10  】气体：供应 《 》 1《0.1 《 一：般，规定 《 ： ： 10.1.1 ！ 洁净厂房使—用，的气体有常用气体】。、干燥压缩空气及特！。种气体三大类根【据，各种：电子产品《品种及其《生产工艺《的不同使《用气：体的：品种、纯度》及杂质含量是—不相：。同的表？。2，2是几类电子产【。。品所需？气体品种 》 》 】 《1，0.1.3 — 洁净厂《房所使用气体—的制备、纯》化、储存及分配系统！除应遵守本规—范外还？应遵：守相：关现行国家标—准的规定其》中主要有；建筑设】计防火规《范GB 5001】6、压缩空气站设计！规，范，G，B 5002—9、氢气站》设，计规：范GB 50177！、氧气站设计规范】GB 50》030？、工业金属管道【。设计规范G》B 50《3，16：等 1】0.1？.4～10.1.】6  目前各类电子！工业洁净厂房中【常用气体管道的【一次：配管均敷设在与用气！设备：相关洁净室(区)毗！邻的技术夹层或【技术夹道内除压【缩空气管《道外：其他各？类气：。体管：道不得？穿过与其《无关：的房间或不使用这些！气体的房间有时为布！置的方？便或可减少》大量的管材必须【穿越时应设套管或双！层管以免运行—中这些气体泄漏由于！此类无？关房间未采取—通风、报警措施【易引起事故》特种气？。。体管道由于管径较小！。一般均？采用相对《集中敷设洁净室(区！)内的惰性及无【危害：性气：体管道及《其，管架宜？暗敷：。或设置在便》于检查、维护的装饰！面板内？可，燃、有毒或有害【。气体管道应外露敷设！ ？ 可《燃气体、《。有毒气体穿过洁【净室(区)墙—或楼板处管道应设套！管该套管内的气体管！道不：。得有：焊，缝以：避免：因焊：。缝质量问题泄漏气】体后无法检查形成】逐渐积聚成》为安全事《故的隐患 — 10.【1.7  电子工业！洁净厂？房中由于《高纯气体管道内【输送的气体》中杂质？含量都？极低一？般氧含量都在—10-6～10【-1：0，水含量在10-【5～10-》9而洁净室》生产环？境中的氧浓度、【水汽：含量均在10-【1以上？即高纯气体输送管内！外的氧气《、水分的分压差达1！0，5～1010分压差！极大根据国内外【许多研？究试验和实际运行都！表明高纯气》体输：送过：程中存在着》被生：产环境中的》气体或水分》。所污染的巨》。。大潜在危险为—此防渗漏污染—是高纯气体管路设计！中必须？认真解决《的技术措施另外在】高，纯气体管《道施工安装或—检修后或《因故停气恢》复，时管：内存在的各种—杂质气？体的吹扫或因停【气后不可《避免地因《管内：外分压差而被污【染也需进行吹扫【。置换达？到所要求纯度和杂】质容许？含量为了减》少吹扫、置换时【间也要求高纯气体】管，。路设计时必》须采取相应的技【术措施本条规—定的：3，款规定正是这—。。些技术措施》的具体？要求它们是国内外】从事高？纯气体设计、—安装和运行》的科技人员多年经验！的，总结其中第2、3款！作为强制性条文是】有关设计者必须遵守！的规定 】。 10.1.—8  ？本条为？电子：工业洁净厂》房内设？。。有可燃气体管道时】应，采取：的安：全技术措施制—定这些规定的理由】是 【1  在《。使用可燃气》体的洁净室厂—房内为避免可燃【气体的泄《漏引发燃烧、爆炸事！故一般是将管路上的！阀门设置在阀门箱】内此类阀《门箱均设《有气体泄漏报警【和事故排风装置 】 ， 2 — 目前在电子工业】洁净厂房中的氢气或！含氢可？燃气体等接至用气设！备(无明火)的支】管和放散《管为防？火回火引发事故均设！有阻火器但》除此之？外的可燃气体管道大！。部分没有设阻—火，器所以本条》。规定“宜设置阻火设！施” 《