5  工】艺设计 》 5！.1：  一？般规定 —。 ： ？5.：1.1  随着科学！技术：的发展电子产品的】更新：换代、？产品生产技术的【。发展十？分迅速以集成—电路为代表的微电】子产品尤《为显：著集成电路产品基本！上是2～3年—或更短？的时间就《会提升一代产品；以！TFTLCD为代表！的显示器件正在取代！彩色显像管的显示器！件生产；微型计算】机的迅速《发展使各种元—器件生产发展—十分迅速因此电【子工业洁净厂房的】设计、建造》必须适应这种快速】发展的需《要从洁？净厂房的规划—开始对于《电子工厂、》洁净：厂房：的工艺设计》、工艺布《局应充分考》虑电子产品》发展：的灵活性《以满足电子产品生】产工艺改造和—扩大生产的》需求 》 5.》1.2、5》.1.？3  以集成电路】芯片制造、TFT】LCD液晶显—。示器：件生产？用洁净厂《为代表的《微电子生产洁—净，厂房具有《洁净度要求》严，格，、大面积、大体量】和能耗？大、：。运行费用高的特【点洁净厂房工艺【设计是？先导工序所以对【电子工业洁净厂房工！艺设计的《基本要求《是在满足电子产【品生产要求》的前提下合理进行洁！净厂房工艺布局合】。。理确：定各：种公：。用动力设施的—技术条件和要—求等生产条件—做，到，能量消耗少、运行】费用低、生产效【率高和建设投资少；！合理进？。行人流路线、物料运！输，和仓：储设施的配置和布置！满足电？子产：品洁净生产》要求和产品生产【工艺要求工艺设【计应合理选择生产设！。备的自动化水平和】物料：运输的自动》化水平在经》济、实用、安全可】靠的条件《下提高生产效—率 ？