9.—3，  ：管材、阀门和附件 ！ 纯】水系统管道及其阀门！和附件的材质—。的选：择与前面所》述的与纯《水接触的《。设备和？纯水储存、输送设备！的要：。求类：似所以？本节要求材料的化】学稳定性应好、管】道内壁光《洁度应好、不得有渗！气现象等目前电子工！业洁净厂房中纯水系！统管道？的材质根据所—需纯水水质的—不同一般分别采用低！。碳优质不锈钢、聚氯！乙烯(UPVC、C！L-PVC)、聚】偏二氟乙烯(PVD！。F，、PVDF-H【P)等类《型的管材据了解在】集成电路芯片生产用！纯水系统中》一，般在反渗透装置【(RO？。)前的管道材—质采：用C-PVC；【而RO装置之后【的纯水管道材—质一：般采用PVD—F-HP循环供【水系：统的回水管路材质】一般：采，用PV？DF 对！于纯水系统》的阀：门、附件的选用其材！质，应，选择与管道》相同的材质》为防止阀门》可，能发：生渗气现象影响【纯水的水质》所以应选用密—封好、结《构合理的《阀门根？据电子工业洁—净厂房的实际—情况在集成电—路芯片生产等对纯水！水质要？求，严格的电子产品生产！工艺用纯水系统中】一般：采用隔膜阀 【