？ 10.《2  常用气体系】统 ？ 1【0.2.《。1  常用气—体，主要包？括氢气、氮气、【氧气、氩气》和氦：气在电子《工，厂中它们的供气【方式主？要有三种第一种是】在，电子工？厂内：或邻近处设制气【装置采用管道输送至！用气厂房、车—间，或设备；《第二：种外：购液态气体在电子】厂房内设液态气【体储罐、气化器及气！体过滤、调压—、输配装置由管道】送，至用气厂房》、车间或设》备；第三种外购瓶】装压缩？气体瓶装压缩气体】有单个钢瓶或钢瓶集！装，格或长管气》瓶，拖车等形《式在电子《工厂：内设压缩气体钢【瓶储存、气》。体分配？装，置或汇流《排再由管《道输送至用气厂房】、，车间或设备表—23是三《种，方，式的：比，较 】 10.】2.3？～10？。.2.5  —。这3条是对电子工业！洁净厂房中》的气体纯化装置的设！置、气体入口室的设！置和气体纯化间、气！体入：口室：内设有氢气等—可燃气体纯化—装置或管《道，时为了安全、稳定运！行作的规定或要【求 【1，  根据电》子产品生产》工艺要求《和气：源的品质电子工业洁！。净厂房内常常设有】不，同类型的气体—纯化：装置如电子产—品生产工艺要求【气体：中杂质含量达到【10-9时即使【。管道供应《或外购气瓶》的气体纯度达—99. 9》9％或99》.99？9％：尚需设置金》属吸：气剂法、低》温吸附法《。和钯膜扩散法等类气！。体，纯化装置《对气体进《行提纯 — ： 2  根据国【内已建各类电子工】业洁净厂房的状况】对于用气设备较【。。多的厂房《为方便？管理和安全运行【各种气？体纯化装《置大多设在气体纯化！间(站)内并且常】常将多种气体纯化】装置集中《设置在一气体纯【化间(站《。)，内一般氧气纯—化，装置由？于不需要用氢气进行！活化再生配置非防爆！电气装？置时可将氧》气纯化装置与配置】有，防爆电气装置—。的，气体纯？化装置分开设—置 》 3  为了对进！入，电子工业洁》净厂房的各种气体】管道进行集中—管理目前国》。内各工厂大多设有气！体入口室《也，有的工厂为管理方】便将部分气》体纯化装置或—全，部气体纯化》装置：也设置在气体入【口室内？或将：气体进入洁净厂房的！。相关控制《阀门设在气体纯化间！内 4 ！ 由于？气体终端《纯，化装置？是确保用气设备【处的气体品质并【且这：。类设备？对气体？品质要求均十分严格！为了：减少：高纯气体输送—过程被污《染和减少管路—投资以及管》理方：便宜将气体终端纯化！设备设在邻近用气】。点处 【 5  对于甲类】火灾危险生产的【气体纯化间》(站)？或气：体入口室根据现【。行国家标准建—筑设计防《火规范GB》 5：0016的要—求应靠外《墙，设置 ？ 6 【 氢：气等可燃气体—引入管道上应设自动！切断阀对洁净室【(区：)的安？全可：靠运行？十分有利一旦出现异！常，时切断可燃气体气源！防止事故扩大—美国消？防协会颁布的NF】PA 31》8，洁净室消防标准第】6.6.3》条规定“…》…可燃和《有毒气体探测器【必须启？动报警器和》切断气体《。供给” — 7  设有】氢气等？可燃气体的气体纯化！间或气体入口—室，应设：有良：好的自然通风设施】以确保一旦氢气等泄！漏时：及时排放避免在室】内积累？；当房间内》泄漏气体达》到规定浓《度，时气体泄《。漏报警装置报警【并启动事《故排风？装置工程实》。践，证明自然通风、【事故排风均为可靠的！、行之有效》的安全技术措施 ！ 10.2.！6  鉴于氧气的特！性，氧气与油《脂接触后如碰上【着火源极易引—起燃烧事《故所以氧气管道、】阀门及？附件均？。应忌油都必须进【行严格？的脱脂处理》；氧气是典型的氧化！性气：体只：要在氧气《。。管道内因各种原因存！在机械杂质》、铁锈等可燃物时一！旦有着火《源都极易引发着【火燃烧事故》因此氧？气管：道等均？应设有导除静电的】接地设施以及时消】除管：道内气流摩擦—等因：素产生的静电聚集】；当洁净厂房因各种！。原因出现《火情或重大事—故时为了避免引发】氧，气管道产生次—生灾害减少损失应】。。。。及时切断氧气供【气气源为此制—定本条规定并为【强制性条文 】 ？10.2.9  】由于洁净室》。(区)？。内密闭性好为避【免各类气体泄漏【后不：易排出？积，聚在洁净室》(区)内《或技术夹层》、技术夹道内根【。据，电子工业洁净—厂房设计、建造的实！践经：验气体管道的连接】应采用焊接当气体】管，道的材质采用不锈钢！管时应？采用氩弧焊并宜【采用等离子熔融对】接焊气？体管道与设备—或阀门的《连接宜采用》表面密封接头—(VCR)》或双卡套高纯气体管！道应采用表》面密封？接，头(：VCR)《采用双卡套接头时其！密封：材料宜采用金属【或聚四氟《乙烯垫 》