9》  纯？水供：应 《 9】。.1  一般规【定 】 9.1.1  电！子工：业，洁净厂？房设计？中纯：水供应是重要内容】。之，一各种电《子产品生《产工艺对纯》水水质、水量要求均！不相：。同在：中国电？子级水的技术—指标中？仅电阻率一项指【标EW？-1级水《为，18MΩ·c—m以上而EW—-，4级水只为0.5】MΩ·？。cm相差36倍在美！国试验与《。材料协会(ASTM！)D5127电子及！半导体工业用纯【水水质要《求中E-1级、E-！4级的电《阻率指标也是这【样并：且对各？等级纯水《中离子浓度要求相】差更大如Na离子E！-1：级为0.05μ【g／：LE：-1.？2级为0.005μ！g，／L：、E-3级为—5μg／L、E-4！级为10《00μg／》。L；E-《1级与E-4—级相：差20？000倍各》。种电：。子产品生《产用水量的差—。异也是很大》的一些电子产—品组：装厂或电子元件工厂！的纯水用量在5t／！。h以下而《TFT-LCD洁净！厂房的纯水》用，量达50《0～1000t／h！ 纯水】系统的原水》。。水质因各地区、城】市，的水源？不同相差很大有的城！市以河水《为水：源即使？是河水其《河水的源头和沿【途流经地《区的地质、地貌不】同水质也是不同【的；有？的城市以井水—为水源井的深度不同！、地域不同、地【。质构：造不同均会千差【万别现在不少—城市的水源包—括，河水、？湖水、井水》等有的城市》各个区、《段供水水质也不相同！所以纯水系统的选择！。应根据原水水—质的不同《差异很大是否选择】原水预处理》。预处理？设备的种类、规模】都，与原水水质有—关因此电子》工业：洁净厂？房的纯水系统的选】择，应根据原《水，水质和电子产品【生产工艺对水—质的要求结合纯水系！统的：产水量以及当—时、当地的纯水设】备、材料供》应等情况综合进【行技术？经济比？较确定首先是—技术上的可行、供】水水质的可靠在【此前提下《。选用建？设投资较《少、运行《费，。。用低：或建设？投资：。回收年限较短—的技术方《案 【9.1.《4  ？电子工业洁净厂房】。的洁净室(区)内一！般不可避《免地将会布置有纯】水支管或接至产品】生产设备的纯水管道！为了减少污染—物的扩散《、发生、积聚和【易于清洁纯水管道】。的，保温材料选择—时应选用不产生【。污染物？的材：料如橡塑《保温材料等其外表面！应平整、光滑宜外包！保护层？。 ：