： 10《  气体供应 ！ 》 ，。。。 ，10.？1  一般规定 】 ： ， 10.1.！1  洁净》厂房使用的气体有常！用气体、干燥压缩空！气及特种气体三大类！。根据各种电》子，产品品种及其生【产工艺的不同使【用气体的《品种、？纯度及杂质含量【是不：相同的表22—是几类电子产品【所需气体《品种 《 》 【 1》0.1？。.3  洁净厂房】所使用气体的制备、！纯化、储存及分配】。系统除应遵守本规】范外还应《遵守相关现》行国家？标准的规定》其中主要有；建筑设！计防火规范GB【。 500《16、压缩空—气站设？计规范GB 5【0029、氢气站】设计规范GB 5】0，177、氧》气站设计规范—GB 5《00：30、？工业金属管道设【计规范G《B ：50316等— 10.！1.：4～10《.1.6  —目前各类电》子工业洁净》。厂房中常用气体管道！的，一次配管均敷设在与！用气设备相关—洁净室(区)毗【邻，的技术夹《层或技术夹道内除压！缩空气？管道外其他各类气体！管道：不得：。穿，过与其无关的—房间或不使用—这些气体的房间有时！为布置？的方便或可减少【大量的？管材必须《穿越时应设套管【或双层管《以免运？行中这？些，气体泄漏由于此类无！关房间？未采取？通风、报警》措，施易引起《事故特种气体管道由！于管径较小一—般均采？用相对集中敷—设洁净室(区)内的！惰，性及无危《害性气体《管，道及其管架》宜暗敷或设置在便】于检查？、维护的装》饰面：板，内可燃、有》毒或有？害气体管道》应外露敷设》 ： 可燃气【体，、有毒气体穿—过，洁净室(区)—墙或楼板处管—道应：设套管该套》管内：。的气体管道》不得有焊缝以避免】因焊缝质量问题泄】漏气体后无法检【查形：成逐渐积《聚成为安全事故【的隐患 ！10.1.7 【 电子工业洁净厂】房中由于高纯气体管！道内输？送的：气体中杂质含量都】极低一般氧含量都在！1，0-6～10-1】0，水含量在10-5～！10-9《。而洁净室生产环【。境中的氧浓度、水汽！含量均在10—-1以上即高纯气】。体输：。送管内？外的氧气、水分的】分压差达105～1！01：0，分压差极大根据国内！外许多研究试验和实！际运行都表》明高纯气体输送【过程中存在着被生产！环境中的气体或【水分所污染的巨【大潜在？危险为此防渗漏【污染是高纯气体【管路：设计中必《须认真解决的技术措！施另外在高纯气【体管：道施工安《装或检修后或因故】停，气恢复时管》内存在的各种杂质】。气体的吹扫或因停】气后不可避免地因】管内外分压差而被】。污染也需《进行吹扫《置换达到所》要求纯度和杂质容许！含量为了《减少吹扫、置换时间！。也，。要求高纯气体管路设！计时必须采取相应的！技术措施本条—。规，定的：3款规定正是—这些技术措施—的具体要求它们是国！内外：从事高纯气体—设计：、安装和运行的科技！人员多？。年经验的总》结其中第2》、3款作为强制【性条文？是有关设《。计，。者必须遵守的—规定 — 10.》1.8？ ， 本条为《电子工？业洁净厂房内设【有可：燃气体？管道时应采取的安】全技术措施制定【这些：规定的理由是 】 1  【在使用可燃气体的洁！净室：厂，房内为？避免可燃气体的泄】漏引发燃烧》、爆：炸事故一般是将管】路上的阀门》设，置在阀门箱》内此类？阀门箱均设有气体泄！漏报：警和事故排风—装置 —。 2  目前在】电子工业洁净厂房中！。的氢气或《含氢可燃气体—等接至用气设备(无！明火)的《支，管和放散管为—防火回火引》发事故均《设有阻火器但除此之！。外的可燃气》体管道大部分没有】设阻火器所以—本条规定“宜设置】阻火设施” 【