《5.3 人员净】化
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5.3.1、】5.3.2 电子!。工业洁净厂房—由,于电子产品品种、规!格、:产量的不同》其洁净?。室的规模和空—气洁净度等级要求差!异较大如现今—的大:规模集成电路—用洁净厂房或TFT!LCD用洁净厂房的!建筑面积一般均在几!万平方米空》气洁净?度,等级为1~3级或】4~5级而印制电】路版生产用洁—净室的建筑》面积一?般只:有几百平《方米且?有时:还根据工艺布局要】求,需分多处设置空气】洁,净度等级为》7级或?8级:为此:本规范只推荐—。一种人员净化—程序供设计参考【并规定“人员净化】用室和设施应根【据洁:。净室的规模、—空,。气洁净度等级设【置并应设置》生活用室”电子工】业洁净厂房中—。。。人,员净化用《。室、生活用室以【及空气吹淋室、【气闸室、洁净工【作,。服,洗涤间和干》。燥间等均应》在具体工程项目【设计:时根据实际情—况和需要设置—
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5《.3.3 —洁净厂房《内人员净化用室和生!活,用室的?建筑面积指》标按设计人数—。平均每?人2~4m2—是经验数据在具【体工程项目设计时应!根据洁净《室的规模大小、洁】。净室内人数》多少:和空气洁净度等级】等,因素合理确定一般】情况下?洁净室内人数较多时!采取推荐数》据的下限人数较【少时采取上》限;洁净室规模【较大时一般可采取下!限,
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5.3.5 】。 电子工业洁净厂房!中设置了空》气吹:淋室的主《要是6~9级—。的洁净室但有的洁净!。室也未设空》气,吹淋室;而空—气洁净度《等级为5级》或严于?5级:。的,垂直单向《流洁:净室设置空气吹淋室!的较少设气闸室的】较多关于《空气吹淋《。室对人员净化作【用的评价众说纷纭】但,根据测定数据—表明只要空气—吹淋室产品》质量符合标》准规定要求》和管理得当》它对进入洁》净室人员的净化效】果是肯定《的为:此本条没《有规定?洁净厂房内》洁净室?(区)的入口处【都应设空气吹—淋室而是对洁净【厂房空气吹淋—室的设计《。规定了4《款要求?
—第1、4款实际上】是推荐6~9—级洁:净室入口处宜设空】气,吹淋室具《。体,工程项目中若—不设空气吹淋室时】应设气闸室作为洁】净室(?区)与非《洁净室(区)的分隔!和缓冲5级》或,严于5级的垂直单】向流洁净室(区)推!荐设气闸室》
第【2款规定空气吹淋】室应设在更换洁【。净工作服后的相【邻场所就是进—一,步明确空气吹淋【室的气闸作用既【分隔洁净《室(:区)与非洁净室(】区)又能防止外【部空气?进入洁净室并使洁净!室维持正压状态【它是从非洁净室(区!)更换?洁净工作服后—经空气吹《淋进入?洁净室(《区,)
【第3款其规》定包含.①洁—净室按最大班人数每!30:人设1台单人空【气吹:淋室以此选》用空气吹淋室—。的数量;由于空气】吹淋室有多》种形式如单人吹【。淋室、多人》吹淋室、通》道式:吹淋室等所以洁净室!内人数较少时—可采用?单人吹淋室而人【数较多时《。。。则应采用《多人:吹淋室和多》个并联或通道式【吹淋:室等形式②》洁净:室(区?)内的工作人员【。超过5人时》。为上下班人员进【出和管理方便应在】。空气吹淋室》一侧设旁通门
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5.—3.6 洁净【厂房内的人员净化应!遵循由外至内逐【步洁:净的循序渐进的【原则每?个洁净室的人员【净化路线《都应有合《理的程序应避—。免已经过《净化:的部分又再》被污染的情》况发生对于人员净】化用室和生活用室】的空气洁净》度等级要求本—条只规定①洁净【工作服?更衣室的洁》净度等级推荐—低于:。相邻洁净室(区)空!气洁净度等级;②当!设有洁净《工作服洗《涤,室时其空气洁—净度等级不宜低于】8级
】本条还要求对于人】员净:化,用室和?生活:用室可根《据具:体条件送入经过高效!空气过滤的洁净空】。气从而减少》人员:携带:污染物进入洁净【。室(区)《
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