7.—4 空气净化【设备
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7.4《.1 电子—工,业洁净厂房的净化】空调系统的核心【设备之一《的空气?过滤:器,的正确选用和合理】布,置是至关重要—的首先应遵循我【。国的相关《国,家标准、《行业标准合理—选用空气《。过滤器包《括空气?过,。滤器的处《理风量、效率、阻】力、材质和检—测方法(含检漏【方,法)等其次》根据具体工程项【目的产品生》产要求和净化—空调系统《设计:合理安排各类—空气过滤器的位置在!空调箱中中效(高】。中效)空气过—滤器:。常安装在正压段但近!年来为了保》持表:冷,器表面清《洁,减少尘粒沉积已有许!多,设,计中在风机》前安:装中效空气过滤【器图7便《。是一例鉴《于,目前我国《的相关标准中还没有!去除化学污染物的】空气过滤器或—其,他去除装置》。的标准只能》。参照相?关国际标准进行选】用和布置
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7.4.》2 风机过—滤机组(FFU)】是将风机与高效【过滤器(《HEPA《)或超高效》过滤器(ULP【A):组合在?一起构成《自身可提供推动【力的末端空气净化装!置它由风《机,、过滤?器、机壳和电器控】制等部分组成FFU!的,主,要技术性能包括风】量(一般《。以断面风速表示【)、余压、能—耗、效率、噪声和控!制方式?等目前国内》电子工业洁净—室,应,用FF?U越:来越多不仅在大面积!、空气洁净》度要求严格的单向流!或混合流《洁净室(区)采用而!。且在各种用途—的、面积不是很大的!单向流?或,混合流洁净》室(区?)中也有应用目前】在,应,用中受到各方面关】注的:主,要是F?FU装置的经济【性(投资、》运行费)《、,风量和余压》。、,噪声、能《。。耗,等,性,能,参数表2《。1是对国内市场的】几个:制造厂家生产的F】FU装置的实测性能!参数
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从:表21中《数据:可见4种同》样风速、《风量下的FFU【装置余压、能耗相】差较:大;单台噪声—均在60《dB(A)以下但是!数十台、数百台甚】至上千台FF—U装置安装后的【叠加噪声将》是不同的《据初步?估算为了《达到本规范规定的】单向流、混合—流洁净室噪声—不超过65dB(】A):。(空态?)的:要求FF《U,在断:面风速为0》.45?m,/s的条《件下:其余:压大于100Pa时!单台FFU装置的噪!。声应为50》dB(?A)左右
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基于上述】情况本?条对电子工业洁【净厂:房中F?FU装置的》设置提出了5款【基本要求
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7.4.5 】干表冷器《是,以中:温水为冷媒的空气】换热设备《其,功,能,只要:求空气?降温不需去湿即【无凝结水析出在与F!F,。U联合使用时干【表冷器设《置在F?FU回风《的通道上其》冷媒的进《水温度?应计算确定;通过】的风速不《。宜过高一般应小于】2m/s干》表冷器的风》阻力不应太大应在】。30~40P—a左右在正常—运行时虽无》凝结水析出但是为】了安全最好还应【设置滴水盘或其他】。排,水措施
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7.4】.6 空气处【理机组是电子工【业洁净厂房净化空调!系统的?关键设备它与舒适性!空调系统中的空气】处理机组相比首先】应做:到气密性好既—应减少系《统中的空气往外泄】漏,使能:量消耗增加又要防止!“机组”周围相对脏!的空气渗《入“机组”增—大各级过滤器—的负:荷所以本条规定机组!的漏风率不得大于】1%第二为了—做到空?。气处理机组》在运行维护中—不,。易渗漏?、,散发微粒和便于【擦拭、?清洁不仅整体结构应!耐压具有足够—强度和刚度而且【内表面应乎整、【光滑并应《具有较好《的保温和防》冷,桥的性能第三洁净室!设计:经验表明洁净厂房】能量消?耗,大其中净化》空调系统《及其冷热源设—备又是能量消耗大】户送:风量:大是能?量消耗大的主要源】头降低送《风量有多项技术措施!在,净化空?调系统已经确定送】风量的情况下随着】电子:产品生产过程中【生产工艺设备开【启数量和负荷率的】变化室内外》温湿度的变化等【因素的变化》都,可能需要调》节送:风量:。另,外,净,。化空调系统中—的初、中、高效【。过滤器的阻力是不】断变化的为此送风机!采取:变频变速措》施可:调,节风机转数调节送风!量减少?电能消耗是》洁净厂房的》重要节能措施之【一但是送风机—的变频?变速措施的设—置一定要结合—具体:工程项?目,的实际情《况合理?进行选择
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