《5.3？  人员净化— 】5.3.1、5【.3.2《  ：电子工业洁》净厂房？由于电子产品—品种、规格、产量的！不同：其洁净室的规模【和空气洁净度—等，级要求差《异较大如现今的【大规模集成电路用】。洁净厂房或TFT】LCD用洁净—厂房的建筑面积【一，般均在几万》。平方米空气》洁净度等级为—1～3级或》4～5级而印制电路！版生产？用洁：净室的建《筑面积一般只有【几百平？方米且有时还根据】工艺：布局：要求需分多处设置空！气洁净度等级为7级！或8级为此本规【范只推荐一种人【员净化程序供—设计参考并》规定：“人员净化用室【和设施应根据洁净室！的规模、空气洁【净度等级设置并应设！置生：活用室”电子工业洁！净厂房中人员—净，。化用：室、生活用室以【及空气吹淋室、【气闸：。室、洁净工作服洗】涤，间和干燥间等均【应在具体工程—项目设计时》。根据实际《情况和需要》设置 》 ？5.3.3  洁】净厂房内人员净化用！室和：生活用室的建筑面】积指标按设计人数平！均每：。。人，2～4m2是经验】数据在具体工程【项，目设计时应根据【洁净室的规模大【小、：。洁净室内人数多【。少和空？气洁净度《等级等因素合—理，确定一般情况下洁净！室，内，人数较多时采取【。。。推荐数据的》下限人数较少时【采取：上限；？洁净室？。规模较？大时一般可采取【下限 【 5：.3.5  电【子，工业洁净厂房中【设置了空气》吹淋室？的主要？是6～9级的—洁净室但《有的洁净室也未设空！气吹淋？室；而空气》洁净度？等级为5《级，或，严于5级的垂直【单向流洁净室设【。。置空气吹淋室的【较，少设：。气闸室的较多关于空！气吹淋室对人—员，净化作用《的评价众说纷纭【但根据？测定数据表明只【要空气吹淋室产品质！量符：合标准规定要求和管！理得当它对进入洁】净室人员的净—化效：果是肯定的为此本】条没有规定洁—净厂房内洁》净室(区)的入口】处都应设《空气：。吹淋室而是对—洁净厂房空》气吹：淋室的？设，计规：定了4款要求— ？ ？第1、4款实—。。际上是推荐》6，～9级洁净室入口】处宜设空气吹淋室具！体工：程项目中若不设空】气吹淋室时应设气闸！。室作：为洁净室《(区：)与非？洁净室(区》)的分隔和》缓冲5级或严于5】级的垂直单向流洁净！室，(区)推《荐设：气闸室？ 第2】款，规定空？气吹淋？室应设在《更换洁净工作服【后的相？邻场所就《是进一步明确空【气吹淋？室的气闸作用—既分隔洁净室—(区)与非洁净室(！区)又能防止外部】。。。空气进入洁净室【并使洁？。净室维持《正，压状态它是从非洁】净室：(区)？更换洁净工作服后】经空气吹淋进入【洁净室(区)— 《 第3款其—规定：包含.①洁净室按】最大班人《数每30人设1【台，单人空？气吹淋室以此选用】空气吹淋《室的数量；》由于空气《吹淋室有《多种形式如》单人吹？淋室、多人吹淋室】、通道式吹淋室等】所以洁净室内—人数较？少时可采用单人【吹淋室而《人数较多时则应【采用多人吹淋室和】多个并？联，或，通道式吹淋室等形】式②洁净室(—区)：。内的工作人员超过5！人时为上下》。班人员进出和管【。。理，方便应在空气吹【淋，室一：侧设旁通门 【 5.3【.6：  洁净厂》房内：的人员净化应遵循】由外至内逐步—洁净的循序渐进的原！则每个洁净室的人】。员净化？路线都应有合理【的程序应《。避，免已经过净化—的部分又再被污染】的情况发生对于人】员净化用室和生【活用室？的空气洁净度等级】要求本条《。只规定①洁净工【作服更衣《室的洁净度等级推荐！低于相邻《洁净室(区)—空气洁净《度等：级；②当设有—洁，净工作服《洗，涤室时其空气洁净度！等级不宜低于—8级 》 ： ，本条还？要求对于人》员净化用室和生活】用室可根据具体条】件送：入经过高效空—气过：。滤的洁净空气从而减！少人员携带》污染物？进入：洁净室？。(区) 》