： ， 9.2  纯水系！统 ：。 — 9.2.2  】纯水的制备、储【存和输？送设备的选型和【。制，。造材质的选择—除，了，应充分满足电子【产品生产工艺—对，供水水质、》终，端水质的要求外纯水！的，。制备、储存和输【送设备的选型和材】质选择？。还，应充分考虑下列因】。素 ？ 1  纯水！是一种极好的溶剂】为了：。。确保在纯水的制备】。、储存和输送过【程中纯水水质下降】最小必须选择化【。学稳定性极好的【材料这？些材：料在：。所处的纯水中—的溶出物《最小各？类材料的溶出—物，多少应以材料的溶出！试验确？定主要？包括金属离子、有机！物的溶出 ！ 2  设》备内：壁光洁？度好若内壁有微小】的凹凸会造成—微粒的沉积》和微生物的繁殖【导致微粒和细菌【两项：指，标的不合《格，不，锈钢内壁光洁度可达！几微米至几十—微米内衬《PVDF的内壁【光洁度？可达1μm以下 】 ？ 3  设—备内壁以《及接管处应平—整、：光滑以？防止产生流水—的涡流区避》免污染物《积，聚 4 ！ 设备内不》应有“死水区”、“！。。存水：弯”等可能形成不】流动水？的“死角”、“盲点！。”等防止水》。质降低避免微—。。生物的滋生 — 》5  ？纯水的？储罐等设备的上部空！间为防止发生渗【气，现象等应充以纯氮保！护 》 6  》应设有？。检查口、清》洗，口以便对设》。备进行定期检查、清！洗防止？长期运行后》内壁：产生沉积物及—微生物积《。。聚使水质下降—为此本条作了纯【。水的制备、储存和】输送设？备应：符合电？子产品生产工艺的要！求并应？符合规定的》三款要求 — 9.2【.3： ， 电子工《业洁净厂《房的纯水系统设【计和运行经验—表明采用《纯水循环《供水方式是确保【纯，水水：质的：安全、方《。便和可靠的方—法也是目前各类【。电子工业洁净厂房】纯水系统《的，实际设置状》况图8？是单管式循环—供水：系统和有独立—回水管？的双管式循》环供：水系：统在集？成电路芯片生产【等对纯水水质要求严！格的电子产》品生产工艺用纯【水供水系统目前均】采用双管式循环供】水系统 ！ ， 《 为了确保电子产品！。生产所需纯》水水质？本条作了七》款详细的《规定并且有三款是】电子工？业洁净？厂房中设有纯—水系统时其纯—水系统的设计、建造！时需强制执》行，的规定 《 ，