， 7.》4 ： 空：气净化设备》 《。 7.4.】1  电子工—业洁净厂房》的净化空《调系统的核心—设，备之一的空气—过，滤器的正确》选，。用和合理布置是至关！重要的？首先应？遵循我？国的相？关国家标准、—行业标准合理—。选用空？气过滤器《。包括空气过滤器的处！理风：。量、效率《、阻力、材》质和检测方法(含】。检，漏方法)等》其次根据《具体工程项目—的产品生《产要求和净化空【。调系统？设计合理安排各类】空气过滤器》的位置在空调箱【中中效(《高，中效：)空气过滤器常安装！在正压？段但近年《来为了保持表—冷器表？面清洁减少尘粒【沉积：已有许多设》计中在风机》前安装中效》空，气过滤器图7—便是一例鉴于目【前我国的相关标【准中：还没有？去，除化学污染》物的空气过滤器【或，其他去除《装置的标准只—能参照相关》国际标？准进行选用和布置 ！ 》7.：4.2  风机过滤！机组(FFU)是】将，风机：与高效过滤器(HE！PA：)或超高效过滤器】。(ULPA)组合】在一起构成》自身可提供推动【力的：末，端空气净化装置【它由风机、过—。滤器、机壳和电器控！制等部分《组成FFU的主要】技术性能包括风量(！一般以？。断面风速《表示)？、，余压、能耗、—。效率、噪声和控【制方式？等目前国内电子工】业，洁净室应用FF【U越来越多不仅【在大面积、》空气：洁净度要求严—格的单向《流或：混，合流洁？净室(区)采用而且！在各种用途的—、面积不《是很大的单向流【或混合流《洁净室？(区)中也有—应用目？前在应用中受到各】方面关注的》主要是FF》U装置的经济性(】。投资、运行》费)、风量和余压】、噪声、能耗等性能！参数表？21是对国内市场】。的几：个制：。造厂家生产的F【。FU装置《的实测性能参数 ！ 》 》从表21中》数据可见4种同样风！速、风量下》的FFU装置余【压、能？耗相差较大》。；单台噪声均—在60dB(—A)以下但是—数十台、数百台甚】至上千台FFU装】置安装后的叠加噪声！将是不同的据—初步估算为了达到本！规范规定的单向【流、：混合：流洁净室噪声不【超过：65dB(A—)(空？态)的？要求FFU在—断，面风速为0.45m！。／s的条件下其余】压大于100Pa时！单台F？FU装？置的噪声《应为50dB(A】)，左右 】基于上述情况本条】对电子工业洁净厂房！中FFU装置的设】置提出了5》款基本要求》 《 ：7.4？.5  干表—冷器是以中温水为冷！媒的：空气：换热设备其》功，能只要求空气降温不！需去湿即无凝结水】析出：在与：FF：U联合使用时干表冷！器设：置在FFU回—风的通道上其冷媒的！进水温度应》计算确？定；通过《的风：速不宜过高一般【应小于？2m／？s干表？。冷器的风阻力不应】太大应在30～4】。0Pa左右在正【常运行？时虽无凝结水—析，出但是为了安全【最好还应《。设置滴水盘或—其他排水措施 【 7.4.！6  空气处—理机组是《电子工业洁净—厂房净化空调系统的！关键设备它》。与舒：适性空调系》统，中的空气处理—机组：。相比首？先，。应做：到气密性《。好既应？减少系统中》的，空气往外《泄漏使能量消耗【增，加又：要防止“《机组”周围》。相对脏的空》气渗入“机》组，。”增：大各级过滤》器的负荷所以本【条规定机组的漏风率！不得大于1》％第二为了做到【空气处理机组在【运行：维，护中不易渗》漏、散发微粒和【便于：擦拭、清洁不仅【整体结构应耐压【具有足够强度和刚度！而且内表面》。应乎整、光》滑并应具有较好的保！。温和：防，冷桥的性能第三【洁，净室设计经验表【明洁净厂房》能量消耗大其中【。净化空调系》统，及其冷热源设备又是！能量消耗大户—送风量大《是能：量消耗大的主要【源头降低送风量【有多项？。技术措施在净—化空调系统已经【确定：。送风量？的情况下随着—电子产品生产过【程中生产《工艺设？备开启数《量和负荷《。。。率的变化室》内，外温湿度的变化【。等因素的变化都【可能需要调》节送：风量另外净化空调系！统中的初、中、高效！过滤器的阻力是【不断变化的为此【。送风机采取》变，频变速措施可调节】风机转数调》节送风量减少电能消！耗，是，洁净厂房的重要节能！措施之一但是送风】机，的变频变速措施【的设：置一定要结合具体】工，程项目的《实际情？况合：理进：行选择 》