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6 —洁净:。。建筑:设计
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6.1 】。一般:规定
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6.1.1【、6:.1.2 随着科!学技术的发展—电子产品《生产发展很快—。即,使某一?种电子产品也—常常需要《更新换?代或生产工》艺调整或生产规【模的扩大一些—老的电子产品根据微!型化:、,精密化、高可—靠的要求《。将被淘汰而代之以】新的产品电子—产品生产《工艺技?术迅猛发展以大规】模集成电路的特征】尺寸为例已从微【米,发展到亚《微米现今正进入纳米!级集成?电路的?研制和逐渐投—入批量生《产,。;再以TF》T,-LC?D生产?。发展状?况为例近几年—来我国虽然发—展迅速已建成—第五代或筹建中【的第五、六代生产线!已有多个厂家—但在国际上已进入】第七、八代生产【线,的建设所以电子【工业洁净厂房的建】筑平:面和空间设计必须】适应这种电》子产品迅速》发展和?扩大生产需要—的灵活性这里所【说的灵?。活性主要应理解为】
—1, 要能满足生产工!艺改造和扩大生产规!模的:需要实现在》建筑面积不增加或】少增加、建筑高【。度不:。。改变的情况》。下进行生产工艺和】生产设备的调—整,
2 !。电子:工业洁净厂房—的主体结构宜采用】大空间、大跨—度的柱网以》便适应产《品生产工艺》调整或生产》规模的扩大》或产:品的升级换》代等需要
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3 电!。子工业洁《净厂房内不应采用内!墙承重体《系避免因承重—内墙的固定不变妨】碍生产工艺或—设,。备的调整为了强调电!。子工业洁《净厂房主体结构【设,计的特?点制定第《6.1.2条的【规定
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6.《1.4 据了解】近年由?于电子产品生产【线设:备、生产环境控制】设施的价格》高、建造《昂贵这两《部分的造价已—占总造价的60%以!上有的?甚至达90》%以上因此》洁净厂房主体结【。。构,。的耐久?性等应与之适应主体!结构形?式、构?造、材质均应选用】符,合安全、可靠—、耐火的要求
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6.1.】5 ?电子:。工业洁净厂房的技】术夹层、技》。术夹道的设置方【式大体可分为—
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1 设有上技!术夹:层、下?技术夹层的洁净厂房!这种:形式常常用于—集成电路《的芯片生产》或TFT-LC【D生产用洁净—厂,房洁:净生产层《吊顶上?部的技术夹层—一,般用于净化》空调系统的》送风静压箱或—安装循环送风—。的空调?机或FFU》装,置和风管《以及动力管线层高】一般约3m》。左右;洁《净生产层活动地板和!多孔板以《下的下技术夹层【一般用于设置公用动!力设施及其管线也是!净化空?调系统的回风静【压箱层高一般约4m!这种形式《的洁净厂房》一般规模较》大产:品,生产工艺《连,续,。性强、自动化—程度高常《常是全部或部分采】用产品生产过程的自!动化:传,输装置所以在—进行建筑平》。面、空间布》局和构造设计—时应:与工艺设《计、公用《动,力工程?设,计密切配合充分【满足:产品生?产工:艺需要、《自动化传输要求和各!种公用动力设施的安!装,、,维护要求作出满足需!。要、方便《运行管理的建筑设计!这种设置型式属于垂!直单向流《或混合流洁净室
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《2,。 , 设有技术》夹层、技术夹道【的洁净?厂,房这种型《式可用于各类电子产!品生产的洁净厂房】。在洁净室(区)【吊顶上部的技术夹层!或,洁净室?(区)一侧或两侧】。的技术夹道主要【用于安装空气过滤器!、灯具、风管和各】种公用动力管线【所以:它们的建《筑设计包括高度或宽!度的确定应满足【空,气,过滤器、灯》。。具、风管和各—种公:用动:。力管:。线的:安装、维护》要求这种设置型式属!于非单向流洁净室】
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