《10  气体—供应 【 》10：.1  一般规定 ！。 — 10.1.1  ！洁净：厂房使用的气体【有常用气体、干燥】压缩空气及特种【气体三大《类根据各种电子产品！品种：及其：生产工艺的不同使】用气体的品》种、纯度及杂质【含量是不相同的表】22是几类》电子产品所》需气体品种 ！ 《 》 10.1！.3  洁净—厂房：。所使用气体的—制备、纯化、储存及！分，配系统除应遵守本规！范外还？应遵：守相关？现行国家标准的规定！其中主？要有；建《筑设：计防火规《。范GB 50016！、压缩？空气站设计》规，范GB 50029！、氢气站设计规范G！B，。 50177、氧气！站设计规《范GB 5003】。0、工业金属管道】设，计规范GB 50】。316等 【。 ？10.？1.4～10.1】.6  目》前各类电子工业【洁净厂房中常—用气体管道的一次】。配管均敷设在—与用气设备相关洁】净室：(区)毗《邻，的技术夹层》或技术？夹道内除压》缩空气管道》外其他各类》气体管道不得穿过与！其无关的《房间或不使用这些气！体的房间有时为【布，。置的方便或可减【少大量的管》材必须？穿越时应设套管或双！层管以免《运，行中这些气》体泄漏由于此类无】关房间未采取—通风、？报警措施易引起事】。故，特种气体《管道由于管》径较小一般均采用】相对：集中敷设洁净室(区！)内的？惰性：及无危害性气体【管道及其《管架：宜暗敷？或设置在便于—检查、？维护的装饰》面板内？可，燃、：有，毒或有害气》体，管道应外露敷设 】 可燃气】体，、有毒？气体穿过洁净室(区！)墙或楼板》处管道应《设套管？该套管？内的气体管道不【得有焊缝以避免【因焊缝质量问—题泄漏？气体后？。无法检查形成逐渐积！。聚，。成为安？全事故的隐患 】 ： ：10：。.1：。.7  电》子工：业洁净厂房中由【于高纯气《体管：道内：输送的气体中杂质】含量：都极低一般氧—含量都在《10-6～》10-？10水？含量在10-5～】10-9而洁净室生！产环境中《的氧浓度、水—汽含量均《在10-1以—上即：。高纯气体《输送管？内，。外，的氧：气、水？分的分压差达—105～1》010分压差极大】根据：国内外许多研—究试验和《实际运行都表明高纯！。气体输送过程—中存在？着被生产环》境中的？气体或水《。分所污染《的巨大潜在》危险为此《防渗漏污染是高纯】气体管路设计—中必须认《真解决的技术措施】另外在高纯气体管】道施工安装》或检修后或因故停】气恢复？时管内存在的各种杂！。。质气体的吹扫或因】停气后不可》避免地？。。因管内外分》压差而被污染—也，需进行吹扫》置换达？到所要求纯度—和杂质容许含量为】了减少吹扫、置换时！间也要求高纯气体】管路设计时必须【采取相？应的技术措施本条规！定的3？款规定正是这些技】术措施的具体要求它！。们是国内外从事高】纯气体设计、安【装和：运行的科《技人员多年经验【的总结其《中第2、3款作【为强制性条文是有关！。设计者必须遵守的】规定 — 1？0.1.8  本】条为：电，。子工业洁《净厂：房内设有可燃气体】管道时应《采取的？。。安，全技术措施制定【这些规定的》理由是 ！。1 ： 在使用可燃气体的！。洁，净，。。室厂房内为避免可】燃，气体的泄漏引—发燃：烧，、爆炸事故一般是】将，管路上的《阀门设置《。在阀门箱内》此，类阀门箱均设—有气体泄漏报—警和：事故排风《。。装置 》 2  —目前在电子工业洁】净厂房中的氢—。气或含氢可燃气【体等：接至用气《设备(无明火)【的支管和放散管【为，防火回火引发事故】均设有阻火》器但：除此之外的可燃【气，体管道？大部分没有设阻火器！所以本条规定“宜】设置阻火设施” ！