6.—3 室《内装:修
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6.3》.1 本》条规定包括三方面】的内:容,
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1: 洁净厂房—的建筑围《护结构?和室内装修用材料】不可避免地会在温度!和湿度变化》时引起变形为确保】洁净室(《区)内的洁净—环境减少微尘产【生、积聚应选用气】密,性,良好且在温度、【湿度变?化,时变形小的材料【
2 】 洁净室(区)内】某些:电子产品会因化学污!染物在产品表—面沉积影响》产品:质量或在后续生【产过程中《发生化学反应—造成次品以》至废品所《以在洁?净,室,(区)内为》防止化学污》染本条规定“洁【净,室装饰?材料及其密封材料不!得,采用释放对电子【产,品品:质有影响物质的材料!”在进?行洁净室设计或【建造选?用,装饰材料时应与具体!项目:的业主方《或,提供生产《工艺:方进:行协:。调后确定
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,3 洁《净室内所选用的装修!材料:。的燃烧?性能应符合现—行国家标准建筑【内部装修设》计防火规范》。G,B 50222的】规定
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6.3.3 【 ,。制定本条文的目【的除了强调洁净【室,楼地面设计》应避免?微粒的?产生、积聚外—还规:定了
1! , 洁净室(区)【地面应满足电子产】品生产?工艺:和设备安装要求【如芯:片生:产用洁净厂房采用】垂直单向流洁—净室时一般采用回】风活动地板;在洁】净,室(区)不》同部位因生产工【。艺和设备安装的【要求尚需选》用不同承载能力、规!。格型号各不相—同的活动《地板
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,2 为防》止洁净?室(区)内地面【施工后在使》用过程发生裂缝【、,裂纹:。。等容:易产尘和微粒积聚】为此洁净室地面垫层!推荐:采用配?筋方式?
6.3!.7 目》前国内电子产品生】。产洁:净室:(区)内的》墙,板和顶棚《基本上均《采用轻质壁》板构造各地所采【用的轻质壁板—有,多种形?式如夹芯彩钢板【。、玻璃板、无—机,复合材料钢塑—板等其?中夹芯彩钢》板应用广泛其—夹,芯材料有多》种材料和构》造如岩棉、纸蜂窝】、,铝蜂窝?、双层石膏板、无】。机复合材料》等,不论采用何种—材,。质除壁板本》身质量至关》重要外轻质壁板构】造、轻质壁板连接构!。造,的整:。体,性和气?密性是很重要—的整体性除板与板】之间的雌雄槽—紧密地组《合外还靠上下马槽】和板:。之间的严密结—合使洁净室形成一个!完整的匣《体壁板之间的接缝应!以硅橡胶等密—封材料嵌缝》密封它的作用—是防止?灰尘在?停机时从此进入室】内同时使洁净—室在正?常工作时易于保持所!需正压减少能—。。量的损?耗,此外洁净《室的关键密封部位】是,高效过滤器本—身,或高:效过滤器与》其安装骨架之间的缝!隙,一定要具有良好密封!性能目前国内使用的!密封方法很》多如液槽密封、机】械压垫密封等但必须!做到涂抹或填嵌方】便、操作简》单而且还要》考虑更换高效—过滤器时方便—。拆装总之没有经过高!。效过:滤器过滤的空—气是不允许直—接进入?洁净室洁净室—顶棚轻质壁板应【具有:一定的承重能力【以便施工、》运行维护时人员【行走
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