。 《10  《气体供应 【 —。 1：0.1  一—般规定 ！ 10《.1.？1，  洁净厂房使用的！。气体有常用气体、】干燥压缩空气及特种！气体：三大类根《据各种电子产品【品种及其生产工【艺，的不同？使用气体《的品：种、纯度及》杂质含量是不相同的！。表22是几》类电子产品》所需气体品种 】 ： 》 》 10.【1.3  洁净【。厂房所使用气体的制！备、纯化、》。储存及分配系统除应！遵守本规范外还应遵！守相关现行》国家标准的规定其】中主要？有；建筑设计防【火规范G《B， 50016、压缩！空气：。站，。设计规范GB 5】002？9、氢气《站设计规范G—。B， ，50177、—氧气站设计规范GB！ 50030、【工，业，金属：管道设计规范G【B 503》16：等 ： 10.】。1.4～10.【1.6 《 目前各类电子【工业洁净厂房中常】用气体管道的—一次配管均》。敷设在与用》气，设备相关洁净室(】。区)毗？邻的技术夹》层或技术夹道内【除，压缩空气管道—外，其他各？。。类气体管道不得【穿过与？其无关的《房间或不使用这些气！体的：房间有时《为布置的方便—或，可减少大量的管材必！须穿越时应设套管】或双层管以免运行中！这些气体泄漏由【于此类？。无关房？间未采取通风—、，报警措施易》引起事故特种气体】管，道由于管径较小一般！均采用相对集—。中敷设洁净室(区】)内的惰性及无危】害性气？体管道及其》管架宜暗《。。敷或设置《在便于检查、维护】的，装饰面板内可燃【、有：毒或有？害气体管道应外露敷！设 【可燃气体、》有，毒气体穿过洁净室】(区)墙或楼板处管！道应设套管该—套管内？的气体管道不得有】焊缝以？避免因焊缝质量问题！泄漏气体《后无法？检查形成《逐渐积聚成》为安全事故的—隐患 《 10.1.！。7，  电？子工业洁净厂—房，中由于高纯气体管道！内输送的气体中杂】质含：。量都极低一般氧含量！都在10《。-6～10》-10水含量—在10-5～1【0-9而洁净室生产！环境中的氧浓—度、水？汽含量均在10-1！以上即高纯气—体输：。。送管内外的氧气【。、水分的分》压差达？。。105～1》010分《压差极大根据国内】外许多研《究，试验和实际运行【。。都表明？高纯气体输送—过程中存在着—被生产？环境中的气体—或水分所污染的巨】大潜在危险为—此防渗漏污染是高】纯气体管路设计【中必须认真解决的】技术措？施另外在高纯气【体管道？施工安装或检修后】或因：故停气恢复时—管内存在的各种杂】质气体的吹扫或【因停气后不可避免地！因，管内外分压差—而被污染也需—进行吹扫置换—达到所要求》纯度和杂质容许【含，量为了减少》吹扫、置《换时间也要求—高纯气体管路—设计时？必须采取相应的技】术措施本条规定【的3款规定正是这些！技术：措施的具体要—求它们？是国：内外从事高纯—气体：设计、？安装和运行的科技】人员：多年经验的总—。结其中？第2、3款作为【强制性条文是有【关设：计，者必须遵守》的规定 《 10【.1.8  本条】为电子工《业洁净厂房内设【。。有可燃气体管—道时应采《取的：安全：技术：。措施制定《这些规定的》理由是 ！1  在《使用可燃气》体的洁净室》厂房：内为避免可》燃，气体的泄漏引发【燃烧、爆炸事故一】般是将管路上的阀】门设置？在阀门箱内此类阀门！箱均设有气》体泄漏？报警和？事故排风装置 【 ， 《。2  目前在电子工！。业洁净厂房中的氢】气或含氢《可燃气体等》接至用气设备—(无：明火)的支管—和，放散管为防火回火引！。发事故均设》有，阻火：器但除此之》外的可燃《气体管？道大：部分没有设阻—火器所以本条规定“！。宜设置？。。阻火设施” — ，