： 10 》。 气：体供应 【 》 10.1  一】般规定 》 》 1：0.1.1》。  洁净厂房使【用，的气体有常》用气体、干燥—压缩空？气及特种气体三大类！根据：各，种，电子产品品种—及其生产工艺的不同！使，用，气体的品《种、纯度及杂—。质含量是不相同【的表：22是几《类电子？产品所需气体品种 ！ 》 ！ 10.1【.3  洁净厂房所！使用气体的制备【、纯化、储存及【分配系统除应遵【守本规范外还应遵守！相关现行国家标准的！。规定：其中主要有》。；建筑？设计防火规范G【B 500》16、压缩》空气站设计规范G】B 500》29、氢气站设计规！范GB 5017】7、氧气站设计【规范GB 》50030、—工业金属管道设计】。规范：GB 50316】等 【10.1.4～1】0.：1.6  目前各】类电：。子，工，业洁净厂房中常用】气体管道的一—次配管均敷设—在与：用气设备相》关洁：净室：(区)毗邻》的技术夹层或技【术夹道内除》压，缩，空气管道外其他各类！气体管道不》得，穿过与？其无关的房间或不使！用这些？。气体的房间有时【为布置？的，。方便或可减少—大量的管《材必须穿越时应设】套，。管或双层管以免【运行中这《些气体？泄漏由于此类无关房！间未：采取通风、》报警措施易引起【事故特种气体管道】由于：管径较？小一般均《采用相对集中—敷设洁净室》(区)内的惰性及无！危害性气体管道及其！管架：宜暗敷或设置在便于！检，查、维护的装饰面板！内可：燃、有毒或有害【气体管道应外露敷】设 可】燃气体、有毒气体】。穿过洁？净室(区)墙或【楼板处管道应—设套管该套》管内的气体管道不得！有焊缝以避免因【焊缝质量问题—。泄漏：气体后无法检查形】成逐：渐积：聚成：为安全事故的隐患】 ？ 10.1.】7 ： ，电子工业洁净—厂房中由于高纯气体！管道内？输送：的气体？中杂：质含量都极低一般】氧含量都在10【-6～？10-10水含量在！10-5～10-9！而洁净？室生产环境中的氧浓！度、水汽含》量均在1《0-1以上即高纯气！体输送管内外的氧】气、水分的分压【。差达1？05～？1010分》压差极大根据国【内外许多研》究试验？和，实际运行都表—明高纯气体输送过程！中存在着被生产【环境：中的气体或》水分所污《染的巨大《潜在危险为此防【渗漏：污染是高纯气体管】路设计中必须—。认真解决《的技术措《施另外在高纯气【体，管道施工《安装或检修后—或，因故停气恢复时管】内存在的各种杂质】气体的吹扫或—因停气后不可避免】地因：。管内外分压》差而被污染也需【进行吹扫置换达到所！要求纯度和杂质容】。许，含量为了减少吹扫】、置换时间也要求高！纯，气体管路设》计时必须采取相应】。。的技术措《施本条规《定的3款规定正是这！些，技术措？施的具体要求—它们是？国内外从事高纯【气体设？计、安装和》运行的科技》人，员，多，年经验的《总结其中《第2：、3款作为强制性条！文，是有关设《计者：必须遵守的规定 ！ 10—.1.8《  本条为电子工业！洁净：厂房内设有可—燃气体管道时应采】取，的安：全技术措施制定这】些规定的理由是 ！ ， ？1 ： 在使用可燃—气体的洁净室厂房内！为避免可燃气体【的泄漏？引发：燃烧、爆炸事故一般！是将：管路：上，的阀门设《置在阀门箱内此【类阀门箱均设有气】。体泄漏？报警和事《故排风装置 】 2 》 目前在电子—工业洁净厂》房中的氢气或含【氢可燃气《体等接至用气设备】(无明火《)的：。支管和放散管为防火！回火引发《事故均设有》阻，火器但除此之—外的可燃气》体管道大部分没有设！阻火器所以本条【规定“宜设置阻火设！施” 《