6 —。 洁净建筑设计
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6.1 【一般规定
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6.1.1!、6.1.2 随!着科:学技术的发展—电子:产品生产发展很快】即使某一种电子产品!也常常需《要更新?换代或?生产工艺调整或【生产规模《的扩大?。一些老的电子产品根!据微型化、精—密化、高《可靠的要求将被淘】。汰而代之以新的产】品,电,子产品?生产工?艺技:术迅猛?发展:以大规模集成电【路,的特征?尺寸为例已从微米】发展到亚微米现今正!进,入纳米?级,集成电路的》研制和逐渐投入批】量生产;《再以TFT-L【CD生产发展状【况为例近几年来我国!虽然发展迅速已建】成第五代或筹建中的!第五、六《代,生产:线,已有多个厂家但在】国际上已进入—第七、?八代生产线》的建设所以》电,子工业洁净厂房的】建筑平面和空间【设计必须适应这种】电子产品迅速—发展和扩大生产需】要的灵活《性这里所说的灵活性!主要应理解》为,
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1 要能满!足生产工《艺改造和扩大生【产规模?。的需要实现在建筑】面积不?增加或少增加、【。建,筑高度?不改变的情况下进行!生产工?艺,和生产设备的调整
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2 电子!工,业洁净?。厂房的主体结构【宜采用大空间、大】跨度的?柱网以便适应产【品生产?工艺调整或》生产:规模的扩大或产品】的升级换代等需要
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3 电!子工业洁净厂房内】不,应采用内墙承重体】系避免因《承重内墙的固定不变!妨碍生产工艺或设备!的调整?为了强调电子工业洁!净,。厂房主?体结构设计》的特点制《定第6?.1.2条的规定】
6.】1.4 《 据了解近年由【于电子产品生产【线设备、生产环【境控制设《施的价格高、建【造昂:。贵这两部分的—造,价,。已占总造价的60%!以上有的《甚至达90》%以上因《此洁净厂房主体【。结构的?耐,久,性等应与之适应主】体结:。构形式、构造、【。。材质均?应选用符合安全【、,可靠、?耐火的要求
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6.1.5 !电子工业《洁,净厂房的技》术,夹层:、技术夹道》的,设置方式大体可分为!
1【 设有上技术夹】层、下技术夹层【的洁净厂房这种【形式常?常用于集成电路的芯!片生产或TFT【-LCD《生产用洁净厂房洁】净生产层吊顶上部】的技术夹《。层一般用于净—化空调系统的送【风静压箱或》安装循环送》风的空调机或—。FFU?装置和风管以—及动力管线层高一】般约:3m左右《;洁净生产层活动】地板:。和多孔板以》下的:。下技:术夹层一般》用于设置公》用动:力,设施及?。其管线也《是净:化空调?系,统的回?风静压箱层高一般约!4m这种形式的洁净!厂房一?般规模较大产品生】产工艺连续性强、】自动:化程度高常常—是全部或部分—。采用产品《生产:过,程的自动《化,传输装置《所以在?进行建筑平面、空间!布局和构《造设计?时应与工《艺设计、《公用动?力工程设计》密切:配合充分满足产品】生产工艺需要、自】动化传输要》求和各?种公用动力》。设施的?安装、维护要—求作:出满足?需要、方便运行管理!的建筑?。设计这种设置型式属!于垂直单《向流或混合流洁净】室
2】 设有技术—夹层、技术夹道的洁!净厂房这种型式可】用于各?类电子?产品生产的洁净【。厂房在洁净室(区)!吊顶上部的技—术夹层或《洁净室(区)一侧】。或两侧的技术夹【道主要用于安装空】气过滤器、》灯具、?。。。风管和各种公用【动力管?。线所以它们的建筑设!。计包括高度》或宽度的确定应满足!空,气,。过滤器?、灯具、风管和各种!。公用动力《管线的安装》、维护要求这种设】置型式属《于非单向流洁净【室
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