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5  【工,艺设计 】 》5,.1 ? 一般规《定 ? ? 5.1.1 !。 ,随着科学技术的发展!电子产品的更新【换代、?产品生产技》术的发展十分迅速】以集成电路为代表】的微电子产》品尤为显著集成【。电路产品基本上是2!~,3年或更短的—时间就会《提升一代产品;以】TFT?LCD?为代表?的,显示器件正》在取代彩色显像【管的显示器件生产;!微型计算机的迅速】发展使各种元器件】生,产发展十分迅速【因此电子工业洁净厂!房的设计《、建造必须适应【这种快速《发展的需要从洁【净厂:房的:规,划开始对于》电子工厂、洁净厂】。房,的,工艺设计、工—艺布局?应充分考虑》电子产品发展的灵活!性以满足电子产品】生产工艺改造和扩】大生产的需求 ! : ,5.:1.2、5.1.3!。。  :以集成?电路:芯片:。制造、TFTLCD!液晶:显示器件生产用洁】净厂为代表的微电子!生产洁?净厂房具有洁净【度要:求严格?、大面积、大—体量和能耗大、运行!费用高的《特点洁净厂房工艺】。设计是?先,导,工序所以《对电:子工:。业洁净厂房工艺设计!的基本要求是在满足!电子:产品生产《要求的前提下合理】进,行洁净厂房工艺布】局合理?确定各种公用—。动力设施的技术条】件和要求等生产条】件做到?能量消耗少、运【。行费用低、生产效率!高和:建设投资少;合【理进行人流路线、物!料运输和仓储设施】的配置和布置—满足电子产》品,。洁净生产要求和产】品生:产工:艺要求工艺设—计应合理选择生产】设备的自动化水平】和物料运输的自动】化,。水,。。。平在经济《、,实用:、安全可靠的条件下!提高生产效率 】