： 7？.4  空气净化设！。。备 】。 ，7.4.1》  电子工业洁【净厂房的净化—空调系统的核心【设备之一的空—气过滤器的正确【选用和合理布置是】至关重？。要的首先应》。遵循我？国的相？关国家标准、行业标！准合：理选用空气》过滤器包括空气过】。。滤器的处理》风量、效率、阻力、！材质和？检测方法(含检漏方！法)等其次根据具体！工程：项目的产品生产要】求和净化《空调：系统设计《合理安排各类—空气过滤器的位置】在空调箱《中，中效(？高中效)空》气过滤器常安装【在正压段但》近年来为《了保持表冷器—表面清洁《减少尘粒沉》积已有许《多设计中在风—机前安？装中效？空气过滤器图—7便是一例鉴于目前！我国的？相，关标准中《还，没有去除化学污染物！的空气过滤器或【其他去除装》置，的标：准只能参照相关【国际标准进行—选用和布《置 7】.4：.2  风》机过滤机组(FFU！)是将？风机与高效过—滤器(HE》PA：。)或超？高效过滤器》(ULPA)组合在！一起构成《自身可？提供推动力的—末端空气净化装置它！由风机、过》滤器、机壳和电【器控制等部》分组成FFU—的主要技术》性能包括风量(一般！以，断，。面风速表《示)、余压、能耗、！效率、噪声和控【制方式等目》前，国内电？子工业洁净室应用F！FU越来越多不仅在！大面积、空气洁净度！要求严格的单向流】或，混合流洁净室(区)！采用而且在》各种：用途的、面积不【是很大的单向流【或混合流《洁净室(区)中也】有应用目前在应用中！受到各方面关—注的主要《是FFU装置的【经济性(投资—。、运行费)、—风量和余压、—噪声、能耗》等性：能参数表21是对国！内市场的几个制造】厂家生产的FFU装！置，的实测性《能参数 ！ 从表2！1中数据可见4【种同样风速、风【量下的FFU—装置余压、能耗相差！。较大；单台》噪声均在60dB(！A)以下《但是数十台》、数百台甚》至上千台FFU装置！安装后的叠加噪声将！是不同的《据初步估算为了【达到本规范规定的】单，。向，流、混合流》洁净室噪声》不超过65dB【(A：)(空态)的要【求FFU在断面风速！为0.4《5m／s的条件下】其余压大于10【0Pa时单台FFU！。装置的噪声应为5】0dB(A)左右 ！ 》基于上述情况—本条对？。。电子工业洁净厂【房中FFU装置的设！置提出了5款基本要！。求 》 ：。7.4.5》  干表冷器—是以中温水为冷【。媒的空气《换，热设备其功能只【要求空气降温不需】。去湿即无凝结水析】出在与？F，FU联合《。使用时干表冷器【设置在F《F，U回风的通道上其】冷媒的进水温度应计！算确定；《通过的风速不宜【过高一般应》小于2？m／s？干，表冷器的风阻—力不应太大应在3】0～4？。0P：a左右在《。正常运行《时虽：无，凝结：水析出但是为了【安全最好还应设【置滴水？盘或其他排水措施】 ？ 7.4.6 ！ 空气处理机组是电！子工业洁净厂房【净化：空，调系统的关键—设备它与舒适性空调！。系统中的空》气处理机组相比【首先：应做到气密》性好既应减少系统】中的空？气往外泄漏使能量消！耗增加？又要防？止“机组”周围相对！脏的空气渗入“【机组”？增大各？级过滤器的负荷所】以本条规定机组的】漏风率不《得大于？1％第二为了做【到，空气处理机组在运】行维护中不》易渗漏、散发—微粒和便《于擦拭、清》洁，不，仅整体结构应耐【压具有足够强—度和刚度而且—。内表面应乎整、光滑！。并应具有较好的保】温和防？冷桥的性能》第三洁净《室设：计经验表明》洁净厂房能量—消耗大其中净化空调！系，统及其冷热源设备又！是能量？消耗大户送风量大】是能量消耗》大的主要源》头降低送风量有多项！技，。术措：施在净化空调系统已！经确定送《风量的情况》下，随着电子《产品生产过程中生】产工艺？设备开启数量和【负荷率的《变化室内外温湿【度的变化等》因素的？变化都可能需—要调：节送风量另外净化空！调系统中的初、【中、高效过》。滤器：的阻力？是，不断变化的为此送】风，机采：取变频变速措—施可调节风》机转：数调节送风》量减少电能消耗是洁！净厂房的重要—节能：措施之一但是—送风机的变》频变速？措，施的设置一》定要结合《具体工程项目的【实际情况合理进行】选择 《