： 9  》纯水供应 】 《 9.1  【一般规？定 ？ ， 》9.1.1  电子！工业：洁，净厂房设计中纯水供！应是重要《内容之一《各种电子产品生产】工艺对？。纯水：水质、水量要—求均不相同》在中国电子级水的】技术指标中》仅电阻率一》项指标EW-1级水！为18MΩ》·cm以上而E【W-4？级，水，只为0.5》MΩ·cm相差【36：倍在美国《试验与材料协会(A！S，TM)D5》127电子及半导】体工业用《纯水水质要求中E-！1级、E-4级【的，电阻率指标也是这】样并且？对各等级纯水—中，离，子浓度要求相差更】大如N？a离子E-1级为0！.05μg／LE-！。。1.：2级为0.0—05μg《。／L：、E-3级》为5：μg／L、》。E-4级为1000！μg／L《；E-？1级与E《-4级相差200】00倍各种》电子产品生》产用水？量的：差异也是《很大的一些》电子产？品组装厂或电子元】件工厂的《纯水用量在5t／h！以下：而TFT-LCD洁！净厂房的纯水用【量达50《0～1000t／h！ 纯水系！统，的，原水水质因》各地区、城市的【水源不同相差很大有！的城市以河水为水】源即使是河》。水其：河水的？源头：和沿途？流经地区的地质【、，地貌不同《。水，质也：是不同的；》有的：。城市以井水为—水源井的《深度不同《、地域不同、地【质构造不《同均：会千差万《别现在不少城市【的水：源包括河水、湖【水、井水等有的城】市各个区、段—。供水水质也不相同】所以：纯水系统的选择应】根据原水水质的【不同差异很大是否选！择原水预处理预【。处理：。设，备的种？类、规模都与原水水！质，有关：因此电子工》业洁：净厂房的纯水系统】的选择应根》据原水水质和电子】产品生产工艺—对水质的要求结合】纯水系统《的产水量以及—。当时、当地的纯水设！备、材料供》应等情况综》合，进行技？。术经济比较确—定首先是《技术上的可行、【供水水质的可—靠在此？前，提，下选用？建设投？资较少、运行费用】低或：建设投资回收年限】较短的技术方—案 ？ ， 9.1.【4 ： 电子工业洁净厂房！的洁净室(区)内】一般不可避》免地将会《布置：有纯水支管或接至产！品生产设备的纯水管！道为：了减少？污染物的扩》散、发生、积聚和】易于清洁纯水管【道的保？温，材料选择时应选用】不产生污染物的材料！如橡塑保温材料等其！外表面应平》整、光滑宜外包保护！层 ： ，