： ， 10.2  常用！气体系？统， 【 10.2.—1  ？常，用气体主要包括【氢气、氮气、氧气、！。氩气和？氦气在？电子工？厂中它们《。。的供：气方式主要》有三种第一种—是在电子工厂—内或邻近处设—制气装置采用管【道输送至用》气厂房、车间—或设：备，；第二种《外购液态气体在电】子厂房内设液态【气体储罐、气化器及！气体过滤、》调压、输配》装置由管道送至用气！。厂房、？车间或设《备；第三种外购瓶装！压缩气体瓶装压【缩气体有单个钢【瓶或钢瓶《集装格或长管气瓶】拖车等形式》在电子？工厂内设压缩气体】钢瓶：储存、气体分配装】置或汇流排再—由管道输《送至用气厂房—、车间或设备—表2：3是三种方式的比较！ 《 — 10《.2：.3～10.2.】5  这3》条是对电《子工业洁《净厂房中的气体纯】化装置？。的设置、气体入口室！的设置和《气体纯化间、气【体入口室《内设：有，氢气等可燃》。气体纯化《装置或管道时为了】安全：、稳定运行作的【规，定或要？求 — 1 ？ 根据电《子产品生产》。工，。艺要求和气源的【品质电子工业—洁，净厂房？内常常设有不—。同类型的气体—纯化装置《如电：子产：品生产工艺要—求气体中《杂质含量达》到10-《9时即使《管道供应或》外购气瓶《的气体？纯度达？。99. 9》9％或99.9【9，9％：尚需设置金属吸气】剂法、？低温吸附法和钯膜】扩，散法：。等类气体纯化装置对！气体进行提纯 】 ： 2  根据国内！已，建各类电子工业洁】净厂房的状况—对，于用气设备较—。多的厂房为方便管理！和安全运行各—种，气体纯化装》置大多设在》气体纯？化间(站)》内并且常常将多种气！体纯：化装置集中设置【。在一：气体纯化间(—。站)内一《般氧气纯化装置由于！不需要用《氢气进行活化再生】配置非防《爆电：气，装置时可将》氧，气纯：化装置？与配置有防爆电气】装置：的气体纯化》装置：分开设置 》 3  】为了：对进入电子工业【洁净厂？房，的各种气体管道进】行集中管理》目前国内各》工厂大多设有—气体入口室》也有的工厂为管理】方便将部分气体纯化！装置或全部气体纯】化装置也《。设置在气体入口【室，内或：将气体进《入，洁净厂？房的相关控制阀【门设在气体纯—化间内 《 4  】由于气体《终端纯化装》置是确保用气设备处！的气：体品质并且这类【。。设备对气体品质【要求均十分严格【为了减少高纯气体输！送过程被污染和【减少管路投》资以及？管理方便宜将气体】终端纯化设》备设在？邻近用气点处 ！ ， 5  对于甲类！火灾危险《生产：的气体纯化间—(站)或气体入【口室：根据现行国家—标准建筑设计—。防，。火规：。范GB 50—01：6的要求《应靠外墙设置 【 ？ 6  氢—气等：可燃气体引入管道上！应设自动《切断阀对洁净室(】区，)，的安全可靠》运行：十分：有利一旦出现异常】时切断？可燃气体气源防止】事故扩大美国消防】协会颁布《的NFPA —318洁净室—。消防标准第6—.6.3条规定【“……可燃和有【毒气体探测器—必须启动报警—。。器和切断气体供给】” — 7  《设有氢气等可燃气】体，的气：体纯化间或气体入口！室，应设：有良好的自然通【风设施以确保—一旦：氢气等泄漏》时及时排放》。避免在室内》积累：；当房间内泄漏气体！达到规？定浓度时气体泄漏】报警装置报警—并启：动事：故排风装置工程【实践证明《自然通风、事故排风！均为：可靠的、行之有效】的安全技术措施 ！ 10—.2.6  鉴于氧！气的特性氧气—与油脂接触后如碰】上着火？源极易引起燃烧事故！所以氧气管》道、阀门及附—件均应忌油都—必，须进行严格的脱脂处！理；氧气是典型的】氧，化性气体只要—。在氧气管道内因【各种原？因，存在机械《杂质、铁锈》等可：燃物时一旦》有着火源都极—易引：发着：火燃烧事《故因此氧气管—道等均应《设有导除静电—的接地？设施：。以，及时：消除管道内》气流摩擦等因素【。产生的？静电：聚集；当洁净—厂房因各种》原因出现火情或重】大事故时为》了避免引发氧气管】道产生次《生灾害减少损失应及！时切断氧《气供气气源》为，。。此制定本条规定并】为强制性条文 【 ： 10.—。2.9？  由？于洁净室(区—)内密闭性好为避免！各类气？。。体泄漏？后不易排出积聚在洁！净室(区)内或技术！夹层、技术夹道【内根据电子工业洁净！。厂房设？计、建造的实践【。经验气体管道的连】接应采用焊接当【气体管道的材质采用！不锈钢管《。时应采用氩弧焊并】宜采用等离子熔融】对接焊？气体管道与设备或阀！。门的：连接宜采用表—面密封？接头(？VC：R)或双卡套高纯】气体管道应》采用表面密》封接头(《VCR)采用双【卡套接头时其密【封材料？宜采用？金属或聚《四氟乙烯垫 【