7.2【  气流流型和【送风量 【 ？ 7.2《.1  气流流型】的确定应充分考虑的！因素有满足空气洁】净度等级要求、一次！建设投资《、运行维《护费、？空，气过滤器等更—换方便等 】 ：本条推荐的》洁净室(区)内【气，流流型的设计要求】是基于数十年电子】工厂洁净《厂房：工作实？践的：。经验总结并结合国】际标准化组织I【S，O／：TC ？2，09技术委员会已】经颁布、实施—的洁净室及相关受】控环：境标准IS0 14！6441《、IS0 14【644-4中有【关气流流《型的要求和》近年：来国内建成投产的电！子工：业洁净厂房所采用的！气流流型的》实际状况制定的图4！是IS0 146】44-？4中对洁净室—气，流流型的图》示表：1，9是一？些电子工业》洁净厂房《。的气流？流型上述情况表明空！气洁：净度等级为1～【5级时基本上—。采用单？向流或混合》流空气洁净》度等级为6～9级】时基本上采用—非单向？流，且混合流流型可应用！于所有？各种空？气洁：净，度等：级，的洁：净室 》 】 7.2.2  洁！净室的送风量是【保证空气洁净—度等：级的送风量》应符合现行》国家标准洁》净厂房设《计规范GB 5【00732》001中《第6.？3.2的规定 】 ： 7.2.3 】 制定本条的—依据是 ！1  表20是根】据国际标《准化组织ISO／T！。C，。 209技》术，委员：会编写、发布的洁】净室及相关受控环】境，标准I？SO： 146444洁】净室的设计、建造】。和试运？。。行中的表B.2微】电子洁净室的实例】列出了空气洁净度等！。级为2？～8级的气流流型、！洁净送风量的数【据 — 》 注在制》定，最佳设计《条件前应该》详细：规定并？商定与ISO等级】有关的占用状—况 【表列的气流形式【表示该等级洁—净，。室的气？流特性U为单向【流N为非单向—流M为？混合气流《(U：和N组合)》平均气流速》度是通常规定洁【净室内单向流的方法！对单向流速度的要】求取决于局》部，。的参数如《几何图形和热参数】不一定是过滤器【的面：速度每？小时换气次数是规】定非单向流》和混合气流的方【法建议的换气—次数是指《3.0m的室—。高度应考虑不透水的！。屏障：技术：污染源和待》保护的？区域要有效地分隔开！可以用物理或气【流屏障 《 ： 2《。  近年来》一些8″《。。、12″集成电【路芯：片生产用洁》净厂房中主要生产设！备，配置：微环境？装置时洁净室采【。用Bal《lro？om：＋微环境时》其洁净厂房内—。洁，净区的空气洁—净度等？级为5？级或6级气》流流型？为非单向《流洁净？生产区送《风一般选用F—FU吊顶《上FFU的》满，布率为2《5％左右；微—环境内的空气洁【净度等级为2～4】级 【3  单向》流洁净室的平均风速！下限值在《自动化、机械化程】度很高的洁净—室(区)内基本无】人的情况下有—的洁净室(区—)仅采用《0.：1，1m／s —