9》  ：纯，。水，。。供应： — ， 9.1  一！般规定 ！ 9.1.1 】 电子工业洁净厂房！设计中纯水供应是重！要内容之一各—种电子产品》生产工艺对》。纯水水质、水量要】求，均不相同在中国电子！级水的技术指标【中仅电阻《。率一：项，指标E？。W-1级水为18】。。MΩ·cm》以上：而EW-4级—水只为0.5M【Ω·cm《相差36倍》。。在美国试验与—材，料协会(AST【M)：D5127电子及半！导体工业《用纯水水质》要求：中E-1级、E【-4级的《电阻率指标也是【。这样：并且对？各等级？纯水中离子浓—度要求相差》更大如Na离子【。E-1级为0.05！μg／LE-1.2！级为0.00—5，μg／L、E-3】级，为5μg／L、E-！4级为1《000μg／—L；E？-1：级与：。E-4级相》。差2：0000倍各种电子！产品：生产用水《量的差异《也是很大的一—些电子产品组—装厂或电子元件工厂！的纯水用量在—5t／h以》。下而TFT-LCD！洁净厂房的纯水【用量：达500～100】。0t：／h — 纯水《。系，。。统的原水水质因各地！区，。。、城市的水源不同相！差很大有的城市以河！水为水源即》使是：河水其河水的源【头和沿途流》经，地，区的地？质、地？。貌不同？水质也是《不同的？；有的城市以井水为！。水源井的深》度不同、地域不【同，、，地，质构造不同均会【千差：万别现在不少城市的！水源包括河》水、湖水、》井水等有的》城市各个区、段供水！水质：也不相同所以纯水系！统的选？择应根？据原水水《质的不同差》异很大是否选—择原水预处理预处理！。设备的？种类：、规模都《与原水水质有—关，因此电子工》业洁净厂房的—纯水：系统的？。选择应根据原—水，水质和电子产品生产！工艺对水《质，。的要求结合纯水系】统的产水量以及当】时、：当地的纯水设备【、材料供应》等情况综合进行【技，。术经：济比较确定首先是】技术上？。的可行、供水—水质的可靠在此前提！下选用建设投资较】少、运行费用低【或建设投资回收年限！较短的技术方案 ！ ： 9.《1.4  电—子工业洁净》。厂，房的洁净室》(区)内一般不【可避：免地将会布》置有纯水支管或接】至产品生产设备【的纯：水管道为了》减，少污：染物的扩散》、发生、积聚和【易于清？洁纯：水管道的《保温材料选》。择时应选《用不产？生污：染，物的材料如橡—塑保温材料》等其外？表，面应平整、光滑宜外！包，。保护：层 ？