5.4 】 物料净化》
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—电子工业《洁净厂房内为—避免多种物》料搬入洁净》室时携带污染物影响!洁净室(区》)的:空气洁净度甚至【影响电子产品质量造!成次品或《废品的出《现因此本节规定【各种物料搬入洁净】室(区)《的下列基本规—定
1】 洁净室(区【)的设备和》物料出入口应独立】设置此类出入—。口不得与人员出入口!混同:使用避免污染物混】杂、交?叉但对于洁净—室规模?较,小如建筑面》积,只有几十《。。平方米的洁净室【设备和物料出入口是!否应独?。立,设置应根据》。具体工程项目情况】、物料状态》。、洁净室内人员数】量等实事求是地确】定
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2 《 洁净室(区—)应设有设》备和物料净化用室】并在此房间内设【有相应?的物料净化设—施对搬入洁净—室(区)的》设备和物料》进行净?化处理该物净—用室:的面积?、空:。间尺:寸和物净设施应根】。据物料?的特征、性质—。、形状等确》定比:如按物料的包装方】式、物化性》。质的不同可采取【真空吸尘、压缩【空气吹除《、擦拭等不同方法进!行物料净《。化处理等
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3 洁—净室(区)的—物料净化用室与【洁净室?(,区)之?间应设置《气闸:室或传递《窗本条规定不仅是确!保物料?的搬入不影响洁净室!(,区)的空气洁净度】的变化;而且是【保持物?料,出入口处洁净室【(区)与《非洁净室(区)静压!差的基本《条,件也:。是物:料出入?口处洁净室与非洁净!室的分界和分隔因】。此第5.4.—2条是强制性条文
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