《1，0，  气体供应— ： 》 10.1  ！一般：规，定 》 10.1.！1  ？洁净厂房《。使用的？气体有常用气体、】。干，燥，压缩空气《及特种气体三大【类，根据各种电子产品】。品种及？其生产？工艺的不同》使用气体的品种【、纯：度及杂质含》量是不相同的表2】2是几类电子产【品所需？气，体品种 ！ ？ 】 10.1.3  ！洁净厂房所使用气】体的制备、纯化、】储存：及，分配系统除应遵守本！规范外还应遵守相】。关现行国家标准的】规定其中《主要有；建筑设【。计防火规范GB 】50016》、，压缩空气站设计【规范GB 5—002？9、：氢气站？设，计规：范GB 50177！。、氧：气站设计规范GB ！50030》、工业金属管道【设计：规范GB 5031！6等 ？ ， 10.1.！4～10.1.6 ！。 目前？各类：电，子工业洁净》厂，房中常用气体管道的！。一次配管均》敷设在与用气设备】相关洁净室(区【)毗邻的技术—夹层或？。技术夹道内除—。压缩空气管道外【其他各类气体管【道不得穿过与—。其无关的房间或【不使用这些气体【的房间有时为布置】的方便或可减少大】。量，的管材必《须，穿越时应设套管【或双层管以免运行】中，这些气体泄漏—由，于此类无关房间未】采取通风《、报警措施易引起】事故特种气》体管道由《于管径较小一般均】。采用相？。对集中敷设洁—。净室：(区)内的惰—性及无危害性—气体管道《。及，其管：架宜暗敷或》设置在便《于检查、维护的装饰！面板：内可燃？、有毒或《有害气？体，管道应外《露敷设 【 可燃气体、有】毒气：体穿过洁净室(【区)墙或楼板处【。管道应设《套管该套管》内的气体管道—不得有焊缝以避免】因焊缝质量》问题：泄漏气体后无法检查！形成逐渐积》聚成为安全事—故的隐患 —。 10.【1.7  电—子工业？洁净厂房《中由于高纯气体管道！。内输送的气体—中杂质含量》都极低一般》氧，含量：都在10-6—。～10？-，10水？含量在？10-？5～10-》9而洁净室生产环】境中的氧浓度、水汽！含量均？在，10：-，1以上即高纯气体】输，送管内外的氧—气、水分的分压差达！105～10—10分压差极大根据！国内：外许多研究》试验和？实际运行都表—明高纯气体输送【过程中存在着被生】产环境中的气体或水！分所污染的巨大【潜在危险为此防【渗漏污染是高—纯，气，体管路设计中必须认！真解：决的技术措施另外】在高纯气体》管道施工安》装或检？修后或因故停气恢复！时管内存在的—各种：杂，质气体的吹扫或因】。停气后不《可避免地《因，管内外？分，压差而被污染也需】进行吹扫置换达到所！要求纯度和》杂质容许含量为了减！少吹：扫、置换时间也要求！。高纯气体管路设【计时必须采取—相应的技《术措施本《条规定？的3款规定》正是这些技术措【施，的具体要求它们是】国，内外：从事高纯气体设计、！安装：和运：行的科技人员—多年：。。经验的总结其中【。第2、3款作为【强制性？条文：是有：关设计者必须遵【守的规定 — 10—.1.8  本条为！电子工业洁净—厂房内设有》可燃：气体管道时应—采取的？安全技术措施制定】这些规定的理由是】 1  ！在使用可燃气体的洁！净室厂房《内为：避免可燃气体—的泄漏引《发燃烧、爆炸—事，故一般？是将：管，路，上的阀门设置在阀门！箱内：此类阀门箱均设【有气体泄漏》报警和事故排风装置！ 《 2  目前在】电子：工业洁净《厂房中？的氢：气或含氢可燃气【体等接至用气设【备(无明火)的支管！和放散管为防火回】火引发事故》均设有？阻火器但除此之外的！可燃气体管》道大部分没有—设阻火？器所以本《条规定“宜设置【阻火设？施” 《