。 1》。0  气体供应 ！ 【 1：。0.1  一—般规定？。 ， 》。 1？0.1？.1  洁净厂房使！用，的气体有常用气体、！。干燥压缩空气及【特种气体三》大，类根据各种电子产】品品种及其生产【工艺的不《同使用气体的品【种、纯度及杂—质含：量是不？相同的表22是几】类电子产品所—需气体品种 — 《。 ？ 》 ？ 1？0.1.3  洁净！厂房所使用》气体的制备、—纯化、储存及分配系！统除应遵守》本规范外还应遵守相！关现行国家标准【的规定其中主—要有；？建筑设计防火—规范G？B ：50016、—压，缩空气？站设计规范GB 】50：029、氢气站设】计规范GB 5【01：77、氧《。气站设计规》范GB 5003】0、工？业金属管道》设计规？范GB 5》0，316等 ！ 10.1.4～1！0.1.6  目】前各类电子》工业洁净厂房中【常用气体管道的一次！配管均敷《。设在与用气》设备相关洁净—室(区)毗邻的技】。术夹层或技术夹【道内除压《。缩空气管道外其他】。各，类气体管道》不得：穿过与其无》关的房间或不使用】这些气体《的房间有时为布【置，的方便或可减少大量！的管材必须穿越时应！设套管或双层管以免！运行中这些气体泄】漏由于此类无—。关房间未采》取，通风、报《警措施？易引起事故特—种气体管《道由于管径较—小一般均采用相对】集，中敷设洁净室(区)！内的惰性及无危【害性气体管道—及其：管架宜暗敷或设置】在便：于检查、维护—的装饰面板》内可燃、有》毒或有害气体管道应！外露：敷设 ？ 可燃气】体、：有毒气体穿过—。洁净室(区》。)墙或楼《板处管道应设套管】。该套管内《的气：体管道不得有焊缝以！避免因焊缝质—量问题？泄漏气体后无法检】查形：。成逐渐？积聚成？为安全？事故的？隐患 ？ ？ 10.1.【7 ： ，电子工业洁净厂房中！由于高纯气体管道】内输：送的气体《中杂质含《量都极低一般氧含】量都在？10-6～1—0-10水含量【在10-5～10】-9而洁净室生产】环境：中，的氧浓度《、水：汽含量均在10-1！以，上即高纯《气体输送管》内外的氧气、—水分的分压差—达105～》101？0分压？差极大根《据，国内外许多》研究试验和实际运】。行都表明高》纯气体输送过程中存！在着被生产环境中的！气体或水分所污染】的巨大？潜，在危险为此》防渗漏污染是—高纯气体管》。路设计？中必须认真解—决的技术措施另外在！高纯气体管道—施工安装或检修后或！因故停气《恢复时管内存在的】各种：杂质气体的吹扫或因！停，气后不？可，避免地因管内外分压！差而：被污染也需》进行吹扫置》换达到？所要求纯度》和杂质容许含量为】了减少吹扫、置换时！间也：要求高？纯气体管《路设计时必须—采，取相应的技术措施本！条规定的3款规定】正是这？些技术措施的具【体要求？它们是国内外从【事高纯？气体设计、安—装和运？行，。的科技人员多—年经验的总结其中第！2、3？款作为强制性条文】是有关设计者—必须遵守的规定 ！ 1》0.1.8  【本条为电子工业【洁净厂？。房内设有可燃气【体管道？时应采取的安全【技术措施制定这【些规定的理由是 ！ 1  【在使用可燃》气体的洁净室厂【。房，内为避？免可燃气《。体的泄漏引发—燃烧、爆《炸事故一《般是将管路上—的阀门？设置在阀门箱内此类！阀门箱均设》有气体泄漏》。报警和事《故排风装置 ！ 2 《 目：。前在电？子工业？洁净厂房中的氢【气或含氢可燃气【体等接至用气设备】(无明火)的支管】和放散管为防火回火！。。。引发事故均》设有阻火器但除此】之外的可燃》。气体管道大部—。分没有设阻火器所以！本条：规定“宜设》置阻火？设施：” ： ，