《4.3 《 洁净室《布置和综合协调
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《4.:3.2 》洁净室(区)的空间!布置主要应做到【满足产?品生产?工艺要求合理—布置产品生产工艺】设备:特别是高、大设备的!安排合理布置物料】运,输系:统使电子产品生产】做到有?效、灵活和操作方】便与:此同:时由于电子工业【洁净厂房中各种公】用动力设施和管【线、产品生产工艺所!需管线、净化—空调系统风》管和末端装置、电气!照明设施等种类繁】多在进行洁》净室(区《)的空间布置时应充!分兼顾?以上各?项,内容并做妥善—安排根据已有或【正在建设《中的:。电,子工业洁净厂房【的空间布置状—况表明单层垂直单向!流洁净室的上技【术夹:层,。的空间?尺寸一般为2—。.,0~2.5m—;,当,。采用活动《地板时下技术—夹层:为1.0~1.5】m有的?面积较小的洁净【室只有0《.6~0.8m【所,谓“多层”垂直单向!流洁净室上技术夹层!空间尺寸是根—据其使用功能和【建筑结构确》定如在此《空间是否《安,装循环风处理装置】以,及风管及《。过滤器或FFU的】外形尺寸等确定一般!上技术夹层空间【尺寸3.0》m左右有《的可达4.0—m;:下技术夹层》一般不?仅是净?化,空,。调,。系统:的回风静《压箱常常还设—置有公?用动力?设施、生产辅助设施!等为了运行管理方】便和必须的安全保】护距:离一般下《技术夹?层空间尺寸为4.】0,m
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非单向流洁净室】。只设有上技术夹【层或技术夹道目前各!种用途的非》单向流洁净室的【上技术夹《层的:空间尺寸一般为1】.,5,~,2.0m视具体工】程项目安排》的使用功能和布置】在此空间的》公用动力设施—、管线?的多少和《外形:尺寸确定
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4.3.3【。 ,。 ,现今电子工》业,洁,净厂房一般推荐使】用,大开间的开放式生产!设备布?置所以本《条,规定在洁《。净室(区)》内应少?设隔间、少分隔【只,有本条规定的三【种情:况,才予以分隔其中【第1款是安全生产和!消防:的需要必《须进行分隔列为强制!性条文第2款—是从方便《管理和节约能—源出发?对经:常不同时使用—的生:产区域或房间—之间进行分隔第3】款是从排放》有害气体或》化学污染物会发生交!叉,污染或影响电—子产:。品质:量时应将此》类,工序、设备进—。行分隔设独》立房间但若采取可】靠,的排风处《理措施能够》确保不?发生交叉污》染或影响产品质量】时也可?。不予分隔
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