10.2 ！。 常用气体系统【 】1，0.：2.1  常用气】体主要包括氢—气、氮气、氧气【。。、氩气？和氦：气，。在电子工厂中—它们：的，供气方式主要有三种！第一种是在电子【工厂内？或邻近处设制气装】置采用管道输送至】用气厂房、车间或】设备；第二种外购液！态气体在电子—。厂房内设《液态气体储》罐、气化器及气体】过滤：、调压、输配—装置：。由管道送至》用气厂房、车间或设！备；第三种外购【瓶，装压缩气体瓶—装压缩气体有单个钢！瓶或钢？瓶集装格或长—管气瓶拖车》等形式在电子工厂】内设压缩气》体，钢瓶储？存、气体分配装置】或汇流排再由—管道输送《至用气厂房、车【。间或设备表2—3是三种《方式的比《较， ， 】 10.2.】3～10.》2.：5  这《3，条是对电子工业洁净！厂房中的气体纯【化装置的《设，置、：气体入口室的—设，置和气体纯化间、气！。体入口室《内设有氢气等可燃气！体纯化装《置或管道时为—了安：。全、稳？定运行作的规定或】要求： ， 1 【 ，。根据：电子产品生产工艺要！求和气源的品质【电子工业洁净—厂房内常《常设有不同类型【的气体纯化装置如电！子产：。品生产工艺要求【气体中杂质含量达到！10-9时》即使管道供应—或，外，购气瓶的气体纯度达！9，9.： 99％或》99.99》9％尚需设置金【属吸气剂法》、低温吸附法和【。钯膜扩散法等类【气体纯化装置对气】体，进行提纯 》 2  根！据国：。内已建各类电—子工业洁净厂房的状！况对于用气设备较】多的厂房《为方便管理》和安全？运行各种气》体纯：化装置？大多设在气体纯化间！(站)内并且常常】将多种气《体纯：化装置集中》设，置在一气体》纯化间(站)内一般！氧，气纯化装置由于不需！。要用氢气进行活化再！生配：置非防爆电》气装置？时可将氧气纯化【装置：与配置有防爆—电气装置的气体纯化！装置分开设》置 — 3 ？ 为：了对进入电子工【业洁净厂房的—各种：气体管道进》行集中管理目前【国内各工厂大—多设有气体》入口室也有》的工厂为管》理方便将部分气体纯！化，装置或全部》气体纯化装置也设】置，在气体入口》室内或将气》体进入洁净》厂房的？相关：控制阀？。门设：。在气体？纯化间内《 》 4  由于气【体终端？纯化装置是确保【用气设备处的—气体品质并且—这类设备对气—体品质要求》均十分严格》为了减少高纯—气体输送过》程被：污染和减少管—路投资以及管理【方便：宜将气体终端—纯化设？备设在邻近》用气点处 ！ ，5  对于甲类火灾！危险生产《的气体纯化间—(站)或气体—。入口室？根据：现行国家《。标准：建筑设计防》火规范GB》 50016的要求！应，靠外：墙设置 】 6：  氢气等可燃气】体引入管道上应设】自动切？断阀对洁净》。室(区？)的安全可》靠运行十分有利一旦！出现异？常时切断可燃气体气！源防止事故》扩大美国消防协会颁！布的NFPA 【318洁净室消【防标准第6.—6，.3：条规定“《…，…，可燃和有毒气—体探测器必须—启动报？警器和切《断气：体供给” 》 ？。 7  设有氢气！等可：燃气体的气》体纯化间或》气体入口《室应设？有良好的《自然通风设施—以确保一旦氢—气等泄漏时及—时排放避免在室内积！。。累；当房间内—泄漏气体达到规【定浓度时《气体泄漏报警装【置报警并《启动事？故排风装《置工程实践证明自】然通风、《事故排风均为可【靠的、行之有—。效的安全技术措【施 — 1：0.2.6》  鉴于氧气的特性！氧气：与油脂接《。触后如碰上》。。着火源极《易引起燃烧事故所以！氧气管道、》阀门及？附件均？。应忌油都《必须进行严格—的脱脂处《。。理；氧气是典型的氧！化性气体只要在氧】气管道内因各种原】因存在机械杂—质、铁锈等可燃【物时：一旦有着火源都极】易，引发着火《燃烧事故因》此氧气管道等均应】设有导除《静电的接地设—施以及时消除管【道，。内气流摩擦等因【素产生？的静电聚《。集；当洁净》厂房因各种原—因出现火情或—。重大事故时为了【避免引发氧气管道产！生次生灾害减少损失！应，及时切断氧气供气】气源为此制定本条规！。定，。并为强制性条—文 — 10.《2.9  由于【洁净：室(区)《内密：闭，性好为？避免各类气体—泄漏后不《易排出积聚在—洁净室(《区)内或技术夹层】、技术夹道内—根，。据电子工业洁净【厂房：。设计、建造的实践经！验气体管《道的连？接，应采用焊接当气体】管道的材质采用不锈！钢管时应采用氩弧】焊并宜？采用等离子熔融【对接：焊气体管《道与设备《或阀门的连接—宜采用表《。。面密封接头(V【CR)？或双卡套高》纯气体管道应采用】表面：密封接头(VCR)！采用：。双卡：套接头时《其密封？材，料宜：采用金属或聚四氟乙！烯垫 《