10 【。 气体？。供应： 》 1—0.1  一般规定！ —。 10.》1.1 《 洁净厂房》使用的气体有常用气！体、干？燥压缩空气》。及特种气体三大类根！。据各种电子产品品种！及其生？。产工艺的不同使【用气体的品种、纯】度，及，。杂质含量是不相同的！表22是几类电【子产品所需》气体品种 》 ！ 》 ： 10.1.3  ！洁，。净厂房所使用气体的！制备、纯化、—储存及分《配系统除应遵守本】规范外还应遵守【相关现行《国家标准《的规：定其：中，主要有；《建筑设计防》火规范GB 500！16、压《缩空气站设计规范G！B， 5002》9、氢气站设计【规范GB 50【17：7、氧气《站设计规范GB 】5，0030、》工业金属管道设【计规：。范GB 5》0316等》 10.！1.：。4，～10.《。1.6？  目前各》。类电子工业洁—净厂房中常》用气体？管道的一次配—管均敷设在与用气设！备相关洁净室(区)！毗邻的技术夹—层或技？术夹道内除压缩空】气，管道外其他》各类气体管道不得】穿过与其无关的房间！或不使用这》些，气体的房间有时为布！置的方便或可—。减少大量的》管材必须穿越时应设！。套管或双《层管以免《运行中这些气体泄漏！由于此类无关房【间未：采取通风、报警措施！易引起？事故特种《气体管道《由于管？径较小一般均—采用相对集》中敷设洁《净，室(：区)内的惰性及无】危害性气体管道【及其管架宜暗敷或设！置，在便于检查、维护】的装饰面《板内可燃《、有毒或有害气体管！道应外露敷设 ！ 可燃气—体、有毒气体穿过洁！净室(区)墙或【楼板处管道应设套管！该套：管内的气体管道不】。得有焊缝以避免因】焊缝质量问》题泄漏气体后无法检！查，。形成逐渐《积聚成为安全事故的！隐患 — 10.1.7 ！ 电：子工业洁净厂房中由！于高纯？气体管道内输送【的气体中杂质含量都！极低一？般氧含量《都在1？0-6～10-10！。水含量在10-5】。～10？-，9而洁净室生—。产环境中的》。。氧浓度？、水：汽含量均《在1：0-1以上即—高纯气？体输送管内外的氧】气、水分的分压差达！105～1》。0，10分压《差极大根据国内外】许多：研，究试验和实》际运行都表》明，高，纯气体输送过程中存！在着被？生产环境《中的气？。体，。或水分所污染的巨大！潜在危险《为此防渗《漏污：。染是高纯气》体管路设《计中必须认真解决的！技术措？施另外在高纯气【体管道施工安装或】检修后或因故停【气恢复时管内存【在的各种《杂，质气体？的吹扫或因停气后不！可避免？地因管内外分压【差而被污染》也需进行吹扫置换达！到所要求纯度和【杂，质容许含量》为，了减少吹扫、置换时！间也要求《。高纯气体管路设【计时必须采取相应】的技术措施本条规定！的3款规《。定正是这些》技术措施《的具体？要求它们《是国：内外从事高纯气体设！计、安装和》。运行的科技人员多年！经验的总结其中第2！、3款作《为强制性条文是【有关设计者必须遵】守的规定《 —10.1.8  】本条为电子工业洁净！厂房内设有》可燃气体管道时应采！取的：安全技术措》。施，制定这？些规定的理由是 ！ ， ， ， 1 ？ ，在使用可《燃气体的洁净室厂】房内为？避免可燃气体—的，。泄漏引发燃烧、爆】炸事故一般是将管路！上的阀门设置—在阀门箱《内此：类阀门箱《。均设有气体泄漏报】警和事故排风装【置 【2  ？目前在电子》工业洁净厂房中【的氢：气或含氢可燃气体】等接至？。用气：设备(无《明火)的《支管：和放散管为防火回火！引发事故均》设，有阻火器但除此【之外的可《燃气体管道大部【分没有设阻火器【所以本条《规定“宜设置—阻火设施《”， ：