。 10.2】  常用气》。体，系统 — 1》0.：2.1  常—用气体主要包括氢】气，、氮气、氧气、【。氩气和氦气》在电子工厂中—它们的供气方式主要！有，三种第一种是—在电子工厂内或【邻近处设制气装【置采：用管道输送至用【。气厂房、车间—或设备；第二种外购！液态气体在电—子，厂房内设液态气体储！。罐、气化器》及气体过滤、—调压、输配装置【由管道送至》用气厂房、车间或】设备；第《三，种外购瓶装》压缩气体瓶装压【缩，。气体有单个钢—瓶或钢？瓶集装格或长管【气瓶拖？车等形？式在电子《工厂内设压缩气体】钢瓶：储存、气体分—。配装置或汇》流排再由管道输送至！用气厂？房、：车，间或：设备表23是三种】方式的比较 】 ， 》 1《0.2.3》～1：0，.2：.5 ？ 这：3，条，是对电子《工业洁净《厂房中的《气体纯化装》置的设置、气—体，入口室的设置和气】体纯化间、气体入口！室内设有氢气—等可：燃气体纯化》装置或管道时为了】安全、稳定运行作】的规定？。或要求 ！1  根据电子【产品生产《工艺：要求和气源的品【质电：子工业？洁净厂房内常—常设有不同》类型的气体纯—化装置如电子—。产，品生产工艺要—求，气体中杂质含量达到！10：-9时即使管—道，供，应或外购气瓶—。的气体纯《度达99. —9，9％：或9：9，.999％尚—需设置金属吸—气剂法、低温—吸附法和钯》膜扩：散法：等，类气体纯化》装置对气体进行提纯！ 2  ！根据国内《已建各类电子工业洁！。净厂房的状况对【于用气设备较多的】厂房为方便管理和】。。安全运行各种气【体纯化？装置大多设》在气体？纯化：间，(站)内并且—常，常将多？种气体纯化装置集中！设置在？一气体纯化间(【站，)内一般《氧气纯化装置由于不！需，。要用氢气进行活化再！生配置非防爆电气装！。置时可将氧气纯化】装置与配置有防爆电！气装置的《气体纯化装》置分开设置 ！ ：3 ： 为：。了对进入电子工业】洁，净厂房的各》种气体管道进—。行集中管《理目前国内各工厂大！多设有气体入—口室也？有的工？厂为管理方》便将部分气体纯化】。装置或全部气体纯】化装：置也：设置：在气体入口室内或】。将气体进入洁净厂房！的相关控制阀门设在！气体纯化间内 【 4  由！于气体终端纯化装置！。是确：保用气设备处的气】体品质并且这类设】备对气体品质要求均！十分严？。格为了减少高纯气】体输送过《。程被污染和》减少管路投资以【及管理方便宜将【气，体，终端纯化设备设在邻！近用气点处 ！ 5  》对于甲类火灾—危险生产的气—体纯化？间，(站)或气体入【。口室：根据现？行国家标准建筑【设计防火《规范：GB： ，。50：016的要》求应靠外墙设—置 【6  氢气等—。可燃气体引入—管道上应设自动切断！阀对洁？净室(区)的安【全可靠运《行十分有利一旦出现！异常：时切断可燃》气体气源《防，止事故扩大美—。。国消防协《。会颁：布的NFPA— 318洁净室消】防标准第6》.6.3条规定【“……可燃和—有毒气体探测—器必须启动》报警器和切》断气体供给”— ， 7  设！有氢气等《可燃气体《的气：体纯化间或》气体入？口室：应设有良好的自然通！风设施以确保一旦】氢气等泄漏时及【时排放？避免在室内积—累；当房间内泄【漏气体达到规定浓】度时气体泄漏报警】装置报警并启—动事故排风装置工程！实践证明自然—通风、事故排风【均，为可：靠的、行之有效【的安全技术措施 ！。 10.2.！6  鉴于氧气【的特：性氧气与油脂接触】后如碰？。上着火源《极易引起燃烧事【。故所以？。氧气管道、阀门【。及附：件均应忌油》都必须？进行严格的脱脂【处，理；氧气是》典型的？氧化性气体只要在氧！气管道内因各种原因！。存在机械杂质、【铁锈等可燃物时一旦！有着火源都极易引发！着火燃烧事故因【此氧气管道等均应设！有导除静电的接【地设施以《及时消除管道内气】流摩：擦等因素《产生的静《电聚：集；当洁净厂房【因，各种原因《出现火情或》重大事故时为了避】免引：发氧气管道》产生次生灾》害减少损《失应及时切断氧气】。供气气源为此—制定本条规定—。并为强制《性条文？ ， ： 10.—。2.9  由于洁净！室(区)内密闭【性好为避免》各类气体泄漏后不易！排出积？聚在洁？净室(区《。)内或技术》夹层、技《术夹道内根据电【子工：业洁净厂房》设计、建造的实践经！验气体管道的连接】应采：用焊接？当气体管道》的材质采用不—。锈钢管？时应采？用氩弧焊并宜—采用等离子熔融对接！焊气体管道与设备】或阀门？。的连接宜采用表面】密封接？头，(VCR)或双【。卡套高纯气体管道】应采用？表面密？。封接头(V》CR)采用》双，卡套接头时》其密封材料宜采【用金属或聚》。四氟乙烯垫 【