5.—5  设备及工器】具 ： 5.！5.1～5.—5，.3 ？ 在这三条的条文】中规定了为实—现在洁净室》(区：。)内使用防尘、防污！染的生产设备和辅】助生产设备在—工艺：设计和选用设备时】应该遵循的一—些基本？要求： ， 1  设！备表面光洁、易清洁！、不积尘、不—挥发化学《物质这里《不能只理解为设备外！表面应该包》括设备的《所有：可能与洁净》室(区)生产—。环境接触的》表面和？可能与电《子产：。品生：产过程接触的表面也！包括：这些表面《。的，。制作材料某些—电，子产品与《一些化学物》。质在：制作过程中或在电子！产品的使《用过程中可能发【生化学反应影—响某些电子产品【的性能参数所以要】求设备表面》不挥发化学》物质： ， 2 【 在电？子工业？。洁净室(区)—。内常常按《产品生产工》艺，要求配置有在生产运！行中将会散发微粒】或排热量《大或排出《有毒、可燃气体的设！备如半导体器—件、集成电路生产】中的扩散炉、外延】炉、刻蚀机、—离子注入设备、【气相：沉积设备等》。此类设备《一般均设有局部排风！设施即第5》.，5.：1条第3款所称“】防扩散措施》”有的设备》还配带有专用—尾气(排气》)处理设备对所排出！的高浓度有害气【体或有毒或》可，燃气体进行处—理，后才能？经过洁净厂房—中设置的相关排【气系统排出 】 ？。3  由《于电子产品》。生产工艺的需要【某些设备必须跨越不！同空气洁净度等级】。的洁净室(区)时应！采取固定隔断或【洁净空气幕等可靠的！密封隔断措施— 4【  为保护洁净室(！区)内工《作人员的《身体健康本》规范第3.2.【5条规定了》洁净室(区)内噪声！容许值因此》安装在？洁净：室(区)《内的设备应选—用符合要《求的低噪声》设备：但由于电子产品【生产：过，程或设备《设计、运行条—件的限制所选—设备超？过洁净室噪》。声，容许值时应》根据具体工程项目的！实际条件采取相【应的隔声措》施如操作间隔—声、隔声值班室、】。隔，声罩、隔声屏等 】 ： ： 5.5.5—  本条的规定是】对洁净室(区)电】子产：品生产过程中存放】、传送各种材料【、中间产品或零【部，件，使用的专《用容：器的设？计、制作及》其材：料等的基本要求【由于电子产品—种类繁多《。。它们在生产》过程的存放、传送】条件和要《求有较大《差异：所以本条是推—荐性：。条文对于某些—电子产品《如集成电《路的芯片生》产用专用容器—应遵循？。。本条文？的1～？4款：的规定并且由于【芯片的集成度的不】同或运送的材—料、中？间产品的状态不同专！用容器中充填—的氮：气纯度要求》也，会有：所不同；而对另一些！电，子产品生产》过，程用专用容器只【需按其生产工—艺特点？遵循：本条中的《相关规定 》 5—.5.6  —本条为强制性条【文，其编写的依据是【 1【  电子工业洁净厂！房中常常设》置有各种类型的真空！泵用于电子》产品：生产过程《中的：抽真：空或：用于：排气等是生产工艺设！备的辅助设》备或就是生》产工艺设备的一【部分各种类型的真空！。。泵一般安装在洁【净室(区)内—的生：产设备邻近处或配】套组装在《生产工艺设备上有的！则安装在洁净室【(区)的辅助—生产间或技术支持】区内 】为了确保洁净室【(区)的正常—生，。产避免安《全事故的发生—应，对设置在洁净室【(区)内的有油【润滑的真空》泵、输送含有—。可燃气体的》真空泵传输易燃、自！燃化学？品或高浓度含氧气】体或氧化性》化学品的真空泵【等设置必须的安【全技术措施为此【制定了本条的规【定 — 2  参》照美国消防》协会(NFPA)标！准NFP《A 31《8洁净室消防标准】(Sta《ndard》 f：or the p】roc？ectio》n of 》clean》。r，oom)《第8.6.1条和第！8.6？.2条规定在本条中！作，出了相关《规定 《