， 9.2  纯！。水，系统 — ， 9.2.2 ！ 纯水的制备、【储，存和输送设备—的选型和制》造材质的选》。择除了？应，充分满足电子产品】生产工艺《对供水水质、终【端水质的要求外纯】水的制备、储存和输！送设备？的选：型和材质选择还应】充分考虑下》列因素 》 ？ 1  纯水是一】种极好的溶》剂为了确保在纯水的！制备、储存和—输送：过程中？纯水水质下降最【小必须选择化—学稳定性极好—的材料这些》材料：在所处的纯水中的】溶出物最小各—类材料的溶出—物，多少应以材料的溶】出试：。验，确定主要包括金属】离子、有机物的溶】出 2】  设备内壁光【洁度：好若内壁有》微小的凹《凸会造成微》粒的沉积和》微生：物的繁殖导致微粒】和，细菌两项《指标的不合格—不锈：钢内：壁光洁？度可达几微米至【几十微米《内衬PV《DF：的内壁光洁度可达】1μm？以下 【 3  设》备内壁以及》接管处应平整—、，光，滑以防止产生流【水的涡流区》。避免污染物积聚【 《 4  设—备内不应有》。“死水区”、“存】水弯”等可能—形，成不流动水的“【死角”、“盲点【”，等防止？水质降低避免微【生物的滋《生 5】 ， 纯水？的储罐等《设备的上部空间【。为防止发生渗气现】象等应充以》纯氮保护 ！ 6  应设有检查！口、清洗口》以，便，对设备进行定期【检查、清洗防止长期！运行后？内壁产？生沉积物及微生【物积聚使水质下【降为此本条作了纯】水的制？备、储存和输送设备！应符合电子产品生产！工艺的要求并应【符合：规定的三款》。要求： 9【.2.3《  电子工业—洁净厂房的纯水系统！设计和运行经验表明！采，用纯水循环供—水方式是《确保纯水水质的【安全、方便和—可靠的方法也是目前！各类电子《工业：洁净：厂房纯水系》统的实际设置状【。况图8是单管式循环！供水系统和有—独立回水管的双管式！循环：供水系统《在集成电《路芯片生《产等对纯水水—质要求严格的电子产！品，生产工艺用纯水供】水系：统目前均采》用，双管：式循环供水系统 ！ 》 为了确】保电子产《品生：产所需纯水》水，。质，本条作了七》款详细的规》定并且有三款—是电子工业洁净【厂房中？设有纯水系》。统时其纯《水系：统的设计、建造【时需强？制执行的规定 】