： ：7.4  》空气净化设备 【 7.！4.1？  电子工》业洁净厂房的净化空！调系统的核心设备之！一的空气《过滤器的正确选用】和合：理布置是至关重要的！首先应遵循我国的】相关国家《标准、行业标准合】理选用空《气过滤器包括空气】过滤器的《处理风量、》效率、阻力、材质】和检测方法》(含检漏方法—)等其次根据—具体工？程项目的产品生【产，要求和净化》空调系统设计—合理：安排各类空气过【滤器的位置在空【调箱中中效》。(高中效)空气【。过滤器常安装—在，。正，压段但近《年，。来为了保持表冷器】表面清洁减少尘【粒沉积已有许多设】计中在风机前安装】中效空气过滤—器图7便是一例鉴】于目前我《国的相关标准—中还：没有去除化学污染物！的空：气过：滤器或其他去—除装置的标准—只能参照相关国际】标准进行《选用：和布：。置 ？ 7.4【.2  风机—。过滤机组(FF【U)是将风机与高效！过，滤器(？H，EP：A)或超高效过【滤器：。(ULPA)—组合在一起》构成自身可提供推】动力的末端空气净化！装置它由风》机、过滤器、机壳和！电器控制《等部分组成F—F，U的主要技》术性能包括》风量(一般以断面】风速：表示)、余压、【。能耗、效《率、噪声和控制方】式等目前国内电【子工业洁净室应用】FFU越来越多不】仅在大？面积、空气洁净度】要求：严，格的单向流或—混，合流洁净室(区)采！用而且在各》种用途的《、面积？不是很大《的单向流《或混合流洁净—室，(区)中也有—应，用目前在应用中【受到各方面关注的主！要是FFU装置的经！济性(？投资、运行费)【、风量？和余：压，、，噪声：、能耗等《性，。能参数表21是对国！内市场？的几个制《造厂家生产的FFU！装置的实《测性能参数 【 】 ：从表21中数—据可见？4种同？。样风速、风量下的F！FU：装置余压、能耗相】差，。较，大，；，单台噪声均在60d！B(A)以下—但是数十台、数百】台甚至上千台FF】U装置安装》后，。的叠加噪声将—。。是不同？的据初步估算—为了达到本规范【规定的单《向流、混合》流洁净室噪声不超过！65dB(A)(空！态)的要求》FF：U在断？面风速为0.45】m／s的条件下其】。余压大于10—0Pa时单》台F：FU装置的噪声应】为，50d？。。。B(：A)左右 ！ ，基于：上述情况本》条对电子工》业洁净？厂房中？FFU装置的—设，置，提出了5款基—本要求 ！7.4.5  【干表：冷器是以《中温水为冷媒—的空气换热设备其】功，能只要求空》气降温不需去湿即无！凝结水析出在与【FFU？。联合使用时》干表：冷器设？置在：FF：U回风的通道上其】冷媒：。。的进：水温度应《计算确定；通过【的风速？不宜：过高一般《应小于？2m：／s干表冷器的风阻！力不应太大应—在30～40—Pa左右在正—常运行时《虽无凝结水析—出但是为了安全【。最好还？应设置滴《水盘或其《他排水措施 】 7.》4，.6  《空气处理机组—。是电子工业洁—净厂：房净：。。化空调系统的关键】设备它与舒适性空调！系，统中的空气处—理机组相比首—先应做？到气密性《好，既应减少《系统中的《空气往外泄漏使能】量消耗？。。增加又要防止“【机组”周《围，相对脏的空》气渗入“机》组”：增大各级过滤器的负！荷所以？本条规定机组的【漏，风率不得大》于，1％第二为了做到空！气，处理：机组在运行维—护，中，不，易渗漏、散发微粒】和便于擦拭、清洁】不仅整体结构—应耐压具有》足够强度和刚度而】。且内表面《应乎整、光》滑并：。。。应，具，有较好？的保温和防冷桥的性！能第三洁净室—设计经验表》明洁净厂房能—量消耗大其中—净化空调系统及其】。冷热源设《备，又是能量消耗大户送！。风量大是能》量消耗？大的主？要源头降低送风量】有多项技术措施【在净：化空调系统已经【确，定，送风：。量的情况下随着电】子产：品生产过程》。中生产工艺设—备开启数量和负【荷率的？变化室内外温湿【度，的变化？。等因素的变》化，都可能需要调—节，送风量另《外净化空《调系：统中的初、中、高】效过滤器《的阻力是《不断变化的》为此送风机采取【变频变速《措，施可：调节风？机转：数调节送风量减【少电：。能消耗是洁净厂房的！重，要节能措施之一但是！送风机的变频变【速措：施，的设置一定要—结合：具体工？。程项目的《实际情况合理进【行选择 》