9.3【  管材、阀—门和附件 — ： 纯水—系，统管道及其阀门【和附件的材质的选】择与：前面所述的与纯水】接触的设备和纯【水储存、输》。送，。。设备的要求类似所以！本节要求材料的【化学稳定性应—好、管道内壁—光洁度应好、不得有！渗气现象等目前【电子工业洁净厂【房中纯？水系统管《道，的材质根据所需纯】水水质的不同一般】分别采用低碳优质不！锈钢、聚氯乙—。烯(U？PVC、C》L-：PVC)《、聚偏二氟乙烯(P！VDF、PV—DF-HP)等类】型的管材《。据了解在集成电路芯！片生产用纯》水系统中一般—在反渗透装置—(RO？)前的管道》材质采用C-PVC！；而R？O装置之后的纯水管！道材质一般采用【PVD？F-HP循环供水】系统的回水》管路：材，。质一般采用PVD】F ？ 对于纯【水系统的《阀门：、附件的选用其材】质应选择与管道相】同的材质为》防止阀门可能发【生渗气？现象影响纯水的水质！所以应选用密封好】、结构合理的—。阀门根？。据电：子工业洁净》厂房的实际情—况在集成《。电，路芯片生产等对纯水！水质要求严格的电】子，产品生产《工艺用纯水系统中】一般：采用：隔膜：阀 ？