《10  气体供应】 ： ？ 10【.1  一般规定】。。 【 10.1.1【  洁净厂》房使用？的气体有常用—。气体、？干，燥，压缩：空气及？特种气体三大类根据！各种电子产品品种及！其生产工艺的—不同使用《气体的品《种、纯度及杂—。质含量是《不相同的表22是】几类电子产品所【需气体品《种 ！ — 10.【1.3 《 洁净厂房所使用】。气体的制《备、纯化、》储，存及分配系统除应遵！。守本规范《外还应遵《守相关现行》国家标准的》规定其？。中主要有；建—筑设计防《火，规范：GB ？500？16、压缩空气站】设计规范G》B 50029、】氢气站设《计规范GB 5【0177、氧气【站设计规范G—B 5？0，03：0、：工业金属管道设【计规范GB 50】316等 》 ： ： 1：0.1.4～1【0.1.6》。  目？前各类电子工业洁净！厂房中常《用，气体管道的一次配】管均敷设在与用气】设备：。相关洁净室(区)】毗邻的技《术夹层或技术—夹，道内除压缩空—气管：道外其他各类气体】管道不得穿过与其】无关的房间或不使用！这些气体的》房间有时为布—置的方便或可减少】大量的管材》必须穿越时应—设套管或双层管以】免运：行中：这些气体泄漏由【于此类无关房—间未采取通风、【报警措施易引起【事故特？种，气体管道《由于管径较小一【般均：采用相对集中敷设洁！净室(区)内的惰】性，及无危害性气体【管道及其管架—宜暗敷或设置在便于！检查、维《护的装饰面》板内可燃、》有毒或有害气体【管道应外露》。敷，设 — 可燃气体、—有毒气？体穿：过洁净室(区)【。墙或楼板处管道【应设套管该》套管内的气体管【。道不：得有焊缝以避免因】。焊缝：质量问题泄》漏气：体后无法《检查：形，成逐渐积《聚成为？安全：。事故的隐患 【 ， 10.1.7！  电子工业洁【净厂房？中由于高纯气体管道！内，输，送的气体中杂—质，含量都极低一—般氧含量都在10-！。6～10《-，10水含《量在10《-5～10-9而洁！净室生产环境中【的氧：浓度、水汽含量均】在10-1以上即高！纯气体输送管内外】的氧气、水分—的分压差达1—05～1010分压！差极大？。根据国内《外许多研《究试验和实际—运行都表明高纯气】体输送过《程中存在着被—生产环境中》。的气体或水分所污】染的巨？大潜在危《险为此防渗漏—污染是高纯气—体管路设计中必须认！真解决的技》术措施另外在高【纯气体管《道施：工安装或《检修后或因故停气】恢复时？管内存在的各种杂】质气体的吹扫或【因停气后《不可避免地因—。管，内外分压差而被【污染也？需进行？。吹扫置？换达到所要求—。纯度和杂质容—许含：量为了减《少吹扫、置换时【间也要求高》纯气体？管路设计时必须采】。取相应的技术—措，施本条规定》的，3款规定正》是这些技术措施的】具体要？。求，它们是国《内外从事《高纯气体设》计、安装和运—行的科技人员—多年经验的总—结，其中：第2、？3款作为《强制性条文是有【关设计者必须遵【守的规定《 ：。 10.1.！8  本条为—电子：工业洁？净厂房？内设有可燃气—体管道时应采—。取的安全技术措施制！定这：些规：定的理由是 — 1  在！使用可燃气》体的洁净室》厂房内？为避免可《燃气：体，的泄漏引发燃—烧、爆炸事故一般】。是将管？。路上的阀门》设置在？阀门箱内此》类阀：门箱均设有气体泄】。漏报警？和，事故排风装置 】 《2，  目前在电子工业！洁净厂房中》。的氢气或含氢可【燃气体等《接至用气设备(【无明火)《的支管和放》散管为？防火回火《引发事故均设有阻火！器但：除此之外的可燃【气体管道大部分没】有，设阻火？器所以本《条规定？“宜设置阻火—设，施” 《