9  纯水！供应 ？。 — ？。9.1  一般【规定 — 9》.1.1  电【子工业？洁净厂房设计中【。纯，水供：应是重要《。内容：之一各种电子产品生！产工艺对《。纯水水质、水量要求！均不相同在中—。。国电子？级水的技术指标【中仅电阻《率一项指标E—W-1级水》为18？MΩ·？。。cm以上而E—W-4级水只为0.！5MΩ？·cm相差36【倍在美国试验与材】料协会(ASTM)！D5：12：7电子及《半导体工业用纯水】水质要求中E-【1级、E-4—。级，的电阻率指标也【是这样？并且对各等级纯【水中离子浓度要【求相差更《大如Na离》子E-1《级为0.05μg／！LE-1.2—。级为0.00—5μg／L、E-3！级为：5μ：。。g／L？、E-4级为100！0μg／L；—E-1级与E-4级！相差20《000？。倍各：种电子？产品生产用水量的差！异，也是很大的一些电】子产品组《装厂或电子元件工】厂的纯？水用量在《5t：／h以下而T—FT-LCD洁【净厂房？的纯水用量达50】0～100》0t／h ！ 纯水系统》的原水水质因—各地区、城市的【水源：不同相？差，很大有的城市以河水！为水源即使是—河水其河水的源头和！沿，途流经地《区的地质《、地貌不同水质【。。也是不同的；—有的城？市以井？水为水源《井的深度《不同、地《域不同？、地质构造》不同均会《千差万别现在不少】城市的水源包—括，河水、湖水、井【水等有的城市—各个区、《段供水水质也不【相同：所以纯水系统的选】。。择应根？据原水水质的不【同，差异很大是否—选，择原水？预处：理，预处理设备的—。种类、？规模都与原》水水质有《关，。因此电子《工业洁净厂房的纯水！系统的？选，择应根据原》水水：。质和：电子产？品生产工艺对水【质的要求结合纯水系！统的：。产水量以《及当时、《当地：的纯水设备、—材料供应等情况【综合进行技术经济比！较确定首先是技【术上的可行、供水】水质：的可靠在此前—提下：。选，用，建设投资较少、运】行费用低《或建设投《。资回收年限较短【的技术方案》 —。9.1.4  【电子工业洁净厂房】的洁净室(区—)内一般不》可避免地将会布置】有纯水？支管或接至》产品生产设备的【纯水管道为了减少污！染物：的，扩散：、发生、积聚—和易：于清洁纯水管道的】保温材料选择时【应选用不产生污染】物的材料《如橡塑保《温，材，料等其？外，。表面应？。平，整、光滑宜外包保】护层 《