9.3 】 管材、《阀门和附件》 纯！。水系统管道及其【阀门和附件的材【质的选择与前面【所述的与纯水接【触的设备和纯水储存！、输送设备的要【求类似所以本节【要求材料的化学【稳定性应好、管【道内壁光洁度应【好、不得有渗气现象！等目前电子工业洁净！厂房中纯水系统【管道的材《质根：据所需纯水水质的】不同一般《。分别采用《低碳优质不锈钢、聚！氯乙烯(UPV【C、CL《。-PVC)》、聚偏二氟乙烯【(PVDF、P【VDF-HP)等类！型，的管材据了解在集】成电路芯片》生产用纯水》系统中一般在反【渗透装置(》。RO)前《的管道？材质采用C-—PVC？；而RO装置—之后的纯水管—道材质一般采—用PVDF》-HP循环供水系】统的回水管路—材质一般采用—PVDF 】。 对于纯水系统的！阀门、？附件的选用其材质】应选择？与管道相《同，。的材：质为防？止阀门可能发—生渗：。气，现象影响纯水的【水质所以应选—用密封好、结构合】理的：阀，门根：据电子？工业洁净厂房—。的实际情况在集成电！路，。芯片生？产等对纯水水质【要求严？格的：电子产品生》产工艺用《纯水系统中一般采】用隔膜阀 —