9.2 】 纯水系《统 — ， ， 9.？2.：2  ？纯水的？制备、储存和—输送设备的选—型和：制造材质《的选择除了应充分满！足电子产《品生产工艺对供【水水质、终》端，水质的要求》外纯水的制》备、：储存和输送设—。备的选型和材质【选择还应充分考虑下！列因素？ 《 1  纯水是】一种极好的溶剂为了！确保在纯水的制【备、储存《和输送过《。程，中纯水？水质下降最小必须】选，择化学？稳定：性极好的材料这【些材料在所处的纯水！中的溶出物最小各类！材料的？。溶出物多少》。应以材料的溶出试验！。确定主要包括金属离！子、有机物的—溶出 2！  ：设备内壁光》洁度好若《内，壁有：微小的凹《凸会造成微粒的沉积！和微：生物的繁殖导致【微粒和细菌两项指】标的不合《格不锈？钢内壁光洁》度可：达，几，微米至？几十微米内》衬PVDF的—内壁光洁度可—达1：μm以下 ！ 3  设备内【壁以及接管处—应平整？、光：滑以防止产生流水的！涡，流区避免污染物积】聚 《 4《  设备内不应有】“死水？区”、“存水弯”】等，可能形成不流动水】的“死角”、—“盲点”等防止水质！降，低避免微《生，。物的滋生《 5 】 纯水的《储罐等设备》的上部空间为防【止发生渗气现象等】应充以纯《氮保护 】 6  应设—有检查口《、清洗？口以便对设备进行定！期检查、清洗—防止长？期运行后内壁产生】沉积物及微生物【积聚使水质下降为】此本条作了纯水的制！备、储存《和输送设备应符【合电子产《品生产？工艺的要《求并应符合规—。定的三款要求 【。 ： 9《.2.？3  ？电，子工业洁《净厂：房的纯水系》统设计和运行经验】表，明采用纯水循环【供水方式《是，确保纯水水质的【安全、方便和可靠的！方法也是目前各【类电子工业洁净厂房！纯水系统《的实际？设置：状况图8是单管式】。循环供水系统和有】独，立，回水管的双管式循环！供水系统《在集成电路芯—。片生产等《对纯水水质要求严】格的电子产》。品生产工艺用纯【水，供水系统《目前：。均，采用双管式》循环供水《系统 】 为了确！保电子产品生—。产所需纯水》水质：本条作了七款详细的！规定并且《有三款是电子—工业洁净厂》房，中设有纯水系—统时其纯水》系统：的，设计、建造时—需强：制，执行：的规定 》