《7，.3  《净化空调系统 】。 ， 7—.，3.：1  电子》工业洁净厂房中【的净化空调系统的主！要形式为集》中式和分散式—图5是几种分散式】净化空调系》统的典型《图示从图《中可见各种》形式各？具，特点和？适用性在实际应用中！应根据具体工程项目！。。的洁净室规模、空】气洁：。。净度等级和》电子产品《生产工艺特点—及其要求确定—同时考虑运行经【济和降？低，能，量消耗 《 ， 》 ， 7.—3.：2  电《。子工业洁净》厂房尤其《在规模较大的集【成电路芯片》生产和TF》T-LC《D生产用洁净厂【房的送风《方式有集中送风、】。隧道：送风和风《机过滤机组送风等】类型各种送风方式各！具特点？和适用？。性图：。6是各？种送风？方式的示意图图6】中(a)集中送风】系统(C《entr《alS？ystem)室外新！风经新？风处理装置(M【AU)后与经表冷器！降温和风机增—压后的回风混—合通过高效》过滤器送至洁净生产！层(b)隧》道送风？系统(Tu》nnel 》Syst《。em)洁净区—的回：风经维修区与新风】处理(MAU—。)后的新风混—合后由？循环空气处》理装置送入送风静】压，箱，通过空气《过，。滤器送入洁净区【(c)FFU系【统洁净区回》风经：。表冷：器降温后与》处理后新《风混合通过F—FU增压、过滤送入！洁净区三《个系统各有》利弊其选择主要与电！子产品生产工艺、】能量消耗《、建设投资等有关有！时也与业主的意愿】有关但近《年来在集成电路【洁净厂房中采用FF！U系统者日益—增，。多 ： 《 【。7.3？.3  《在一些电子》产品生产过程中【需，使用各种不》同的可燃《、，有毒气体或化学【品使用这些物质的】生产：设备或储《存、：分配设施都》将，设置必要的》排风装置为此在这类！电子：产品生产用》洁净厂房的净化【空调系统《。的新鲜空气吸入口】必须远？离上述排气口—以确保洁净室(【区，)的安全《运行和工作人—员身体健康 【 ？ 美国消防协会发】布的N？F，P，A318((洁净室！消，防，标准：。的第3.《1.1条规定洁【净室的室外空—气，吸入口的位》置必须避免吸入本建！筑或装置《产生的可《燃气体或有》毒化学品 》。。 7.3.！。4  近年在—电子：工业洁净厂房—中当：设，有多套净《化空调？。系统或洁净》。厂房规模较》大时常常《采，。用新风？集中：处理的方《式采用这种方式【的特点或优越性主要！有 《 ： 1  将送入【洁净室的《空气净化与热湿【处理分离有利于【降低能源消耗—； ： 2 【 有利于消除冷热抵！。消； — ：3  有利于强化对！室外：新风的处理》在微电子、光电子】用洁净？室的送风中不仅要】。求控制微粒、温【度、相对湿度等【还要求去《除，影响产品质》量或降低成品—率，的分子态化学污染】物如Na《。、SO？x，、NO？。x、Cl《、B等这些污染【物主要来自室外大】气中为此对于此类】洁净厂房需对室外】吸入新鲜《空气进行《严格：处理常常可以—采，用淋水法《去除大气《中的：SOx、N》Ox和Cl；采用】化学过滤器》和活性炭过》滤器利用物理吸附】和化学吸附》的原理将低浓度【的，分子态化学污染【物去除到规定的浓】度要求图7》是某微电子工业洁】净，厂房的新风处—理装置示意图采用】了11个功能段两】级加热、两级—表冷、两级》淋水、四级过滤和】一级加？湿， 《 7.3》.5  洁净—。厂房净化《空调系统《的设计若能》在满足工作》人，员必：须的新鲜空气—量，的前提？下将洁净室的—回风基本得到合理利！用是最佳的运行方】式这样可以》大大降低《新风处理所需—加热、冷却》用能量和输送用能】量是洁净室设计【中最佳节能措施所以！本条规？。定除了三种情况【不得回风外其余均】应合理利用回—风 《 》