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5 工艺设计】
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5.1 】一般规定
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5.1.1 !随着科学技术的发】展电子?产品的更新换—。代、产品生产技术】的发展十分》迅速:以集成电《路为代表的微电子产!品尤为显著集成【。电路产品基》本上:是2~3年或更【短,的时间就会提升一】代,产品;以《TF:TLCD为代表【。的显示器件》正在取代彩色显【像管的显《示器件生产;微型】计算机的迅速发展使!各种:元器件生产》发展十分迅速因此电!。子工业洁净厂—房的:设计、建造必须适】应这种快速》发展的需要从洁净厂!房的规划开始对于】电子工厂《、洁净?厂房的工艺设计、】工艺布局应充—分考虑电子产品发展!的灵活性以满足电子!产品生产《工艺改造和》扩,大生:产的:需求
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5.1.—2、5.1.3 】 以集成电路芯【片制造、《TFTLCD液晶】显示器?件生产用洁净厂为】代表的?微电子生产洁—净厂:房具:有洁净度要求严格、!大面:积、大体量和能【耗大、运行》费用高的特点洁净】。厂房工艺设计是先】导工序所以对—电子工业洁净厂【房工艺设计的基【本要:求是在满《足电子产品生产要】求的前提下》合理进行洁净—厂房工艺布局合【理,。确定:各种:公用动力设》施的技术条件—和要求等生》产条件做到能量消】。耗少、?运行:费用低?、生产效《率高和建设投—资少;合理进—行人:流,。路线、物料运输和仓!储设施?的配:置和布?置满足电子产—品洁净生《产要求?和产品生产》工艺要求工》艺设计应合理选择】生产设?备的自?动化水平和物料运】输的自动化水平在】经济:、实用、安全—可靠的条件下提【高生:产效率?
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