6 洁】净,建筑设计
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6.1 一】般规:定
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:6.1.《1、6?.1.?2 随着科—学技术的发展电子】产品生产发》展,很快即?使某一种电子—产品也常常需要【。更新换代或生产工】艺调整或生产规模的!扩大一些老》的电子产品根—据微型化、》精密化、高可靠的】要,求将:被淘汰而代》之以:新的产品电子产品生!产工艺技术迅猛【发展以大规模集成电!路,的特征尺寸为例已】从,。。。微米发展到亚微米】。现,今正进入纳米级【集成:电路的研制和逐渐】投入批量生产;【再以TFT-LCD!生产发展状》况为例近几年来我】。国虽然发《展迅速已建成第五】代或:筹建:中的第五、》六代生产线已有多个!厂家但在国际—上已进入第七、八代!生产线的建》设所以电子工业【洁净厂房的建筑【。平,。面和空间《设计必须适应—这种电?子产品迅速》。发展和?扩,大生:产需要的灵》活性这里所说的灵活!性主要应理解为
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1 【要,能满足?生产工艺改造和扩】大生产规模的需【要实现在建筑面积不!增加或少增加—、建筑?高度不改变》的情况下进行生【产,工艺和生《产设备的调整
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2— 电子工业洁净】厂房的主体》。结构宜采用》大空间?、,。大跨度的柱网以便适!应产品生产工艺【调整或生产规模的】扩大:或产品的《升级换代《等需要
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3 电子工业洁!净厂:房内:不应:采用:内墙承重体系避【免因承重内墙的【固定:不,变妨碍生产工艺【或设备的调整为了】。强调电子工业—洁净厂房主体—结构:设计:的,特点制定第6—.1.2条的规定】
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6.1】。.4 据了解【近年:由于电子产品生产】线设备、生产环境控!制设施的价格高、】建造昂?贵这两部分》的造价已占》总造价?的60%《以,上有的甚至达90%!以上因此洁净—厂房主体结》构的耐久性等应与】之,适应主体结》构形式、构造、材】。质均:应选用符合安全、可!靠、耐火的要求【
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6?.1.?5 电子》工业洁净厂》。房的技术夹层、技】术夹道的设》置方式?大体可分为
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1 】设有上技术》。夹层、下《技术:夹层的洁净厂房这】种形式常《常用于集成电路【的芯片生产》或TF?T-L?CD生产用洁净厂】房洁净生产层吊【顶上部的技术夹层一!般用于净化空—调系统的《送风静压箱或安装循!。环送风的空调机或F!。FU装置和风—管,以及动力管线层高一!般约3m左右;【洁净生产层活动【地板和多孔》板以下的下》技术夹层一般用【于设置公用动力设施!及其管线也》是净化空调》系统的回风静压箱层!高一般约4m这种】形式的?洁净厂房一般规【。模较大产品生产【工艺连续性强、【自动:。化程度高常常—是全部或《部分采?用产品生《产,过,程的自动化传—输装置?所以在进行建筑平面!。。、空间布局和构【造设计时应》与工:艺设计、公用动力工!程设计密切配—合充分满足》产品:生产工艺需要—、自动化传输要【求和各?种公用动力设—施的安装、维护要】。求作出满足需要、】方便运?。行管理的《建,筑设计这种》设置型式属于—垂直:单向流或混合流洁】净室
2! 设?有技:术夹层、技术夹【道的洁净厂》房这种型式可—用于各类电》子产品生产的洁净厂!房,在洁净室(区)吊】顶上部的技术夹层】或洁净室《(区)一侧或两【侧的技?术夹道主要用—于安装?空,气过滤器《、灯具、《。风管和各种》公用动力管线—。所以它们的建—筑设计?包括高度或》宽度的确定应满【足,空气:过,滤器、?灯具、风《管和各种公用动力】管线的安装、维护要!求这种设置型—式属于非单向流洁】净室
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