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9.3【 , 管材、阀门—和附件 ! 纯水系》统管道及其》阀门和附件的材质】的选:择与前面《所,述的与纯水接触的】设备和?纯水储存《、,输送设备的要—求类似?所以本节要》求材料的《化,学稳定性《应好、管《道内壁光洁度应好】、不得有《渗气:。现象等目前》。电子工业《洁净厂房中纯水系】统管道?的,。材质:根据所?需纯水?水质:的不同一般分别采】。用低碳优质不锈钢、!。。聚氯乙烯(UPV】C、CL-PVC】)、聚?偏,二氟乙烯(PV【DF、P《VDF-HP—)等类型的管材【据了解在集》成电:路芯片生产用—纯,水系统中一般在反渗!透装置(RO)前的!管道材质采用C-】PVC;而R—O装置?之后的纯水管道材质!一般采用PVDF-!HP循环《供水系?统的回水《管,。路材质一般采用P】V,D,F 对】于纯水系《统的阀门、》附件的选用》其材质应选》择,与管道?相同的材质》。为,防,止阀:。门可能发《生渗气现象影—响纯:。水的水质《所以应选用密封好】、结:构合理?的阀门根《据电子工业》洁净厂房《的,实际情况在集成电路!芯片生产等》对纯水水质要求【严格的电《子产品生产工艺【用纯:水系统?中一般采用》隔膜阀? :