5 工】艺设计
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5.1— 一?般规定
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5.1.1】 随着科》学技:术,的发展电子产品的】更新换代、产品生产!技术:的发展十分迅速以】集成电路为》代表的微《电子产品尤》为显著集《成电路产品》。基本上是2~3年或!更短的时间就会【提升一代《产品;以TFTLC!D,为代表的显示器件】正在取代彩》色显:像,管的:显示器件生产;微】型计算?机的:迅速发?展使各种《元器件生产发展十分!迅速因此电子工业】洁净厂房的设计【、,建造:必须适应这》种快速发展的需【要从洁净厂房—的规划开《始,对于:电子工厂、洁净厂】。。房的工艺设计、工】艺,布局应充分考虑【电子产品发展的【灵活性以满》足电子产品生—产,工艺改?造和扩?大生产的需》求
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:5.1.2、—5.1?。.3: 以集《成电路芯片制造【、TFTLCD液】晶显示?器件生产用洁—净厂为代表的—微电子生产洁净【厂房:具有:洁净度要《求,。严格、大面积、大体!量和能耗大、运【行费用高的特点洁】净厂房工艺设计是先!导工序所以》对电:子工业?洁,。净厂房工艺设—计的基本要求—是在满足电子产【品生产?要求的前提》下合理进《行洁:净厂房工艺布—。局合理确定各种公】用动力设《施的技术条件—和,要求等生产条—件做到能量》消耗少、运行费用低!、生产效率高和【建设投资《少;:合理进?行人流路线》、物料运《。输和仓储《。设施的配《置和布置满足—电子产品洁净生【产要求和产》品生产工艺要求【工艺设计《。应合理选择生产设备!的自:动化水平和物料运】。输,。。的,自动化水平》在经济、实》用、:安全可靠的》条件下提高生产【效率
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