7.—2  气流流—型和送风《量 》 ？ 7.2.1  气！流流型的《确，定应充分《考虑的因素有满足空！气洁净度等级—要，求、一次建》设投资、运行维【护费、空气过滤器等！更换方便等 — ， 本》。条推荐的洁》净室(区)内气流】流型的设计要求是】。基于数十年电子工厂！洁净厂房《工作实践的经验总结！并结合国际标准化组！织，ISO／TC 2】09技术委员会已经！颁，布、：实施：的洁净室《及相关受控环境【标准IS0 —146？。441、IS0【。 14644-【。4中：有关气流《流型的要求和近【。年来国内建》成投产的电子工【业洁：。净，厂房所采用》的气流流型的实际】状况制定的图—4是I？S0 1464【4-4中对洁—净室气流流》。型的图示《。表1：9是一？些电子工《业洁净厂房的气流】流型上述《情况表明空气洁净度！等，级为1～5级时基本！上采用？单向：流，或混合流空气洁净】。度等级为6～9【级时基本上采用【非单向流且混—合流流型可》应，用于所有《各种空气《洁，净度等级的洁净室】 【 7.【2.2  洁—净室的送《风量是保证》空，气洁净度等级的送风！。量应符合现行国家】标准洁净厂房设计规！范GB？ 50073200！1中第6《.3.2的规定【 7【.2.3  —制定本？条，的依据？是 【1  表20是根据！国际标准化组织I】。SO／TC 2【09技术委员会【编写、发布的洁净】室及相关受控—环，。境标准？ISO 14—。6444洁净室的】设计、？建造和试运》行中的表B.2【微，。电子洁？。净室的实例列出了空！气洁净？度等级为《2，～8级的《。气流流？型、洁净送风量的数！据 】 注在制】定最佳设计条件前】应该详？。细规定？并商定与ISO等级！有关的占用状况 ！ 表列—的气流形式表示该】等级洁净室的—气流特性U为—单向流N为》非单向流M为混合】气流(U和N组合)！平均气流速》度是通？常规定？。。洁，。净室内单《向流：的方法对单向流【速度的？要求取决于局部的】参数如几何图—形和热参《数不一定是过滤器的！面速度？每小时换气次—数是规定非》单向流和混合—气流：的，方法建议《的换：气次数是指3.0m！的室高度《应考虑不《透水的屏障技—。术污染？源和待保《护的区域要有效【地分隔开《可，以用物？理或气流屏障 ！ 2  近年】。。来一：些8″、12″集】成电路芯片生产用】洁净厂？房中主要生》产设备配置微—环境装置时洁—净室采用B》all？room＋》微环境时其洁净【厂房内洁净》区的空气洁净度等级！。为5级或6级气流流！型为非单向》流洁净生产区送【。。风一般？选用FFU》吊顶上FFU—的满布率为》25％左右；微环境！内，的空气洁净度等级】为2～4级 ！ 3  单向流】洁净室的平均—风速：下限值在自》。动化：、机械化程度—很高的？洁净室(区)内【基本无人《的情况下有的洁【净室(区)仅采用】0.11m／—s ？