9》 ,。 ,纯水供应
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!9.1 》一般规?定
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—。9.1.1 电】。子工业洁净厂—房设计?中纯水供应》是重要内容》之一各种电子产【品,生产工艺对纯水【水质、水量要求均】不相同在中国—。电子级水的》技术指标中仅电阻】。率一项指标E—W-1级水为18M!Ω·cm以上而【EW-4级水只为】0.5M《Ω·cm相》差36?倍,在美国?试,验与材料协会(【。A,STM)D5127!电子及半导体—。工,。业用纯水水质要求】中E-1级、E-4!级的电阻率》指,标也是这《样并且?对各等级纯》水中离子浓度要求】相,差,更大如Na离子【E-1级《。为0.05μ—g/LE-1—.2级为0.005!μg/?L、E-3级—为5μg/L—、E-4级》为,1000《μg/L《;E-1级与E-4!级相:差2:0000倍各种电】子产品生产》用水量的差》异也:。是很大的一些电【子产品组《装厂或电子元件工厂!的纯水用量在—5t/h以下而TF!T-LCD》洁净厂房的》纯水用量《达50?0~1?000t/h—
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纯水系《统的原水水质因各】。地,区、城?市,的水源不同》。相差很大《有的城市以河—水为水源即使是河水!其河水的《源头和沿《途流经地区》的地质、地貌不同】水质:也是不同的》;有的城市以井水为!水源:井的深度不同、地域!不,同、地质构造不同均!会千差万别现在不少!。城市的水源包括河水!、湖水、井水—等有的城《市各个区、段供水】水,质也不?相同:所以纯水《系统的选择应根据原!水水质?的不同差异》很大是?否,选择原水预处—理预:处理设?备的种类、规—。模都与?原水水质有关因此】。电子:工业洁净厂》房的纯水系统的选择!应根据原水水—质和:电子产品生产工【艺对水?质的要求《结合纯水系》。统的产水《量以及当时、当地】。的纯:水设备、材料—供应等情况综合【进行技术经济比【较确定首先是技术上!。的可行、《供水水质《的可靠在《。。此前提下选》用,建设投资较少、运行!费用低或建设投【资回收年限较短的】技术方?案,
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,。9.1.4 — ,电子工业洁》净厂:房的洁净室(区)内!一般不可避》免地将会布置有纯】。水支管或《接至产?。品生产设《备,的纯水管《道为了减少》污染物的扩散—、发生、积聚和易】于,清洁:纯水管?道的保温材料—选择时应选用不产】生污染物的》材料如橡塑保温材】料,。等其外表面应平整】、光滑宜外包—保护层
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