5.5【  设？备，及工器具 》。 《 ，。 5.5》.，1～5.5.3【  在这三条的条文！中规定了《为实现在洁净室【(区)内使用防尘、！防，污染的？生产设备和辅助生产！设备在工艺》设，计和：选，用设备时应该—遵循的一些基—本要求 《 ： 1  设备】表面光洁、易清【。。洁、不积尘、不挥】发化学物质这里【不能只理《解为设备外表面应该！包括：设备的所有可—能与洁净室(区)生！产环境？接触的表面和—可能与电子产品生】产过程接触的表面】也包括这些》表面的制作材—。料某些电子产品【与一些？。化学物质在制作过程！中或：在电子产品的使【。用过程？中可：能发生化学反应【。影响某些电子—产品的性能参数【所以要求设》备，表面不挥发化学【物质 》 2《。  在电子》工业洁？净室(区)内常常按！产品生产工》艺要求配《置有在生《产运行？中，将会散发微粒或排热！量大或？排出有毒、可—燃气体？的设备如半导—体器件、集》成电路生产》中的扩散炉、外延炉！、，刻蚀：机、离子注入设备、！气相沉积《设备等？。此类设备《一般均设有》局部排风设施—即第5.5.1条第！3款所称“防—扩散措施”有的设】备还配带《有专：用尾气(排气)处】理设备？对所排出《的高浓度有》害，气体或有毒或可【燃气体进行处理【后才能经过洁净【厂房中设置》的相关排《气系统排出 ！ 3  由—。。于电子产品》生产工艺《的需要？某，些，设备必须跨越—不同空气洁净度等级！的洁净室(》区)时应采取—固定隔断或洁净空气！幕等可靠的密封【隔断措施《 4 】 为保护《洁净室(区)内工】作人员的《身体健康本规范【第3.2《.5条规定了—洁净室(区)内【噪声容许《值因此？安装在洁净室(区)！内，的设备？应选用符合要求的】低，噪声设？备但由于电子—产品生产《过程或设备》设计、运行条—件的限制所选设备超！过洁净室《噪声容许值时应根据！具体：工程项目的实—际条件采取》相应的隔声措施【如操作间隔声、隔】声值：班室：、隔声罩、隔—声屏等 《 5.5】.5  本条—的规定是对洁净室(！区)：电子产品生产过程中！。存放、传送各—种材料、中》。间产品？或零部件使》用，的专用容《器，的设计、制作及【其材料？等的基本《要求由于电》子产品种类繁多它们！在，生产过？。程的存放、》传送条？件和要求有》较大差异所以—本条是推荐性条文】对于：某些电子产品—如集成电路的芯【片生产用《专用：容器应遵循本—条文的1《～4款？的规定并且由于【芯片的集成度的不】同或运送的材料、】中间产品《的状态不同》专用容器中充填【。的氮气纯度要—求也会有所》不同；而对另一些】电子产品生产过【程用专用容器只需】按其生产《工艺特点遵循本【条中的相《关规定 《 5.【5.6？  本条为》。强制性条文其编【。写的依据是》 1【  电？子工：业洁净厂《房中常常设置有各】种类：型的真空泵用于电子！产品生？产过程中的》抽真空或用于排气等！是生产工艺设备的】。辅助设备《或就是生产》工，艺设备？的一部分《各种类？型的真？。空泵一般安》装在洁净室(区【)内的生产设备邻】近处或配《套组装在《生产：工艺设？备上有的则安装【在洁净室(区)的】辅，助生产？间或技术支》持区内 — ？为，了，确保洁？净室(？区，)的正常《生产避免安全—事故的发生》应对：设置在洁净室(区】)内的有油润—滑的真空泵、输【送含有可燃气体的真！空泵传输易燃、自】燃化学品或》。。高浓度含氧气体【或氧化？。。。性化学品的》真空泵等设置必【须的安全技术措施为！此制定了本》条的规定 ！ 2：  参照《美国消？防协会(N》FP：A)标？准，NFPA《。 318洁净室消防！。标准：(Standard！ for《。 the《 procecti！on of c【leanro—om)？第8.6《.，1条和第8.6.】。2条规定在本—条，中作出了相》关规定？。 ：