《7.5 《 ，采暖、通《风 ？ 7.5！.1 ？。 为使洁净室—(区)内严格做【到不产？生或少产生》尘粒、？不滞留或少滞留【尘，粒若洁净室(1【。X)需设置采暖【设施时不应采用散】热器采暖据调查了解！目前电子产》品生：产用洁净室(—区)内大多不—采用散热器采暖【为此本？条，作了严？格规定并为强—制性条文 【 7.5.2 ！。 为：确保局部排风系统的！安全、稳定》。运行电子工业洁净】厂，房内局部排风—。系统单？独设置的要求应【符合现行国家标【准洁净厂房设—计规：范GB 50073！20：01中第6》.5.3《条规定 【 7.5.3【  一些电子工业】洁净厂？房内使用各类品种、！一定数量的可燃、】易爆：和有毒物质其中【以集成电路》芯片制造工厂为【。最多为确保电子产】。品生产的《安全、可靠运行通常！在使用这些物质【的生产？设备：均设有局《部排：。风系统在芯片制造用！洁净厂房中的可燃、！有，毒或有害物质主【要有酸碱类H—F、HCl、H2】SO4、《。HN0？3、NH3等；【。有机类IPA—(异丙醇)、CHC！l3、NBA、H】MDS、丙酮等；特！。种气体AsH3【、S：i，H4、？PH：3、：B2H？6、HCl、—NF：3、W？F6、？SiHCl3、【CF4、SF6、】N20等这些物质大！部分对人类生存【环境具有巨大的危】害性为？此电子？工业洁净厂房设计】中必须采取必要【的技术措施将危【害性减少到》最小；？同时还应采取技术措！施防止这些物质【的排气系统对所【在，。。厂房：。的安全、卫》生造成威胁或危害本！条的各项要求—以此为出发》点作出相应的规定现！对一：些规定说明如下 】 1  】排气系统中含—有水蒸气或凝—结物质时若》不能排除《系统：中的凝结液》将使排气系统—不，能正常运《行或造成安全事故或！影，响洁：净室(区)》的空气洁净度为此本！条规：定此类？排，风系统应设坡度及排！放，口以便及时》排出凝结《。物质： 》。 2：  排气介质中【含有剧毒物质时该】排，风系统？在运行过程中是不】能停止运转》的一旦停《机将对洁净》室，。工，。作，人员和洁《。净厂房周围环—境带来致命的或【巨，大的危害为此本条】规定此类排风系统的！排风机和处》理设备应设》备用并设置应—急电源？ ？ 排风介质中含！易，燃、：易爆等？危险物质或》工艺可？靠性要求较高时为确！保安全运《行排风系统也不能停！止运转为此本条【规定此类系统的排】风机应设备用并应设！。。应急电源 》 3 【 现将美国消防协会！(NFPA)的【N，F，。PA 318洁净】室消防标准中的【相关条文摘》录如下供参考第3】.5.？1，条排风系统必须【。设有自动应急电【源，第，3.5.2条应急】。电源工作时必须达】到不低于《排，气，系统50％的—容量第8 8节【使用：可燃或易燃化—学，品的设备必须—具，有可燃或易燃气【体或蒸气浓度—。降低：至，爆炸下限2》0％以下的排气系】统 》 ， 7：.，5.4 《 为了避免含有【毒性、爆炸》危险：性，物，质的排？气管：路向沿程或路—由区域泄漏形—。。成安：全，事故的发生》本条规定此类排气】管，路内压力《应低于路由区域内的！压力即保《持一定的负压—。值 ？。 美国—消，防协会的《NFPA 318】洁，净室消？防标准中第3—.2.3条规定【含有有毒化学物质】的排气系统压—。力必须低《于通过建筑》区域的？正常压力 》。 ： 7.5.6 ！。 制定本条》的主要依据有 【 1—  按现行国家【标，准采暖通风与—空气调节设计规【范GB500—1，92：003中第5.【4.3条制》定本条？第1款？规定 》 2 》。 根据现行国家【标准采暖《通，风与：。空气：调节：设计规范G》B，5，00：192003中【第5.4.6条规】定本条第2款明确】规，定在洁净室(区【。)和洁净室(区)】外设手？。动控制？开关；？为运：行安全和《管理要求并规定【应设自动《控制开关 》。 ， 3 — ，。参照美国消防标准】NFPA《 31？8洁净室消防标【准中第3.5.1】条“排气通风系统】应设置应《急电源”《为确保事《故，。排风系统《及时投入《运行不会因停电无】法运：行而诱？发事故的发生—制定本条第3款【的规定？ ：