5 — ,工艺设计
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5.1【 一般规定
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5.【1.1 随着科】学技术的发展—电子产品的更新【换代、产《品生产技术的发展】十分迅?速以集成电路为代表!的微电子产品尤【为显著集成电—路产品基《本上是?2~3年或更短的时!间就会提升一代产】品;以TFT—LCD为代表的显】示器件正在取代彩】色显像管的显示器】件生:产;微型计算机【的迅:速发展使各种—元器件生产发展【。十分:迅速因此电子工业洁!净厂房的《设计、?建造必须《适应这种快速—发展的需要从洁净厂!房的规划《开始对?于,电,子工厂、洁净厂【房的工艺设计—、工:。艺布局应充》分考虑电子产—品发展的灵活性【以满足电《子产品生《产工:艺改:造和扩大生》产的:需求
5!.1.2、5.【1.:。3 以集成电路】。芯片制造、T—。。FTLCD》液晶显示器》件生产用洁》净厂为代《。表的微电子》生,产洁净厂房具有【。洁净度要求严格、大!面积、大体量和【能耗大、运行—费用高的特点洁净厂!房工:艺设计是先导—工序所以对电子工】业洁净厂房工—艺,设计的基本》要,求是:在满足电子产品生】。产要求?的前:提下合?理进行洁净厂—房工艺布《局合理确定各种公】用动力设施的—技术条?件和要求《。等生产条件做—。到能量消耗少、【运行费用低》、,生产效率高和—建设:投资少?;合理进行人流【路线:、物:料运输和仓储设【施的配置和》。布置满足电》子产品洁净》生产:要,求和产品生产工艺要!求,工艺设计应合理选】择生产设备的自动】化水平和物料运【输的自动《化,水平:在经济、实用—、安全可靠的条件】下提高生产效率【
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