:
4.3 【洁净室布置和综【合协调
】
4.》3.:2 洁净室—(区:)的:空,间布:。置主:要应做?到满足?产品生产工艺要求】合理:布置产品生产—工艺设备特别是高、!。大设备的安排合理布!置物料?。运输系?统使电子产品生【产做到有效》。、灵活和操作方【便与此同时由于电子!工,。业洁净厂房中各【种公用动力》设施和管线、产品】生产工艺所需管线】、净化空调系—。统,风管和末端装—置、电气《照明:设施等种类繁多【在进行洁净室(区)!的空间布《置时应充分兼顾【以上各项内容并做妥!善,安排根据《已有或正《在建设中的电子工】业洁净厂房的空【间布置状况表明单层!垂直单向流洁净【室的上?技术夹层的空间【尺寸一般为2.0】~2.5m;当【采用活?。。动,地板时下技术夹层为!1.0?。。~1.5m》有的面积较》小的洁?净室只有0》.6~0.8m【所谓“多层”垂【。。直单向流《洁净室上技术夹层】空间:尺寸是?根据其使用功—能和建筑结构—确定如在此空间是】否安装循《环风处理装》置以及?。风管及过《滤,器或FFU的外形尺!寸,。。等确定一般上技术夹!层空间尺寸3—.,0m左右有的—可达4?.0:m;下?技术夹层一般不仅是!净化空?调,系统的?回风静压箱常常【还设置有公用动力设!施、生产辅助—。设施等为了运—行管理方便和必须】的安全?保护距离一》般下技术夹》层空间尺《。寸为4.0m
【
:
非单》向流洁净室》只设有上技术—夹层:或技术夹道目—前各种用途的非单向!流洁净室的》上技术?夹层的?空间尺寸《一般为1.5~2】.,0m视具体工程项目!安排的使《用,功能和布置》在此空间的公用动】力设施、《管线的?多少和外《形尺寸确《定
—
4.3.》3 现今电—子工业洁净厂房一般!推荐使用大开间【的开放?式生产设备布—置所以本条规—定在洁净室》(区)内应》少设隔间、少分隔】只有本条规定的三种!情况才予以分隔其】。中第1款是安全【生产和消防的—。需要:必须进行《分隔列为强制—。性条文第《2款是从《方便管理和节约能】源出发对经常不同时!使用的生产区—域或房?间,。之间进行分隔—。第3款是从排放【有害气?体或化学污染物会】发生交叉污染或影响!。电子产品质量时应将!此类工?序、设备进行分隔设!独立房间但若—采取可靠的排风处理!措施能够确保不【发生交叉污染或【影响产品质量时也可!不予分隔
—