《7.5 《 采暖、通》。。风 ！7.：5.1  为使洁净！室(：区)内严格》做到不产生或少【产生尘粒、不滞留或！少滞留尘粒若洁净】室(1X)需设【置采暖设施时不应采！用散热器采》暖据调查了解目前电！子产：品生产用洁净室(区！)，内大多不采用散热】器采暖为此本条【作，了，严格：规定并为强制性条】。文 7.！5.2  为确保局！部排风系统的—安全、稳《定运行电子工业洁净！厂房内局部排风【系统单独设》。。置的要求应》符合现行《国家标准洁》净厂房设计规范G】B， 5007》32001》。中第6？.5.3条规定 ！ ： 7.5.—3  一些电子【工业洁净厂房—内使用各类品种【、一：。定数量的可燃、易爆！和，有毒物质其中以【集成电？路芯片制《造工厂为最多为确】保，电子产品生产的安全！、可：。靠运行通常在—。使用这些物质的【生，产设：备均设有局部—排风系统在芯片制造！用洁净厂房中的可燃！、有毒或有》害物质主要有酸【。。碱类H？F，、，HCl、H2SO】4、：HN03、》NH3等《；有：机类：IPA(异丙醇)】、，CHCl3、NB】A、HMDS、【丙酮等？；特种？气体AsH3、【S，iH4、PH—3、B2《H6、HCl、NF！3、WF6、Si】HCl3、》CF4、SF6、N！。20等这些》物质大部分对人【。类生存环境具有巨大！的危害性为此电子】工业洁净厂房设【计中：必须采取必》要的技术措施将危害！性减少到最小；同时！还应采取技术措施】防止这些物》质，的排气系统》对所在厂房》的安全、卫》生造成威《。胁或危害本条的各】项要求以此为出【发点作出相应的规】定现对一些规定说】明如下？ 1  ！排气系？统，中含有水蒸气或凝】结物质时若不能排】除系统？。中，的凝结液将使排【气系：。统不能？正常运行《或造成安全》事故或影《响洁净？室(区)的》空气洁净度》为此本条规定—此类排风系统应设】坡度及排放口以便】及时排出《凝结物质 【 2 》 排气介质中—含，有剧毒物质时该排】风系统在运》行过程中是不能【停止运转的一旦【停机：将，对洁净室工作—人员和？。洁净厂房周》围环境带来致—命的或巨大的危害】为此本条《规，定此类排风系统的排！风机和处理设备【应，设备用？并，设置：。应急电源 ！ 排风介质中含易燃！、易爆等危险—物质：或，工，艺可靠性要求较高时！为确保安全》运行排风《系统也不能》停止运转为此—本条：规定此类系统—的排风机《应设备用并》应设应急《。电源 3！  现将美国消防协！会(NFPA—。)的NFP》A 318洁净室消！防标准中的相关【条文摘录如下—供，参考第3《.5.1条排风系统！。必须设？有自动应《急电源第《3.5？.，2条应急电源工作】时必须达到》。不低于排《。气系统50％的容量！第8 8节使用【可燃或易燃化学品】的设备必须》具有可燃或易燃气体！或蒸气浓度降低至爆！炸下限20％—以下的排气系统【 7【.5.？4  ？。为了避？免，含有毒性、》爆炸危险性物质的排！气管路向《。沿程或路由区域泄漏！形成安全事故—的发生本条规定此类！排气管路内压—。力应低于路》由，区，域内：的压力即保持一定】的负压值 》 》。美国消？防协会的NF—PA 318洁净室！消防标准中第3.2！.3条规定含有有毒！化学：物质的排气系统压力！必须低于通过建筑区！域的正常压力 【 7.5.！6  ？制定本条的主要【依据有 》 1 — 按：现，行国：家标准采暖通风【与，空气调？节设计规《范，GB50019【。20：03中第5.—4.：3条制？定本条第1款规定】 —2  根据现行国】家，标，准采暖？。通风与空《气调节？设，计规范GB5—001920—03中第5》。.，4.6条规定—本条第2款明—确规定在洁净室(区！)和洁净《室(区)外设手动控！制开关；为运行安】。。。全和管理《要求：并规定应设》自，动控制开关 】 3  参照】美国消防标准N【FP：A 318洁净室消！防标准中第》3，。.，5，.1条“排》气通：风系统应设》置应急电源”为确】保事故排风系统【。及，时投入运《行不会因停电无法】运行而？诱发事故的发生制定！。本条第3《款的规？定 ： ，