安全验证
7.5  !。采暖、通风 】 7.【。5.:1  为使洁—。净室(区)内—严,格做:到不产生或少产生】尘,粒、:不,滞留或?少,滞留尘粒若洁净【室(1X)需设置采!暖设施时不应采用】散热器采暖据—调查了解目前电【子产:品生产用洁净室(】区)内大多不采用】散热器采暖为此本】条作了严《格规定并为》强制性条文 — ? 7.5.2 】 为确保局部排风系!统的安全《、,。稳定运?行,。电子工业洁净厂房内!局部排风系统单【独设置的要》求应符合现行—国家:标准:洁净厂房设计—规范GB 50【073200—1中第?6.5.《3条规定 — 7.5.】3  一些》电子:工业洁净厂房内使用!各类品种、一定【数量:的可燃、易爆和有】。毒物质其中以集成】电,路芯片制造工厂【。为最多为《确保:电子产?品生:产的安全《、可靠运行通常在使!用,这些物质的生产设】备均:设,有局部排风系统在】芯,片制:造用洁净厂房中的可!燃、有毒或》有害物质主要有酸碱!类H:F,、H:C,l,、H2SO4、HN!03、NH》3等;?有机类IPA(【异丙醇)《、CH?Cl3、NBA、】HMDS、》丙,酮等:;特种气体AsH】3、SiH4、PH!3、B2H》6、:HCl、NF3、W!F6、SiHCl3!、CF?4、:SF6、N2—0,等这些物质》大部分对《人类生存环境具【有巨大的危害性【。为此电子工业洁【净厂房设计中必须】采取必要的技—术措施将危害性减少!到最小;同时还应】采取技术措施—防止这些物质的排】气系统对所在—厂房的安全、卫生造!成威胁或危》害本条的各项要【。求以此为出》。发点作出相》应的规?定现对?一,些规定说明如下 】 1  排!气,系统中含有水蒸【气或凝结物质时【若不能排除》系统中的凝结液将使!排气系统不能正常】运行或造成安全事故!或影响洁净室—(区)的空气洁净度!为此本条规》定此类排风》系统应设坡度及【排放口以便》及时排出凝结—物质 — 2  》排,气介质中含有—剧毒物?质时该排风》系统在运行过程中是!不能停?止运转的一》旦停机将对洁净【室工:作人员和洁净厂房周!围环境带来致命的】或,。巨大的危害为此本】条规:定此:类排风系统的排风】机和处理设备应【设备用并设置应急】电源 排!。。风介质中含易燃、易!爆等危险物质或工艺!可靠性要求较高【时为:确保安全运行—排风系统《也不能停止运转为此!本条规定此类系统的!排风机应《设备用并应设应急】电源 ?。 , 3  【现将美国消防协会】(NF?。PA)的NFPA】 ,318洁净室消防标!准中的?。相关条文摘录如下供!参考第3.5.【1条排风系》统,必须:设有:自动应急电源第3】.5.2条应急【电源工作时必须【达到不低于排—气系统5《。0%的容量第—8 8?节使用可燃或易【燃化学品的设备【必须具有可燃—或,易燃气体或蒸气【浓度:降低至爆《炸下限20%以下的!排气系统 【。 7.5.【4  为了》避免含有《毒性、爆炸》危险性物质的排【。气管路向沿程或路】由,区域泄漏形成安【全事故的发生本条】。规定此类排气管路内!压力应低于路—由区域内的》压,力即保持一定的【负,压值 — , 美国消防协会【的NFPA》。。 318洁》净室消防标》准中:第3:。.2:。.3条规定》含有有毒化学物质的!。排气系统压》力必须?低于通过建筑区【域的正常压力 】 ?。 7.5.6 【 制定本条的主要】依据有? ? 1  按【现行国?家标准采暖通风与】空,。。。气,调节设计规范G【B5001920】。03中第《5.4.3条制【定本条第《1款规定 ! 2  根据现行国!家标准采暖》通风与空气调节设】计规范GB500】192003中第】5.4.6条规【定本条?。第2款明确规定在洁!净,室(:区)和?洁净室(区)外设手!动控制开关;为运】行安全和管理—要求并?规定应设自动控制】开,关 【3 : ,参照美国消防标【准,N,FPA 318洁净!室,消防标准中第3.】5.1条“排气【。通风系统应设置应急!。电源”为确保—事故排?风系统及时投入运】行不会?因停电无《法运行而诱发事故的!。发生制定《本条第3款》的规定 《 ,