《7.5  采暖【。、通风 】 7.5.1 ！ 为使洁净室(区)！。内严格做到不产生】或少产生尘粒—、不滞留或少滞留尘！粒若洁净《室(1X)》需设置采暖》设施时？不应：采用散热器采暖据】调查了解目》前电子产品生产用洁！净室(区)内大多不！采，用散热器《采暖为此本》条作：了，严格规定并为强制】性条：文 ？ ： 7.5》。.2：  为确保局部排】风系统的安全—、稳定运《行电子工业洁—净厂房内局部—排风系统单独设【置的要求应符—合现行？国家标准洁净厂房】设计规范GB 5】。0073200【1中第6.》5.：3条：规定 — 7.5.3  ！一些电？子工业洁净厂—房内使用《各类品种、一定数量！的可燃、易爆和【有，毒物质其《中以集成电路芯片制！造工厂为最》多为确保电子产品生！产的安全、可靠运行！通常在使用这—些物质的生产—设备均设有局部排】风系统？在芯片制造用—洁净厂房中的—可燃、有毒》或有害物质主要有酸！碱，类HF、HCl【、H2SO》。4、HN03、N】H3等；有机—类，IP：A(异？丙醇)、CHC【l3、NBA—、HMDS、丙酮】等；特种气》体AsH3、—SiH？4、PH3、B2】H6、HCl、NF！3、WF6、—SiH？。Cl3、《CF4、SF6、N！20等这些物质【大，部分对人类生存环】境具有巨大的—危害性为此电—子工：。业洁净厂房设计【中，必须采取必要的技】术措施将危害—性减少？到最小；同》时还：应采取技术措施【防止这些物》质的排气系》统对：所在厂房的安—全、卫生造成威胁】或，危害：本条的各项要求以】。此为出？。发点：作出相应的规定现对！一些规定《。说明：如下 》 1《 ，。 排气系《统中：含有：。水蒸气或凝结物质时！若不：能排除系统中—的凝结液将》使排气系统不能正】常，运行：或，。造，成安全？。事，故或影响《洁净室(区》)的空气洁净度为】此本条规《定此：类排风系统应设【坡度及？排放口以便》及时排出凝结物质 ！。 ？ ， 2  排》气，介质中含有剧毒物】质时该？排风：系统在？运行：过程中？是，不能停止运转—的一旦停机将—对洁净室《工作人员和洁—。净厂房周围环境带】来，致命的或巨大的危害！为此：本条规定此类排风】。系统的排风机和处理！设，。备应设备用并设置应！急电：源 》 ， 排风介质》中含易燃、易爆等】危险物质《。或，工艺可？靠性要？求较：。高时为？确保安全运行排【风系统也不能停【止运转为此本条【。规定此类系统的【排风机应设备用并应！设应急电源 】 3  现将美！国消防协《会(NFPA)【的N：FPA 318洁】净，室消防标准中—的相关条文摘—录如：下供：参考：第3.？5，.1条排风系统必须！。设有自动应急电【源第：3.5.2条应【急电源工《作时必须达到—不低于排气系—统50％《的，容量第？8 8节使用可【燃或易燃化学品的】设备必须具有可【燃，或易燃气体》或，。蒸，气浓：度降：低至爆炸下限20％！以下的排气系统 】 7.5】.4  为了避免】含有毒性、爆—炸危险性物质的【排气管路向沿程或】路由区域《泄漏形成安全事故的！。发，生本条规定此类排气！管路内压力应低于】路由区？域内的压力即—保持一定的负压值 ！ 》美国：消防协？会的：N，FPA 3》18洁？净室消防《标准中第3》。.2.？3条规定《。。含有：。有，毒化学物质的排气系！。统压：力必须低于通过建筑！区域的？正，常压力 【 7.5.6 】 制：定本条的《。主，要依据有 【 1  按现行！国家标？准采暖通风》与空气调节》设计规范GB—5001920【03中第5.4.】3条制定本条第1款！。规定 《 2》  根？据现：行国家标准采—暖通风？与空气调《节设计？规范GB5001】92003中第5】。.4.6条规定【本条第2款明确规定！在洁净？室(区)《。和，洁，净室(区)》外设手动《控制开关；为运行安！。全和：管理：要求并规定应设【。自动控制开关 ！ 3  参照】美国消防标》准NFP《A 31《8洁：净，室消防标准中第3】.5.1条》“排气通风系—统应设置应》急，电源”为确》保事故？排风系统《及时投入运行不会因！停电无法运》行，。。。。而，诱发事故《的发生制定》本条第3款的—规定： ：