10  气！体供应 — — 10.1  一般！规定 》 10.1！.1：  洁净厂房使用】的气体有常用气体】、干燥压缩空—。气及特种气体三大】类根据各《。种电子产品》品种及其生》产工：艺的不同《使用：气体的品种、纯度】及杂质含量》是不相同的表2【2是几类《电子产品所需气体】品种 — ！ 10.】1.3  洁净厂房！所使：用气体的《制备、纯化》。、储存及分配系【。统，除应遵？守本规范《外还应遵守相关【现行国家标准的规】定其中主要》有；建筑设》计，防火规范GB 5】。。0016、压缩空气！站，设计规范GB 50！0，29、氢气》站设计规范》。GB ？501？77、氧气站—设，计，规范GB 500】30：、工业金属》。管道设？计规范GB》 503《1，。。6等 《 10.1.！4～：1，0.1.《6  目前》各类电子工业—洁净：厂房中？常用气体管道的一次！配管均？敷设在与用气设备】相关洁净室(区【)毗邻的技术夹层】或技术夹道内除压缩！空气管道外其他各】类气体管道不得【穿过与其无关的房间！或不使用这》些气体的房间—有时为？布置的？方便或可减少大量的！管，材必须穿越时—应设套管《或双：层管以免运》行中：这些气体泄》漏由于？此类无关房间未采取！。通风、报警措施易】引起事故特种—气体管道由于管径较！小一般均采用相对】集中敷？。设洁净室《(区)内的惰—。性及：无，危害性气体管道【及其管架宜暗敷或设！置在便于检》查、维护的装饰【。面板内可《燃、有毒或有害气】体管道应外》露敷设 》 ？ 可燃气体、有【。。毒，气体穿过洁》净室(区)墙或楼板！处管道？应，。设套管该套管内的】气体管道不》得有焊缝《以避免因焊缝质量】问题泄漏气体后无】法，。。检查形？成逐渐积聚成为安】全，。事故的？。隐患 【 10？.1.7  —电子工业洁净厂房中！由于高纯气》体管道内输》送的气体中杂质【含量都极低一—般氧含量都在10】-6～？10-10水—含，量在10-》5～10-9而洁净！室生产环境中的【氧浓度、水汽含量】均，在，10-1《。以上即高《纯气体输送管—内外的？氧，气、水分的分压【差达105》～1010分压差极！大根据国《内外许多《研究试验和实—际运行都《表明：高纯气？。体输：送过程中存在着【被生产环境中的气】。体或水分所污染【的巨大潜在》危险：为，此防渗漏污染—。是，高纯气体管路—设计中必须》认，真解：决的技术措》施另外在高纯气【体管道施工安装或检！修后或因故》停气：恢复时管内存—在，。的各种杂《质气：体的吹扫或因停气后！不可避免地》因管内？外，分压：差而被污染也需进】行吹扫？置换达到所要求【纯度和杂质》容许含量为了减【少吹扫、置换时间也！要求高纯气体管路设！计，时必须？采取相应的技术措施！本条规定的3款规】定正是？这些技术措施的具体！要求：它们是国内外从事高！。。纯气体设计、安装】和，运行的科技人员多年！经验的总结其中第2！、3款作《为强制性条文是【有，关设计者《。必须遵守的规定【 ？ 10.1【.8  本条为电】。子工业洁净厂房内设！有可燃气体管道时应！采取的安《全，技术措施制定这【些规定的理由是 ！ 1  在使！用可燃气《体的：洁净室厂房》内为避免可燃—气体的泄漏引—发燃烧、爆炸—事故一般《是将管？路，上的阀门设置在【阀门箱内此》类，阀门箱均设有气体泄！漏报警和事故—排，风装：置 ？ 《2  目前在—电子工业洁净—厂，房中的氢气或—含，氢可燃气体》等接至？用气设备(》无明火)的支管和】放散管为防火回火引！发事故？均设有阻《。火，器，。但除此之《外的可燃气体管道】大部分？没有：设阻火器所以本条】。规定“宜设置—阻，火设施” —