： ：9.2  》纯，水系统 《 9】.2：.2  纯水—。的制备？、储存和输送设【备的选型《和制：造，。材质的选择》除了应充分满足电】子产品生产工艺对】供水水质《、，终端：水质：的要求外《纯水的制备、—储存和？输送设备《的选型和材质选择还！应充分考虑下—列因素 《。 1  纯！水是一种极好的溶】剂为：了确保在《纯水的制备、储【存和输送过程中【纯水水质下降最小】必须选择化学稳定】性极好的材料这些材！料在所？处的纯水中的—溶出物最小各类材料！的溶出物多少—应以：材料的？溶出试验确定主要】包括金？属离子？、有机物的》溶出 《 ： 2  设备内】壁光洁度《好若内壁《有微小？的凹凸会造成微粒的！沉积和微生物的【繁殖导致微粒和细菌！两项指标的不合格】不锈钢内壁光洁度可！达几微米至几十微米！内衬PVDF—的，内壁光洁度可达1μ！m以下 《 3  】设备：内壁以及接管处应】平整、？光滑：以防止产生流—。水的涡流区避免污染！。物积聚 《 ？ 4  》设备：内不：应有“死《水，区”、“存水—。弯”等可能形成不流！动水的“死角”、】。“盲点”《等防止水质降低【避，免微生物的滋生 】。 5  纯！水的储罐等设备的上！部空间为防止发生渗！气现象等《应充以纯氮保护 ！ 6  【应设有检查口—、清洗口以便对设】备进行定期》检查、清洗防—止长期运《行后内壁产生沉积物！及微生？物积聚使水质下【降为：此本条作了纯水的制！备、储？存和输送设备应符合！电子产品生产工艺的！要求并？应符合规《定的三款要求 【 《 9.2.3  】电子：工业洁净厂》房的：纯，水系统？设计和？运行经验《表明采用纯水—循环供水方》式，是确保纯水水质【。的安全、方便和可靠！的方法也是》目前各类《电子工业洁净—厂房纯水系统的实】际设置状《况图8是单管—式循环供水系统【和有独立回水—管的双管式循—环供水系统在集【成，电路芯片生》产，。等对纯水水质要求】严，格的电子《产品生产工艺—用，纯水供水系》。统，目前均采《用双管式《循环供水系》统 《 ， ： 为了】确保电子《产，。品，生产所需纯水水质本！条作了七款详细的】规定并且《有三款？是电子工《。。业洁净厂房中—设有：纯水系统时其—纯水系统的设计、】。建造时需强》制执：行的规？定 ？