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5.—4 物料净—化
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电?子工业洁《净厂房内为》。避免多种物料—搬入:洁,。净,室时携带污染物【影响洁净室(区)】的空气洁净度甚至】影响电子产品质【。量造成次品或废【品的出现因此本节规!定各种物《料搬入洁净室—(区)?的下列基本规定
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1 洁】。净室(区)的设备和!。物料出入口应独立】设置此类出》入口不得与人员出】入口混同《使用避免《污染:物混杂?、交叉但对于洁净】室,规模较小如建筑【面,积只有几十平方【米的:洁净室设备和物料出!入口是?否应独立设置应根】据具体工程项目情】况、物料状态、洁净!室内人员数量等实】事求:是地确定
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:2, :。洁,净室(区)》。应设有?设备和?物料净化用室—并在:此房间内设》有相应的《物,料,净化设?施对搬入洁净—室(区)的》设备和物料进行净】化处理?。该物净用室的面【。积、空间尺寸和物】净设施应根据物料的!特征、性质、形【状等确定《比如按?物料的包《。装方式、物化性质的!不,同可采取真空—吸尘:、压缩空气吹—除、擦?拭等不同方法—进行物料《净化处?理等
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:3 洁净》室(区)的物料【。净化用室与洁净室】(区:)之间应设置气闸】室或传递窗本条【规,定不仅是《确,保物料?的搬入不影响洁净室!(区)的空气洁净】度的变化;而且是】保持物料《出,入口处?。洁净室?(,区)与非洁净室【(区)静压差的基】本条:件也是物料出入【。口处洁净室与非洁】净,室的分界和》分隔因此第5.【4.2条是强制【性条:文
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