？ 10.《2  常用气体系】统 】 1：0.2.1  常用！气体主？要包括氢气、—氮气、氧气、—氩气和氦气在电子工！厂中它们的供—气方式主要有三【种第一种是在电子工！厂内或？邻近处设《制，气装：置采用管《道输送至用气—厂房、车间或设【备；：第二种外购液态气体！在电子厂《房内：设液态气体储—罐、气化器及气体过！滤、调？压、输配装置由【管道送至用气厂【房、车间《或设备？；第三种外购—瓶，。。装压缩气《体瓶装压缩》气体有单《个钢瓶或钢瓶集【装格或长管》气，。瓶拖：车等形式在电子【工厂内设压缩气【体，钢瓶储存、》气体分配《装置或汇流排再由管！道输送至用气厂【房、车间或》设备：表，23是？三种方式的比—较 ？ ！ 10.2》.3：～10？.2.5  —这3条是对电—子工业洁净厂房中】的，气体纯化装置—。的设置、气》体入口室的设置和】气体纯？化间、气体入口室内！设有氢气等》可燃气体纯化装置】或管道时为了安【。全、稳定运行—作，的规定或要求 【 1 【 根据电《子产品生产》工艺要？求和气源的品质电子！工业洁净厂房内【常常设有不同类型的！气体纯化装置如电子！。产品生产《工艺要求气体中杂】质含量达《到10-9时即【使管道供《。应或：外购气瓶《的气体纯度达99.！ 99％《或9：。9，.999％尚需【设置金属吸》气剂法、低温—吸，附法和钯膜扩散法等！类气：体纯化装置对气【体进行提纯》 ， 2 【 根据国《内已建各类》电子：。工业洁净厂房—的状况对于用气设备！较多的厂房为方【便管理和安全运行各！种气体纯化装置大】多设：在气体纯化》间(站)内》并且常常将多种【气体纯？化装置集中设—置在一气体》纯化间(站》)内一般氧气—纯化装？置，由，于不需要用氢气进】行活化再生配置【非防爆电气装—置时可将氧气纯【。化装置与配置—有防爆电气装置【的气体纯化装置【分开设置 【 ： 3  为》了对进？。入电子工业洁净厂房！的，各种：气体管道进行集中管！理目前国内》各工厂大《多设：有气体入口》室也有？的工厂为管理方便】将部分气体》纯化：装置或全部气体【纯化：装置也设置》在气体入《口室内或将气—体，进，入洁净厂房的相关控！制阀门设在》气体纯化间内— 4 】 由于气体》终端纯？化装置是确》保用：气设备处的气体品质！并，且，。这类设备对气体品质！要，求均十分严格为【了减少高《纯气体输《送过：程被污染和减—。少管路投资以及管】理方便宜将气体终端！纯化设备设在—邻近用气点》处 5 ！。 对于甲类》火灾危？险生产？的气：体纯：化，。间(站？)或气？体入口室《根据现？行国：家标准建筑设—计防火规范》GB 50016的！要，求应：靠外墙？设置： 6【  氢气等》。可燃气体引入管道上！应设自动切断阀对】。洁净：。。室(区？。)的安全可靠运行十！分，有利一旦出现异常时！切断可燃气》体气源防止事故扩】大美：国消防协会颁布的】NFPA 31【8洁净室消防标准】。第6.6.3条规定！“……可燃和—有毒气体探测器【必须：。启动：报警器和切》。。断气体供给”— —7 ： 设：有，氢气等可《燃气体的《气体纯？化间或气体》入，。。。。口室：应设有良好》的自：然通：风，设施以确保一旦【氢气等泄漏时及【时排：放避免在室》内积累；当》房间：内泄漏气体达到规】定浓度时气体泄漏报！警装置？报警并启动事故【排风装置工程实【践证明自然通风【、事故排风均—为可靠的、行之有效！的安全技术措施 ！ 10—.2.6《  鉴于氧气的【特性氧气与油脂接】触后如碰上着火源】。极易引？起燃烧事故所以氧气！管道、？阀门及附件》均应忌油都必须进】行严格的脱脂处理；！氧气是典型的氧化性！气体只要在》氧气管道《内因各种原因存【在机械杂质、铁锈】等可燃物时一旦有着！火源都极《易引发？着火燃？烧事故？。因此氧气管道等【均应设有导除静电的！接地设？施以及时消》除，管道内气流》摩擦等因素产生【的静电聚《集；当？洁，。净厂房因《各种原因出现火情】或重大事故时为了】避免引？发氧气管《道，产生次？生灾害减少损失应】及时切断氧气供气气！。源为此制定本条【规定并？为强制性条文 ！ ？10.2.9  】。由于洁净室(区)内！密闭性好为避免【各类：气体泄漏后》不易排出积聚—在洁：净室(？。区)内或技术夹层、！技术夹道内》根据电子工》业洁：净厂房？设计、建造的—实，践经验气《体管道的连接应【采用焊接当气体管】道，的材质采用不—锈钢管时应采用氩弧！焊并宜采《用等离子熔》融对接？。焊气体管道》与设备或《。阀门的连接宜采用表！面密封接头》(VC？R，)或：双卡套高纯》气体管道应采用【表面密封接头—(，VCR)采》用双卡套《接，头时其密《封材料宜采用金【属或聚四《氟乙烯垫 —