5.5【  ：设，备，及工器具 】 5》.5.1～》5.5？.3  在这三【条的：。条文中规《定了为实现在—洁净室(区》)内使用《防尘、防《。污染的生产设备【和辅助生产设—备在工艺设》计和选用设备时应】该遵循的《。一些基？本要求 》 1  设】备表面光《洁、易清洁、不积】尘、不挥发化—学物：质这里？不能只理解为设【备，。外表面应该包—括设备的所有可能】与，洁，净室(区《)生产？环境接触的表面和】可能与电子产—。品生产过《程接触的《表面也包《括这些？表面：的制作材料》某些：电子产品与一些化学！物质在制作过程【中或在电子产品的】使用：过程中可能》发生化？学，反应影响某些电子】产品的性能参—数所以要求设备表面！不，挥发化学物质 【 2 【 在电子《工业洁净室(区)内！常常按？产品生？产工艺要求》配置有在生产运行】中将会散发》微粒：或排热量大或排出】有毒、？可燃气？体的设备如半—导，体器件？、集成电路》生产中的扩散炉、外！。延炉、刻《蚀机：、离子？注入设？备、：气相沉积设备—等此类设备一般均设！有局部排风设施即第！5.5.《1条：第3款所称“防【扩散措？施”有的设》备还配带《有专：用，尾气(排气)处理设！备对所排出》的高浓度有》。害，气体或有毒或可【燃气体？进行处理后才能经过！。。洁净厂？房中设置的》相关排气系》统排出 《。 》3  由于电子产品！生产工艺的需—要某些设《备必须跨越不同空】气洁净度《等级的？洁净：室(：区)时应《采取固定《隔，断或洁净空》气幕等可靠的密封】隔断措施 ！ 4 ？ 为保护洁净室(】。区)内工作》人员：的身体健康本规【。范第3.2.5条】规定了洁净室(区】)内噪声容许值【因此安装在洁净室】(区)？内的设？备应：选用：符合要求《的低噪？。声设：备，但由于电《子产品生产过程或设！备设计、运行条件的！限制所？选设备超过洁—净室噪声容》许值时？应根：据具体工程项—目的实际条件采【取相应的隔》声措施如操作间隔】。声，、隔声值班室、【隔声罩、隔》声屏等 《 5.5.！5 ： 本条？的规定是对》。洁净室(区)电【子产品生产过程【。。。中存放、传送各种材！。料、中间产品或零部！。。件使用？的专用容器的设【计、制作《及其材料《等的基本要求由于电！子产品种类繁—多它们在生产过程】的存放、传送—条件和？要求有较大差异所】以，本，条，是推荐性条文对于某！些电子？产品：如集成电《路的芯片生产用【专用容器应遵循本条！文的1？～4款的规定并且】由于芯片的集成度的！不同或运送的—材料、？中，间产：品的：状态不同专》用容器中充》填的氮气《纯，度要求也会有—所不同；而对另【一些电子《产品生产过》程用：专用容器只需—按其生？产工艺特点遵—循本条中的相关【。规定 》。 5.5—.6  本条为强制！性条文其编》写的依据是》。 1【  电子工业洁净】厂房中常《常设置？。有各种类型的—真空：泵用于电《子，产，品生：产过程中的抽—真空或用《于排气？等，是生产工艺设备的辅！助设备或就是—生产工艺《设备的一《部分各种类型—的真空泵《。一般安装在》洁，。净室：(区：)内：的生产设备邻近处或！配套组装在生产工艺！设备上有《的则安装在洁—净室(区)的—辅助：生产间或技术支持】区内 — 为了确保洁净室！(区)的正常生产】避免安全事故—。的发：生，应，对设置在洁》。净室(区)内的有油！润滑的？真空泵、输送含【有可燃气《。。体的真空《泵，传输易燃、自燃化】学品或高浓》度含氧气体或—氧化：性化学？品的：真空泵等设置必须】的安全？技术措施为此制定了！本条的规定》 ： 2 — 参照美国》消防协会(NFPA！)，标准NF《PA 3《18洁净室消防标准！(Standar】d for t【he ？proc《ect？ion of c】。。l，eanroom)】第8.6.》1条和第8.6.】2条规定在本条中】作出了相关规定 】。 ，