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7.4 空!气净化设《备
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7.4.》。1 电子工业洁】净,厂房的净化空调【系统的核心》设,备,之一的空《气过滤器的正确选】用和合理布置是至】关重:要的首先应遵循我】国的相关《国家标准《、行业标准合理选用!空气过?滤器包括空气过【滤器:的处理风量、—效率、阻力、—材质和?。检,。测方:法(含检漏》方法)等其次根据具!体工程项目的—产品生产要求和【净化空调系统—设计合理安排—各类空?气过滤器的位—置在空调箱中中【效,(高中效)空—气过滤器常安装在正!压,段但近年来》为了保持表冷器表面!清洁减少尘粒—沉积已有许》多,设计中在风机前安】装中效空气过滤器图!7便是?一例鉴于《目前我国的》相关标准中还没有】去除化学污染物【的空气过《滤器或其他去除【装置的标准只能参】照相:关,。国际标准进行选【用,和布置
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7.4.!2, 风机《过滤机组(FF【U):是将:风机与高效过滤器(!HE:PA)或超高效【过滤器?(U:LPA?)组合在一》起构成自身可提【供推动力的末—端空气净化装置它由!风机、过滤器、【机壳和电器控制等】部分组?。成FFU的主要技术!性,能包括?风量(一般以断面】。风速:表示)、余压、能耗!、效率、噪》声和控?制方式等目》。前国内电子工业洁净!室应用FFU越来】越多不仅在大—面积、空气》洁净度要求严格的】单向:流或混合流洁净室】(区)采用而且在各!种用途的、》。面,积不是很大的—单向:流或混合流洁—净室(?区)中也有应用目】前在应用中受到各方!面关:注的:主要是F《F,U装置的《。经济性(投》资、运行费)、【风量和余压、噪【声、能耗等性—能参数表21—是对国内市场的几个!制造厂?家生产?的FFU装置的实】测,性能:参数
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从表】2,1中数据可见4【种同样风速、风【量下的FFU装置余!压、能耗相差较大;!单台噪声均在6【0dB(A)以下但!是数十台、数百【台甚至上《千,台F:FU装置安装—后的叠?加噪声将是不同的据!初步:。估,算为了达到本规范】规定的单《向流、混合流洁【净,室噪声不超过6【。5dB(A》),(空态)的要求FF!U在:断面风速为0—.45?m/s的《。条件:下其余压大于10】0Pa时单台FFU!装置的噪声应为5】0dB(《A)左右
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基:于上述情况本条【。对电子工业洁净【厂房中?FFU装置的—设置提出《。了5款基本要—求
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7.4.【。5 ?干表冷器是以中温】水为冷媒的空气【换热设备其功能【只要求?空气降温不需去【湿即:无凝结水析出在与】FFU联合使用时干!表冷器设置》在F:FU回风《的通道上其冷媒的进!。水温度应计算确定;!通过的风速不宜过】高一般应《。小于2m/s干表】冷器的风阻》力不应太大应—在30~40—Pa左右在正常【运行时虽无凝—结水析?出但是为《了安全?。最,好还应?设置滴水盘或其他】排水措施
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7》.4.6《 空气处理—机组是?电,子,工业洁净《厂房净化空调系【统的:关键设备它与—舒适:性,空调系统中的空气】处理机?组相比?首先应做到》气密性好既》应,减,少系统?中的:空,气往外泄《漏使能量消耗增【加,。又要防止《“机组”周围相对脏!的空气?渗入:“机组”增大—各级过滤器的—负荷所以本条规【定机组的漏风—率不得大于1%第二!为了做到空》气处理机《组在运行维》护中不易渗漏、【散发:微粒和便于擦—拭,、清:。洁不仅?整体结构应》耐压具有足够强度】。。和刚度而且内表【面应乎整《、光滑并应具有较好!的,保温和防《冷桥的?性能第?。三洁净室设计经验表!明洁:。净厂房能量消耗【大其中净《化空调?。系统及其冷热源设备!又是能量消耗—大户送风《量,大是能?量消耗大的主要源】头,降低送风量有多项技!术措施在《净化空调系统已经确!定送风量的情—况,下随着电子产品生产!过程中?生产工?艺设备开启》数,量和负荷《率的变化室内外温湿!度的变化等因—素的变化都可能【需要调节送风量【另外净化《空调:系统中?的初、中、》高效过滤器》的阻力是《不断:变化的为此送—风机采取变》频,变速措施可调节【风,。机转数调节送风【。量减少电能消耗【是洁净厂房的—重要:节能措施之》一但是送风》机的变频《变速:措施的设置一定要】结合:具体工程《项目的实际情—况合理进行选—择
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