安全验证
4》  总体设计— 》 《 4.1  位置】选择:和总平面布置 【 : , 4.1.1!  电?子,产品生?产用洁净厂》房与其他工业洁净】厂房的?重要区别《之一是一些电—子产品生产对化学】污染物有《严格:。的要求如微电子产品!中需严格控制生产环!。境中的重金属、有】机物的含量》在表2中列出集成度!从64?。M,发展:到64?G时重金属要求从5!×1:。010(原》子·:cm-2)严格至】小于:2.5×109(】原子·cm》-2);有》机物从1×》。10:14(原《子·c?m-2)严格—。至3×101—。2(原子《·cm?-2)据了解一些微!电子洁净厂》房的产品生产中【发现极微量》的Na+《。、等化学物质对【产品生产影响极大】应予严格控制 !。 近年来国【内,外研究表明由于全】球环境保《护的严?峻形势和各类工【业生产发展、人民】生,活水平提高都使大】气中污染物》种类、浓度发—生了变化尤其—是城市中《的工业?燃烧排放物和汽车燃!烧排放物的增加【大气中?的,微粒:浓度:、化学?。污染物也呈增加【。趋势大气中化学污染!物与所在地区—的经济?发展状况、固定燃烧!源和移动燃烧源【(汽车等)的组成】、类型和数》量关系密切据大气检!测表明大气》中的化学《物质主要有阳离【子Ca2+、Na+!、Mg2《。。+、K+、阴离子】、、:Cl-、F》-等:还有一些浓度较低】的Hg等随着—国民:。经济的?发展人民生活—质量的提高这—些物质总的趋—势是逐年增》加一些城市或—一些具体场所还【会由于工业生产【或汽车数量的增【加或气?象条件的变化有【时或某一时》间段这些化学—物质的数《量、浓度都会增加】所以在?。。进行电子工厂—。。特别在一些产—品生产过程对化学污!染物要?求严格?的,洁净厂?房的选址应予充分重!视为此本条作出了】三款的推荐性规【定 4.!1.2 《 本条规定电—子工业洁净》厂房的新风口与城市!交通:干,道,。之间的?距离由于城市交通】干道上运输车辆【运行中所产生的污染!物主要通过》新风的吸入对洁【净厂房产生》影响根?据现行国《家标准洁《净,厂房:设计规范GB 【50073的相关规!定此:。距离宜大于50【m — 近年?来我国?各地区?的城:市交通于道两侧【或城市交通于道与】。工厂之?间都:建设了绿化带这些】绿,化带有以草》坪为主或树》、草:间种或以树为主等】。多种形?式测:试数:据表明各种形—式的绿?化带都具有》一定吸尘、降低空】气中微粒浓度的作】用所以本条规定当电!子工业洁净》厂房与交通干道【之间设有《城,市绿化带《时可视具《体条件适当》减,少距离 》 4.1【.3  对于有【微振控制要求—。。的电子工业洁净厂房!的位置选择时应实际!测定:拟建工厂《厂址或已有工—厂内:拟选择洁净厂房的】场地周围现有振源】和预测可能的振源】的振动?影响此项测定正【逐渐被相关科—技人员和工程项目承!建者关注和重视【但,是由于?微振控制要求和【各类振源对》微振控制的》影响:评,。价的技术复》杂,性所以本条规定中】强调“?实际测定”和—“模拟?。振源”的影》响, ? : ,4.1?.4  近年—来,电,子,工业洁净厂》。房的总平面布置【时在充分考虑电子产!。品生产工《艺特点和具体工程】项目中洁《净厂房内各功能【。区(:包括洁净生产区、辅!助,生,产区、非洁净生【产区、公用动力系统!和办公等功能区)】合理布?。置的情况下在—合理进?行人流、物流—组织方便运》行维护管理、合理】布置公?用动:力管线、《降低能?量消耗、确保安全】生产的条《件下常常《将,电子工业洁净—厂房按组《合式、大体量的综合!性,厂房布?置,这些电子工》厂投入使用后得【到了各方面的认同 ! 4.1】.5、4.1.6】  :为减少电子工业【洁净厂房周》。围,的尘源或《散发:微粒的数量》在规:范,中规定在洁》净厂房周围及其周】边或对于设有洁净厂!房的电子工》厂内相关道路的路面!选择时应选》择整体性能好、不】。易产生裂缝》的材料不得选—用容:易发尘材料》铺,砌通常?推荐采用沥青—路面: 》 目前电子》工业洁净厂房—周围进行绿化时一】般可:以采用铺草坪—的方式或《草坪间种灌木等【树种:。的方式由于电子产】品的:品种:较多不可能推荐一】种绿化方式》考虑到种植各类树种!、,。花,草等可能产生—花粉等尘粒并且微粒!的化学组成十—分复杂为《确保产品质量—本规范中规定—不宜种植对生产【环境和产《品质:量有影响的植—物 【4.1.7 — ,本条编?写的依据是现行国家!标准建筑设计防火】规范GB 50【0162006中】相关的规《定电子工业洁净厂】房内均设有人净设】施、物净《设施:等技术?措施洁净厂房内的】疏散走道常常是【曲折、多变一—旦出现火情后为【了方便消防人—员,能够及?时到达出《。事地:。点为:此本条对洁净厂房消!。。防,车道的设《置,不,。规定厂房《占地面积《下限值 》