， 7《.2：  ：气流流？型和送风量》 — 7.2.1【  气流《流型的确定应充分考！虑的因素有满足【空气：洁净：度，等，级要求、一》次建设投资、—运行维护《费、空气《过滤器等《更换方便等 — 《 本条？推荐的洁净室(区)！。内气流流型的设计要！求是基于《数十年？电子工厂洁净厂【房工作实践的经验总！结，并结合国际标—准化组织ISO／】TC 209技术】委员会已经颁布【、实施的洁净室及相！关受控环境标—准，IS0 1464】41、I《S0 14644-！4中有关《气流流？型的要求《和近年来国内建成】投产的电子工业洁】净，厂房所采用的气流】流型的实《际状况？制定的图4》。是IS0 14【644-《4中对洁净室—气流流型的图示【表，19：是，一些电？。子工业？洁净厂房的气流流型！上述情况表》明空气洁净度等【级，为1～5《级时基本《上采用？单向：流或混合流空气洁净！度等级为《6～9级时基—。本上采用《非，。单向流且混合流流】型，可应：用于所有各种空气】洁净度等级的—洁净室 】 《 ？7，.2.2  洁净】室的送？风，。量是保证空气洁【净度等？级的送风量应符合现！行国家标《准洁净？厂房设计规范—GB 50》0732001中】第6.3.2—的规定 【 7.《2.3  制定【本条的依《据，是 ？ ， ？1  表20是【。根据国际《标准化组织I—SO：／，TC 209技术委！员会编写、》发布的洁《净室及相《关受控环境》标，准ISO 1—46：。44：4洁净？室的设计、》建造和试运》行中的表《B.：2微电子洁净—室的实例列出了空】气洁净度等级—为2：～，8级的？气流流型、洁净【。送，风量的数据 【 ， ： 注】在，制定最？佳设计条件前应【该详细规《定并商定与》IS：。O等级有关的占用】状况 】表，。列的气流形式—。表示该等《级洁净室《的气流特性》U，为单向流N为—非单向流M为混【合气流(U和—N，。组，合)平均气流速度】是通常？。规定洁净室内单【向，流的方法对》单向：流速度的要求取【决于局？部的参数如几何图形！和热参数不一定【。是过滤器的面—速度每小《时换气次数是规定】非单向流和混合气流！的方法？建议的换《气次数？是指3.0m的【室高度应考虑—不透水的屏障—技术污染源》和，待保护的区域要有效！地分隔？开可以用《。。物理或？气流屏障 》 2 【 ，近年：来一些8″、12″！。集成电路《芯片生产《用洁净厂房中主要】生产设？备配置微环境—装置时洁《净室采用Ba—llroom＋【微环：境时其？洁净厂房内洁净【。区的：空气洁净度等—级为5？级或：6级气流流型为【非单：向流洁净《生，产区送风一般选用】FFU吊顶上FFU！的满布率为25％】左右；微环境内的】。空气：洁净度等级为—。2～4？。级 3 ！ 单向流《洁净室的平》均风速下限值在【自动化、机》械化程度很高的洁净！室(区)内基—本无人的情况下有的！洁，净室：。(区)仅采用0.】11m／s 【