5.—3 人《员净化?
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:5.3.1、5.3!.2 《电子工业洁净厂房由!于电:子产品品《种、规格、产量的不!同其洁净室的规【。模和空气洁净度【等级要求差》异较大如现今的大】。规模集成电路用洁净!厂房或TF》T,LCD用洁净—厂房:的建筑面积》一般均在几万平方米!空气洁净度等级【为1~3《级,或4~5级而—印制电路版生—产用洁净室》的建筑面积一般只】有几百平方米且有】时还根据《工艺布局要求需分】多处设置空》气,洁净度等《级,为7级?。或8级为此本—规范只推荐一种【人员净化《程序:供设计参考并—规定:“人:员净化用室和设【施,应根据洁净室的规】模、空气洁净度等级!设置并?应设置?生活用室”电子【。工业:洁净厂房中人员净】化用室?、生活用室以—及空气吹淋室、【气闸室、洁净工作】服洗涤间和干燥【间等均?应在具体工程项【目设计时根据—实,际情:况,和,需要设?置
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5.3.】3 洁净厂—房内人员净》化用室和《生活用室的建筑面】积指标按设计人【数平均?每人2?~4m2《是经:验数据在《具体工程《项目设计时应根【据洁净室的规—模大小、《洁净室内人》数多少和空气洁【净度等级等因素合】理确:定一般?情,况下洁净室》内人数较多》时采:取推荐数据的下限人!数较少时《采取上限;洁净【室规模较大》时一般可《。。采取下限
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5.3】.5 《。电子工业洁净—厂房中设置了空【气吹淋?室,的主要是6》~9级的《洁净室但有的洁净室!也未:设空气吹淋》室;而?空气洁?净度等级为》。5,级或严于5级—的垂直单《向流洁?净室设置空气吹淋】室的较少设气闸室的!较多:关于空?。气吹:淋室对人员》净化作?用的评价众说纷纭但!根据测定数据表【明只要空气吹淋室】产品质?量,符合标准规定要求】和管理得当它—对进入?洁净室人员》的净化效果是肯定】的为此本条没有【规定洁净《厂房内洁净室—(区)的入口处【都应设空气吹淋室而!是,对洁:净厂房空气吹淋室的!设计规定了4款要求!
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第1、4款实际上!是推荐6~9级【洁净室?入口处宜设空气吹】淋室具体工程—项目中若不设空【气吹淋室时应设【气闸室作为洁净室】(,区)与非洁净室【(区)的分》隔和缓冲5》级或严于5级的垂】直单向流洁净室(】区)推荐设气—闸室
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第2款规定空气吹!淋室应设《在更换洁《净工作服后的相【邻,场所就是《进一步?明确空气吹淋室的】气闸作用既分隔洁净!室(区)与非洁【净,。室,。(,区)又?能防止外部空气进入!洁净室并《使洁:净室维持《。正压状态它是—从非洁?净,室(区)更换洁【净,工作服后经空气吹】淋进:入,洁净室(区)—
第3】款,其规:定包含.①洁净室按!最大:班人数每3》0人设1《台单人空气吹淋【室以此选用空气【吹淋:。室的数量;由于空气!吹淋室有多种—。形式如单人》吹淋室、多人吹淋】室、通道式吹淋室等!所以洁净室内—人数较少《时可:采用单人吹淋室而】人数较多《时则应?采用:多,人吹:。淋室和?。多个并联或通道式吹!淋室等形式②—洁,净室(区)内—的工作?人员超过5人时为】上下班人员进出和管!理方便应在空气【吹,淋室一侧设旁通【门
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5.3.6 !洁净:厂房内的人员—净化应遵循由外至内!逐步洁?。。净的循?序渐进的原》则每个洁净室的人】员,净,化路线都应有合【理的程序应避免已经!过净化的部分又再】被污染的《情况发生对于人【员净化用室和生活用!室的空气洁净度等】。级要求本《条,只规定①洁净工【作服更衣室的洁【净度等级推荐—低于相邻洁净室(】区):空气洁?净,度等级;②当—。设有洁净工作服洗】涤室时其空气洁净】度等级不宜低于8级!
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本条还—要求对于人员净【化用室和《生活用室可根据具】。体条:件送入经过高效【空气过滤的洁净【空,气从而减少人员【携带污染《物进入洁《净室(区)
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