安全验证
。。 《4,  总?体设:。计 》 4.】。1  位置选择和】总平面布置 】。 , 4.1.1!  电?子产品生产》用洁净厂房与其他】工业洁净厂》房的重要区别之一是!一,些电子?产品生产对化—学,污染:物有严格《的要求如微电子【产,品中需?严格控制生产环境中!的重金?属、有?机物的含量》在表2中列》出,集成:度从64M发展到】64G时重金属要求!从5×1010【(,原子·cm》-,2)严格至小于2】.5×109(【原子·cm-—2);?有机物?从1×10》。。14(原子·—cm-2《)严格至《3×1012(【原子·cm-2【)据了解一些微【电子洁?净厂:房的产品生产中发】现极微量的Na+、!等化学物《质对产品生产影响】极大:应予严格控制 】 近年来【国内外研《究表:明由于全《。球环境保护的严【峻形势和《各类工业生》。产发展?、人民?。生活水平提》高都使大气中污染】物种类、浓》度发生了变化尤其是!。城市:中,的工:业燃烧?排放物和汽车燃烧】排放物的增加大气中!的微粒浓度、化【学污染物也呈增加】趋势大气《中化学污染物与所】在地区的经》。济发展状况、固【定燃烧源和移—动燃烧源(汽—车等)的组成、类】型和数量关系密切据!。大,。气检测表明大气中】的化学物质》主要:有阳离子Ca—。2+、N《。a+、M《g2+、K+—、,阴离子、《、Cl-、F-【等还有一些浓度较低!的Hg等随着国民经!济的:发展人民生活质【。量的提高这》些物质总的趋势是逐!年增加一些》城市或一些》具体场所还会—由于工业生产—或汽车数量的增加或!气象条件的变化有】时或某一《时间:段这些化学物质【的数量、浓度—都会:增加所以在进—行电子工厂特别在】一些产?品生产过程对化学】污,染物要求严格—的洁净厂房的选址】应予充分重视—为此:本条作出《了三款的推荐性规定! ? , :4.1?.2  本条规定】电,子工业洁净厂房的】新风口与《城市交通干道之间】的距离由于城市交】通干道?上,运输车辆运行—中所产生的》污染:物主要通过新风的吸!入对洁?净厂房产生影响【根据现行国》家,标准洁?净厂房设计规范【GB 5《0073的》相关规定此》距离宜大《于,50m 【 近年来》我国各地区的城市交!通于道?两侧或?城市交通《于道与工厂》之,间都建设了》绿化带这《些绿化带有》。以草坪?为主或树《、草间?种或以树为主等【多种形?式测:试数据表明各种【形式的绿化带—都具:有一定吸尘、降低空!气中微粒浓度的【作用所以《本条规定当电子工】业洁净厂房与—交通:干道之间设》有城市绿化带—时可视具体条—件适当减少距—离 【4.1?.3  对于有微振!。控制要求的电子工】业洁净厂房的位置选!择时应实《际测定拟建工厂厂址!或已有工厂内—。拟选择?洁净厂房的场—地周围现有》振源和预测可能的】振源的振动影响【此项:测定正逐渐被相【。关科技人员和工程项!。目承:建者关注和重视但】是由于微振控制要】求和各类振源对微】振控制的影响评【价的技术复杂性所】以本条规定》中强调“实》际测定”和“模【拟振:。源”的影响》 4.】1.4  近年【来电子工业洁净【厂房的总平面—布置时在《充分考?虑电子产《品生产工艺特点和】具体工程项目中洁净!厂房内?各,功能区(包》括洁净生产区、辅】助生产?区、:非洁净生产区—。、公用动《力系统和办》公等功能区》)合理布置的情【况下在合理进—行人流?、物流组织方便运行!维护管理、》。合理:。布置公用《动力管线、降低能】量消:耗、确保《。安全生产的条件下】常常将电子工业【洁净厂房按组合【。式,、大体量的综合【性厂房布《置这些电子》。。工厂投入使用后得到!了各方面的认同【 ? 4.1.5、!4.1.《6  为减》少电子工业洁净厂】房周围的尘》源或:散发微粒的数—量在规范《中规定在洁净厂房】周围:及其周?边或对于设有洁净】。厂房的?。电子工厂《内相关道《路,。的路面选择时—应选择整《。体性能好、》不易产生裂》缝的材料不得—选用容易发尘材料铺!砌通常推荐采—用,。沥青路面 — 目》前电子工《业洁:净厂:房,周围进行绿化时【一般可以《采用铺草坪》的方式?或草坪间种灌木等树!种的方式由于电【子产品的品种—。较多不可能》推荐一?种,。绿化方式《考虑到?。种植各类树》种、花草等可能产生!花粉等尘粒并且微】。粒的化学组成十分】复杂为确保产品质量!本规范中规定不宜种!。植对:生产环境和产—品质量有影响—的植物 》 《4,.1.7  本【条编写的依据是现行!国家标准建筑—设计防火规范GB】 5:00:162006中相关!的规定电子工业洁净!厂房内均设有人【。净设施、物净设施等!技术措施洁净厂【房内的疏散走道常常!是曲折、多变一旦出!现,火情后为《了方便消防人员能】够,及时到达出事地【点为此本条对洁净厂!。房消防车道》的设置不规》定厂:房占地?面,积下限值 —