？ 5：.5  设备及工】。器具： ：。 5.5！.1：～5.5.3  在！这三条？的条文？。中规定了为实现在洁！净室(区《)内使用《防尘、防污染的生产！设备和辅助生产设备！在工艺设计和选【用设备？时应该遵《循的一些基本—要求 《 1  【设备表面《光洁、易清洁—。、不积尘《、，不挥发化《。。学物质这里不—能只理解为》设备：外表面应该包括【设备的？所有可能与洁净室】。(区)生产环境接】触的表面《和可能与电子产【品生产过程》接触的表面》也包括这些表面的】制作材料某些电子】产品与一些》。化学物？质，在制作过程中或在】电，子产：品的使用过》程中可能《发生化学反应影【响某些电子产品的】性，能参数所以》要求设备表》面不：挥发化学物质— 2【  在电子工业【洁净室(区)内常常！按产：品生产工艺要求【配置有在《生产运行中将会【散发微粒或排—。热，量大或排出有毒、可！燃气体的设备如半导！体器件、集成电路】生产中的扩散—。炉、外延炉、刻蚀机！、离子注入设备、】气相沉积设备—。等此类设备一般均设！有，局部排风设施即第5！.5.1条第—3款所称“防扩散】措施”有的设备还】。。配带有专用》尾气(排气)处理设！备，对所：排出的高《浓度有害气》体或有毒或可燃气】。体进行处理后才【能经过洁净》厂房中设置》的，。相关排？气系统排出 【。 3 — 由：于电：子产品生产工—艺的需要某些设【备必须跨越不—同空气洁净度等级】的洁：净室(区)时应采取！固定隔断《或洁净？空气幕等可》靠的密封隔断措【施，。 《 4  为—保护洁净《室，(区)内工作人【员的身体健康本规范！第3.2.5条规定！了洁净室《(区)内《。噪声容许值因—此安：装在洁？净室(？区)内的《设备应选用符合要求！的低噪声设备—但由于？电子产品生产过程】或设备设计、运行条！件的限制所选—设备超过洁》净室噪？声容许？值时应根据具体工】。程项目的实际条件】采取：相应的隔声措施如操！作，间隔声？、隔声？值班室、隔》声罩、隔声》。屏等 《 5.—5，。.，5  本条的规【定是对洁净室(【区)电子产品生产】过程中存放、—传，送各种？材料、中《间产品或零部件使用！的专用容《器的设计、》制作及其材料—等，的基本要求由于电】子产：品种类繁《多它们在生产过程的！存放：。、传：送条件和要求—。有较大差异所以【本条是推荐》性条：文对于某些电—子产品？如集成电路的芯【片生产用专用容器】应遵：。循本条？文的1～4》款的规？定并且由于芯片【的集：成度的不同或运送】的材料、中间—产品的状态不同【专，用容器中充》填的氮气纯》度要求也会有所不同！；而对另一些电【子产品生《产过程用专》用容：器只需按《其生产？。工，艺，特点遵循本》条中的相关规定 】 ？ ， 5.5.6  本！条为：强制性条文其—编写的依据是 ！ 1  电子】工业洁净厂房—中常常设置有—各种类型的真空【泵用于电《子，产，品生产过程中的抽】真，。空或用于排》气等：是生产工艺》设备的辅助设备或就！是生产工艺设备【。的，一部分各种类型的真！。空泵一般安装—在洁净室《(区)内的生产设】备邻近？处或配套组装在【。生产工艺设备上有】的则安装在洁净【室(区)的辅—助生产间或技术支持！区内 》 ： 为了确保》洁净室(区)的正常！生产避免安全事【故的发？生应对设置在洁净】室(区)内的有油润！滑，的真空？泵、：输送含有《可燃气体《的真空？泵传输？易燃、自燃》化学品或高浓度含氧！气体或氧化》性化学品的真—。空泵等？。。设置：。必须的安全》技术措施为此制定了！本条的？规定 】2  参照美—国消防协会》(NFP《A)标准《NFPA 318】洁净室消防》标准(Stan【。da：rd for t】he pr》ocection ！o，f cleanro！om)第8.—6.1条和第8.】6.：。2条规定在》。本条：中，作出：。了相关规定》 ：