， ？7.2  气—流流型和送风—量 《 7—.2.1《  气流流型的【。确定应充分考虑的因！素有满足空气洁【净度等？级要求？。、一次建设投资【、运行？维护费、空》气过滤器《等更换方便等 【 本—条推荐的洁净室(】区)内气《流流：型的设计要求是基于！数十年电子》工厂洁？净厂房工作实践的】经验总结并结合国】际标准化组织ISO！／TC 2》09技术委》。。员会已经颁布、实】施的洁净《室及相关受》控环境标准IS0】 1：4，6441、I—S0 146—4，。4-4中有》关气流流型的要求】和近年？来国内建成投产【的电子工业洁净厂】房所采用的》气，。流流型的《实际状况制》定的：图，4是IS0 1【。4644-4—中，对，洁净室气流流型【的图示表19—是一些电子工业【洁净厂房的》气流流型《上述情况表明空【气洁净？度等级为《1～5级时》基本：上采用单《向流或？混合流？空，。气洁净度等级—为6～9《级时基本上采—。用，非单向流且》。混合：流流型可应用于所】有各种空气》洁，净度等级《的洁净室 【 【 7.2.2【  洁净《室的：送，风量是保证空气洁净！度等级的送风量应符！合现行国家标准洁净！厂房设计《规范GB《 ，5，00732001中！第6.？3.：2的规？定 【7.2.3  【。制定本条《的依：据是 《 ？ 1 ？ 表20是》根据国际标准化组织！ISO／T》C 209技术【委员会？编写、发布的洁净】。室及：相关受？控环境标准》ISO 14—6444洁净室的】设计、建造和试【运，行，中的表？B，。.2：微电子洁净室的实例！列出了空气》洁净度等级为2～8！级的：气流：流型、洁净送风【量的数据 ！ ， 注【。在制定最佳设计条件！前应该详《细规定？并商定？。与ISO等级—有，关的占？用，状况 — 表列的》气流形式《表示该等级洁净室】的气流特性U为单】向流N为《非单向流M为—混合气流《(U和N组》合)平均气》流速度是通》常规定洁净室内【单向流？的方：法对：单向流速《度的要求取决于局】部的参数如几—何图形和热参数【不一：。定是过？滤器的面速度每【小时：换气：次数是？规，定非单？向流和混合》气流的方法建议【的换气次《。数是指3.0m的室！。高度应考《虑不透水的屏—障技术污《染源和待保护—的，区域要有效地分【隔开可以用物—理或气？流屏障 《 》2 ： 近年？来一些8″、—12：。″集成电路芯片生产！用洁：。净厂房中《。。主要：生产设备配置微【环境：装置时洁净》室采用B《al：lro？om＋微环境时其洁！净厂房内洁净区的】。空气洁净度》等级为5级或6【级气：流流型为非单向【流洁净生产》区送风一般选用FF！U，吊顶上FF》U的满布率为25％！左右；微环境—内的空气洁净度【等级为2～4级 ！ ： 3  单向流洁！净室的平均风速下限！值在自动化、机【械化程度很高的洁】净室：(区)内基》本无人的情》况下有的《洁净室(区》)仅采用0.11】m／s 》