： 10  气体供！应 ！ 10.1  一！般，规定 《 ，。 》10：.1.1  洁净】。厂房使用的气—体有常用气体—、干燥压缩》空气及？特种气体三大—类根：据各种？电，子产：品品种及其生产工】。艺的不同使用—气体的品种、纯度】及杂质含量是不【相同：的表22是》几类电子产品—所需气体《品种 ！ — 10.】1.：3  洁净厂房【所使：用气体？的制备、纯化—、储存及分配系统除！应遵守本规范外还】应遵守相关现行【国家标？准的规定其》中主要有；》。。建筑设计《防火：规范G？B 5？0016、压缩空】气站：设计规范《GB 50029】、，氢气站设《计规范GB 501！77、？氧，气站设计《规范：GB 500—30、工《业，金属管？道设：计，规范G？B 50316等 ！ ？。 10.1.4～！10：.1.6《  目前《各类电子工业洁净厂！房中常？用气体管《道的一次配》管均敷设在与用【气设：备相关洁净室(区)！毗邻：的技：术夹层或技》术夹道内除压缩【空，。。气管：道外：其他各类气体管道不！得穿过与其》无关的房《间或不使用这—。些气体的房间有时】为布置？的方：便或可减少大量【的管材必须穿越时】。应设套？管或双层管以免运行！中这些？气体泄漏由于此类无！关房间未采取通风、！报警措施易引起事故！特种气？体，管，道由于管《径较小一般均采【用相对？集，中敷设？洁净室(《区，)内的惰性及—无危害性气》体，管，道及其？管架宜暗敷或—。。设置在？便于检查、维护【的装饰面板内可燃】、有毒？。或有害气体管道应外！露敷：设 【可燃气体、有毒气】体穿：过洁净室(区—)墙：或楼板处管道应设套！管该套管内》的气体管道不得【有，焊缝以避免因—焊缝质量问题泄漏】气，体后无法检查形成】逐，渐积：聚成为？安全事？故的隐患 — 10.【1.7  电子【工业洁净厂房—中由于高纯气—体管道内输送的【气体中杂质含量【都极低一般氧—含量都在10-6】～1：0-10水含—量，在，。1，0-：5～：10-9而洁净室生！产环境中《的氧浓度、水汽含量！均在10-1—以，上，即，高纯气体输送管【内外的氧气、水分的！分压差达1》05～1《010分压》差极：大根据国内外许多】。研究试验《和实际运行》都表明高纯气体【输送：过程：中存在着被》生，产，环境中的气》体或水分所污染的巨！大潜在危《险为此防渗漏污【染是高纯气体管路】设计中必须认—。真解决的技术—措施另外在高纯【气体管道施工安装或！检修后或因》故，停气恢复时管内存】在的各？种杂质气体的—吹扫或因《停气后不可避—免地因管内》外分压差而被污染也！需进行吹扫置换【达，到所：。要求纯度和》杂质容许《含量为了减》少吹扫、置换—时间也要求高—纯气：体管路设计时必须】采取相应的技术措施！本条规定的3款【规定正是这些技术】措施：的具体？要求它们是国—内外从事高纯气【体设计、《安装：和，运行的科技人员多年！经验的总结其中第】2、3款作为—强制性条文是—有关设计者必须【遵守的规定 — ：。 10.1.】8  ？本条为电子工—业洁净厂房内—设有可燃气体—管道时应《。采取：的安全技术措施制定！这些规定的理由是】 ？ ？1  在使用可燃气！体的洁净《室厂房？内为避免可燃气体】的泄漏引发燃烧、爆！炸事故一般是将管】路上的？阀门设置在》。阀门箱内此类阀门箱！均设有气体泄—漏报：警和事？故排风装置 【 2  目】前在：电子工业洁》净厂房？中的氢气或含氢可】燃气体等接至用【气设：备(无明火》)的支管和放散【管为防火回火引发事！故均：设有：。阻火器但《除此：之，外的可燃气体管【道大部分没有设阻火！。器所以本条规定“宜！设，置阻火设施》” ？