。 7.3  ！净化空调系统 【 7.！3.1  电子【。工业洁净厂房中【的净化空调系统的主！。要形式为集中—式和分散式图—5是几种《。分散式净化空调系统！的典型？图示从图中可—见各种形式各具特】点和适？用性在实际应用【中应根据《具，体工程项目》的洁净室《规模、空气洁—净度等级和电子产品！生产工艺特点及其要！求确定同时考虑运行！经济和降低能量消】耗 ！ ， 7《.3.？。2  电子工业洁净！厂房尤其在规模较大！。的，。集成电路芯》片，生产：和TFT-LCD】。生产用？洁净厂房的送风方式！有，集中送风、》隧道送风和风机过滤！机组送风等类型各】种送风方式各具特点！。和适用性图6—是各种？送风方式的示意图】图6：中(a)集》中送风系统》。(CentralS！ystem)室【。外新风经新风处理装！置(MAU)后与经！表冷器降温和风机增！压，后的回？风混合通《过，高效过滤器送至洁净！生产层？(b)隧道》送风系统(Tu【nnel Sy【stem)》洁，净区：的回风经维》。修区与新风处—理(MAU)后的】新风混？。。。合，后由循环空气处【理装置送入送风静压！箱，通过空气过滤器【送入洁净《区(c)F》。F，U系统洁净区回风】。经表冷？器降温后与处理后新！。风，混合通过F》FU增压、过滤【送入洁净《区三个系统各有利弊！其选择主《要与电子《产品：生产工艺、能量消耗！、建设投资等有【关有时也与业主【的意愿有关但近年来！在集成电路洁净厂房！中采用F《FU系统《。者日益增《。多 】 7.3】.3  在一些【电子产？品生产？过程中？需使用？各种不同的》可燃、有毒气体或】化学品使《用这些物质的—生产设备或储存、分！配设施都将》设置必要的排风【装置为？此在这类《电子产品生产用洁净！。厂，房的净化空调系统的！新，鲜空气吸入》口必须远离》上述排气口以确保】洁净室(区)的安】全，运行和？工作人员身体健【康 《。 美国消—。防协会？。发布的NF》。PA：318((洁净【室消：防标准的《。第3.？1.1条规定—洁净室的室外空气吸！入口的位置必—。须避：免吸入本建筑或装置！产生的可燃》气体或有毒》化学品 《 ？ 7.3.4  ！近年在电《子工业洁净厂房中】当设有？多套净？化空调系统或洁净厂！房规模较大》时，常常采用新风集中处！理的方式采用—。这种方式的特点【或优越性主要有 】 1—  将送入》洁净室的《空气：净化与？热，湿，处理分离有利于降】低能源消耗； 【 2  有！利于消除冷热抵【消； 】3  有利》于，强化对室外新风的】处理在微电子、光电！子用洁？净室：的送风中不仅要求控！制微粒、温》度、相？。对湿度等还要求去除！影响：产，品质量或降低—成品率？的分：。子态化学《污染物如《Na：、SOx、NOx、！C，。l、B等这》些污染物主要来自】室外大气中为此【对，于此类？洁净厂？房需对室《外吸：入新鲜空《气，进行严格《处理常常可以采【用淋水法去除大【气中的SOx—、N：Ox和Cl》；采用？化，学，过滤器和活》性炭过滤器》利用物理吸》附和：。化学吸附的原理【将低浓度的分子态】化学污染物去除到】规定的浓度要求图】7是：某微电子工》业洁净厂《房的新风处理装置示！意图采用《了，11个？。功能段两级加—。热、两级表》冷、：两级淋水、四级过】滤和一级加湿 】 《。7.3.5  【洁净厂房净化空调】系统的设计》若能在满足工—作人员必须的新【鲜空气量的前提下】。将，洁净室的回风基【本得到合理利—用是最佳《的运行方式这样可以！大大降低新风—处理所需加热—、冷却用《能量和输送》用能量是《洁净室设计中—最佳节能措施所以本！条规定除了三种情况！不得回风外其—余均应合理》利用回？风 — ？