安全验证
6》  洁净建筑设计 ! ? 6.1!  一般规定 ! , 《6.1.1、6.】1.2  随着科学!技术的发展电子产品!生产发展很快—即使某一种电子产品!也常常需要更新换】代或生产工》艺,调整或生产规模的】扩大一些老的电【子,产品根据微型化【、精密化、》高可靠的要》求将被淘汰而代之】以新的产《品电:子产品?生产工艺技术迅猛】发展:以大规模集成电【路的特征尺寸—为例已从微米—发展到亚微米现今正!进入:纳米级集成电路的研!制和:逐渐投入批量生【产;:再以TFT-LC】。D生产发展状况为例!近几:年来我国虽然发展】迅速已建成第—。五,代,或筹:建中的第五、六代生!产线已?有多:个厂家但在》国际上已进》入第七、八代—生产线?。的建设?所以电子工业—洁净厂房《的,建筑平面和》空,间设计必须适应这种!电子产品迅速—发,展和:。扩大生?。产需要的灵》活性这里所说的灵】活性主要应理解为 !。 1 【 要:能满足生《产工艺改造和扩【大生产规模的需要】实现在建筑面积【不增加?或,少,增加、建筑高度不】改变的情况下进行】生产工艺和》。生,产设:备的调整 】 2  电子工】业洁净厂房的主体结!。构宜采用大空间【、大跨度的柱—网以便适《应产品生产工艺【调整或?生,产规模的扩》大或产品的升级【换,代等需要 【 : 3  《电子工业洁》净厂房?内不应采用》内墙承重体系避免】因承重内《墙的固定不变妨碍生!产工艺?或设备的《调整为了强调电子】。。工业洁净《厂房:。主,。体,结构设计的特点【制定第6.》1.:2条的规定 — 6.【1,.4 ? 据了?解近年由《。于电子产品生—产线设?。备、:生产环境《控制设施的价格高】、建造?昂贵这?两,部分的造价》已占:总造价的60%以】上有的甚至达90%!以上因此洁》净厂房主《体,结构的耐久性—等应与之适应—主体结构形式、构造!、材质均应》选用符?。合安全、《可靠、耐火的—要求 《 :。 6.1.5 】 电子工业洁净厂】房,的,技术夹层《、技术夹道的设置方!式大体可分为 】 1  【设,有上技术夹层、下】技术夹层的洁净厂】房这种形式常—常用于集成电—路的芯片生产或TF!T-LCD生产【用洁净厂房洁净生产!层吊顶上部》的技术夹层一般用】于净化空调系统的】送风静压箱》或安装循环送风【的,空调机或F》FU装置《和风管以及动—力管线?层高一般约3m左右!;洁净生产层活【动地板和多》孔板以下的下技术夹!层一般用《于设置公用动力设】施及:其管线也是净化空】调系统的回》风静压箱《。层高一?般约4m这种形式】的洁净厂房一般规】模,较大产品生产工【艺连:续性强?、自动化程度高【。常常是?全部或部分采—用产品生产过—。程的自动化传输装置!所以在进行建筑【平面、空间》布局和构造设—计时应?与工艺设计、—公用动?力工程设计密切【配合充分《。。。满,足产:品生产工《。艺需要、《自动化传输要求【和各种?公用:动力设施的安装、维!护,。要求作出满足需要、!方便运?行管理的建筑设计这!种设置型式属于垂】直,单向流或混合—流洁净室 —。 ? ,2  设有》。技术夹层、技—术夹:道的洁净厂》房这种型式》可用于各类电子产品!生,产的:洁净厂房在洁净室】(区)吊顶上部【的技术夹层或洁净】室,(区)一侧或—。两侧的技术夹道主要!用于安装空气过【滤器、灯具、—风管和各种》公用:动力管?线,所以它们的建筑【设计包括高度或【宽度的确定》应满足?空气过?滤器、灯具、风【管,。和各种公用动力管】。线的安装、维护【要求这种设置型式】属于非单向流—洁净:室 ?