9.—3, 管材、阀—门和附件
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纯水系—统管道?及其阀门和附件的材!质,的,选择与前《面所:述的与纯水》。接触:的设备和纯水储存、!输送设?备的:要求类似《所以本?节要求材料的化学稳!定性应好、管道【内壁光洁度应好、不!得有:渗气现象等目前电子!工业洁净《厂房中纯水系统管】道的材质根据—所需:纯水水质的不同一】般,分别采用低碳优质不!锈钢、聚氯乙—。烯,(UPVC、C【L-P?V,C)、聚偏二氟【乙烯(PVDF【、PV?DF-HP)等类型!的管材据了》解在集成电路芯【片生产用纯水—系统中一般在反渗透!装置:(RO)前的管道】材质采用C》-,PVC;而RO装】置之后的《纯水管道材质一般采!用P:VDF-HP循【环供水系统的回水】管路:材质一般《采用PVD》。F
【对于纯水系统—的阀门、附件—的选:。用其材质《应选择与管道—相同的材《质为防止阀门可能】发生渗气《现象影响纯》水的:水质所以应》选用密封好、—结构合理的阀门根据!电子工业洁净厂房的!实际:情况:在集成电路》。芯片:。生,产,等对纯水水质要求严!格的电子产品生【产工艺用纯水系统中!一般采用《隔膜阀?
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