7.2  ！气流：流型和送风量 ！ 7.2.！1  ？。气流：。流型的确定应充【分，考虑：的因：素有满足《空气洁净度》等级要？求、一次《建设投资、运行维】护费、空气过滤【器等更换《方便等 ！本条推荐的洁净室(！区)内气流流—型的设计《要求：是基于数十年—电子工？厂，洁，净厂房工《作实践的《。经验总结并结—合国际标准化组织】。ISO／TC 2】。09技术委员—会已经颁布、实施的！洁净室？及相关受控环境标】准IS0《 14644—1，、IS0《 14644-【4中有关气流流型】的要求和近年来国】内建成投产》的电子？工业洁净《厂房所采用的气【流流型的《实际：。状况制定的》图4是？IS0 146【44-4中对—洁净室？。气流流型的图示表1！9，是一些电子》工业洁？。净厂房的气流—流型上述《情况表？明空气洁净度—等级：为1～5级时基本】上采用单向流或混合！流空气？洁净度等级为—6～9级时》基本上？采用非单《。向流且混合》流流型可应用于【所有各种空》气洁净度等级—的洁净室 【 ！7.2.2 — 洁净室的送—风量是？保证空气洁净度【等级的送风》量应符合《现行：国家标准洁净厂房设！计规范GB》 5：00732001中！第6.？。3.2的规定 】 ？。 7.？2.3 《 制定本条的依据】。是 — 1  表20是】。根据国际标准—化组织IS》O，／TC 209技术！委员会编写、发【布，的洁净室及》相关受控环》境标准？ISO？ 1464》44洁净室的—设计、建《造和：试运行中的表B【.2微电子洁净【室，。的实例列出了空气】洁净度？。等级为2～8—级，的气：流流型、洁》净送风量的数—据 《 《。 注在【制定最佳设计条【件前：应该详细规定并【商定与IS》O等级有关的占【用，状况 ？ 》表列的气流》形式表示该等级【。洁净室的气流特【性U为单向流—N为非单向流M为混！合气流(U》和，N组合)平均气流速！度是通常规定洁净】室内单向流的—方法对单向流速【度的要求取决—于局部的参数如几何！图形和热参数不一】定是过滤《器的面速度每小时换！气次数是规定非单向！流和混？合气流的方法建议的！换气次？。数是指3.0m【的，室高度应考》虑不透水的》屏障技术污染—源和：待保护的区域要有】效地分隔开可以用】物理或气《流屏障 》 ？ 2  近年—来一些8《。″、：12″？。集，成电路芯片生产【用洁净？厂房中主要生产【设备配置微环—境装置时洁净室【采用B？。allroom【＋微环境《时其：洁净厂房内》洁净区的空气洁净】度等级为5级或【6级气流《流型：为非单向《。流洁净生产区送风一！般选：。用FF？U吊：顶上：。FFU？的，满布率？。为25％左》右；微环境内的【空气：洁净度等级为—2～4级 】 ， ，3  单向流洁净室！的平均？。风速下？限，值在自动化》、机械化程度很高】的洁净室(区)内】基本无人的》情况：下有的洁净室—(区)仅采用0【.11m／s 】