7.5【  采暖、通风 】。 — 7.5.》1， ，。 为使洁净室(区】)内严格《做到不？产生：或少：产生：尘粒：、不滞留或》。少滞留尘粒若洁净室！(1X？)需设置采暖设施】时不应采《用散热器采暖据【调查了解目》前，电子产品生产—用洁净室(区)内大！。多不采用散热器【采暖为此本条—作了严？格规定并为强制性】。条文 【 7.5.》2 ： 为确？保局部排风系统的安！全，、稳定运行电子工业！洁净：厂，房内局部排风系【统单独设置的要求应！符合现行国家标准】洁净厂房设计—规范GB《 5007320】。。。0，1中：第6：.5.？3条规定《。 ？ 7.5.3】  一些电子工业洁！净厂房内使》用，各类品？种、一？定数量的可》燃、易爆和》有毒物？质其中以《集成电路芯片制【。造工厂为最多为确】保电子产品》生产的安全、可靠】。运，行通常在使用—这些物质的生产【设备均设有局部【排风系统在芯片【制造用洁净》厂房：中，的可燃、有毒或有害！物质主要有酸—碱类HF、》H，Cl、H2S—O4、HN03【、NH3《。等；：。。有，机类I？P，A(异丙醇)、【CHC？l3、？NBA？、H：MDS、丙酮等；特！种，。气体：AsH3、》SiH？4、：P，H3、B2H—6、HCl、N【F3：、WF6、》SiH？Cl3、CF4【、SF6《、N：20等这些物质【大部分对人类生【存环境具《有巨大的危害性为此！电子工业洁》。净厂房设计中—必须采取必要的【技术措施将危害【性减少到最》小；同时还应—采取技术措施—。防止这些物质的排】气系统？对所在厂《房的安全《、卫：生造：。成威胁或危害本条】的各项要《。求以此为出发点作】出相应？的规定现对一—些规定说明如下 】 ？。 1 《 排气系统中—含有水？蒸气或凝结物质时若！不能排除系统中的】。凝结液将使》排气系统不能正常运！行或造成《安全事故或影响【洁净室(区)的空气！洁净度为《此本：条规定此《类排风系统应设坡度！及排放口以便—及时排出凝》结，物质 【 2 ？ 排气介质中含【有，剧，毒物质时该》排风系统《在运行？过程：中是不能停止—运转的一旦》停机将对洁》净室工作人员和洁】净，厂房周？围环境带来致命【的或巨？大的危害为此本条规！定此：类排风系统的—排，风机和处理设备【应设备用并设置应】急电源 《 排风介质！中含易燃、》易爆：等危险物质》或工艺可靠》性要求较高时为确保！安，全，运行排风系统也【不能停止运》。。转为：此本条？规定此类《系统的排风机应设】备用并应设》应急电源 》 3 【 现将美国消防协】会(N？FPA)的NFP】A 318洁净室】消防标准中的相【关，条文摘录如》下，。供参考？第3.5.1条排】风系统必须设有自动！应急电源第3.5.！2条应急电》源工：作，时必须达到不—低于：排气系统50％的】容量第8 8节【使用：可燃或易燃》化学品？的设备必须具有【可燃或？易，燃气：体或蒸气《浓度降低至爆炸下限！20％以《下的排气《系，统 — 7.5.4  为！了避免含有毒性、爆！炸，危，险性物质的排—气管路向《沿程或路《。由区域泄漏形成安】全，事故的发生本条规】定此类排气管路内】压力应低于》。路由区域《内的压力即保持一定！的，负压值 】 美国消防》协会的NFPA【 318洁净室【消防标准中》第3.？2.3条规定含有有！毒，化学物质的》排气系统压力—必须低于通过建筑】。区，域的正常压力— 7.5！.6  制定本【条的主？要依据有 ！ 1  按现—行，。国家标准采暖通风与！空气调节设计规范】GB5？0019200【3中第5《.4.3《条制定本条》第1款规定 】 2  根【。据现行国家标准采】暖通风与空》气调节设计规范G】B50019—2003中第5.】4.6条《规定本条第2款明】确规定在《洁净室(区)—和，。洁，净室(区)外设手】动控制开关；—。为运行安全和管【理要求并《规定应设自动控制】开，关 ：。 3  】参照美国消防标【。准NFPA 31】8洁净室消防标【准中第？。。3.5.1条“排】气通风系《统应：设置应急电源”【为确保事故》。排风系统及》时投：入运行不会因停电无！。法运：行而诱发《事故的发《。。。生制定本条第3款】的规定 》