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5 — 工艺设计
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5?.1 一般规定
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5.1.—1 :。。。 随着科学技术的发!展电子?产品的更新换代、产!品生产?技术的发展》。十分迅速以集成电】路为代表的微—电子产品尤为—显著集成电路产品基!本,上是2~3》。年或更短的》时,间,就会提升一代产【品;:以TF?TLCD为》代表的显示器—件正在?。取代彩色显像管的】显示器?件生:产;微型计算机的迅!速发展使各种元器】件,生产发展十分—迅速因此电子工业洁!净厂房的设》。计、建造必须适应这!种,快,。速发展的需要从洁】净,厂房的?。规划开始《对于电子《工厂、洁净厂房【的工艺设计、—工艺布局应充—分考虑?电子产品发展的灵】活性以满足电子产】品生产工《艺改造和扩大生产的!。需求
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5.1《.2、?5.1.3》 :以,集成电路芯片制造、!TFT?。LCD液晶显示器件!生产用洁《。。净厂为代表》的微电子生》产,洁净厂?。房,具有洁净度要求严】。格、大面积、大体量!和能耗大、》运,行费用高的特点洁净!厂房工?艺设:计是先导工序所【以对电子工业洁净厂!。。房工艺设计的基【本要求是在满足【电子产品生产要求的!前提下合理进行【洁净厂房工》艺布局合理》确定各种公》用动力设施的技术】条件和要求等生产条!件做到能量消耗少、!运行费用低、生产】效率高?和,。建设投资《少;合理进行人【。流,路线:、物料运输》和仓储设施的配【置和:。布置满足电子产品洁!净生产要求和产品】生产工艺要求工艺设!计应:合理选择生产—设备的自动化水平和!物料运输的自动化水!平,在经济?、实用、安全可靠的!条件下提高生产效】率
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