5 — 工艺设计
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5.1 》 ,一般:规定
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5.1.—1 随着科学技术!的发展电子产品的】更新换代、》。。产品生?。。产技术的《发展十分迅速—以集成电路》为代表?的微电子产品尤【为显著?集成电路产品—基本上是2》~3年或更短—的时间就会提升一】代产品?;以TFTLCD】为代表的显示—器件:正在取代《彩色显像《管的显示器件—生产;?微型计?算机:的迅速发展》。使各种元器件生产】。发展十分迅速—因,此电子工《业洁净厂《房的:设计:、建造?必须适?应这种?快速发?展的需要《从洁净厂房的规划开!始对:于电子?工厂、洁净厂房的】工艺设计、工—艺布局应充分—考虑电子产品发展】的灵活性以满足电】子产品?生产工艺改造和扩大!生产的需求
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5.1.2、5!.1.3 —以集成?电,路芯片制《造、TFTLC【D液晶显示器件生产!用洁净厂为代表的】微电子生《产洁净?厂房具有洁净度【要求严格《、大面积、大—体量和能耗》大、运行费用高的】特,点洁净?厂房工艺《设计是先《导工序所以对电子工!业洁净厂房》工艺设?计的基本要求是【在满足电《子,产品:生产要求《的前提下合理进【行洁净厂房》工艺布局合理确【定各:种公用动力》设,施的技术条件—和要:求等生产条件做到】。。能量消耗少、运行】费用低、生产—效率高?和建设投《资少;合理进行人】流,路,线、物料运输和仓】储设施的配置—和布:置满足电子产品【洁净生产要》求和产品《生产工艺《要求工艺设计应合理!选择生产设备的自动!化水平和《物料运输的》自动化水平在经济】、实用、安全可靠的!条件下提高生产效率!
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