5.4 】 ,物料净化
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电子工!业洁净厂房内—为避免多《种物:料搬入洁《净室时携带污染物影!响洁净?。室(区)的空气【洁净度甚至影—响电子产《品质量?。造,。成次品或废品的【出现因此本》节规定各《种物料搬《入洁:净室(区)的—。下列基本《规,定
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1 洁净【。室(区?)的设备和物—。料出入口应独立设】置此类出《入,口不得与人员—出入口混同使用避免!污染物混杂、交【叉但对?于洁净室规模较小】如建筑面积只有几】。十平方米的洁—净室设备和物料出】入口是否《应独立设置应根据】具,。体工:程项目情况、物【料状态、洁净室内人!员数量等实事求是地!。确定:
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2 洁净室】(区)应设有设备和!物料净化用室并在此!房间:内设有?相应的物料净—化设施对搬入—洁净室(区)的设】。备和物料《进行净化处理—该物净用室的面【积、空间尺寸和物净!设施:应根据物《料,的特征?、性质、《形状等确定比—如按物料的》包装方?式、物化性质—的不同可采取真空】吸尘、压缩》空气吹除、》。擦拭等不《同方法进行》物料净?化处理等《
3【 洁净室(区)的!物料净化用室—。与洁:净室(区)之—间应设置气闸室或传!递窗本条《。规定:不仅:是,确保物料的搬—入不影响《洁净室(区)的【。空,气洁净度的变化;】而且是保持物料出】入口处洁净》室(区)与非—洁净室(《区)静?压差的基本条—。件也:是,物料出?入口处洁净室—与非:洁,净,室的分界和》分隔因此第5—.4.2条是强【制性条文
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