9  纯】水供应 — ， 9【。.1  一般—规定 《 ， 9.1】.1  电子工业洁！净厂房设计中纯水】供应是重要》内容之？一各种电子产品生】产工艺对纯水水质、！水量要求《均不相同《在中国电子》级水的技术指标中仅！电阻率？。一，项指标E《W-：1级：水为18MΩ·cm！以上而EW-4级】水，只，为0.5MΩ·c】m相差3《6倍在？。美国试验与材料协】会(ASTM—)，D5127电—。子及半导体工业【用纯水水《质要求中E-1级】、E-4级》的电阻？率指标也是这样并且！对各等级纯水中离子！。浓度要求相》差更大如Na离子】E-1级为0.【0，5μg／LE—。。-1：.2级为0.005！μg／L、E—-，3级为5μg／L】、E-4《。级为1000μ【g／：L；E-1级与E-！4级相差20000！倍各种电《子产品生产》用水量的《差异也是很》大，的一些电子产品【组装厂或电子元【件工厂？的纯水用量在5t】／h以下《而TFT《-LCD《洁净厂房的纯水用】量达500》～10？0，0t／？h 纯水！系统的原《。水水：质因各地《区、：城市的水源不同【相差很大有的城市】以河水为水源即使是！河水其河水的源头和！沿途流经地区的地】质、地貌不》同水质也是不—同的；有的城市【以井水为水源—井的深度不同—、地域？不同、地质》构造不？同均会千差》。万别现在不少—城市的水源包括河水！、湖水？、井：水等：有的城市各》个区、段供水水【质也不相同》所以纯水系统的选】择应根据原水—水质的不同》差异：很大是否选择原【水预处理预处理设】备的种类、规模都】与原水水质有关因此！电子工业洁净厂【房的纯水系统的选择！应根：据原水水质和电【子产品生产工—艺，对水质的要求结【合纯水系统的产水量！以及当时、当地【的纯：水设备、材料供【应等情况综合进行】技术经济比较确定】首先是技《。术上的可行、供水水！质的可靠在此—前提下？选用建？设投资较《少、运行费用—低或建设投资回收年！限较：短的技术方案 【。 ？ ， 9.？1.：4 ： 电子工业洁净厂】房的洁净室(区)】内一般不可避免地】将会布置有纯水【支管或接至产—品生产设备》的，纯水管道为了减少】污染物？的扩散、发》生，、积聚和《易于清洁《纯水管道的保温材料！选择时应选用不【产生污染物的材料如！橡塑保温材料—等其外表《面应平整、》光滑宜外包》保护层 》