7.2  ！气流流型和送风【量 ： 7.！2.1  气流流】型，的确：定应充分《考虑的因素有满足空！气洁：净度等？级要求、一次建设投！。资、运行维护—费、空？气过滤器《等更换方便等 】 本条推荐】的，洁，净室(区)内气流流！型的设计要求是基于！数十年电《子工厂洁净厂房工】作实践的经验总【结并结合国际标准化！组织ISO》／T：C 209技术委员！会已经颁布、实施的！洁净室及相关受【控环境标准IS0 ！14：6441《、IS？0 1？464？4-4中有》关气流流型的要【求和近年来》。。国内建成投产的电】子工业？洁净厂房所采用的】气流流型的实际状】。况制定？的图4是IS—0 146》44-4中对—洁净室气流》流，。型的图示表》。19是？一些电子《工，业洁净厂房的气流流！型上述情况表—明空气洁净度等级为！1～5级《。时基本上采》用单向？流或混合流空—气洁净度等级—为6：～9级时基本上采用！非，单向：流，且混合流流型—。可应用于所有各种】。。空气洁净度等级的洁！净室 ！ 7.2】.，2  洁净室—的送风量《是保证？空气：洁净度等级的送风】量应：符合现行国家标准洁！净厂房？设计规范GB 50！0732001中第！6.3.《2的规定 【 7.2.3】 ， 制定本条的—依据是 【 1  表20】是根据国际》标，准化组织《I，SO／TC —209？技术委？员会编？写、发布的》洁净室及相关受控环！境标准ISO— 146444洁净！室的：设计、建造》和，试，运行中的《表B.？。2微电子洁净室【的实：例列出了空》气洁净度《等级为2～8—级的气流流型、洁】。净送：风量的数据 】 ？ 注【在制定最佳设计条件！前应：该详：细规：定并商？定与ISO等级【有关的？。占用状况 ！。 表列的气流形式表！示该等级洁净室的】气流特？性U：为单：向流N？为非单向流M为【混合气？流(：U和N组合)—平均气流《速度是通常规定洁】净室内单向》。流的方法对》。单向流速度的要【求取决于局部的参】数如：几何图形和热—参，数不一定是》过滤器的面速度每小！时换气次数是规【定非单向流和混合气！流的方法《建议的换气次—。数，是指3.《0m的室高度应【考虑不透《水的屏？。障技术污染源和【待保护的《区，域，要有效？地分隔开《可以用？物理或气流屏障 】 》2  近年来一【些8″？、，12″集成电—路芯：片生产用洁净—厂房中？主要生产设备配置微！环境装置《时洁净室采用B【al：lroom＋微环】境时其？洁净厂房内洁净区】的空气洁净》度等级？为5级或6级气流】流型为非单向流【洁净生产区送—风一：般选用FFU吊【顶上FFU的满布】率为25％左右；微！环境内的《空气洁净度》等级：为，2～4级 】 3  》单向流洁净》室的平均风速下限】值在自？动化、？机械化程度很高的洁！净室：(区)内《基本无人的情况下】有的洁净室(区)】仅采用0《.11？m／s 》