6》。。 , 洁净建筑设计
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6.】1 一般》规,定
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6.1.1—、6:.,1.2 随着【。科学技术的》发展电子产品生产】发展很快《。即使某一种电子【产品也常常需要【更新换代或生产工艺!调整:或生产规模的—扩大一些老的—电子产?品根据微型化、精】密化:、高可靠的要求将】。被,淘汰而代《之以新的《产品电子产品生产工!艺技术迅猛》发展以大规模—集成电路的特—征尺寸?。为例已从微》米发展到亚微米【现,今正进入纳米级【集成电?路的研制和》逐渐投入批量生产】;再以TFT-LC!D生产发展状况为】例近几年来我国虽】。然,。发展:迅速已?建成第五代》或筹建中的》第五、六代生产【线已有多《个厂家但《在国际上已》进入第七《、八代生产》线的建设所以电【。子工业洁净厂—房的:建筑平面和空间设】计必:须适:应这种?电子产品迅速发展】和扩大生产》需要的?灵活性这里》所说的灵活性主要应!理解为
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1 要能满】。足生产工艺改造和】扩大生产《规模的需要实现在建!筑面积?不增加或少增加、】建筑高度不改变的】。情况:下,进行生?产工艺和生产设备的!调整
】2 : 电子工业洁净厂】房的主体结》。构宜:采用大空《间、大跨度的—柱网以便适应—产品生?。产工艺调整或—生产规模的扩—大或产品的》升,级换代等需要—
—3 电子工业【洁净厂?房内不应采用内墙承!重体:系避免因承重内墙的!固定不?变妨碍生产工—艺,或设备的《调,整为了强调电子工业!洁净:厂房主体结》。构设计的特点—制定第6.1.2】条的规?定
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6.1—.4 据了解【近年由于电子产品】生产线设《备、生产环境控【制,设施的价格》高,、建造昂贵这两【部分的造价已占【总造价的60%【以上有?的甚至达90%以】上因此洁净厂—房,主体结?构的耐久《性等应与之适应【主体结构《形式、构造、—材质均应选用符合安!全、可靠、耐火的要!求,
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6.1》。.5 《电子工?。业洁净?厂房的?技术夹层、技术夹】道的:。设置方式大》体可分为
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1 设有上技】术夹:层、下技术》夹层的洁净厂房这】种形式常常用—于集成电路的芯【片生产或T》FT-LCD生产用!洁净厂房《。洁净生?产层吊?。顶,上部的技术》夹层一般用于净化】空调系统《的送风静压箱—或安装循《环送风的空调—机或FFU》装置和风《管以及动力管线层】高一般约3m左【右;洁净生产—层活:。动地板?和多孔?板以下的下技术夹】。层一般用于设置公】。用动:力设施及其》管线:也是:净化空调系》。统的:回风静?压箱:。层高一般约》4m这种形式—的,洁净厂?房一般规模较大产品!生产工艺连续性强】、自动化程》度高常?常是全部或部—分采用产品生—产过程的自动化传】输装置?所以在?进行建?筑平面、空间布【局,和构造设《计时应与工艺—设计:、公用动力》工程设计密》切配合充分满足产品!生产工艺需》要、:自动化传输要求和】各种公用动力—设施:的安装、维护—要求作出满足需要】、方便运行管—理,的建筑?设计这?种设置型《式属于?。垂直单向流》或混合流洁净室
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2 》 设有技术夹层、】技术夹道《的洁净厂《房,这,种型式可用于各类】电子:产品生产的洁净厂】房在洁净《室(区)《吊顶上部的》技术夹层或洁—净,室(区)一侧—或两侧的《技术夹道主》要,用于安装空气过滤】器、灯具《、风:管和各种公》用动力管线所以它】们的建筑设》。计包括高《度或宽度的》。确定应满足空气过滤!。器、灯具、风管【和各种公用动—力管线的安》装、维护《要求这种设置—型式属于非单向【。流洁净室
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