。 《1，0  气体供应 】。 》 ： 10.》1  一般规定【 】10.1《.1  洁净—厂房使用《的气体有常用气【体，、干燥？压，缩空气及特种—气体：三大类？根据各？种电子？产品品种及其生【。产工艺的不同使用气！体，的品：种、纯度及杂质含】量是不相同》的，表2：2是几类电子产【品所需气体品种 】 ！。 1！0.1.《3  洁净厂房所】使，用气体的制备、【纯，化、储存及分配【系统除应《遵，守本规范外还应遵守！相关现行国家标准】的规定其中》主要有；建筑设计】防火规范GB— 5001》6、压？缩空气？站设：计规范？GB： 50029、【氢气站设计规—范，GB 50177、！氧气站设计规范G】B 5？003？。0、工业金》属管道设计》规范GB 5—0316等 】 10》.1.4～10【.1：.6  目前各类电！子工：业洁净厂《房中常用气》体，管道的一次》配管均敷设在与用】气设备相关洁—。。净室(区)毗—邻的技？术，夹层或技术夹道内除！压缩空气管道外【其他各类气体管道不！得穿过与其》无关的房《间或不使用这些【气体：的房：间有时？为布置的方便或可减！少大：量的管？材必须穿越时应设】套管或双层管以【免运行中这些气体】泄漏由于此》类无：关房间未采取通风、！报警措施易引起事故！特，种气体管《道由于管径较—小，一般均采用相对集】中敷设洁净室—(区：)内的惰性及无【危害性气体管道及】。。其管架宜暗敷或设】置在：便于检查、维护的装！饰，面，板内可燃、有毒或】有害气体管道—应，外露敷设《 可燃】气体、有《毒气体穿过洁净室(！区)墙或楼》板处管？道应：设，套管：该套管内的气体【管道不得有焊缝以避！免，因焊缝质量问题【。泄漏气体后无—法，检查形成逐渐积【聚成：为安全事故的—隐，患 1】0，.1.7  电子工！业洁净厂《房中：由于：。。高纯气？体管道内输送—的气体中杂质—。含量都极低一般氧含！量，都在10-》6，～10-10—水含量在1》。0-5～10-【9而洁净室生—产环境中《的氧浓度、水汽含量！均在10-1以上即！高纯气体输送管内外！的氧气、水分的分】压差达？105～101【0分压差极大—根据国内外许多研】究试验和《实际运行都表明高】纯，气体输送《过程：中存：在着被生产环境中】。的气体或水分—所污染？的巨大？潜，在危险为此防渗【漏污染是高纯—。气体管路设计中必】须，认真解决的技—术措施另外》在高纯气《体管道施《工安：装，或检修后或因故停气！恢复时管《内存在的《各，。种杂质气《体的吹扫《或因停气后不可避免！地因：管内外分《压差而被污》染也：需进行吹扫置换【达到所要求纯度和杂！质容许含《量为了减少吹扫、】置换：时间也？要求高纯气体—管路设计时必须采】取相应的技术措【施本条？规定的3《款规定正是这—些技术？措施的具体要求它】。们是国内外从—事高纯气体设—计、：安，装和运？行，的科技人员多—年，。经验的总结其中第】2，、3款作为强制【性条文是有》关设：计者必须《。遵守的规定 【 ， ？10.？1.8  本条为电！子工业洁净厂房【内设有可燃气体管】道时：应，采取的安全技术措】施制定？这些规定《的理由是 》。 1 【 在使用可燃气体】的，洁净室厂《房内为避免可燃【气体：。的泄漏？引发：。燃，烧、爆炸事故一般】是将管路《上的阀门设置在阀门！箱，内此类阀门》。箱均设有气体—泄漏：报警和？事故排风装置— 《 2  目前在电！子工业洁净》厂，房中的氢气或含氢可！燃气体等接至用气】。。设备(无《明火)的支管和放】散管：为防火回火》引发事故均设有阻火！器，但除：此之外的可燃—。气体管道大》部分：。没有设阻《火器所以本条规定“！宜设：置，阻，火设施？” ？