？ 9.3  —。管材、阀门和附件 ！ 纯】水系统管《道及其？阀门和附《件的材质的选择与前！面所述的《与纯水接触的设备和！纯，。。水储存、输送—设备：的要求类似所以本】节要求材料的化学稳！定，性应好、管》道内：壁，光洁度应《好、不？得，有渗：气现象等目前—电子工业洁净厂房中！纯水系统管道的材】。质根据所需纯水水】质，。的不同？一般分别采》用低碳优质不—锈钢、聚氯》乙烯(UPVC【、CL-P》。VC)、《聚偏二氟乙烯(P】VDF、PVDF】-，HP)等类》型的管？材据了解在集成电路！芯片生产用纯水【。系统中一般》在反渗透装置(R】O)前？的管道材质采—用C-PVC—；，而，RO：装置之后的纯—水管道材质一般【采用PVD》F-HP循环供水】系统的回《水管路材质》一般采用PVDF ！ 对—于纯水系统的阀【。门、附件的选—用其材质应》选择与管道相同的材！质为防止阀门可【。能发生？渗，气，现象影响《纯水：的水：质所以应选用密封】好、结构合理的【阀门根？据电子工业洁净厂房！的实际情况在集成】电路芯？片，生产等对《纯水水质《要求严？格的：电子产？品生产工《艺用纯水系统中一】。。般，采用隔膜阀 【