9.2  ！纯水系？统 ？。 ， 《 9.2.2—  纯水的制—备、储存和输—送设备的选》型和：制造材质的选择除】了应：。。充分满足电》子产品生产工—。艺对供？水水：质、：终端水质《的要：。求外纯水的制备【、，储存和输《送，设备的选型和材质选！择还应充分考虑下】列因素 ！1 ： 纯水是一》种，。极好的溶《剂为了确保在纯水的！制备、储存和输送过！程中纯水水》质下降最小必—须选择化《学稳定性极好的材料！这些材料在所处的】。纯水中的溶出—物最小各类材料的溶！出物多少应以材料】的溶出试验确定【主要：包括金？属离子、有机物的溶！出 ： 《 2  设备—。内壁光洁度》。好若：内壁：有微小的凹凸会造成！。微粒的沉《积和微生物的—繁殖导致微粒和细】菌两项指标的—。不合格？。不锈钢内壁光洁度可！达几微米至几—十微米内衬》PVDF的内—壁光洁度可》达1μm以下— 3【  ：设备内壁以》及接：管处应平《整、光滑以防止产】生流：水的涡流区避免【污染物积聚 ！ 4  设—备内不应有“死水区！”、“存水弯—”等可能形成不流】动水的“死角”、“！盲，点”等防止》水质降？低避免微生物—的滋生 — 5 》 纯水的储罐—。等设：。备的上部《空间为防止》发生渗气现象—等应充以纯氮保护】 6【  应设有》检查口、清洗口【以便：对设备进行定期【检查、清洗防止【长期运行后内壁产】生沉积物及微生【物积聚使水质下降为！此本条作了纯水的】制备、储存和输送】设备应符《合电子产品生—产工艺？的要求并《。应符合规定的三款要！求 9.！2.：3  ？电子工业洁净厂房的！纯水系统《设计：和运行经验表明采用！。纯水循环供水方式是！。确保纯水水质的【。安全、方便》和可靠的方法也是】目前各类电子工业洁！净，厂房纯水《。系统的？实际设置状况图8是！单管式循环供—水系统和有独立回水！。。管的双？管式循环供》水系统在集》成电路芯片生产等】对，纯水水质要求严格】的电子？产品生产工》艺用：。纯水供水系》统目：前均：采用双管式循环供】水系：统 ？ 】 ：为了确保电子产品】生产所需纯水水【。质本条作了七款【详细的规《。定并且有三款是电】子工业？洁净：厂房：。中，设有纯？。水，系统时？其纯水系统》的设计、建造时需】强制执行的规定【。 ：