,
,
6 《 洁净?建筑设计
》
【
6.1 一般!规定
—。
,
6.》1,.1、6.》1.2 随着科学!技术的发《展电子产品生产发】展很快即使某一种】电子:产品也常常需要【更,新换代或《生产工艺调整或生产!规模的扩《大一些老的电子产】品根据微型》化、精密《化、高?可靠的要求将被淘汰!而代之?以新的产《品电子产品生产【工艺技术迅猛发展以!。大规模集成电路的】特征:尺寸为例《已从微米发展到亚微!米现今正进》入纳米级集成—电路的?研,制和逐渐投入—。批量生?产;再?以TFT-LC【D生产发展状况为例!近几年来我国—虽然发展迅速已【建成:第五代或《筹建中的第》五、六代生产线已有!多个厂家《但在国际上已进入第!七,、八代生产线的【建设所以电子—工业洁净厂房的【建,筑平面?。和空间?设计必须适》应这种?电子产品迅速—发,展和扩大生产—需要的灵活性—这里所说的灵活性主!要应理解为
!
:1 要能》满足生?。产工艺改造和扩【大生产规模的需要实!现,在建筑面积》不增加或少增加、】建筑高度《不改变的情况—下,。。进行:生产工艺和生产设备!的调整
—
2 电子工!业,洁净厂房的主体【结构宜?采用大空间、大【跨度的柱网》以便适应产品生产工!。艺调整?或生产规《模的扩大或产品的升!级换代等需要—
—3 :。 电子工业洁净厂】房内不?应,采用内墙承重体系避!免因承重内墙—的固定不《变,妨,碍生产工艺》。或设备的调整为了强!调电子工业洁—净厂房主体结构【设计的特点制定第】6.1?.2条的规》定,
—6.1.《4 据了解—近年由于《电,子产品生产线—设备、生《。产环境?控制设施的价格高、!建造昂贵《这两部分《的,造价已占总造价的】6,0%:以上有的甚至—达90?%以上因此洁净【厂房主体结构的耐】久性:等应与?之适:应主体结构形式、】构造、材质均应选用!符,合安:全、可靠、耐火的】要求
】6.:1,。.5 电子工业洁!净厂房的技术夹【层、技术夹道的设置!方,式大体可分》为
》
1 设—有上技术夹层、【下技术夹层的—洁净厂房这种形式常!常用:于集成电《路的芯片生产—或TFT-LC【D生产用《洁净:厂房洁净生产层【吊顶上部《。的技术夹层》一般用于净化—空调系统的送—风静压箱或安装循环!送风的?空调:机或FFU装置和】风管以及动》力管线层高一般约3!m左右?;洁净生产层—活动:地,板和多孔板以下【的下技术《夹层一般用》于设置?公用动力设施及其】管线也是净化空调系!统的回风静压—。箱层高一般约—4m这种形式的洁净!厂房:一般规?模,较大产品生产工【艺,连续:性强、自动化程【。。度高常常《是,全部或部分采—用产品?生产过?程的自动化传输装】置所以在进行—建筑平面、空间布局!和构造设计时—。应与工艺设计—、公用?。动力工程设计密【。切配合充分满足【产品:生产:。工艺需?要、自动化传输【要求和各种公用【。动力设施的安装、】维护要求作出—满足需要《、方便运行管—理的:建筑设计这》种设置型式属于【垂直单?向流:或混合?流洁净室
》
2 【 设有技术夹层、技!。。术,夹道的洁净》厂房:。这种型式可用于各类!。。电子产品生产—的,洁净厂房在洁—。净室(区)吊顶上部!的技术夹层或洁净】室(区)一侧或两侧!的技术夹道主要【用于安装空气—过滤:器、灯具、风—管,和各种公用动力管】线所以它们的建【筑设计包括高度或】宽,度的确?定应满足《空气过滤器、灯具、!风管和各种公用【动力管线《的安装、维护要求这!种设置型《式属于非单向流洁净!室,
: