6 洁】。净,建筑设计
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6.1!。 一般规定
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6.1.1】、6.1《.2 《随着科学技术的发展!电子产品生产发展】很快即使《某一种电子产—品也常?常需要更新换代【或,生产:工艺调整或生产【规模的扩《大一些老的电子产品!根据微?型化、精密》化、高可靠的要求将!被淘:汰而代之以新的产】。品电子产品》生产工艺技术迅【猛发展?以,大规模集成》电路的特征》尺寸为?。例已从微《米发展到亚微米【现今正进入》纳米级集成电—路的研制《和逐渐投入批量生产!;再以T《。FT-LCD—生产发展状况—为例近几年来我国】虽然发?。展迅速已建成—第五代或筹建中的】第五、六代生—产线已?有多个厂家但在国际!。上已进入第七、八代!生产线的建设—所以电子工》业洁净厂房的建筑】平面和空间设—计,必须适应这种电【子产品迅速发展和】。扩,大生:产需要?的灵:。活性这里所说—的灵活性主要应理】解为
1! 要能满足—生产工艺改》造和扩?大生产规《模的需要《实现在?建筑面积不增加或少!增加、?建筑高度《不改变的情》。况下进行生产工艺和!生产设备的调整
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2 — 电子工业洁净厂】房的主体结构—宜采用大空》间、大跨《度的柱?网以便适应产品生产!工艺调整或生产规】模的扩大或产品的】升级换代等》需要
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3 《电子工业洁净厂房】内不应?采用:内墙承重体》系避:免因承重《内墙的固定不变【妨碍生产工艺或设】备的调整为了强调电!子工业洁净厂房【主体结构设》计的特点制定—第6.1《.2条?的规定
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6》.1:.4 据了—解近年由于电子【产品生产线设备、】。生产环境《控制设施《的价格高、建—造昂贵这两部分【的造价已占总—造价:的60%以上有的甚!至,达90%以上因此】。洁净厂房主体结【构的:。耐久性等《应与之适应主—。体结构形式、构造】、材:质均应选用》符,。合安全、可靠、【。耐,火的要求
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6.1.5 电!。子工业?洁净:厂房的技术》夹层、技术夹道的设!置方式大体可分为】
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1 《设有上技术夹层、下!技术夹层的》洁净厂房这种形【式常常用于集—成电:路的芯片生产或T】FT-LCD生【。产用洁净厂房洁【净生产层吊顶上部】的技术?夹层一?般用于净化空调系】统的送风静压箱或安!装循环送《风的空调《机或F?FU:装置和风管以及【动力管线层高一般约!3m左右;洁净【生产层?活动地板和》多孔板以下的下技】术夹层一般用—于设:置公用动力》设施及其管线也是】净化空?。调系统的回风静压】。箱层高一般约4【。m这种形式的—洁净厂房一》。般规模较大》产品生?产工艺?连续性?强、自动化程—度高常?常是:全部或部分》采用产品生产—过,程的自动《化传输装置所以在】。进行建筑平》面、空间布》局和构造设》计时应?与工艺设计、—公用动力工》程设计密切配合充分!满足产品生产工艺需!。。要、:自动化传输要求和】各种公用动力—设施的安装、—维护要求作出满足需!要、方?便运行管理的—建筑设计这种设置】型式:属于垂直单向流或混!合流洁?净室
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2 设有技术夹!层、技?术夹道的洁》净,。厂房这?种型:。。。。式可:用于各类《电子产?品生产的《洁净厂?房在洁?。净室(区)》吊,顶上部的技》术夹:。层或洁净室》(区)一侧或两侧的!技术夹道主要—用于安?装空:气过滤器、灯具、风!管和各?种公:用动力管线所以它】们的建筑设计包【括高度或宽度的确】定应满足空气—过,滤器、灯具、风【管和各种公》用动力管线》的安装、维护—要求这种设置—。型式属于非单向流洁!净室:
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