： 9.《2  纯水》系统 【 ： 9.2.2— ， 纯水的制备、【储，存和输送设》备的选型和制造【材质的选择除—了应充分满足电子产！品生产工艺对供水水！质、终端水》。质的要求《外纯水的制》备、储存和输送【设备的选型和—材质：选择还？应充分考虑下—。列因素 】 1  纯水是一】种极好的溶剂为了确！保在纯水的制备【、储存和输》送过程中纯》水，水质下降最小—必须选择《化学稳定性极—好的材料这》些材料在所处的纯】水中：的溶出物最》小各类材料》的溶：出物：。多少应以材料的溶出！试验确定主要包【括金属离子、有【机物的溶出 】 2 》 设备内壁光洁度】好若：内壁有微小的凹凸】会造成微粒》的沉积和微生—物的繁殖导致微粒】和细：菌两项指标》的不合格不锈钢内】壁光洁度可达几微】米至几十《微米内衬PVDF的！内壁光洁《度可达1μm—以下 《 ， 3 》 设备？。内，壁以：及接管？处应平整、光滑【以防止产生流水【的涡流区避免污染物！积聚 4！  设备内》不应有？“死：水区”、《“存水弯”等可能】形成不？流动水的“死角”、！“盲：。点”等防《止水质降低避免【微生物的滋生 ！ 5 》 纯水的储罐等【设备：的，上部空间为防—止发生渗气现象等应！充以纯氮保护 【 》。6  应设》有检查口、清洗口】以便对设备进行定】期检查？、清洗？防止长期运行—后内壁产生沉—积物：及微生物《积聚使水质》。下降为此本条—作了纯水的制—备、储？存和输送设备应符】合电：子产品生《。产，。工艺：的要求并应符—合规定的三款要求 ！ 《 9.2.3—  电子工业洁净】厂房：的纯水系统设计和运！行，经验表明采用纯【水循环供水方式【是确保纯水水质的安！全、方？便和可靠的方法也是！目前各类电子工业洁！净厂房纯水》系统的？。实际设置《状况图8是单—管式：循环供水系统和有独！立回水管的》双管式循环供水系统！在集成电路芯—片生产？等对纯水水质要求】严格的电《子产品？生产工艺用纯水供】水系：统目前均采用双管式！循环供水系统— 》 为】了确保电子产品生产！所需纯水水质本条】作了七款《详细的规定并且【有三款是电》子工业？洁净厂房中设有【纯，水系统时其纯水【系统的设计、建造】时，需强：制执行的规定 【 ，