《。7.4  空气【净化设备《 《 7.4.1！  电？子工业洁净厂房【的净化空调系统的核！心设备之《一的空气过滤器的】正确选用和合理布】置是至关重要—。的，首先应遵循》我国的相《。关国家标准、行业】标准合理选用空气】过滤器包《括空气过滤器—。的处理？风量、效率》、阻力、材质—和检测方《法(含检漏方法【)，等其次根《据具体工程项目【的产品生产要求【和净：化空调系统设计【合理安？排各类空气过滤器】的位置在空调箱中中！效(高中效》)空：气过滤器常安装在正！。压段但近年来为了保！。持表冷器表》面清洁减少》尘粒沉积已有—许多设计中》在风机前安装—中效空气过》滤器图7《便是一例鉴》于目前我国的相关】标准中还没》有去除化学》污染物的空气过滤器！或其他去除装置的】标准只能参照相关国！际标准？进行选用和布置 】 7.【4.2  》风机过滤机组—(FFU)》是将风机与》高效过滤器(—。HEPA)》或超高效过滤器(】ULPA)组合【在一：起构成自身》可提供推动力的末】端空气净化装置【它由风机、过滤器、！机壳和电器控制等】部分组成《FFU的主》要技术性能》包括风量(一般以】断面风速表示)、余！压，、能耗、效率、噪】声，和控制方式等目【前国内电子工业洁】净室应用FFU越来！越多：不仅在大面积、【空气洁净度要求严】格的单向流》或混合流洁净室(】区)采用而且—在各种用途的、【面积不是《很大的单《向流或？混合流洁《净室(区)》中也有应用目前在】应用中受《。到各方面关注—的主要是FFU装】置的：经济性(投资、运】行费)、风量和【。余压、噪声》、能耗等性能参【数表21《是对：国内市？场的几个《制造厂家生产的FF！U装置的实测—性能参数 — 《 从【表21中数据—可见4种同样—风速、风量下的F】FU装置余压、能】。耗相：差较大？；单台噪声均在60！d，B(：A)以下但》是数十台《、数百台甚至上千台！。FFU装置安装【后的叠加《噪声将是不同的据】初步估算《为了达到本规范规定！的单向流、混合流洁！净室噪声不超过65！d，B(A)(空态)的！要求FFU在断【面风速为0.45m！／s的？条件：下其余压《大，于100Pa时单】台FFU装置的噪】声应为50dB【(A)左右 ！ 基于上述情【况本条对电子工业】洁净：厂房中FFU—装置：的设置提出了—5款基本要求— 7.4！.5  干表冷器】是以中温水为—冷媒的空气换热【设备其功能只要求空！气降：温不需去湿》即无：凝结水析出在—。。与，FFU联合使用【时干表冷器》设置在FFU回【风的通道上》其冷媒的进水温【。度应计算确定；通】过的风速不宜—过高一般应小于2m！／s干表冷器的风】阻力不应太大应【在3：0～40《Pa左右在正常运】行时虽无《凝结：水，析出但是《为了安全最好还【应设置滴水盘—或其他排水措施 】 ？。。 7.4》.，6  空气处理【机组是电子工业【洁净厂房净化空【。调系统的关键设备】它，与舒适性空调系【统中的空气处—理机组相比首先应做！到气密？性好既应减少系统中！的空气？往外泄漏使》能量消耗增》加又要？。防止“机组”—。周，围相对？脏的：空，气渗入“机组”【增大各？。级过：滤器：的负荷所《以本条？规定机组《的漏风率不》得大于1％第—二为了做到空气处理！机组在运行》维护中？不，易渗漏、散发微粒】和便于擦拭、清洁不！。仅整体结构应—耐压具有足》够强度和刚度而且】内表面应乎整、光】滑，并应：具有较好的保温和】防冷桥的性能第三洁！净室：设计经？验表明洁净厂房能】量消耗大其中—净化空调系统及其冷！热源设备又是能量消！耗大：户送风量大是能量消！耗大的主要源—头降低送风量有多项！技术措施《。在净化空调》系统已经确定送风】量的情？况下随？着电子产品》生产过程中生产工】艺设：备开启？。数量：和，负，荷率的变化室内【外温湿度的变化等因！素的变化都》可能需要调节送【风量另外《净化：空调系统中的—初，、，中、：。高，效过滤器的》阻力是不断变化【的为此送风》机采取变频变速【措施可调节风机【转数调节送》风量减少电能消【耗是：洁净厂房《的重要节能措施之一！但是送风《机的变频变速措【施，的设置一定》要结合？具体：工程项目的实际情况！合理进行《选择 《