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?。4 总体设计
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4—.1 ? 位置选择和—。总平面布置
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4.》1,.1 《电,子产品生《产用洁?净,厂房与其他工业洁】净厂房的重要区【别之一是一些电子产!品生产对化》学污染物有》严格的要求》如微电子产品—中需严格控制生产环!境中的重金属—、,有机物的含量—在表2中列出集成】度从64M发展到】64G时重金属要】求,从,5×1010—(原子·cm-2)!严格至小于2.5】。×10?9(原?子·cm-2);】有机物从1×—1014(原子·c!m-2)严格至3×!10:12(原《子·cm-》。2)据了解一些微】电子洁净《厂房的?产品:生产中发现极微量】的Na+、》等,化学物质对产品【生产影响《极大:应予严格控》制
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近年来国内!外,研究表明由于全球环!境保:护,的严峻?形势和?。各类工业生产发【展、:人民生活水》平提:高都使大气中污染】物种类、《浓度发生了变化尤其!是城市?中的工业燃》烧排放物和汽—车燃:烧排:放物的?增加大气中的—微粒:浓,度、化学《污染物也呈》。增加趋势大气—中化学污染物与所在!地区的经济发展状】况、固定《燃烧源和移动—燃烧源(汽》车等)的组成、类型!和数量?关系密切据大—气检测表明大气【中的化学物质主【要有阳离子Ca2】+、Na+、Mg2!。+、K+、》阴离:子、、Cl-—、F-等还有一些浓!。度较低的《Hg等?随着国民经济—的发展人民生活质】量的:提高这些物质总的】趋势是逐年增加一些!城市:。或一:些具体场所还会由于!工业生产或汽车【数量的增加或气【象条件的变》化有:时或某一时间段【。这些化学物质的数】量、浓度都会增【加所以在进行电子工!厂特别在一些产【品生产过程对化学】。污染:物要求严格》的洁净厂房的选【址应予充分重视【为此本?条,作出了三款的推【荐性规定《
—4.:1.2? , 本条规定电子【工业洁净厂房的新风!口,与城市交通干—道之间的距离—由于城市交通—干道上?运输车辆运行中所产!生,的污染物主要通【过新风的吸入对洁净!。厂房产?生影响根据现—行国家?标准洁净厂》房设计?规范GB 500】。73的?相关规定此》距离:宜大于?50:m
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近年来我—国,各地:区的城市交通于道】两侧:或城市交通》于道与?工厂之?间都建设了》绿化带这些绿化【带有以草坪为主或】树、:草,间种:或以树为《主等多种形式测试数!据表明各种形式的绿!化带都具有》一定吸尘、降—低空气中微粒浓【度的作?用所以本条规—定当电子工业洁净】厂房:。与交通干道之间【设有:。城市绿化带》时可视具《体条件适当》减少距离
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4:.1.3《 对于有微振控制!要求:的电子工业洁—净厂:房的位置《选择时?应实际测定拟—建工厂厂址或已有工!厂,内拟选择洁》净厂房的场地—周,围现有振源和预【测可能的振源的【振动影响此项测定正!逐渐被相关科—技人员?和工程项目承建者】关注和重视》但是由于微振—控制要求和各类振】。源对:微振控制的影响评价!的技术复杂性所以】本条规定《中强调?“实际?测定”和“模拟振】源,”,的影响
!4.1.4 近年!来电子工业洁—净厂房?的总:平面:布置时在充分考【虑,电子产?品,生产工?艺特点和《具体:工程项目中》洁净厂房内各功能】。区(包括《。洁净生产区、辅助生!。产区、非洁净生【产区、?公用动力系》统和办公等功—能区)合理布置的情!况下在合理进行人流!、物流组织方便【运行维?护管理、合理布置公!。用动:力,。管线、?降低能量消耗、【确,。保安全生《产的条件下常常【将电子?工业洁净厂房—按组合式、大体【量的:综合性厂房》布置这些《电子工厂投》。入使用后《得到了各方面的认同!
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4.1.5、4!.1.?6 为减少电子工!。业洁净厂《房周围的尘》源或散?。发微粒的《数量:在规范中规》定在洁?净,厂房:周围及其周边或对】于设:有洁净厂《房的电子工厂内相】关道路的路面选择】时应选择整体性【能好、不易产生裂缝!的材料不得选用容易!发尘:材料铺砌通》常推荐采《。用,。沥,青路面?
目前电!子工:业洁净厂《房周围进行》绿,化时一般可以采用铺!草坪:的方式或草坪间种灌!木等树种的方式由于!电子:产品的品种较多【。。不可能推《荐一种绿化方式考】虑到:种植各类树》种、花草等可能产生!花粉等尘粒并—且微:。粒,的化学组成》十分:复杂为确保》产品质量本规范中规!。定不宜种《植对生产环》境和产?品质量?有影响?的植物
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4.?1.:7 本条编写的依!据是现行国家—标,准建筑设计防火规范!。GB 50》0162006中相!关的规定电》子工业洁净厂房内均!设有人净设施、物净!设施等技术措施洁净!厂房内的疏散走【道常常是曲折—、多:变一旦出《现火:情后为了《方便消防人员能够及!时到:达出事地点为此本】条对洁净厂房消【防车:。道,的设置不规定厂房】占地面积下限值【
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