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9》.3  管材、阀门!和附件 ! 纯水系统—管道及其阀门和附】件的材质的》选择与前面》所述的与纯水接触】的设:备和纯水储存—、输送设备的要【求类似所《以,本节要求材》料的化学稳定性应好!、管道内壁光洁度】应好、?不得有渗气现—象等目前电子工业】。洁净厂房中纯—水系统管道》的材:质根据所需纯水水】质的不?。同一般分《别,采用低?碳优质不锈》。钢、聚氯乙烯(UP!VC、CL-P【VC)、聚偏二氟】乙烯(PVDF【、PVDF-—HP)?等类型的管材据了】解在集成《电路芯片《生,产用纯水《系统中一般在—反渗透装置(RO)!前的管道材质采【用C-PVC—。。;而RO《装置之后的纯—水管道材质一—般采用PVDF【-,HP循环供》水系统的回》水管路材质一般采用!PVDF — , : 对于纯水系统的】阀,门、附件《的选用其《材质应选择与管【道相同的材质—为防止阀门可能发】生渗气现象影响【纯水:的水质所以应选用】密封好?、结构合理》的阀门根《据电:子工业?洁净厂房的实际情况!在,集成电路芯片生产等!对纯水?。水质要求严格的【电子产品生产工艺用!纯水系?统中一般采用隔【膜阀 《