10  气！体供应 —。 —。。 10.1  一般！规定 】 10《.1.1  洁净】厂房使用的气—体，。有常用气体、—干燥：压缩空气及特种气】体三大类根据各种】电子：产品品？种及其生产工—艺，的不同使用气—。体的品种、纯度【及，。杂质含量是不相同】的表22是几类【电子产品《。所需气体《品种 ！。 》 10】.1.3  洁净】厂房所使用气体的】制备、纯化、—储存及分配系统除应！遵守：本规范外还应遵守】相关现行国家标【。准的规定其中主要有！；建筑设计防火规】范GB 《50016、压缩空！气站设？。计规范GB》。 50029、氢气！站设计规《范GB 501【77、氧气站—设计：规范GB 》50：030、工》业金属管道设计规范！G，B ：503？16等？ ？ 10.1【.，4～10《.1.6  目【前各类电《子工业洁净厂房中常！用气：体管：。道的一次配管均【敷设在与《用气设备相》关，洁净室(区)毗邻的！技术夹层或技—。术夹道内除》压缩空气管道—外其他各类气体管道！。不得穿过《与其无关《的房：间或不使用这些气】体的房间有时—为布置？的方便或可》。。减，少大量的管材—必须穿？越时应设套管—或双层管以》免，运行中？这些气体《泄漏由于此类—无关房间未采—取通风、报》警措施易引起事故】特种气体管道—由于管径《较小一般均采用相对！集中：敷设洁净室(—区)内？的惰性？及无危害性气体管】道及其管架宜暗敷】或设置在便于—检查、维护》的装饰面《板内可？燃、有毒或有害气体！管道：应外露敷设 】 可燃》气，体，、有毒气《体，穿过：洁净室(区)墙或楼！板，。处管道应设套管该套！管内的气体》管道不得有焊缝以】避免：因焊缝质量》问题泄漏气体后无法！检查形成逐渐积聚成！为安全？事故：的隐患 【。 ：10.1.7—  电子工业洁净厂！房中由于高纯气体管！道，内，输，送的气体《。中杂质含量都极低】一般氧？含量都在10—-6～10-10】水含量在《10-5～10-9！而洁净室《生产环境中》。的氧浓度、水—汽含量均《在10-《1以上即高纯气体】输送：管内外的氧气、【水分的分压差达【105～1》010分压差—极大根？据国内外许多研【究试验和实际—。运，行，都，表明高纯气》体输送过程中存在着！被，生，产环境？中的气体或水分所污！。染的巨大《潜，在危：险为此防渗》漏污染是高纯气体管！路设计中必须认真解！决的技术措施另外】在高纯气体管—道施工安《装或检修《后或：因故停气恢》复时：管内存在的各—种杂质气《体的吹扫《或，因，停气后不可》避免地因管》内外分压差而被污】染也需进行吹扫【置换达？到所要求纯度和【杂，质容许含《量为了减少吹—扫、置换时间也要求！高纯气体管路设计时！必须：采取相？应的技术措施本【条规定的3款规【定正是这《。些技术措施的—具体要求它们是国内！外从：事高纯气体设计、】安装和运行的—科技人员多年经【验的总结其中—第2：、3：款作为强制性条文】是有关设计者—必须遵守的规定 】 》。10.1.》。8  本条为电子工！业洁净厂房内设【有可燃？气体：管道时应采取—的安全技术措施【制定这些《规定的？理由是 《 ： 1  在使用！可燃气体的洁净【室，。厂房内为避》免可燃气体的泄漏】引发燃烧、爆炸事】故一般是将管—路上的阀门设置在】阀门箱内《此类阀门箱均设有气！体泄漏？报警和事故排风装置！ 2 】 目：前在电子工》业，洁净厂房中的氢气或！含氢可燃气》体等接至用气—设，备(无明火)的支】管和放？散管：为防火回《火引发事故均设有阻！火器但？除，此之外？的可燃气体管道大部！分没有设阻》火器所以本条规定】“宜设？置阻火？设施” 》