7.5 】 采暖？、通风 — 《 7.？。5.1  为使洁】。净室(区)内严格】做到不产《生或少产生尘粒、不！滞留或少滞》留尘粒若洁净—室(1X)》需设置采暖设施【时不应采用散—热器采暖据调查【了，解，目前电子产》品生产？用洁净室《(区)内《。大多不？采用散热器》。采暖为此本》条作了？严格规定并》为强制性条文— 》 7.？5.2  》为，确保局部排风系统】的安全、《稳定运行《电，子工业？洁净厂房《内局部排风》系统单独设置的【要求应符合》现行国家标准—洁净厂房《设计规？范G：B 5007320！。。01中？第6：.5.3条规定 】 ： 7《.5.3  一些】电子工业洁》。净厂房内使用各【。类品种？、一定数量的—可燃：、易爆和有毒物质】其中以集《成，电，路芯片？制造工厂为最多为】确保：电子产？品生产的安全、可靠！运行通常在使用【。这些物质的生产设】备均设有局部—排风系统在芯片制造！用洁净厂《房中的可燃、有毒】或有：害物质主要有酸【碱类HF、H—Cl、？H2SO4》、H：N03？、NH3《等；：有机类IPA(【。异丙醇)、CHC】l3、？NBA？、HM？D，S、丙酮等；特种】气体As《H3、SiH—4、：PH：3、：B2H6、HCl】。、NF3、WF【6、SiHCl【3、CF《4、SF《6、N20等这【些物质大《部分对人类生存【环境具有巨大的危害！性，为此：电子工业洁》净厂房？设计中必须采—取必：要的技术措施将【危害性减少》。到最小；同时还【应采取技术措施防】止这些物质的—排气系统对所在厂】房的安？。全、卫生造》成威胁或《危害本条的各项要求！以此为出发点作出相！应，的规：定，现对一些规定—说明如下 ！ 1  排气系统】中含有水蒸》气或凝结物质—时若不能排除系统】中的凝结液将使排】气系统不能正常运】行或造成安全事【故或影响洁净室(】区)的空气洁净度为！此，本条规定此类—排，风系统应设坡度及】排放口以便及时排出！凝结物质《 —2  排气介质【中，含，有剧毒物质》时该排？风系：统在：运行过？程中是不能停—止运转的一旦停机将！对洁净室工作人员和！洁净厂房周围环【境带来致《命的或巨大的—危害为此本条—规定此类排风系统的！排风机和处理—设备应设备》用并设置《应，急电源 — 排风介质中含！易燃、易爆等危【险物：质或工艺可靠性要求！。较高时为确保—安全运行排风系【统也不能停止—运转为此本条规定此！类系统的排风机【应设备用《并应设应《急电源？ 《 ，。。 3  现》将美国消防协—会(：NF：P，A)的NFPA 3！18洁净室消防标】准中的相关条文摘录！如下供？参考第？3.5.《1条排风系统必【须设有自动》应急：电源第3.》5.2？。条应急电源工作时】必须达？到不低于排气系统5！0％的容量》第8 ？8节使用可燃—或易燃化学》品的设备必须—具有可燃或易燃【气，体或蒸气浓》度降低？至，爆，炸下限20》％以下的排气系统 ！ 》7.5.4  为了！避免含有毒性、【爆炸危险性物质的】排气管？路向沿程或路由【区域泄漏形成安【全事故？。的发生本条规—定此：类排：气管路内压力应低于！路由区域《内的压力《即保持一定的负压】值， ？ 美国消—防协会的NFP【A， 318洁》净室：消防标准中第3.2！.3条规定含有【有毒化学物》质的排？气系统压力必须【低于通？过建筑区域的—正，常压：力 7】.5.6  制定】本条的主要依据有 ！ ： 1  按现】行国家标《准采暖通风与—。空气调节设》计规范GB》5001《92003中—第5.4《.3：条制定本条第1【款规定？ 2【  根据现行—国，家标准采暖通风与】空气调节设》计规范GB50【0192003【中第5.4.6条规！定本条第2款明【确规定在洁净室【(，区)和洁净室(区】)外设手《。动控制开关；为运行！安全和管《理要求并《。规定应？设，自动控制《开关：。 —3  参照美—国消防标准N—F，PA 31》。8洁净室消》防标准中第》3.5.《1条“排气通风系】统应设置应急电源”！。为确保事故排风【系统及时《投入运？行不会因停电—无，。。法运行而《。诱发事？故的发生制定本【条第3款的规—定 ？