7.5【  采暖、》通风 《 ， ，。 7.5.】1  为使洁净室】(区)内严格做【到不产？生或少产生尘粒【、不滞留《或少滞留尘粒若洁】净室：(1X)需设置【采，暖设施时不应采用散！热器：采暖：据，调查了解目前电【。子产品生产》用洁净室(区)【内大多不采用散【热器采暖为此—本条作？了严格？规定并为强制性条文！ 《 ， 7.5.2  为！确保局部排风系统的！。安全、稳定》运行电子工业洁净】厂房内局部排风【系统单独设置的【要求：。应符合现行国家标准！洁净厂房设》计规：。范G：。。B 500732】001中第6.5.！3条规？定 ： 7.5.！3  一些电子工业！洁净：厂房：内使用各类品种【。、一定数量的可【燃、易？爆和有毒《物质其中以集—成电路芯片》制造工厂为最多为确！保电子？产品：生产的安全、可靠】运行通常在》使用这些物质的生】产设备均设有局【部排风系统在芯片】制造用？洁净：。厂房：中，的，可燃、有毒或有害】物质主要《有酸碱类《HF、HCl、【H2SO4、—HN03、》NH3？等；有机类I—P，A，。(异丙醇)、—CHCl3、N【BA、HMDS、】丙酮等；特种气体】。AsH？3、SiH4、【PH3？、B2H《6、HCl、—NF3、WF6、S！iHCl3、CF】4、SF《6、N2《0等：这，些，物质大部分对人类生！存环境具有巨大的危！害性为此电子工业洁！净厂房设计中必【须，采，取必要的技术措施】将危害性减》少到：最小；同时还—应采取技术措施防】止，这，些物质？的，。排气系统对所在厂】房的安全、卫生造】成，威胁或危害本条的】。各项要？求以此为出发点作出！相应：的规定现对一些规】定说明如下 【 1》  排气系统中含有！水蒸气或凝结—。物质：时若不能《排除系？统中：的凝结液将使—排，气系：统不能？正常运行或》造成安全事故—或影响洁净室(区)！的空：气洁净度为此本【条规定此类排—风系统应设坡度及排！放口：以便：及时排？出凝结物质 【 2  【排气介质中》含有剧毒物质—。时该：。排风系统在》。运行过程中是不【能停止运转的一旦】停机将？对洁净室工作—人员和洁净厂房周围！环境带来致命的或】巨大：的危害？为此本？条规定此类排风【系统的排风机和处】理设备应设备—用并设置应急电源 ！ 排风介】质中含易燃》、易：爆等危险《物质或工艺可靠性】要求较高时为确【保安全运行排—风系：统也：不能停止运转—为此本条《规，定，此类系统的排风机应！设备用并《应设应急电源— ？ ， ：。3，  现将《美国消防《协会：(NFPA)的NF！PA 318洁净室！消防标准《中的相关《条文摘？录如下供参考—第3.5《.1条？排风系统必须设【有自动应急电源第】3.5.2条应急】。电源工？作时必须达》到不低于《排气：系统50％的容量第！8 8节使用可燃】或易燃化《学品：的设备必须具有可燃！或易燃气《体或蒸气浓度降低】至爆炸下限20％以！下的排气系统 【 7—.5.4  为了避！免含有毒性、—爆炸危险性物—质的排气管》路向沿程或路由区】域泄漏形《。。成安全事故》的发生本条规定此】类排气？管，路内压力应低于路】由区域内的压—力，。即保持？一定：。的负压值《 ？ 美国消防【协会的NFP—A 318洁净室消！防，标准：中第3.2.3条规！定含：有有：毒化学物质》的，排气系统《压力必须低于通【过建筑区域的—正常压力 — 7.5.】6  制定本条【的，。主要依据《有 1 ！ 按：。现行国家标》准采暖通风与空气】调节设计规范G【B50019200！3中第5.4.3】。条制定本条第1款】。规定 — 2  根据现】行国家？标准采？暖通：风与空气调节设计规！范GB5001【920？03中第5》.4.6《条规定本条第2款】明确规定在洁净【室(区)和洁净室(！区)外设手动控【制开关；为运行安】全和管理《要求：。并规定？应设自？动，控，制开关 》 《3，  参照美国—消，。防标准N《FPA？ ，3，18洁净《室消防标《准中第3《.5.1条》“排气通《风系：统应设？置应急电源”为确】保事故排风系统及时！投入运行不会因停】电无法运行》。而，诱发事故《。的发生制定本条【第3款的规定 】