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9 纯水!供应
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【9.1 一般规定!
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9.1.1【 电子《工业洁净厂房设计】中纯水供应是—重要内容《之,。一各种电子产—品生产工艺对—纯水水质《、水量要求均—不相同在中国电子级!水的技术指标中【仅电阻率一项指【标EW-1级—水为18MΩ·c】m以上?而E:。W-4级水只为0】.5MΩ·cm【相差36倍在美【国试验与材料—协会(ASTM)】D5127电子【及半导体工业用纯水!水质要求中E—-1级、E》-4级的《电阻率指标也是【这样并且对》。各等级纯水中离【子浓度?要求:相差更大如Na离子!E-1级《为0.0《5μg/L》E-:1.2级为0—.,005μ《g/L、E-3级】为5μg/L、【E-4级为100】0μg?/,L;E-1级—与E-?4级相?差20000—倍,各种电子产品—生产用?。水量的差异也是很】。大的一些电子产品】组装厂或《电子元件工》厂的纯水《用量:在5t/h以下而T!FT-LCD洁净厂!房的纯水用》量达:500?~1000》t/h
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纯?水系统的原水水质因!各地区、城市的【水源不同相差很大】有,的城市以河》水为:水源即使是河水【。其河水的源头和沿】途流经地区的—地质、地貌》不同水质也是不同】。的;有?的城市以井水为水】源井的深度不同、地!。。域,。不同、地《质构造不同》均,会千差万别现在【不少:城市的水源包括河水!、湖水、井》水等有的城市各个区!、段:供水水质也不—相同所以纯水系统的!选择应根据》原水水质的不同差】异很大是否选择原水!预处理预《处理设备的种类、规!模都与?原水水质有》关因此电子工业洁】净厂房的纯水系【。统的选择应根据原水!水质和电子产品生产!工艺对水质的要【。求结合纯水》系,统的产水量》。以及当时、当—地的:纯水设?备、材?料供应等情况综【合进行技术经济比较!确定首?先是技术上》的,可行、供水水质的可!靠在此前提下—选用建设投资较【少、运行费用低或】建设投资回收年限】较短:的技术方案
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9.1.4! 电子工业洁净厂!房,的洁净室(区)内一!般不可避免地将会】布置有纯水支—管或接至产》品生:产设备的《纯水管道为了减少污!染物的扩《散、发生、积—聚和易?于清洁纯水管道【的保温材料选—择时应选用不产【。生污染物的材料如】橡塑保温材料—等其外表《面应平整、》光滑:宜,外包保护层
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