， ： 9：。  纯？水供应 ！ ， 9.1  】一般规定 》 — 9.1.1  】电子工？。业洁净厂《房，设计中纯《水供应是《重要内容之一—各，种电子？产品生产工艺—对，纯，水，水质、水量要求【均不相？同在中国电子—级水：的技术指《。标中：仅电阻？率一项指标EW-1！级水为18MΩ·】c，。m，以上而EW-4级水！只为0.5MΩ【·，cm相差《36倍在美》国试验与材料协会】(ASTM)D【。5，127电子》及半导体工业—用纯水水质要求中】E-1级、E-【4，级，的电阻率指标也【是这样？并且对各等级纯水】中离子浓度要求相差！更，大，如Na？。离子：E-1级为0.05！μg／？LE-1《.2级？为0.0《05μg《／L：、E：。-3：级为5μ《g／L、E-4级为！。1000μg／L】。；E-？1级与？。E-4级相》差20000倍【各种电子产品生产用！水量的？差异也是很大的【一些电子产品组装】厂，或电子元件工—厂的纯水用量—在5t／h以下而T！FT：-LCD洁净厂房】的纯水用量达500！～1000t—／h 【 纯水系统的原水】水质因各地》区、：城市的？水源不？同相差很大》有的城市以河水【为水源？即使是河《水其河水的源头【和沿途流《经地区的地质、【地，貌不同水质也—是不同的《；有的城市以井【水为水源井的—深度不同、地域不】。同、地质构造不【同均：会千差？万别现在不》少城市的水》源包括河水、—湖水：、井水等有的城市】各个区、段供水水】质也：不相同所以纯水系统！的，选择应？根据原水水质的不】同，差，异很大？是否选择原水预【。处理预处理设备的种！类、规模《都与原水水质有关】因此电子《工业洁净《厂房的纯水系—统的选？择，应根据原水水质和电！子产品生产工艺对水！质，的要：求结合纯水》。系统的产水量以及当！时、当地的纯水设】备、材料供》应等情况综》合进行技术经济比较！确定首先是技术【上的可行、供—。水水质的可靠在【此前提下选用建设】。投资较少《、运行费用》低，或建设投资回收年限！较短的技术方案 ！ 《。9.1.4  电子！工业洁净厂》房的洁净室(区)】内一般不可避—免地将会布置有纯】水支管或接至产【品生产设备的纯水】管道为了减少污染】物，的扩散、《发生、？积聚和易于清洁纯】水管道的保温—。材料选？择，时应选？用不产生污染物的材！料如橡塑保温—材料等其外表—面应平？。整、光？滑宜外包保护层 ！