安全验证
4》  总体设计 【 ? —4.1  位—置选择和总平面布置! 》 4《.1.1《 , ,电子产品生》产用洁净厂房与其他!工业洁净《厂房的重要区别之一!是,。一,些电子产品》生产对化学污染物有!严格的要《求如微电子产品【中需严格控制生产环!境中的重金属—、有:机物的含量在表2中!列出集成度从64】M,。发展到64G时重金!属要求从5×10】10:(原子·cm-2)!严格:至小于2.5×1】09:(原子·cm-2】);有机《物从1×101【4(原子·cm-】2,)严格至3》×1012》(,原子·cm-2【)据了解一些微电】子洁净厂房的产品生!产中发现极微量的N!a+、等化学物【质,对产品生产》影响极?大应予严格控制 】 近年来】。国内外研究表明【由于全球环境保护】的严峻形势和各【类工业生《产发展、人民—。生活水平《提高都?使大气中《污染物?种类、浓度发生了】变化尤其是城—市中的工业燃烧【排放物和汽车—燃烧排放物的—增加大?气中的微粒》浓度、?化学污染物也—呈增加趋势大气【中化学污染物与所在!地区:的经济发展状况【、固定燃烧源和移动!燃烧源?。(汽车等)的组成】、类型?和数量关系密切据大!气检测?表明大气中》的化学物《。质主:。要有阳离《。。。子Ca2+、Na】+、Mg2+—、,。K+、阴离子、、】Cl-、F-等还】有一:些浓:度较低?的,Hg等随着国民经】。济的发展人民生活质!量,。。的提高这《。些物质总的趋势是】。逐年增加一些—城,市,或一些具《。体场所还会由于【工业生产《或汽车数量》的增加或《气象条件的》变,化有:时或某一《时间:段这些化学物质的】。数量、浓度都会增】加所:以在进行电子工厂特!。别,在一些产品生产【过程对化学》污染:物,要求严?格的洁净厂》房的:。选,址应予充分》重视为此《本条:。作出了三《款的推荐性规—定 》 4.1.—2  本条规定电子!。工业洁?净厂房的新风口【与城市交通干道【之间的距离由于【城市交通干道上运输!车辆运行中》所产生的污染—物主要通过新—风的吸?入对洁净厂房产生影!响根:据现:行,国家标准洁净厂【房设计规范GB 5!0073的相关规定!此距离宜大于—50m !近年来?我国各地区的城【市,交,通于道两侧》或城:。市交通于道与工【厂之间都建设了绿化!带这些绿《化带有以草坪为主】或树:、草间种或》以,树为:主等多种形式测试数!据表明各种形式【的绿化?带都具有一定吸尘、!降低空气中微粒【浓度:的作用所以》本条规定当电子【工业洁净厂房与交通!干道之间设有城市绿!。化带时可视具体条件!适当减?少距离? 》。 4.1《.3  对于有微振!控制要求的电—子工业?洁净:厂房的位置选择时】应,实际:测定拟建《工厂厂址或已有【工,厂内拟选择洁—净,厂房的场地周围【现,有振源和《。。预,。测可能的振》源的振动影响此项测!定正逐渐被相关科技!人员和工程项—目承建者关注和【重视但是由于微振控!制要:求和:各类振源《对微振?控制的影响评价【的技术复《杂性所以《本条规?定中强?调“:实际测定”和“模】拟振源”的影响【 4.1!。.4  近》年,来电子工《业洁净厂房的总平面!。布置时在充分考虑电!子产品生产》工,艺特点和具体工程】项目中洁净》厂房内各功能区(包!括洁:净,生产区、辅》助生产区、》非洁净生产》。。区、公用动力—系统:和办公等功》能区)合理布置的情!况下在合理进行【人,。流、物流组织方【便,运行维护管理、合】理布置?公用动力管线、降】低能量消耗、—确保:。。安全生产《的条件下《常常将电子》工业洁净厂房按组合!式、大体量》的综合性厂房布置】这些电子《。工厂投?入使用后得到了各】方面的认《同 《 ?4.1.5、4.1!.6  为减少【电子工业洁净厂房】周,围的尘源或散发微】粒,的数量在规范中【规定在洁净》厂房周围及》其周边或《对于设?有洁净厂房的电子工!厂内相?关道路的路面选【择时应选择整—体性能好、不易【产生裂缝的材料不得!选用容易发尘材料铺!砌通常推荐采—用沥:。。青,。路,面 《 目前电子工】业洁净厂房周围进】行绿化时《一般可以采用—铺草坪的方式或草】坪间种灌木等树【种的方式由于—电子产?品的:。品种较多不》可能推荐一种—绿化方式考虑到种】植,各类树?种、花草等》可能产生花粉等尘粒!。并,且微粒的化学组成十!分,。复杂为确保产品【质量本?规范中?规定不宜种植对生产!环境和产品质量【有,影响的?植物 4!.1.7  —本条编写的依据是】。现行国?家标准?建筑设计防火规范】。GB 500162!006中相》关的规定电》子工业?洁净厂房内均设有人!净设施、《物净设施等技—术措:施洁:净,厂房内的疏》散走道常常是曲折、!多变一旦《。出,现火情后为了方便】消,防人:员能够及时到达【出,事,地点:为此本条对洁净厂房!消防车道的设置不规!定厂房占《。地面积?下限值 《 ,