《10：  气体供》应 【 1》0.1  一—般规：定 【 10.1.【1  洁净厂房【。使，用，的气：体有常用气体、【干燥压缩空》气及特种气体三大】类根据各种电子产】品品种？及其生产工艺的【不同使用《气体的品《种、纯度及杂—。质含量是不相同【的表2？2是几类电子—产品所需《气体品种《 ， ？ ， ，。 ！ 10.1.3！  洁净厂房所【使用气体的》制备、纯化、储【存及分配系统—除应遵守本规范【外还应？。遵守：相，关现行国家》标准的规定其—中主要有；建筑设】计防火规范GB 】50016、压缩】空气：站设计规范GB 】50029》、氢气站设计规【范GB 50—177、氧气站设计！规范GB 》50030》。、工：业金属管道设计规范！GB 5031【6等： —10.1《.4～10.1.】。。6 ： 目前各类电子工】业洁净厂房中常【用气：。体管道的一次—。配，管均敷设《在与用？气设备相关洁净室】(，区)毗邻的技—术夹层或技术夹【道内除压缩空—气管道外其他—各类气体管道不得穿！过与其无《关的房间或不—使用这？些气体？。的房间？有时：为布置的《方便或可减》少大量的管材—必须穿越时应设套管！。或双层管《以免运行中这些【气体：泄漏由于此》类无关房间》未采取通风、—。报，警措施易引起事故特！种气体管道由于管】径较小一般均采用】相对集中敷设—洁净室(区》)内的惰《性及：无危害性气体—管道及其管架宜暗敷！或设置在便》于检：查，、维护的装饰—面板内可燃、有【。毒或：有害气体管道应【外露敷设 — ， 可《燃气体、《有毒气体穿过洁净】室(区)《。。。。墙或楼板处管—道应设套管》该套管内的气—。体，管道不得有》焊缝以避免》因焊缝质量问题泄漏！气体后无法检—查形成逐渐积聚【成为安全事故—的隐患 】 10.1》.，7  电子工—业洁净厂房》。中由于高《纯气体管道内输送】的气体中《杂质含量都极—低一般氧含量都【。在10-6～10】-10水含量在1】0-5～《10-9而》洁净室生产环—境，中的氧？浓度、水汽含量均】在10-1》以上即高《纯气体输《送管内外的》。氧气、？水分的分《压，差达105～—1，010分压差极【大根据国《内外许多研》。究试验和实际运行】都表明高纯》气体输？送过程中存在着【被生产？环境中的《气体或水分》所污：染的巨大潜在—危险为？此防渗漏污染是高】纯气体管路》设计中必须认真解】决，的技术措施另—外在高纯气体管道施！工安装或检修后或】因故停气恢复时管】内存在？的各种杂质气体的】。吹扫或因《停，气后不可避》免地因管内外—分压：差而被污染》也需：进，行吹：扫置换达到所要求纯！度和杂？质容许含量》为了减少吹扫、【。置换时间也要求高】纯，气体管路设计时必须！采取相应的技术措】施本条规定的3款】规定正？是这些？技术措施的具体【。要求它们是国—内外从事《高纯气体《设计：、安装和运》行的科技人员—多年经？验的总结其中第2、！3，款作为强制性—条文是有关设计者必！须遵守的《规定 《 10.1】.，。8  本条为电子】工业洁？。净厂房？内设有可《燃气体管道》。。时，应采取的安全技【术措施制定这些【规定的理由是 ！。 1《  在使用》可燃气体的洁净【室厂房内为避—。免可燃气体的泄漏】引，发燃烧、爆炸事【故一般？是将管路上的阀【门设置在阀》门箱内此类阀门箱均！设有气体泄漏报警和！事故：排风装置 】 2  目前在】电子工业洁净—厂房中的《氢气或？含氢可燃气体等【接至用气设备(【无明火)的支管和放！散管为防火回火引发！事故：均设有？阻火器但除此—之，外的可燃《气体管道《大，部分没有设阻火【器所以本条规定“】宜设置阻《火设施” —