：。 ， 10 《 气：体供：应 【 《10：.，1  一般规定 ！ 10.！1，.1  洁净厂【房使用？的气体？有常用气体》、，干燥压缩《空气及特种气体三】大类：根据各种《电，子产品品《种及：其生产工艺的—不同使用气》体的品种、纯度【及杂质？。含量是不相同的表2！2是几类电子产【品所需气体品种 】。 【 ！ 10.1.3【  ：洁净厂？房所使用气体的制】备、纯化、储—存及分配系统除应遵！守本规范外还—应遵守相《关现行国家标—准的规定《其中主要有；建【筑，设计防火规范GB】 5001》。6、压缩空气站设计！规范GB 50【029？、氢气站设》计规范GB 50】177、氧气站设计！规范GB 5—0，030、工业—金属管道设计规【。。范G：B ：50：3，1，6等 1！0.1？.4～10.—1.6？  目前各类电子】工业洁净厂房—中，常用：气体管道的一次配】管均敷设在与用【气设备相关洁净室】(区)毗邻的技术】夹层或技术夹道内】除压缩？空气管道外其他各】类气体管道不得穿】过与其无关的房间或！不使用这些气体的房！。间有时为布》置的方便《或可减少大量的管材！。。必，须穿越时应设套【管，或双层管以》免运行中这些气体】泄漏由？于此：类无关？房间未？采取通风、报—警，措施易引《起事故特种气体管道！由于管径较小一【。般，均，采用：相对集中敷设洁净室！(区：)内的惰性及无危】害性气？体管道及其管架【宜暗敷或《设，置在：便于检？查、：维护：的装饰面板》内可燃、有毒—。或有害？气体管道应》外露：敷，设 》 可燃气体—、有毒？气体穿过《洁净室(《区)墙或《楼板处管《道，应，设套管该《套管内的气体管道】不得：有焊缝以避免因焊】缝质量问题泄漏气】体后无？法，检查形成逐渐积聚成！为安全事故的隐患】 ， 10【.1.7  电子工！业洁净厂房中—由于高？纯气体管道内—。输送的气体中杂质含！量，都极低一般氧含【。量，都，在10？-6～1《0-10水含量在】10-5～1—0-9而洁》净室生产环境中的】氧浓度、《水汽含量均在1【0-1以《上即高纯气体输送】管内外的氧气—、水：分的分压差达1【05～？。1010《分压差？极，大根据国《。内外许多研》究试验和《实际运行《都表：明高纯气体输送过】程中：存在着被生产环【境中的气《体或水分《所污：染的巨大潜在—。危险为此防渗漏污染！是高：纯气体管路》设计中必须认真【解决的技术措施另外！在高：纯气体管道施工安】装或检？修后或因《。故停气恢复时—管内存在的各种杂质！气体：的吹扫或《因停气后不》可避：免地因管内外分压差！而被污染也》需进行吹扫置换【达到所要求》纯度和杂质容—许，含量为了减少—吹扫、置换时间也】。要求高纯气体—管路设计时必须采】取相：应，。的技：术措：施，本条规定的》3款：规定正是这》些技术措施的具体】要求它？们是国内《外，从事高？纯，气体设计、》安装和运《行的科技人员多【年经验的总》。结其中第《2、3款作为—强制性条《文是有关设》计者必须遵守的规定！ 《 ， 10.《1.8  本条为】电子工业洁净—厂房内设有可—燃气体管道时—应采取？的安全技《术措施制定这—些，规定的理《由是 【 1  《在使用可燃气体【的洁净室厂房—内，。为避免可《燃气体的泄》漏，引发燃烧、爆—炸事：故一般是将》管路上的阀》门，。设置在阀门》箱内此类阀门—箱均设？有气体泄漏报—警和事故排风—装置 《 ？ 2  目前在【。电，子工业？洁净厂房中的氢气】或，含氢可燃气体—等，接至用气设备(【无明火)的支—管和放散管为防火回！火，引发事故均设—有阻火？器但除此之外的可】燃气体？管道：大部分没有》设阻火器所以本条规！定“宜设置阻火设施！” ？