《7.5  采暖【、通：风 》 7.5.1！  为使洁》净室(区)内严【格做到不产生或少】产生尘粒《、，不滞留或少滞留【尘粒若洁净室—(1X)需设置采】暖设施时不应采用】。。散热器？采暖据调查》了解目？前电子产品》生产用？洁净室(区)内大】多不采？用，散热器采暖为此本条！作，了，严格规定并为强制性！条，文，。 》 7.5《.2  《为确保局部排风【系统的？。。安全、稳《定，运行电子工业洁净厂！房，内局部排风系统单独！设置的？要求应符合》现，行国家标准洁净厂】房设计规范》GB 5《00：。。7320《01：中第6.5.3【条规定 》 ？ ，7.5.3 — 一些电子工业【洁净厂房《内使用各类品种【、一定数量的可【燃、易？。爆，和，有毒物？质，其中以集成电路【。芯片制？。造工：厂为最多为确—保电：子产品生产的安全、！。可靠运行通常—在使用这些物质的】生产设？备均设有局》部排风系统》在芯片制造用洁净】厂，。房，中，的可燃、有毒—或，有害物质主要有酸碱！类HF、HCl、H！2SO4《、HN03、—NH3等；有—机类：IPA(《异丙醇)、C—HCl？3、N？BA、HMDS、丙！酮等；特《种气体A《sH3、Si—H4：、PH3、B—2H6、HCl、N！F，3、WF6、—SiHCl》3、CF4、—SF6？、N20《等这些物质大部分】对人类生《存环境具有巨大的】危害：性为此电子工业洁】净，厂房设计中必须采取！必要的技术措施将危！害性减少到最小；同！时还应采取技—术措施防止这些物质！的排气系统对所【。在厂房的安全、卫】生造成威《胁或危害本》条的各？项要求以此为出【发点：作出相应的规—定现：对一些规定说明如】下 1】 ， 排气系统中含有】水蒸气或凝结—物质时若《。。不能排除系》。统中的凝《结液将使排气—系统不能《正常运行或造—成，安全事故或影响洁】。净室(区)的—空气洁净《度为此？本条规？。定此类排风系统【应设坡度《及排放口以便及时】排，出凝结物质 】 2 》 排气介质中—含有剧？毒物质时该排风系】统在运行《过程中是不能—停止：运转的一旦停机将对！洁净室工作人—员和洁净厂房周【围环境？带来：致命的或巨大的【危害为此本条规定】此类排风系统的排风！机和处理《设备应设备》用并设置《应，急电源 — ： 排：风介质中含易燃【、易爆？。等危险物质或工【艺可：靠性要求较高时为】确保安全运行排风】。系统也不能停止【运转为此本条规定此！类系统的《排风机应设备—用并应设应》急电源？ ， ：。 3  现将美！国，消防协会(N—FPA)的》N，FPA 31—8洁净室《消防标准中的—相关条文《摘录如？下供参考第》3，.5.1条排风系统！必须设有自动应【急电源第《3.5.2》条应急？电源工作时必须达到！不低于排气系统50！％的容量第8 【8节使用可燃—或易燃化《学品的设《备，必须具有可》。燃或易？燃气体或蒸气浓【度，降低至？爆炸下限20—％以：下的排？气系统？ ， 》7.5.4》  为了避免—含有毒性、爆—炸危险性物质—的排气管路向—。沿程或路由区域【泄漏形成《安全：事故的发生本条规】定此类排气管路【内压：力应低于路由区域内！。的，压力即保《持一：定的负压《值 《 美国》消防协会的NF【PA 31》。8，洁净室？消防标准中第—3.2.3》。条规定含有有毒【化学：物质的排气系统压】力必须低于》通过建筑区》域的正常压力 ！ 7.5.6 ！ 制定本条的—主要依？据有 ？ ， 1》  按现行国—家标准采暖通风与空！气调节设计规范G】B50019—20：0，3中第5.4.3】条，制定：本，。条第1款规定 】 2  根据！现行国家标》准采暖通风与空【。气调节设计》规范GB《500？。19200》3中第5.4—.6条规定本—。。条，第2款明确规—定在洁净室(区)和！。洁净室(《区，)外设手动控制开关！；为运？行安全和管理要求并！规定应设自动控制开！关 【3  参照美—国消防标《准NFPA 31】8洁：净室消防标准中【第3.5《.1条“排气通风】系统应设置应—急电：。源”为确保事—故排风系统及时投入！运行：不会因停电无法运行！而，诱发事故的发生制】定本条第3款的规定！。 ：