安全验证
9 — 纯水供应》 — , :。。 9.1  —一般:规定 》 9.1.!1  电子工业【洁,。净厂房设计中纯水供!。应,是重要内容》之一各种电子产品生!产,工艺对?。纯水水质《、水量要求均不相同!在中国电子级—水,的技术指标》中仅电阻率一项指】标EW?-1级水为18MΩ!·cm以上而EW-!4级水只为0—.5MΩ·cm相】差36倍在美国试】验与材?料协会(AST【M)D?5,127电子及—半导体工业用纯水水!质要求?中,E-1级、E-【4级的电阻率—指标也是这》。样并且对各》。等级纯水中》离子浓度要求相差更!大如Na离子—E,-1级为0.0【。5μ:g/LE-》1,.2级为0.0【05μg《。/L、E《-,3级:为5μ?g/L、E-—4级为?1000μg/L】;E-?1级与E-4级【相差:20000倍—各种电子产品生产用!水量的差异也是很】。大的一些电子产品】组装:厂或电?子元件工厂的纯水】用量在?5t/h以下—而TFT-L—CD洁净厂》房的:纯水用量《达50?0~1000t/】h 纯】水系统的原水水【质因各地区》、城市的水源不【同相差很大有—的城市以河水—为水源即使是河【水其河水的源—头和沿途流》经,地区的地质、地貌不!同水质?。也是:不,同,的;:有的城?市以:井水为水源井—的深:度不同、地域—不同:。、地:质构造?不同均?会千差万别现在不】少城市?的水源包括河水、】湖水、井水等有的】城市各个区、段供】水水质也不相同所以!纯水系统的选择【应根据原《水,水质的不同差异很】。大是否选择原—。水预:处理:预处理设备》的种类、规模都【与原:水水质有关因此电子!工业洁净厂房的【纯,水系统的《选择应根据》原水:水质和电子产品生产!工,艺对水质的要求【结合纯水系统—的,产水量以及》当时、当《地的纯水《设备、?材料:供应等情况综合进行!技术:经济比较确定—首先:。是技术上《的可:行、供水水质的【。可靠:在此:前提下选用建设【投资:较少、?运行费用低或建设投!。资回收年限》较短的技术方案【 ? 9.》1.:4  电《子工业洁净厂房的】洁净室(区)—内一般不可避免地将!会布置有纯水—支管:或,接至:产品生产设备—的纯水?管道为了减少—污染物?的扩散、发生、【积聚和?。易于清洁纯水管道的!保温材料《选择:时应选用不》产生污染物》的材料?如橡塑保《温材:。料等:其外表面应平整、光!滑宜外?包保护层 —