《9，  纯水供应 ！。 》 9.1  一】般规定 【 9》.1.1  电子】工业洁净厂房设【计中纯水供应是【重要：内容之一各种电子】。产品生产工》艺对纯水水质—、水量要求均不【相同：在中国电子级水【的技术指标中仅电】阻率一项指标—。EW-1《级水为18MΩ·c！m以上而EW-4级！水只为0.5MΩ】·cm相差》36倍在美国—试，验与材料协》会(AST》M)：D51？27电子及》半导体工《业，用纯水水质》要求中E-1级、】E-4级的电阻【率指：标也是这样并且对】各等级？纯水中离《子浓度要求》相差更大如Na离】。子，E，-，1级为0.05μ】g／LE-1—.2级为0》.005μg／L、！。E-：3级为？5μg／L、E【-4级为1000μ！g，／L；E-1级【与E-？4，级相差2《000？0倍：各种电子《产品生产用水量的】差异：也是很大的一—些电子产《。品组装厂或电子元】件工厂的《纯水用量在》。5t：／h以下而T—FT-LCD洁净厂！。房的纯水用量达5】00～100—0t／？h 《 ： 纯水系统的原水】。水质：因各：地区、？城，市的水源《不同相差很》大有的城市以河【。水为水源即使是河】水其河水的源头【和沿途流经地区的地！质，、地貌？不同水？质也：是不同的；有的城】市以井水为》水源井的深度不【同、地域不同、【地质构造不同均【会，千差万别《。现在不少城市的水源！包括河水、湖—水、井水等有的【城市各个区、段供水！水质：。。也不相同所以—纯水：系统的选《择应：根据：原水水质的》不同差异很大是否选！择原水预《处理预处理设备的种！类、规模都》。与原水？水质有关因此—电子：工业洁？净厂房的纯》水系统的选择—应根据原水水质【和电子产品生—产工艺对水质的要】求结合纯水系统【的产水量以及当【时、当地的》纯，水设备、材料供应】等情况综合进行【技术：经济比较《确定首先《是技术上的可—行、供水水质—的可靠在此》。前提下选用建设【投，资较少、运行费【用低或建设投—。资，回收年限较短—的技术方案 ！ ， 9.1.4 【 电：子工业洁净厂—房的洁净室(区【)内一般不可避【免地将会布置有纯】水支管或接》至，产，品，生产设备的纯—水管：道为了？减少污染物的扩散】、发生、积聚—和易于？清洁纯？水管道的《保温材？料选择时《。应选：用不产生污染物的材！料如橡塑保》温材：料等其外表面应平整！。、光滑宜外包—保护层 》