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《9  纯水供应 ! 9!.,1  一般规定 】 9】.1.1 》 电子工《业洁净厂房设计【。中纯水供《应是重?要内容之一各种电】子产品生产工艺【对,纯水水质、水量【。要求均?不相同在中国电子级!水的技?术指:标中仅电阻》率一项指标》EW-1级水—为1:8MΩ·《cm:以上而EW-—4级水只为0.5】MΩ·cm相差【36倍?在美国试验》与材料?协会(AS》TM)?D,5127电》子及:半,导体工业用纯水【水质要求中E—-,1级、E《-4级的电阻—率指标也是》这样并且《对各等级纯水中【离,子浓度要求相差【更大如Na离子【。E-1级为0—.05μg/LE】-1.2《级为0.005μg!/L、E-3级为】5μg?/L:、E-4级为10】00μg《/L;E-1—级与E-4级相差2!0000倍》。各种电子产品生【产用水量的差异也是!很大的一些电子产品!组装厂?或电子元《件工厂的纯水用量在!5,t/h以下而T【FT:-,LCD洁净厂—房,的,纯水用量达500~!1,000t/h 】 纯水—。系统的原水水质因各!。地区、城市的—水源不同相差—很大有的城市—以河水为水源即使是!河水其河水》的源头和《沿途流经地区的【地质:、地貌不《同水质也是不同【的,;有的城市以—井水为水源》井的深?度不同、地域不同、!地质构造不》同均会千《差万别现《在不少城市的—水源包括河水、【湖水、井水》等有:的城市各《个区、段供水水【质也不相同所以【纯水系统的选择应】根据原水水质的【不同差异《很,。大是否选择原水【预处理预处》。理设备的种》类、规?。模都与?原水水质有关因此电!子工业洁净厂房【的纯水系统的选择应!根据:原水水质和电子产品!生产工?艺对水质的》。要求结合纯水系统的!产水量以及》当时、当地的纯【。水设备、材》料供应?等,情况综?合,进行技术《经济比较《确,定首先是技术上的可!行,、供水水质的可【靠在此前提下选【用建设?投,资较少?、运行费用低或建设!投资回收年》限较短的技术—。。方案 】9.:1.4 《 电子工业洁净【厂房的洁净室(【区)内一《般不可避免地—将会布置有纯水支】管或接至产品生产设!备的纯水管道为【了减少污染物的【扩散:、发生、积聚和易于!清洁纯水《管道的保温》材料选择时应—选用不产生》污,染物的材料如橡塑】。保温材料等其外表】面应平整、光滑宜】外包保护《层 ?