5.—5  设备及工【器具 — 5.5.1！～5.5.3  在！。这三条的条文—中规定了为实现在】洁净室(《区)内使用防尘、防！污染的生产设备和辅！助，生产设备《在工艺设计》。和选用设《。备时应该遵》循的一些《基本：要求 1！  设备表面—光洁：、易清洁、不积尘、！不挥发？化学物质这里—不能只理解为—设备外？表面应该包括设备的！所有可能与洁净【室(区)生产环【境接触的表》面和可？能与电子产品生产】。。过程接触《的表面？也包括这些表—面，的制：作材料？某些电子产》品与一些化学物质】。在制作过程中或【在电：子产品的使用—过程中可能发生【化，学反应影《响某些电子产—品的性？能参数所以要求设备！。表面不挥发化学物质！ 《 2  在电【子工业洁净》室(：区)内常《常按：产品生产工艺要求配！置有在生产运—行中：将会散发《微粒或排热量大【或排出有毒》、可燃气体》的设备如半导体器件！。、集成电路生—产中的扩散炉、外】延炉：、刻蚀机、离子注入！设备、气相沉—积，设备等？此类设备一般均设】有局部排风设—施即第？。5.5.1条—第3款所称“防【扩散措？。施”：有的设备《还配带有专用尾【。气(排气)》处理设备对所—排出的高浓度有【害气体或《有毒或可燃气体【。进行处理《后才能经过洁净厂】房中设置的相—关排气系统排—出 3 ！ 由于电子产品【。生产工艺的需要【某，些设备必须跨越【不同空气洁净度【。等级的洁净室(区)！时应采取《固定隔断或洁净空】气，幕等可靠的密封隔】断措施 ！4  为保护洁净室！(区)内《工作人员的》身，体健康？本，规，范第3？.2.5条规定【了洁净室(》区)内？噪声容？许值因此安装在洁】净室(区《)内的设备》应选用符合要求的低！噪，声设：备但由于电子产【品生：产过程或设备—设计、运行条—件的限制所选设备超！过洁净室噪声容许】值时应根据具—体工程项目》的实际？条件：采取相应《的隔声？措，施如操作《间隔声、隔声值班】室、隔声罩、隔声】屏等 》 ？5.5.《5 ： 本条的规》定是对洁净》室(区)《电子产品生》产过程中存放、传送！各种材料、》中间产？品或零部件使用【的专用容器的设计】、制作？及其材料《。等的：基本要求由》于电子产《品种类繁多》它们：在生：产过程的《存放、传送条—件和要求《有较大差异所以【本条是推荐性条【文对于某些电子产品！如集成电路的芯片生！产用专用《容器应？遵循本条文的1～4！款的规定并》。且由于芯片的集成度！的不：同或运送《的材料、中间产品的！状态不同专用容【器，中充填的氮气纯度】要，求也会有所不同【；而对另《一些电子产》品生产过程用专用容！器只需按其生—。产工艺特点遵循【本条中？的，相关规定 》。 ： 5.》5.：6  本条为强制性！条文其编写的依【据是 【 1  电子工业】洁净厂房中常常【设置有各《种类型的真空—泵用于电子》产，品生产过《程，中的抽真空或用于】排气等？是生：产工艺设备的—辅助设？备或就是生产工艺】设备：的一部分各种—类，型的真空泵》一般安装在洁净室(！区，)内的生产》。设备邻近处或配【套，组装在生产》工艺：设备上有的则安【装在洁净室(区)】的辅：助生产间或》技术支持区内— ？ 为了确保【洁，净室(区)的正常】生产避？免安全？事故的发《生应：对设：。置在洁净室(区【)内的有油润滑的】真空泵、输送—含有可燃气》体的真空泵传输【易燃、自燃化学品】或高浓度含氧—气体或氧化性化学】品的真空泵等—设置必？须的安全技术措【施为此制定了本条的！规定 》 ： 2  参照美【。国消防？协，会(：NFP？A)标准NF—PA 318洁净室！消防标？准(Stand【ard for t！he proce】ct：ion of cl！eanroom)】第8：.6.1条和第【8.6？.2条规定在本【条，中作出了相关规定】 ：