9.—2  纯水系—统， 】9.2.2》 ， 纯水的制备、【储存和输送设备【。的选型和制》造材质的选》择除了？应充分满足电子【产品：生产工？艺对供水《水质、终端水质【的要求外纯》水的制备、储—存和输？送设：备，的选型？和材：。质选择还应充—分考虑下列因素 】 1—  纯？水，是一种极好》的溶剂为了确保在】纯水的制备、储存】和输送过《程中纯水水质—下降最小必须选择】化，。学稳定性极》。好的材料这些材【料，在所处的纯水中的溶！。出物最小各类—材料的溶出物—多少应以《材，料，的溶：出试验确《定主要包括金属离】子、：有机物的溶出 【 2—  设备内》壁光洁？度好若内壁有微小】的凹凸会造成微【粒的沉积和微生物】的繁殖？导，致微粒和《细菌两项指标的不合！。格不锈钢内壁光【洁度可达《几微米？至几十微米内—衬PVD《F的：内壁光洁度可达【。1μm以下 — 》。3，  设？备内壁以及接—管处应平《整、：光滑以防止产生【流水的涡流》。区避免污染物—积聚 — 4  》设，备内不应有“死水】。区”、“存》水弯：”等可？能形成不流动—水的“死角”—、“盲点”等—防止水质降低避【。免微生物的滋生 ！ 5  纯】水，的，储罐等设《备的上部空间—为防止发生渗气现象！等应充以纯氮保【护 6】  应设有检—查，口、清洗口》以便对？设备进行定期检查、！清洗：防止长？期运行后内壁—产生沉积物及—微生物积聚使—水质下？降为：此本条？作了：纯水的？制备、储《存和输送设》备应符合电子产品生！产工艺的要求并应符！合规定的《三款要？求 9.！2.3  电子工业！洁净厂？房，的纯水？系统设计和运行【经验表？。明采：用纯水循环供水方】。式是确保纯水水质的！安全、方便和可【靠的方法也是目前】各类电子工业洁净厂！房纯：水系统的实际设【置状况图8》。是单管式循环供水系！。。。统和有？独立回水管的双【管式循环供水—系统在集成》电路芯片生产等【对纯水水质要—求严格的电子产品生！产工艺用纯水—。供水系？统目前均采》用双管式循环—供水：系统： ， — 》为了确保电子产品生！产所需纯水》水质本？条作了七款详细【的规定？并且：有三款是电子—工业洁净《厂房中设《有纯：水系统时其纯水【系统的设《计、建造时需强制执！行的规定《 ：