4 — 总体设计
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4.—1, 位置选择和总平!面布置
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:4,.1.1《 电子产品生【产用洁净厂房与【其他工业洁净厂房的!重要区别之一是一些!电子产品生》产对:化学污染物有严格】的要求如微》电子产?品中需严《格,控制:生产环境中的重金属!、有机物的》含量在表2中—列,出集成度从》64M发展到—64G时《重,金属要求从5×【10:。10(原子·c【m-2)严》格,至小于2.》5×109(—原子·cm》-2);有机—。物从1×1》014(原》子,·,cm-2)》严格至3×1—012?(原子?。·cm-2)—据了解一些》微电子洁净厂房的】产品生产中发—现极微量的》Na+、等化—学物:质,对产品生《产影响极大应予严】格控制
!近年来国内外研究】表明由于全球环境】保护的严峻形势和各!类工业生产发展【、人民生《活水平提高都—使,大气中污《染物种?类、浓度发生—了,变化尤其是城市中的!工业燃烧排放物【和汽车?燃烧排放物》的增加大气中的【微粒浓度、化学污】染物也?呈,增加趋势《大气:中化:学污染?物与所在《地区:的经济?发展状?况、:固定燃烧源和移动】燃烧源(汽车等)的!组成、类《型,和数量关系密切【据大气检测表—明大:气中的化学物质【主要有阳离》子Ca?2+、Na+、【Mg2+、K+、】阴离子、、》Cl-、F-等还有!一些浓度较低的Hg!等随着?国民经济的》发展人民生》活,质量:的提高这些物质总的!趋势是逐年增加一些!城市或一《些具体场所还会【由于工?业生产?或汽车数量的增【加或气象条》件的变化《有时或某一》时间段这些》。化学物?质的数量、浓度都会!增加所以在》进行电子《工,厂特别在一些产品生!产过:程,对,化学污染物要求严】格,的洁净厂《房的选址应予—充分重?视为此本条作出了三!款的:推荐性?规定
4!.1.2 本条规!定电子工业洁—净厂:。房的:新风口与城市交通干!道之间的《距离由于城市交【通干道上运输车辆】运行中?所产生的污染物主】要通过新风的吸【入对:。洁净厂房产生影响】根据现行国家—标准洁净厂》房设计规范》GB 5《0073的》相关:规定此距离》宜大于?。5,0,m
【近年来我国各地区的!。城市交通于道两侧或!城市交通《于道与工《厂之:间都建设《了绿化带这》些绿化带有以草坪】为主或树、草间种】或以:树为主等多种—形式测试数》据表明各种形式的绿!化带都具《。有一定吸尘、降低】空气:中微粒浓《度的作用所》。以本条规定当—电子工业洁净厂房与!交通干道之间设【有城市?绿化带时可视具体】条件适当减少距【离
【4.1?.3 ? 对:于有微振控制要求】的,电,子工业洁净》厂房的位置选—择时应实际测定拟建!工厂厂址或已有工】厂内拟?选择洁净《厂房的场地周围现】有振源和预》测可能的振源的振动!影响此项测定正逐】渐被:相关科技人员和工】程项目承建者关注】和重视但是》由于微振控制要【求和各类振》源对微振《控制的影响评价【的技术复杂性所【以本条规定》中强调“实际测【定”和?。“,。模拟振源”的—影响
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4.—1.:4 近年》来电子工业》洁净厂?房的总平面》布置时?在充分考《虑电子产品生产工】艺,特点和具体工程项目!中洁净厂房内各功】能区(包括洁净生产!区、辅助生产区【、非洁净生》产区、公用动—力,系统和办公》等功能区《)合理布置的情况下!在合:理进行人流、物流组!织方便运行维护【管理、合理布置公】用动力管《线,、降低能量消—耗、确保《安全:生产的条件》下常常将电子工【业洁净厂房按组合】式、大体量的综【。合,性厂:房布置这《些电:子工厂投入使用后得!到了各?方面的认同》
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4.1.!5、4?.1.6《 为减少电子工业!洁净厂房周围的尘】源或散发微粒的【数,量在规范中规—定在洁净厂房周围及!其周边或对于—设有洁净厂房—的电子工厂内相【关道:路的路面选择—时应选择《整体性能好、不【易,产生:裂缝的材料不得选用!容易发尘材料铺砌通!常,推荐:采用沥青《路,。面
目】前电子工业洁—净厂:房周:围进行绿化时一般可!以采用铺草》坪,的方式?。。或草坪间《种灌木?等树种的方》式由于?电子产品的品种较】多不:可能推荐一》种绿化方式考—。虑,。到种植各类树种、】花草等可《能产生花粉等尘粒】并且微粒的化—学,组成十分复杂—为确保产《品质量本规范—中规定不宜种植对生!产环境和产品质【量有影响的植物
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4.1.7 】 本条编写的依据是!现,行国家标准建筑设计!防火规范《GB 500162!0,06中相《关的规?定,电子工业洁净—。厂房内?均设有人净设—施、物净设施等技术!。措施洁净厂房—内的疏散走道—常常是曲折、—多变一旦《出现火情后为了方便!。。消防:人员能够《及时到达出》事地点为此本条对】洁净厂房消防车道】的设置不规定厂【房占地面积下限【值,
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