7.—。2  气流流型和】送风量？ ， 《 ， 7.2.1 】 气流流型》的确：定应充？分考：虑，的因素？有满足空气》洁净度等级要求【、，一次建设投资—、运行维护》费、空气过滤器【等更换方便等 【 本条推】荐的洁净室》(区)内气流流【型的设计要》求是基于数十年电子！工厂洁净厂房工作】实践：的经验总结并结【。合国际标准化组织I！SO／T《C 209技—术，委员会已经》。颁布、实施的—。。洁，净室：及相：关受控？。环境标准IS0 】146441—、IS？0 1464—4-4中《有关气流流型的【要求和？近年来国内》建成投产的电—子工业洁净厂房所】采用的气流流型【的实际状况制定【的图4是I》S，0 14644-】4中：对洁净室气流—流型的图示表19】。是一些电子》工业：洁净厂房的气流流】型上述情况》表明空气洁净度等级！为1～5级时基本】上采用单《。向，流或混合流》空气洁净《度等级为6》～9级时基》本上采用《非单向流且》混合流流型可应用于！所有各种空气洁净度！等级的洁净室— ， 】。 7.2.【2  洁《净室的送风量是保】证空气洁净度等【级的送风《量应符合现行国【家标准洁《净厂房设计》规，范GB 5007】32001》中第6？.，3.2的规定 】 7.2【。。.3 ？ 制定本条的依据】是 1 ！ 表20是根—据国：际标准化组织ISO！／T：C 2？0，9技：。术委：员会编写、发布的洁！净室及相关受—控环境标准》。。ISO 146【444洁净室的设】。计、建造和试运行】中的表B.》。。2微电子洁》净室的实例列出了空！气洁净度等级—为2～8级的气流】流，型、洁？净送风量的》数据 【 注在！制定最佳设计条件】前应：该详：细规定并商定与I】SO等？级有关的《占用状况《 》 表列的《气流：形式表示《该等级洁《净室的？气流：特性：。U为：单，向，流N为非单向流M】为混合气流(U和N！组合：)平均气流速度【是通常规定洁净室】内单向流的方法对单！向，流速：度的：要求取？决，于局部的参数如几】何图形和热参数【不一：定是：。过滤器？的面：速度：每小时换气次—数是规？定非单向《流和混合《气流的？方法建？议的换气次》数是指3.0—m的：室高度应考虑—不透水的《屏障技术污染源和】待保护的区域要有效！地，分隔开可《以用物理或气流屏障！ 2  ！近年来一些8—″、12《″集成电《路芯片生产用洁净】厂房：中主：要，生产：设备：配置微？环境装置时洁净【室，。采用：Ballroom＋！微环境时其洁净【。厂房内洁净》区的空气洁净度【等级为5《级或6级《气流流型为非单向】流洁净生《产区：送风一？般选用FFU吊顶】上FFU的》满布率为25％左】右；微环《境内：的空气洁净度等【级为：2～4？级 ？ 《3  单向流洁净】室的平均风速下限】值在自？动化、？。机械化？程度：。很高的洁净室(区)！内基本无人的情【况下有的《洁，净室(区《)仅采用《0，.11m／s 】