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4 总】体设计
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—4.1 位置【选择和总平面布【置
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4.1.1— :。电,子产品生产用—洁净厂房《与其他工业洁净【厂,房的重要区别之【一是一些电》。子产品生《。产对化学污染物有】。严格的?要求如微电子产【品中需严格》控制生产《环境中的重金属【、,有机物?的含量在表2中列】出集成度从64M发!。展到:64G时《重金属?要求:从5×?。1010《(原子·c》m,-2:),严格:至小于2.5—×109《(原子·cm—-2:);有机物》从1×1《。014?(原子·cm—-2)严格至3×1!0,12(原子·cm】-2:)据了解一》。些微:。电子洁净厂房—的产:品生产?中,发,现极微?。量的Na《+、等化学物质对】产品生?产影响极《大应予严格》控制
近!年来国内外研究表明!由于全球环境—保护的严峻形势和】。各,类,工业生产发展、人】民生活水平》提高都使大》气中污染物种类、】浓度发生了变化【尤其是城市中—的工业?燃烧排?放物:和汽车燃烧》。排放物的增加大气】。中的:微粒浓度《、化学污《染物也呈增加趋势大!气中化学污染物与】所,在地区的《。经济发展状况—、固定燃烧源和【移动燃烧源(汽【车,等)的组成》、类型和数量关【系密切据大气检【测表明大气中的化学!物质主要有》阳离子Ca2+、N!a,+、M?g2+、K+、阴】离子、?、Cl-、》F,-等还有《一些浓度较》低的Hg《等随着国民经济【。的发展人民生活【质量的提高这些物质!总的趋势是逐年增】加一些城《市或一些《具体场?所还会由《于工业生产》或汽车数量的—。增加或气象条件的变!化有时或某一—时,间段:这些化学物质的【数量、浓度都会增】加所以在进行—电子:工厂特别在一些产】品生产过程对—化学污?染物要求严格—的洁净厂房》的选址应予充分重】视为此本《条,作出了三款的推荐】性规定
!4.:1.2 》本条规?定电子工业洁—净厂房的新风口【与城市交通干道之间!的距离由于城市交】通干道上运输车辆】运行中所产生的污】染物主要通过新【风,的吸入?对洁:净厂房产《生影响根据现行国】家标准洁净厂房设】计规:范GB 500【73的相关规定【此,距离宜大于50【m
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近年来【我国各?地区的城市》交,通于道两侧或—。城市交?通于道与工厂之间都!建设了绿化带这些绿!化带有?以草坪为主》或树、草间》种或:以,树为主等多种形【式测:试数据表明各种形式!的,绿化带都《具有一定吸尘、降低!空气中微粒浓度的作!用所以本条规定当电!。子工业洁净》厂房与交《通干道之间设有城】市绿化带时可视具】体条件适当减—少距离
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4.1.【3 对《于有微振控制—要求:的电子工业洁净厂房!的位置选择时应【实际测定拟建工厂厂!。址或已有工》厂内:拟选择洁净厂房【的场地周《围现有振源和预测】可能的振源的振动】影响此项测定正逐】渐被相关科技人【员和工程项目—承建:者关注和重视但【是,由于微振控制要求和!各类振源对微振【控制的影响评—价的技术复杂性【所以本条规定中【强调“?实际测定”和“模】拟振:。源”的影响
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4.1.】4 : 近年来电子—工业洁?净,厂房的总平面布置】时在充分考虑电子产!品生产?工艺:特点和具《体工程项目中洁【净厂:房内各?功能区(包括洁净】生产区、辅助—生产区、非》。洁,净生:产区、公用动力系】统和办公等功能【区)合理布置—。的情况下在》合理进行人流、【物流组织方便运行维!护管理、合理布【置公用动力管线、降!低能量消《耗、确保安全—生产的条件下常常】将电子工业洁净【。厂房按组合式、大】体量的综《合性厂房布》置这些电子工厂【投入使用后》得到了各方面—的认同
!4.1.5、4.】1.6? 为减少电子工业!洁净厂?房周围?的尘源或散发微【粒的数量《在规范中规定在【。洁净:厂房:周围及其周边或【对于设有洁净厂房的!电子:工厂内相关道路的路!面,选,择,时应选择整》体性:能,。好、不易产生裂缝】的材料不得选—用容易发尘》。材料:铺砌通常推》荐采用?沥,青路面
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目前电》子工业洁《净厂房?周围进行绿化时一般!可以采?用铺草坪的方式【或草坪间种灌木【等,。树种的方式》。由于电子产品的品】种较:多不可?。能推荐一种绿化方】式考虑到种植各【类树种、花草等可】能产生?花粉等?尘粒并且微粒—的化学组成十分复杂!为确保?产品质量本规范中】规定不宜种植对生】产环境和产》品质:量有影响的植物【
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4《.1.7 本条编!写的依据《是现行国家标准建筑!设计防火《规范GB 50【01:62006中—相关:的规定电子》工业洁?净厂房内《均设有人净设施、物!净设施等技》术措施洁净厂—。房,内的疏散走》道常:常是曲折、》多,变一旦出《现火情后为了—方便消防人员能够及!时到达出事地点为】此,本条对洁净》。厂房消防车》道,的设置不规定厂房】占地面积《。下限值
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