9.3 】 管材、《阀门和？附件 》 纯水系统！管道：及其阀门和附—。件的材质的选择【与，前面所述的与纯水接！触的设备《和纯水储存、输【送设备的要求类【似，所，以本节要求》材，料的化学稳定性应好！、管道？内壁光洁度应好【、不：得有渗气现象—等目前电子工业【洁净：厂房中纯水系—统，管道的？材质根据《所需纯？水水质的不》同一般分《别采用低碳优质【不，锈钢：、聚氯乙烯(U【PVC、《CL-PVC)、】聚，偏二氟乙《烯(PVDF、PV！DF-HP)等【类型的管材据了【解在集成电路—芯片：生产用纯水系统中】一般在反渗透装【置(RO)前—。的管道材质采用【C-PVC》；而RO装置—之后的纯《水管道材质》一般采用PV—DF-HP》循环供水系统的【回水管路材》质一：般采：。用P：VDF 》 《对于纯水系》统的阀门、》附件的选用其材【质应选择与管—道相同的《材质为？防止阀门可能发【生渗气现象影—。响纯水的《水质所？以应选用密封好、结！构合理的阀》门根据电子工业洁净！厂房的实际》情况在？集成电路芯片生产】等对纯水水》质要：求严格的电子产【品生产工艺用纯水】系统中一般采用隔膜！。阀 ： ，