气体入口—室也有的工厂为【管理方便将部分气】体纯化装置或全部】气体：纯化装置《也，设置在气体入口室内！或将气体进入洁【净，厂房的相关控—制阀门设《。在气体纯化间—内 【。4  由于》气体终端纯》化装置是确保—用，气设：备处的气体品质【并且这类《设备对？气体：品质要求均十分严】格为了减少高纯【气，。体输送过程被污【染和减？少管路投《资以及管理方便【宜将：气体终端纯化—设备设？在邻近用气点—处 ？ ： 5 《 对：于甲类？火灾危险生产的【气体纯？化间(站)或—气体入口室根据【。现行国家标准建【筑设计防火》。规范G？B 50016的要！求，应靠外墙设置 】 ， 6  氢气】等可燃？气体引入管》道上应设自》动切断阀《对洁净室(区)【。的安全可靠运行十分！。有利一旦出现异常】时，切断可燃气体气【源防止事故扩大【。美国消？防协会？颁，布的N？F，PA 318洁净】室消防标准第6.6！。。.3条规定“—……可燃《和有毒气体探测【器必须启动报警器和！切断气体供给—” 7 ！ 设有氢《气等可燃《气体的？气体纯化间或气体】。入口室应设有良【。好，的自然通风设施【以确保一旦氢气【等泄漏时及时—排放：避免在室《内积累；当房—间内泄漏《气体达到规》定浓度时气体泄漏报！警装：置报警并启动—事，故排风装置工程【实，践证明自然》通风、事故排风均为！。可靠：的、行之有效的【安全：技术措施 】。 10.2—.6  鉴于氧【气的特性《氧气与油脂接触后如！碰上着火源极—易引起燃《烧事故所以氧气【管道、阀门及附件均！应忌油都必须—进行：严格的？脱，脂处理；《氧气是典型》的氧化性气》体只要在氧》气管道内《因各种？原因存在机械—杂，质、铁锈《等可燃物《时一：旦有着火《源都：极易：引发着火燃烧事故】因此氧气《管道等均应设有导】除静电的接地设施】。以及时消除管道内】气流摩？擦等因素产生—。的静电聚集；当洁净！厂房因各种原因出】现火情或《。重大事故时为了避免！引发氧气管道产【。生次生灾害》减少损失《应及时切断氧气供】气气源为此》制定本条规定并【。为强制性《条文 《 10.【2.9？  由于洁》净室(区)内—密闭性好为》避免：各类气体《泄漏后不易排出积聚！在洁净室(区)【内或技？术夹层、技术—夹道内？。根据电子工业洁净】厂房：设计、建造》的实践经验气体管】道的连接应采用【焊接当气《体管道的材》质采用不锈钢—。管时应？采用氩弧焊并—宜采用？等离子熔《融对接焊气体管道】与设备或阀门的连】接宜采用表面—密封接头(V—CR)或《双卡套高纯气体【管道应采用表面密封！接头(V《C，R)采用双卡—套接：头时其密封材—。料宜采用金属或聚】四氟乙烯《垫 ？