?
6 洁净建【。筑设计
—
6.!1 : 一般?规定
《
,
6.【1,.1、6.1.2】 :随着科学技术的【发展电子产品—生,产,发展很快即使某【一,。种电子产品也常【常需要更新换代或】生产工?艺调:整,或生产规模的—扩,大一些?老的:电子产品根据微【型化:、精密化、高可靠的!要求将被淘汰而【代,。之以新的产品电子产!品生产工艺技—术迅猛发展以—大规:模集成电路的特征尺!寸为例?已从微米发展到亚微!米现今正进》入纳米级集成电【。路的研?制和逐渐《投入:批量生产《;再以TFT-L】CD生产发》展状况为例近—几,。年来我国虽然发【展迅速已建》成第五?代或筹建中的第五】、六代生《产线:已,有多个厂家但在国际!上,已进入?第七、八《代生:。。产线的建设所以【电子工业洁净—厂房的建筑》平面和空间》设计必须适》应,这种电子产品—迅速发展和扩大生】产需要?的灵活性这》里所:说的灵活性主要【应理:解为
】1 要能满足生】产工艺改《造和:扩大生产规模—的需要实现在建【筑面积不增加—或少增加《、建筑高度》不改变的情》况下进行生产工艺】和,生产设备的调整
!
2 电】子工业洁《净厂房的主体结【构,宜采用?大空间、大跨度的】柱网以?便适应?产品生产工》艺调整或生产规【模的扩?大或产品的升级换代!。。等需要
《
3 电!子工:业洁净厂房内不【应采用内墙承—重体系避免因承【。重内:。墙的固定不变妨【碍,生产工艺或设备【的调整为《了强调?电子工业洁净—厂,房,主体结构设计的【特点制定《第6.1.2—条的:规定:。
,
:
6《.1.4《 据了解近年由】于电:子,产,品生:产线设备、》生产环境控制—设施:的价格高、》建造昂?贵这两部分的造【价,已占总造《价的60%以上有】的甚至达90—%以上?。。因此洁净厂》房主体?结构的耐久性等应与!之适应主体结构【形式、构《造、材质均应—选用符合安》全、可靠、》耐火的要《求
6】.1:.5 电子工业】。洁净厂房的》技术:夹层:、,。技术夹道的设置方式!大体可分为
—
1 设!有上:技术夹层、下技术】夹,层,的洁净厂房这种形】式常常?用于集成电》路的芯片生产或TF!T-LCD生产【用洁净厂房洁—净生产层吊顶上部】。的,技术夹层一般用【。于净化空调》系,统的送风静压箱或】安装循环《送风的空调》机或FFU装—置,和风管以及动力管】。线层高一般约3【m左:右;:洁净生产层活动地板!和多:孔板以下的下技【术夹层一般》用于设置《公用动?。力设施?及其管线也》是净化空调系统的】回风静压箱》层高一般约》4m:。这种形式的》洁净厂房一般—规模:较大产?品生产工艺连续【性强、自动化程度高!常常是全部或部分】采,用产品生产过程【。的自:动化传输《。装置:。所以在进行建筑平面!。、空间布《局和构造设计—时,应与工艺设》计、公用动力工【。。程设计密《切配合充分满—。足产品?生产工艺需》要、自动化传—输要求和各》种公:用动:力设施的安》。装、维护要》求作出满足》需要、方便运—行管理的建筑设计这!种设:置型式属《于垂直单向流或混】合流洁净室》
—2 ?设有技术夹层、技术!夹道的?洁净厂房这种型式】可用于?各类电子产》品生产的洁净厂【房,在洁净室(区)吊顶!。上部的技《术夹层或洁净室(】区)一侧或》两,侧的技术夹道主要用!。于安装空气过滤器、!灯具、风《管和各种公》。用动力管《线所以它们的建筑设!计包:括高度或宽》度,的确定应《满足空?气过滤器《、灯具、《风管和?各种公用动力管【线的安装、维—护要:求这种?设置型式属于非【单向流洁净》室
?