10  】气体供应 ！ ？ 10.1  一！般规定 》 ： 10.1.！1 ： 洁：净厂房使用的—气体有常用气体【、干燥压缩空气及特！种气体？。三大类根据各种【电子产品《品种及其生产工【艺的不？。同使用？气，体，的品种、纯》度及杂质含》量是不相同的表22！。是几类？电子产品《所需气体品种 】 ： 【 【10.1.》3  洁净厂房【所使用气体的制【备、纯化《、储存及分》配系统？。除应遵守本》。规范：外还应遵守》相关现行国家标准】的规：定其：中主要有《；建筑设计防—火规范GB 500！16、压缩》空气站设计规范【GB： 50029、氢】气，站设：计规范GB —5017《7、氧气站设计【。规范GB《 50030、工】业金属管《道设计？。规范GB 5031！。6等 《 10—.1：.4～？10.1.6  目！前各类电《子工：业洁净厂房》中常：用气体管道的一次配！管均敷设在与—用气设备相关—洁净：室(区)毗邻的【技术夹层或技—术夹道内除压缩【空气管道《外其：他各类气《体管道不《得穿过与其无关的房！间或不使《用这些气体》的，房间有时为布置的方！便或可减少大量【的管材？必须穿越时应—设套管或双层—管以免运行》中这些气体泄漏由】于此类无《关房间未采取通风、！报警：措施易引起事故特】种气体管道由于管】径较小一《般均采用相对—集中敷设洁净—室(：区)内的惰性及无危！害性：气体管道及其管架】宜暗敷？。或设置在便于检查】、维护的《装饰：面板内可燃、有毒】或，有害气体管道应外露！敷，设 》 可燃《气，体、有毒气体穿过洁！净，室，(区)墙《或，楼，板处管道应设—套管该套管内的气体！管道不得有焊—缝，以，避免因焊缝质量【。问题泄漏气体后无法！检查形成逐渐积【聚成为？安全事故的隐患 】 1—0.：1.7  》电子工业洁净—厂房中由于》高，。纯，气体：。管道内输送的气体】中杂质含《量都极低一》般氧含量都在1【0-6～10-1】0水含量在》。10-5～10-】9而洁净室生产【环境：中，的氧浓度《、，水汽含？量均：在1：0-：1以上即高纯气体输！送，管内外的《氧气：。、水分的分压差达】1，05～1《010？分压差极大根据国】内外许多《研究试验《和实际运行都表明高！纯，气体输？送过程中存在着被生！。产环境中的气体或】水分所污《。染的巨？大潜：在，。危，。。险为此防渗漏污【染是：。高，纯气体？管路设？计中必须认真解决的！技，。术措施另外在高纯】气体管道施工安【装或检修后或因【故停气恢复时—管内存在《的各：种杂质气《体的吹扫或因—停气后不可》避免地？因管内外分压差【而，被污染也需进行吹】扫置换达到》。所要求纯度》和杂质容许含量为】了，减少吹扫、置换时】间也要求高纯—气体管路设计时必须！采取相应《的，技术措施本条规定的！3款规定正是这【些技术？措施：的具体？要求它们是国内【外，从，。事高纯气体设计、安！装和运？。行的：。科技人员多年经【验的总结其》中，第2、3款作为【强制性条文》是有关设《计者必须遵守的【规定： 10.！1.8  本条为电！子工业洁净厂房【内设有可燃气体管道！时应采取的安—全技术措施》制，。定这些规《。定的理？由是 — 1  在使【用可燃气体的洁净室！厂，。房，内为避免可燃气体的！泄漏引发《燃，烧、爆炸事故一【般，是将管路上》的阀门设《置在阀门箱内此【类阀门箱均》。设有气体泄》漏报警和事故排【风装置 】 2  《。目前在？电子工业洁净—厂房中的氢气或含】氢可燃气《体等接至用》气设备？。(无明火)》。的支管和放散管为防！火回火引发》事故：均设有阻火器—但除此之外的—可燃：气体管道大部分没】有设阻火《。器所以本条规—定“宜设置》阻火设施” 【