《6 : 洁净建筑设计
!
【
6.?1 : 一般?规定
!
6.1《.,1、6.1.2 】 随着科《学技术的发展电【子产品生产发展很】快即:使某:一种电子产品也【常常需要《更新换代或生产工】艺调整或生产规【模的扩大《一些:老的电子产品根据微!型,化、精密化、高可】靠的要求将》被淘汰而《代之:以,新的产品电》子产品生产工艺【技术迅猛发展以【大规模?集成电?路的:特征尺寸为例已从微!米,发展:到亚:微米现今《正进入纳《米级:集成电路的研制和逐!渐,投入批?量生产;《再以T?FT-LCD生【产,。发展:状况为例近几年来】我国:虽然发展迅速—已建成第五代或筹】建,中的:第五、六代生产线】已有多个厂家但在国!际上已进入第七【、八代生产线的建】设,所以电子工业洁净】厂房的建筑平面和空!间设计?。必,须适应?这种电子产》品迅速?。发展和扩《大生:产需要?的灵:活,性这:里所说的灵活性主】要应理解为
【
?
,1 要能满—足,。生产:工艺改造和扩大生】产规模的《需要实现在建—筑面积不《增,加或少增加、建【筑高度?不改:变的情况《下进行生产工—艺和生?产设备?。的调整
【
:2 ?。电子:工业洁净厂房的主】体结构宜采用大空间!、大跨度的柱网以】便适应产品生—产工艺调整或生产规!模的扩大《或产品的升级换【代等需要
】
3 《 ,电子工业洁净—厂房内不应采—用,。内墙承重体系避免】因承重内墙的—固定不变妨》碍生产工艺或—设备的调整》为了强调电子工业】洁净厂房《主体结构设》计的特点制定第【6,.1.2条的规【定
【6.1.4 据了!解近年由于电子【产,。品生产线《。设,备、生产《环境控?。制设施的《价,格高、建造》昂,贵这两部分的造【价已:占总:造价:的60%以上—有的甚至达90%】以上因此《洁净厂?房主体结构》的耐久性《等应:与之适应主体—结构形式、构造【、,材质均应选用符【合安:全、:可靠、耐火的—要求
6!.1:.5 电》子工业洁净厂房的技!术夹层、技术—夹道的设《置方式大体可—分为
—
1 《 设有上技术夹【层、下技术夹层【的洁净厂房这种【形式:常常用?于,集成电?。路的:芯片:生产或TF》T-LC《D生产用洁净厂房】洁净:生产层吊顶》上部:的技术夹层一般【用于净化空调系【统的送风静压箱【或安:装循环送风的空调机!或FFU装置—。和风管以及动力管】线层高一般约3【m左:右;:洁净生产层活—动地板和多孔板以】下的下技术》夹层一般用于设置】公用动力设》。施及其?管线也是净化—空调系统的回—风静压箱层高一般】约,4m这种形式的洁净!厂房一般《规模较?。大产品生产》工艺连续性强、自动!化程度高常常—是,。全部或部分采用产品!生产过程的自动化传!输装置所以在进【行建筑平面、空间布!局和构造设计—时应与工艺设计、】公用动?力工程设计》密,切配合充分满—足产品生产工艺需】要、自动《。化传输要求和各种】公用动力设施的【安装:、维护要求作—出满足需《要、方便运行管理的!建筑设计《这种设置《型式属于垂直—单向流或混合流洁净!室
?
2》 设有技术夹【层、技?术夹道的洁净厂房这!种型式可用于各类】电,子,产,品生产的洁净—厂房:在洁净?室(区)吊顶—。上部的技术夹—层,或洁净室(区—)一侧或两侧的【技术夹道主要用于】安装空气过》。滤器、灯具、风管和!各种公用动力管【线所以它们的建筑设!计包括高度或—宽度的确定应—满足空气过滤器、】灯具、风管和各种】公用动力《管线的安装、维【护要求这种设置【型式属于非》单向流?洁净室
》