： 7.3  净】化空调系统 【 7【.3：.1  电子工【业洁净？厂房：中的净化空》调系：。统，的主：要形式为集》。中式和分散式图5】是，几种分散式净化空】调系统的典型图示从！图中可？见各种形式》各具特点和适用性】在实际？应用中？应，根据具体工程项目的！洁净室规模、—空，气洁净度《等级和电子产—品生：产工艺特《点及其要《求确定同时考虑【运行经济《和降低？能量消耗 】 ： ？。 ， 7.3.2 】 电子工业洁—净厂房尤其在—规模较大的集成电】路芯：片生产和TFT【。-LCD生产—用洁净厂房的送【风方式有集中—。送风、隧道送风和】风机：过滤机组送风等【类型各种《送风方式各》具特点？和适用性图》6是各？。种送：风方式的示意图图】6中(a)集中送】。风系统(C》entral—Syste》m，)室外新风经新【。风处理装置(MA】U)后与经》表冷器降温和风机】增，压后的回风混—合，通过高效过滤—器送至洁净》生产层(b)隧道送！风，系统(Tun—nel S》ystem)—。洁，净区的回风》经维：修区与新风处理(M！。AU)后的新风混】合后由循《环空气处理装置【送入送风静压箱通过！。空气过滤器送入洁净！。区(c)FFU【系统洁净区回—风经：表冷器降温》后与：处理后新风混合通过！FFU增压、过滤送！入洁净区三个系【统各有利弊其选【择主要与电》。。子，产品生？产工艺、能量消耗、！建设投资等有关有】时也与业主》的意：愿有关但《近年来在集成—电，路洁净厂房中采用】FFU系统者日益】增多 ！ ？ 7.3》。.3  在一些电】子产品生产过—程，中需使用各》种不同的可燃、有】毒气：体或化学品使—用这些？物质的生产设备或储！存、：分配设？施都将设置必要的】排风装置为此—在这类电子》产品生产用洁净厂房！的净化？空调系统的新—鲜空气吸入》口，必须远离上述排气】口以确保洁净室【(区)的安全运行和！工作人员身体—健，康 【美国消防协会—发布：的NFPA318(！(洁净室消防标准的！第3.1.1条规】定洁净？室，的室外空气吸入【口的位置必须避免吸！。入，本建筑或装》置产生的可燃气体或！有毒：化学品 】 7.3.》4  近年在电子工！业洁净厂房中当设有！多套净化空》调系：统或洁？净厂房规模较大【时，常常：采用新风集》中，处理的？方式：采用这种方式—的特：点或优越性主要有 ！。。 1 【 将：送入洁净室的空气净！化与热湿处理—分离有？。利于降低能源消耗；！ ， ， 2  【有利于消除》冷热抵消； 【 3  【有利于强化对—室外新？风的处？理在微？电子、光电子用【洁净室的送风中不仅！要，求控制微粒、温度、！相对湿度《等还要求去除影响】产，品质量或降低—成品率的《分子态化学污—染物如Na、SOx！、NOx、Cl、B！等，这些污染物主—要，来，自室外大气》中为：此对于此类洁净厂房！需对室外吸入新鲜】空气进行严格处理】常常可以采用—淋水法去除大气中】的SOx、》。N，。Ox和Cl》；采用化《学过滤器和活性炭】过滤器利《用物理吸附和化学吸！附的原理将低浓度的！分子：态化学污《染物去除到规定的浓！度要求图7是某微】。电子：工业洁？净厂房的新风处理】。装置示意图采用了1！1个功？能段两级加热、两级！表，。。冷、两级《淋水、四级过—滤，和一级加《湿 ？ 《7.3.5》 ， ，洁净厂房净》化空调系统的设计】若能：在满足工作人员必】须的新鲜空》气，量的前提下》将洁：净室的回风基本得到！。合理利用是最佳的】运，行，方式：这样可以《大大降低新风处理所！需加热、冷却—。用能量和输送用【能量是洁净室—设计中最《佳节能措施》所以本条规定除了】三，种情况不得回风外其！余，均应合理利用回【风 —。 ？