？ 7.3  净化空！调系统 》 ， 《 ，7.3.1》  电子《工业：洁净厂房中的净【。化空调系统的—。主要形式为集中式和！分散式图5是几【种分散？。式净化空调系—统的典？型图示从图中—可见各种《形式各具特》点和适用性在—实际应用中应根据具！体工程项目的洁净】室规模？、空气洁净度—等，级和电子《。产，品生产工艺特—点及其要求确—定同：时考虑运《行经济和降低能量消！耗 ： ！ 7.3》.2  电子工业】洁净厂房《尤其在规模》较大的集成电—。路芯片生产和—TFT-LCD生产！用洁净厂房的—送风方？式有集中送》风、隧道送风和风机！过滤机组送风—等类型各种》送风：。。方式各具特点和【适用：性图6是各种—送风：方，式的示意图》图6中(《a)集中送风系统(！C，entra》lSy？。stem)室外【新风经新《风处理装置(M【A，。。U)后与经》表，冷器降温和风机增压！后的回风混合通过】高效过滤器送—至洁：净生产层(b)隧道！送风系统(Tu【nne？l Sys》tem)洁》净区的回《风经维修区与—新风处？理(MAU)—后的：新风混合后由—循环空气处理—装置送入送风—静压箱通过空气【过滤器送《入洁净？。区(c)F》FU系统《洁净区回《风经表？冷器降温后与处理】后新风混合通过F】FU增压、过滤送】入洁净区三个系【统各有利弊其选【择主要与电》子产品生《产工艺、能量消【耗、建设投资等有】关，有时也与业主的意】愿有关但近年—来在集？成电路？洁净厂房《中，采用FFU系统者】日益增多《 【 7.3.！3  在一些电子产！品生产过《程中需使《用各种不同的可【。燃、有毒气》体或化？学品使用这些—物，质，的生产？设备或？储，存、分配设施都将】。设置必要的排风装】置为此在《这类电子产品生【产用洁净厂房的【净化空调系统的新】鲜，空气吸入口》必须远离上述排【气，口以确保洁净室(】。区)：的安全？。运，行，和，工作人员身体健【康 《 美《国消防协《会发布？的，NFPA31—8(：(，洁净室消防标准的】第3.1.1—条规定洁净室—的室外空气吸入【口的位置《必须避免吸》入本建筑《或装：置产生的可》燃气体或有毒化【。学品 【 7.3.4  】近年在电子工业洁】净厂房？中当设有多套—净化空？调系统或洁净厂房规！。模较大？时常常采用新风集中！处理的方式》。。采用：这种方式的特—点或优越性主—要有 《 1 — 将送入《洁净室？。的空气净《化与热湿处理分【离有：利于降低能源消耗；！。 ？ ？2  有利》于消除冷热抵消【；， 《 3 《。 有利于《强化对室外新风的】处理在微电子—、，光电子用洁净室【。的，送风中不仅要—求控制微粒、温度、！相，对湿度？等还要求去除—影响产品质量—或降低成品》率的分子态化学污】染物如Na、SO】。x、NOx》。、Cl？、B等这些污染物主！要来：自，室外大气中》为此对？于此类洁净厂—房需对室外吸入新鲜！空气进行严格—处理常常可》以采用淋水》法去除大气中的S】。Ox、NO》x和Cl；采用化学！过滤器和活性炭过】滤器利用物理吸附】。和化学？吸附的原理将低浓度！的分子态《化，学污染物《去除到规定》的浓度要求》图7是某微电子工业！洁净厂？房的新风《处理装置示意图采】用了11个》功能段两级加—热、两级表冷、【两级淋水、》四级过？。滤，和，一级加湿 — ， 7.3.【5， ， 洁净厂房》。净化空调《系统的？设计：。若能在满足工作【人员必须的新鲜【空气量的前提下将洁！净室的回风基本得】到合理利用是最【佳的运行方式—这样可以大大—降，低新风处《理所需加热、—冷却用能量和—输送用能量》。是，。洁，净室设计中最佳节能！措施所以本条规【定除：了三种情况不—得回风外其》余均应合理利用【回风 — ： ：