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7 《空气净化和空—调通风设计
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7:.1 一般规定
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7.1.3 ! 洁净厂房中净化】空调:。系统的?划分原则本条推荐】。6种情况《宜采用“分开设【置”研究《分析净化《空调系统“分开设】置”的依据大—体可归纳《为电子产《品生产工艺特—点或要求方》。便运行管理减少【能量消?耗防止交叉污染和由!此带来的影响产品质!量或工作人员—健康或影《响运行安全等多【项因:。素本条中的第1【、3、4《款主:。。要是为方《便运:。行管理、减少能量】消耗作出的规定【第2款是为防止【交叉污染确》保电子产品质—量和:保护工作人员健【康以及安全运行【作出的规定第5款】是,为了方便《运行管理、减少【设备:投资和方《便安装调试》等作出的规定第6】款,是,。。。为了:方便运行管理、减】少风:管,尺寸等因素作出【的规:。定
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7.《1.5? 洁净《室(区)《内的新鲜《空气量应符》合现行国家标准洁净!厂房设计规范GB】 500《7,3,20:0,1中第6.1.5】条的规?定
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《7.1.6、7.】1.7? 洁净室(区)】与周围?的空间必须保持一】定的静压差这是为】了确保?洁,净室(区)的正常工!作状态或空》气平衡暂时受到破坏!时空气流只》能从空?气洁净度等级高的】。房间或区域流向【空气:洁净度?等级低的房间或【区域使洁净室(区)!内的空?气洁净度不会受到】污染空气的干扰
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由—于电子产品生产工艺!各不相同因此—。各类洁净室(区)所!要求的空气洁净度】不同;各个房间或】区域散发《的污染物《种类、发尘量不同】所以各类洁净—室(区)之间的静】压差只能随产品生产!工,艺,要求确定
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《。静压:差值的大《小应选择适当若压差!。值选择?。过小:。洁净室的《压差很容易被破坏洁!净室(区《)的洁净度就—会受到?影,。响若压差《值,选择过?大,就会使净化空调系】统的新风《量增:大,。空调负荷《增加同时使中—效、高效过滤器【使用寿命缩短故很不!经,济另外当室》。内静压差值高—于5:0Pa时门的开关就!。会受到?影响
国!际上现行的洁—净室标准中都—明确地规定》为了保持洁净室【(区)的空气洁净】度等级?免受外界的干扰对于!不同等级的洁净室之!间、洁净室与相邻】的无洁净《度级别的房》间之间都必须维【持一定的《静压差虽然各个国家!规定的最小压差【值不尽相《同但最小压差—值都在5Pa—以上
试!验研究?的结果表明洁净室】内正压值受》室外风速的影—响室内?正压值?要高于室外风速产生!的风压力当室外风速!大于3m/s时产】生的风压力接近【5Pa?;若洁净《。室内正压值等于【或小于5P》a时室外的》污染空气就有可【能渗漏到室》内,因此洁净室》与室外相邻时其最小!的,。静压差值应》该,大,于,5Pa所以规—定洁净室与》室外的?最小:压差为10P—a
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7.1.8! , 洁净室《(区)的送风、回】风和排风《。系统:的启闭联锁》。、控制要求》。应符合现行国家标】准洁净厂《房设计规范GB 5!00732001】中第6.《。。2, 4条的规定
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