9 —。 纯水？供，应 【 9.1  ！一般规定 — 9【.1.1《  电子工》业洁净厂房》设，计中纯水供应是【重要内容之一—各种电子产》品生：产工艺对纯》水水质？、水量要求均不相同！。。在中：国电子级水》的技术指标中—。仅电阻率一项指标E！W-1级水为18M！Ω，·cm以上》而EW？-4级水只为—0.5MΩ·—cm相差《36倍在美国—试验与材料》协会(AS》TM)D5》127电子及半【导体：工业用？纯水水质《要求中E-1—级、E？-4级的电阻—率指标？也是：这样并且对各等级纯！水中：离子：浓度要求相差—。更大如Na离子E-！1级：为0.05》μg：／LE？-1.2级》为0.005μ【g，／L、E-3级【为5μg／L、E-！4级为10》00：。μg／L；E-1】级与E-4级相差2！0000倍各—。种，电子产品生产用水量！的差异也是很大【的一些电子产品【。组装厂或电》子元件工厂》的纯水？用量在5t／h以下！而TFT-LCD洁！净厂：房的纯水用量达【。500～100【0t／h ！ 纯水系统的原水水！质因各？地区、城市的—水源不同《相差很大有的城市】以河水为《水，。源即使是河水其河】水的源头和沿—途流经地《区的地？质、地貌不同水质也！是不同？的；：有的城市以井水【为水源井《的深度不同》、地域不同、地质】。构造：不同均会千差万别现！在不：少城市的水源包括】河水、湖水、—。井水等有的城市各】个区、段《供水水质也不—相同所以《纯水系？统的选择应根—据原：水水质的不同—差异很？大是否选择原水【预，处理预处《理设备的种类、【规模都与原水—水质有关因此电子工！业洁净厂房的纯水系！统的选择应根据原水！水，质和电子产》品生：产工艺对水质—的要求结合纯水系统！的产水量以及—当，时、当地的纯水设】备，、材：料供应等情况—综合进行技术—。。经济比较确定首先】是技术上的可行【、供水水质的可靠】在此前提下》选用建设投资—较少、运《行费用？低或：建设投资回收年【限，较短：。的技术方《案 》 9.1.4  ！电子工业洁净厂房】的洁：净，室(区？。)，内一般？不可避免《地将会布《置有纯水支管或接】至产品生产设备的】纯水管道《为了减少污染—物，的扩散、《发生、积聚》和易于清洁纯水管道！的保温？材料选择时应—选用不？产生污染物的材【料如橡塑保温材料等！。其外：表面应平《整、光滑宜》外包保护层 【