9》  纯水供应 】 】9.1  一—般规定 ！ ， 9.1.1—  电？子工业洁净厂房【设，计中：纯水供？应，是重要内容》之一各种电》子产品生产》工艺对纯水水质、水！量要求均不相—同在中？国电子级水的—技术：指，标中仅？电阻率一项指标【EW-1级水—为18MΩ·cm】以上而EW-—4级水只为0.【5M：Ω，·cm相差36倍在！美国试验与材料【协会(ASTM)】D512《7电：子及半导体工业用】纯水水质要求—中E：-，。1级：、E-4级的电阻率！指，标也是这样并且【对，各等级纯《水中离子浓度—要求相差更大—如Na离子》E，-1级为0.05】μg／LE-1【.2级为0.0【05μg／L、E-！3级为5μg／【L、E？-4级为1》。000μg／L；E！-，1级与E-》4级相差2000】0，倍各种电子产—品，生产用水量》的差异也《是很大的一些—电子产？品组装厂或电—子元件工厂的纯水】用量在5t／—h以下而T》FT：-LC？D洁净？。厂房的纯水用—量达500～—10：0，0t／h ！ ，纯，水系：统，。的原水水质因各地区！、城市的水源不【同相差很大有的城】市以河？水为水源即》使是：河水其河水的源头和！沿途流经地》区的地？质、地貌不同水【质也是不同》的；有的城》市以井水为水—。源井的深度不同、地！域不同？、地质构造不同均】会千：差万：别，现在不少《城市的水源》包括河水《、湖水？、井水等有的城市各！个区、段《供水水质也不相【同所以纯水系统的选！择应根据原》水水质的不同差【。异很大是《。否选择原《水预处理预》处理设备的种类、规！模都与原《水水质？有关：因此电？子工业洁净》厂房的纯水系统【。的选择应根》据原水水质》和，电子产品生产工艺对！水，质，的要求结合纯—水系：统的产水量以及当】时、当地的纯水设备！、材料供应等情况综！合进行技术经—济比较？确定首？先是技术上》的可行、《供，水水质的《。。可靠在此前提—下选用建设投资【。较少、运《行费：用低或建《。设投资回收年限较】短的技术方》案 9.！1.4  电子工业！洁净厂房的洁—净室(区)内一【般不可避免》地将会布置有纯水】支管或接至产品生】产设备的纯水管道】为了减少《污染物的扩散—、发生、积聚和【易于清洁纯水管道】的保温材《料，选择时应《。选用不产生污染【物的：材料如橡塑保—温材料等其外表面应！平整、光滑宜外包保！护，层 ？