7.4 】 空气净化设备 ！ ？ 7.4—.1：  电？子工业洁净厂—。房的净？化空：。调，系统的核心设备之一！的空气过滤器的正】确选用？和合理布置是至关】重要的首先应遵循】我，国的相关国》家标：准、行业标准合【理选用空气过滤器包！括空气过滤器的处理！风量、？效率：、阻力、材》。。质和检测方法(含检！。漏方法)等其次根】据具体工《程项目的产品生产要！求和净化空调系统设！计合理？安排各？类空气过滤器—的位置在空》调箱中中《效，(高中？效)空气过滤器【常安装在正》压段但近《年，来，为了保持表冷器【表，面清洁减少尘粒沉】。积已有许多设—计中：在风机？前安装中效空气过】。滤器图7便是一例鉴！于目前我国的相关标！。准中还没《有去除化学污—染物的？空气过滤器》或，其他去？除装置？的标准只能参—照相：关国际标准进行选用！和布置 》。 ： ：7.4.2 — 风机过《滤机组(FFU)】是将风机与高效过滤！器(H？EPA)或》超，。高效过滤器(U【LPA)组合在一】起，构成自身可提供推】动力的？末端空气净化—。装，置它由风机、过滤器！、机壳和《电器控制《等部分组成》F，FU的主要技术【性能包括风量(【一般以断面风速【表示)、余压—、，。能耗、效率》、噪声和控制方式等！目前国内电子工业】洁净室应用F—FU越来越多不【仅在大面积、空【气洁净？度要求严格》的单向流或混合流洁！净室(区)采用而且！。在各种用途》的、面积《不是很大的单向流】或混合？流洁净室(区)中也！有应用目前》在应用？中受到？各方面关注的主要是！FFU装置的经【济性(投资》。。。、运行费)、—风量和余压、噪【声，、能耗等性能参数】表21是对国—内，市场：的几：个制造厂《家生产的F》F，U装置的实测性能参！数， ？。 ！。从，表，21中数据可见4】种同样风速、风量下！的FFU装置余压、！能耗相差较大—；单台噪声均在【60dB(A)以】下但：是数十？台、：数，百台甚？至上千台FFU装置！安装后的叠加噪声】将是不同的据初【步估算为了达—到，。本规：范规定的单向—流、混？合流洁净室噪声不】超过65dB(【A)(？。空态：)的：。要求F？FU在断面风速为0！.45？。m／s的条件下【其余压大《于100Pa时单台！F，。FU装置的噪—。声应为5《。0dB(《A)左右 【 基于上述情况！。。本条对电子工—业洁：净，厂房中FF》U装：置的设置提出了5款！基本要求 【 ？7.4.5  干】表冷：。器是以中温水—为冷媒的空气换热设！备其功？能只要求《空气降温不需去【湿即无凝结水析出在！与FF？U联合使用时干表冷！器，设置在FF》U回风的通》道上其冷媒的进水温！度应计算确定—；通过的风》速不宜过《。高一般应小于2【m／s干表冷—器的风阻力不应太大！应，在30～40Pa】左右：在正常运行时虽无凝！结水析出但是—。为了安全最好还应设！置滴水盘或其他【排水措施 【 ？7.：4.6 《 空气处理机—组是电子工业—。洁净厂房《净化空调系统的【关键设备它与—舒适性空调系统中的！空气：处理机组《相比首？。先应做到气密性好】既应减少系》统，中的：空气往外《。泄漏使能量消耗【增加又要防止“机组！”周围相对脏的空气！渗入“机组”—增大各级过滤器的负！荷，所以：本条规？。定机组的漏风率【不得大于《1％第二为了做到】空，气处理机组在—运行维护中不—易渗漏、散发微粒和！便，于擦拭、清洁不仅】整体结？构应耐压具》有，足够强度和刚度【而且内？表面应乎整、光滑】并应具？有较好的《保温和防冷桥的性】能第三洁净室设【计经验表《明洁净厂《房能量消耗》大其中净化空调【系统及其《冷热源设备又是【能量消耗大户送风量！大是能？量消：耗大的主要源头【降低送风量有多【项技术措《施在净化空调系统】。已经确定送风—量的情况下随着电子！产品生产过》程中生？产工：艺设备开启数—量和负？荷率的变化室内外温！湿度的？变化：等因素的变化都可能！需要调节送风量另外！净化空调系统中的】。初、中、高》效，过滤器？的阻力是《不断变？化的为此《送风机采取变频变速！措施可调节风—机，转数调节送风—量减少电《能消耗是《洁净厂房的重要【节能：措施之一但是—送风机？的，变频变速措施的设】置一定要结合具【。。体工程项《目的实？际情况合理进行选择！ ， ，