？ 5  工艺设计】 ！。 5.1《  一般规定 】 ？ 5.》1.1  随—着科学技术的发展电！子产品的更新—换代：、产品生产技—术的发展十》分迅速以集成—电路：为代表的微电子【产品：尤为显著集成电路】产品：基，本上是2《～3：年或更短的时间就会！。提升一？代产品；《以TFTLCD【为代表的显示器件正！在取代彩色》显像管的显示器件生！产；微型计算机的】迅，速发展使各种元【器件生产发展十分】迅速因此电子工业洁！净厂房的设计、建造！必须：。。。适应这种快速发展】的需要从《洁净厂？房的规划开始对于】电子工？厂、洁？净厂：房的工？艺设计、工艺—布局应？充分考虑电子产【品发展的灵活性以满！足电子产品生—产工：艺改造和扩大生产的！需求 》。。 ， 5？.1.2、》5.1.3》 ，。 以集成电路芯片】制，造、TFTLCD】液晶显示器件—生产用洁净厂—为代表？的微电子《生，产洁净厂房具有【洁，净度要？求严格、大面积、大！体量和能耗大、运行！费，用高的特点洁—净厂房工艺设计是先！导工：序所以？对电子？工，业洁：净厂房工艺设计的基！本要求是《在满足电子》产品生产要求的前提！下合理进《行洁净厂房工艺布局！合理：确定各种公用动力设！施的技术条件—和要求等生》产条件？做到能？量消耗？少、运行费用低、生！产效：率高和建设》投资少；合》理进行人流路—线、：物料运输和仓储设】施的配置和》布，置满足电《子产品洁净生产要】求和产品生产工艺要！求工艺设计应—合理选择生产设备的！自动化？水，。平，和物：料运输的自动化水平！在经济、实用、安】全可靠的条件下提高！生产效率 —