： 10.2—  ：常用气体系统 ！ ： 10》。.2.1  常用气！体主要包括》氢气、？氮气、氧《。气、氩气和氦气在】电子工厂《。中它们的供气方式主！要有三种第一种【是在电？子工：厂内或邻近》处设制气装置采用】。管道输送至用气【厂，房、车间或设—备；第二《种外购液态气体在电！子厂房内设液态【气体储罐、气化器】。及气体过滤、—调压、输配装置由管！道送至用气厂房【、车间或设备；【第三种外购瓶装压】缩气体瓶装压缩气体！。有单个钢瓶》。或钢瓶？集装：格，或长管气瓶拖车等形！式，在电：子，工，厂内设压缩气—体钢瓶储存、气体】分配装置《或汇流排再由管道输！送至用气厂房、车】间或设备《表23是三种—方式的比较》 ： 】。 ：10.2.3～1】0.2.5》  这？3，条是对电子》工业洁净厂房—中的气体纯》化装：。置的设置、气—。体入口室的设置和】气体：纯化间？、气体入口室内设】有氢气？等可燃气体纯—。化装置或管道—时为了安全、稳定运！行作的规《定或要？求 ？ 1  根据！电子产？。品生产工艺要求【和气源的《品，质，电子工业洁净—。。厂房：内，常常设有不同类【型的气体纯化装置】如电子产品生产工艺！要求气体《中杂质含量》达到10-9时【即使管道供应或外购！。气瓶的气体纯度达9！9. 99％或【99.99》9％尚需设置金【属吸气剂法》、低温吸附》法和：钯膜扩散法等类气体！纯，化装：置，对气体进行提纯【 《 ：2  根《据国内已建各类电】子工业洁《净厂房的状况对于用！。气，设备较多的厂房为】。。方便管理和安全运】行各种气体纯化装置！大，多，设在气体纯》化间(站)内—并且常常将》。多，种气体纯化》装置：集中设？置，在一气体纯化间(】站)内？一，般氧气纯化装置由于！不需要用氢气进行】活化：再生配置《非防爆电气装置【时可将氧气纯化装置！与配置有《防爆电气装置的【气体纯化装》置分开？设，置 3 ！ 为了对进入—电子工业洁净厂【房的各种气体管【道进：行集中管理目前国内！各工厂大多设—有气体入口室也【有的工厂为管理【方便将部《分气体纯《化装置或全部气【体纯化？装置也设置在—气，体入口室内或将气体！进入：洁净：厂房的相关控制阀门！设在：气体纯化间内 ！ ， 4  由于【气，体终：端纯化装置》是确保用气设—备处：的气体品质并且这类！设备对气体》品质要求《均十分严格》为，了减少高《纯气体输送过—程被污染《和减少管《路投资以及管理【。方便宜？将气体终《。端纯化设备设—在邻近用气点处【 》 ，5  对于甲类火灾！危险生产的气体纯】化间(站)》或气体入口室根据现！行国：家标准建《筑设计防火规—范，GB： 50016的要】求应靠外墙设置 ！ 6 — 氢气等可》燃气体引入管—道上应？设自动切《断阀对洁净室(【区，。)的安全可靠运行】十分有利一》旦出现异常时切断】。可燃气体气源防【止事故扩《大美国消《防，协会颁布的》NFPA 31【8洁净室消防标准第！6.6.3》条规定“……可燃和！有毒气体探》测，器必须启动报—警器和切断气体供】给” — 7  设有氢气！等可：燃气体的气体纯化间！或气体入口室应设有！。良好：的自然通风设施【以确保一旦》氢气等泄漏时及时】排放：避免在室《。。内积：累；当房《间内泄漏气体—达到规定浓度—时气体泄漏》。报警装置报警并启】动事故排风装置工】程实践证明》自然通风、事故排】风均为？可，靠的、？行之有？效的：安全技术措施 ！。 ？10.2.6  鉴！于氧气的特》性氧气与油脂接触】后如碰上着火源极】易引起燃烧事故所以！氧，气管道、阀门及附件！均应忌油都》必须进行严格—的脱：脂，处理；氧气》是，典型的氧化性气【体只要在《氧气管道内因各【种原因存在机—械，杂质、？铁锈等可燃物时一旦！有着火源都》极易引发着火—。燃烧事故因此氧【气管道等《均应设有《导除静电的接—地设施以及时消除】管道内气流摩擦【等因素产生的静电聚！集；当洁《净厂房因各种—原因出现火情或重】大事故时为了避免】引发氧气《管道产生次》生，灾害减少《损失应及《时切断氧气》供气气源为此制【。定本条规《定并为强制》性条文 — 10.2.9！  由于洁净—室(区)内》密闭性好为避—免各类气体》泄漏后不易排—出，积聚在洁净室—(，区)内或技术夹层】、技术？夹道内根据》。电子工业《洁净厂房《设计、建《。造的实践经验气体】管道的连接应—采用焊接当气体【管道的材质》采用不锈钢管—时应：采用：氩弧焊并宜采用等离！子熔融对接》焊，气体管道与设—备或阀门的连接【宜，采用表面《密，封接头(《。VCR)《或双卡套高纯气体】。管道：应，采用：表面密？。封接头(VCR【。)，采用双卡套接头时其！。。。。密封材料宜采—用金：属或聚四氟乙烯【垫 ？