7》.2  气流—。流型和送风》量 》 7》.2：.1  气流流【。型的确？定，应，充分考虑的》因素有满足空气洁】净度等？级，要求：、一次建设投资、运！行维护费《、空气过滤》器等：更换方便等 ！ 本条推荐的洁】净室(区)内—气流流型《。的设计？要，求是：基于数十年电子工厂！洁净厂房工作实践的！经验总结《并结合国《。际标：准化：组，织ISO／TC 】。209技术委员会】已经颁布、实施的洁！净室及相关受控【环境标准I》S0： 146441【、IS0《 1：4，644-4中有关】气流流型的》要求和近年来国【内建成投产》的电子工业洁—。净厂房所采用的【气流流型的实—际状况制定的图【4是I？S，0 14《64：4，-4中对洁》。净室气流《流型的图示表—19是一些电子【工业洁净《厂房的气流》流，型上述情况表明空气！洁净度？等级为1～5级时】基本上采用单—向流或混合流—空气洁净度》等级为？6～9级时基—本上采用非单向流且！混合流流型可应用于！所有各种空气洁净】度等：级的：洁净室 【 ， ？ 7.2.】2  ？洁净室？的送风量是》保证空气洁》净度等级的送风【量应符合现行国【家标准洁净》厂房设计规》范GB 500【73：2001中》第6.3.2的规】定， —7.2.3  制】定本条的依》据是 【 1  表》20是根《据国际标准化—组织ISO／TC ！209技《术委：员会编？写，、发布的《洁，净室及相关受—控环境标准ISO ！146444洁净室！的设计、建造和【试运行中的表B.】。2微电子洁净室的】实例列？出，。了空气洁净》度等：级为2～8》级的：。气流流型、洁净送】风量的？数据 】 注在】制定最佳设计条【件前：。应该详细规定—并商定与《I，SO等级有关的【占用状况 — 表列的气】流形式表示该等级】。洁，净室的？气流特？性U为单向流—N为非单向流M为混！合气流(U》和N组合)平均气】流速度是《通常规定洁净—室内单向流的方【法对单？向流速？度的要求取决—于局部的参》数，如几何？图形和热参数不一】定是过滤《器的面速度每小时换！气次数是规定—非单向流和混合气流！的方法建议》的换：气次数是指3—.0m的室高度应】考虑不透水的—屏障技？术污染源《和待保护的》区，域要有？效地分隔开可以用物！理或气流屏》障， 2 】 近：年来一些8″、1】2″集成电路芯片生！产用洁？净厂房中《主要生产设备配置微！环境装置时洁净室】采，。用Bal《lroom＋微环境！时其洁？。净厂房？内洁净区的空气洁】净度等级为5级或】6级：气流流型为非单向流！洁净：生，产区送风一般—。选用FFU吊顶【上FFU的满布【率为：25：％左右；《微环境内的空气洁】净度等级《为2～？4级 ？ 3 【 单向流《洁净室的平均风【速下限值在自动化、！机械化程度》很高的洁净室(区)！内，基本无人《的情况下有的—。洁净室？(区：)，仅采用0.11m】／s： ：