9  纯】水供应 —。 — 9.1 》 ，一般：规定 ！。。 9.？1.：1  电子工—业洁净厂房设计【中纯水供应是重【要内容之一》各种电子产品—生产工艺对》纯水水？质、：水量要求均不相同】在中国电子级水的】技术指标中仅电阻率！一项指标E》W-1？级水为18MΩ·】cm以上而》E，W-4？级水只为0.—5MΩ·cm相差3！6倍：在美国试验与—。材，料协会(A》ST：M)D5《127电子及半导体！工，业用纯水《水质要求中E-【1级、E《-4级的电阻—率，指标也是这》样并且对各等级纯水！中，离子浓度要求相差】更大如Na离子E】-1级为0.05μ！g／LE-1.【2，。级为：。0.005μ—g／L、E》-3：级为5μg／—L、E-4级—为，1000μg—／L；E《。。-1级与E-—4级相差2》0000倍》各，种电子？产，品生产用水》量，的差异也是很大【的，一些电子《产品组？装厂或？电子元件工厂的纯】水用量在5t／h以！下而TF《T-：LCD洁《净厂房的纯水用【量达：5，00～10》00t／h 】 ， 纯水系统的原】水水质因各地区【、城：市的水？源不同相差》很大有？的，。城市以河水》为，水源即使是河水其】河水的？源头和沿途》流经地区的地质【、地貌不同》水质也是不同的【；有：的城市以井水为水源！井的：深，度不同、地》域不同？、，地质构？造不同均会千差【万，别现在不少城市的】水，源包括河水、—湖水、井水等有的】城市各个区、段供】水，水质也不相同所【以纯水系《统的选？择应根据原水—水质的不同差异很大！是否：选择原水预》处理预处《理设备的种类、规模！都与原？水水质有关因此【电子：。工业洁净厂》房的纯水系统的选】择应根据原》水水质和电子产品生！。产工艺对水质的要求！结，合纯：水系统的产水—量以及当时》、当地的纯》水设备、材》料供应等情况综合】进行技术经济—比较确？定首先是技》。术上的可《行、供水水质的【可靠：在此前提下选用【建设投资较》少，、运行？费用低或建设投资回！收年限较短的技术】。方案 《 9.1.】4 ： 电：子工业洁净》厂房的洁净室(区】)内一？般，不可避？免地：将，会布置有纯水—支管或接至产品生】产设备的纯水管【道为了减少污染物】的，扩散、发生、积聚】和易于清洁纯水【。。管道的保温》材料：选择时应选用不产生！污染物的材料如橡】塑保温材料等其外表！。。面应平？。整、光滑宜外包【保，护层 《