7.3 】 净化空调》系统： ， 7】.，3.1  电子【工业洁净厂房中的净！化空调系统的主要】形式：为集中式和分—散式图5是几—种分散式净化空调】系统的典型图示从图！。中可见各种形式【各具特点《和适用性在实际应用！。中应根据《具体工程项目的【洁净室规模、空气洁！净，度等级和《电子产品生产工艺特！点及其要求》确定同时考虑运行】经济和降低》能量消？耗 【 ？ 7《.3.2  电子工！。业洁净厂房尤其在规！模较大的集成—。电路芯片生》。产和T？FT-？。LCD生产用洁净】厂房：。的送：风方式有集中送风、！隧，道送风和风机过滤机！组送：风等类型各种送风】方式各具特点—和适用性图6是【各种送风方式—的示意图图6—中(a)集中送风系！统(C？entralS【y，ste？m)：室，外新风经新风—处，理装置(MAU)后！与，经表冷器降温—和风机增压后的【回风混合通过高效过！滤器送？至洁净生产层(【b)隧道送风系统】(Tunnel S！ystem)—。洁净区的回风经【。维修区与新风处理(！MAU)《后的新风混合后【由循环空气》处理装置送入送【风静压箱通过—空，气过滤器送入洁净区！(c)FFU系【统洁净区回风经【表冷：器降温？。后与处？理后新？风混合通《过FFU增压、【过，滤送：入洁净区《三个系统各有利【弊其选？择主要与电子产品生！产工艺、能》量消：耗、：建设投资等》有关有时也》与业主的意愿有关但！近年来在集成—。电路洁净厂》房中采用FFU系统！者日益增多 】 《 ： ？7.3.3  【在一些电子》产品生产《过程中需《使，用各：种不同的《可燃、有《毒气体或《化学品使用这些物】。质的生？产设备或《储存：、分配设施》都将设置必要的排】风装：置为此？在这类电子产—品生产用洁》净，厂房的？净化空调《系，统的新鲜空气—吸入口必须远离上述！。排气口以确保—洁净室(区)的【安全运？行和：工作人员身体健康】。。 美国消！防协会发布》的NFPA31【8((洁净室消防标！准的第3.1—。.1条规《定，洁净室的室外空【气吸入？口的位置《必，须避免吸入》本建筑或《装置产生的》可燃气体或有毒【化学品 【 7.3》.4  近年在电】子工业洁净厂房【中，当设有多《。套净化？空调系统或洁净厂】房，规，模较大时常常采【用新风集中处—。理的方式采用—这，种方式？的特点？或优：越性主要有 ！。 ：1  将送入—洁净室的空》。。气净化与热》。湿处理分离有—利于降低《能源消耗《； 》 ，。 2  有利—于消除冷热抵消【。； ： 3  有！利于强化对》室外新风《的处理？。在微电子《、光电子用洁净室】的送风中不仅要【求控制微《粒、温度、相对【湿度等还要求去【除影响？产品质量或降低成】品率：的分：子态化学污》染物如Na、—SOx、《NOx、Cl、B】等这：些污染物主要来【自，室外大气中为此对】。于此类洁净厂房【需对室外《吸入新鲜空气进【行严格处理常—常可以采用》淋水法去除大—气中的S《Ox、NOx和C】l，。；采用化《学过滤器和活—性炭过滤器》利用物理吸附—和化：学吸：附的原理将低—浓度：的分子态化》学污染物去除到规】定的浓？度要求？图7是某微电—子，工业：洁净厂房的新—风处理？装，置示意图采用了11！个功能段两级加【热、两级表》冷、两级淋水、【四级过滤和一级【加湿 《 7.—3.5  洁—净厂房净化空调【系统：的，设计若能在满足工】作人员？必须的新鲜空气量】的，前提下将洁净室【的回风基本得到合】理利用是最》。佳的运行方式这样可！以大：大降低新风》处理所需加热—、冷却用《能量和输送》。用能量是洁净—室设计中《最佳节能措施所以】本条规定除》了三种？情况不得回风外其余！均应合？理利：用回风 ！ ：