4  总体！设计 ！ 4.1 【 位置选择和—总平面布置 【 4【.1.1  电子】产品：生产用洁净厂房与】其他工业洁净厂房的！重要区别之一是一些！电子产品生》。产对化学污染物有】严格的要《求如微电子产品【中需严？格控制生产》环，。境中的重金》属、有？机物：的含量？。。在表2中列出—集成度？。。从64M发》展到64G时重金】属要：求从5×1010(！。原子：·c：m，-2)严《格至：小于：2.5×1》09(原《子·cm-2)；】有机物从1》×1014(原子】。·cm-2)严格至！3，×，1012《(，原子·？cm-2)据了解】。一些微电子洁—净厂房的产品生【产中发现《极微量的N》a+、等化学物【质，对产品生《产，影响极大应予严【格控制 《 ， ： ， 近年来国内外【研，究表明由《于，。全球环境保护的严峻！形势和各类工业【生产发展、人民生活！水平提高都使大气】中污染物《种类、浓度发生【了，变化尤其是城市中的！工业燃烧排放—物和：汽车燃烧排放物的增！加大气中的》微粒浓？度、化学《污染物？也呈增加趋势大气】中化学污《染物与所在》地区的经济发展【状况、固定》燃烧源和移动燃【。烧源(汽车等)【的组成、《类型和数量关—系密切据《大气检测《表明大气中的—化学物质主要有阳离！子C：a2+、Na+、M！g2+、K+—、阴：。离子、、《C，l，-、F-等还有【一些浓？度较低的Hg等【随着国？民经济的发展人【民生活质《量的：提高：这，。些物质总的趋势【是逐年增加一些城】市或：一些：具体场所还会—由于工业生产—或汽车数量》的增：加或气象条件的变】。化有时或某》一，。时间段？这些化学物》。质的数？量、浓？度都：会增加？所以：在进行电子工厂特别！在一：些产品生产过程【对化学污染物—要求：。严格：。的洁净厂房的—选址应予充》分重：视为此本《条作出？了三款的推荐—性规定 】 4.1.2—  本条规定电子工！业洁净？厂房的新风口与城市！交通干道之间—的距离由于城市【交通干道上运—。输车辆运行》中所产生的》污染物？主要通过《新风的吸入对洁净】厂房产生影响—根，据现行国家标准洁净！厂房设计规范GB ！50073的相关】规定此距离宜大【于50m 【 近年》来我国各地》区的城市交》通于道？两侧或城市交—通于道？与工：厂之：间都建设了》绿化带？这些绿化带有以【草坪为主或树—、草间种或以—树为主等多种形【式测试？数据表明《各种形式的绿化带都！具有一？定吸尘、降低—空气中微粒》浓度的？作，用，所，以本条规定当电子工！业洁净厂房与—交通干？道之间设《有城市绿《化带时可视具—体条件？适当减少距离— —4.1.3  对】于有：微，振控制？要求的电子工业洁净！厂房的？位置：选择时应实》际测定拟《建工厂厂址》或已：有工厂内拟选择洁】净厂房的场地—周围现有振源和【预，测可：能的振源的振—动影响此项测定正逐！渐被相关科》技，人员：和工程项《目承建？者关注和《重视但是《由于微振《。。控制要求和各类振】源对微振控制的【影响评价的技术复杂！。性，。所以本条规定中【强调“实《际测：。。。定”和“《模拟振源”的影响 ！ 4.1.！4  近年来—电子工业洁净厂房】的总：平面：布置时在充分考虑】电，子，产品生产工艺特点】和具体工程项目【中洁净厂房内各【功能区(《包括洁？净生产区《、辅助生产区、非】洁净生产区、—公用动力系统和办】公等功能区》)合：理布：置的情况下在合【理进行人流、物【流组织方便运—行维：护管理、合理布【置公用动力》管线、降低能量消耗！、确保安全生产【的条件下常常将电子！工业洁净厂房—按组合式、大体量】的综合性厂》房布置这些电子【工厂：投入使用后》得到了各方面的【认同 》 ， ， ，4.1.5、4.1！.6  为减—少电子工业洁净厂】房周：围的：尘源或散发微—粒的数量在规—范中规？定在洁净厂房—周围及其周边—或，对于设有洁》净厂房的电子工【厂内：相，关，道路的路面选择时应！选择整体性》能好、不易》产生裂缝的材—料不得选用容易发】尘材料铺《砌，通常：推荐采用沥青路面】 ， 目前【。电子工业洁净厂房】。周，围进行绿化时一【般可以？采，用铺草？。坪的方式或草坪间】种灌木等《树种的方式由于电子！。产品的品种较多不可！能推荐一种绿—。化方式？考虑到种《植各类？树种、花草等可能】产生花粉等》尘，粒并且？微粒的化学组成十】分复杂为确保产品质！量本规范中》规定不宜《种植对？生产环境《和产品质量》有影响的植物— ？ ， 4.1.7  ！本条编写的》依据是现《行国家标准》建筑设计防》火规范G《B， 5001》62006中相关】。的规定？电子工业洁》净厂房内均》设有人净设》施、物净设施等【技术：措施洁？净厂房内的疏散【走道常常是曲折【、多变一旦》出现火？情，后为了方便消防人员！能够及时到》达出：事，地，点为此本条对洁净】厂房消防车道的设】置不规定厂房占地】面积下限值》 ，。 ，