5 【工艺:设计:
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5.《。1 一般规—定
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:。5.1.1 随着!科学技?术的发展电子产【品的:更新换代、产品【生产技?术的发展十分迅速】以集成电路为代【表的微电子产品尤为!显著集成电路产品基!本上是2~》3,年或更?短的时间就会提升】一代产品;》以TFT《L,CD为代表的显示】器件正在《取代彩色《显像管的显示器件生!产;微型计算机的迅!速发:展使各种元》器,件生产发展十分【迅速因此电子—工业洁净厂房的【设计、建《造必须适应这种快速!发展:的需要从洁净—厂房的规划开始【对于电子工》厂、洁净《。厂房:的工:艺设计、工艺布局应!充分考虑电子产品发!。展的:灵活性以满足电子】产品生?产工艺改造和—扩大生产《的需求
!5.1.2、—5.1.3》 , ,以集成电《路芯片制造、T【FTLCD液晶【显,示器件生产用洁净厂!。为代:。。表的微电子生产【洁,净厂:房具有洁净度要求严!格、大面积、大【体量和能耗大、运】行费用?高的特点洁净厂【房工艺?设计是先《导工:序所以对电子工业】洁净厂房工艺设计的!基本要求《是在满足《电子产品生产—要,求的前提下合理进行!洁净厂房工艺布局】合理确定各种公【用动力设施的技术】条件和要求等生产条!件,做到:能量消耗少、运行】费用低、生产效【率高和建设投资少】。;合理进《行人流路线》、物料运输和仓储设!施的配置和布置满足!电,子产品洁净生产要】求和:产品生产工艺要求】。工艺设计应合理选】择生产设备》的自动化水平和【物,料,运输的?。自动化水平在经济、!实用:、安全可靠》的条:件下:提高生产《效率
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