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4 总体设计】
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4.1 【 位置选择和总平】面布置
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4.!1.1 电子产品!。生产用洁《净厂:房与其他工业—洁,。净厂房的重要—区别之一是一—些电子产品生产对】化学污染物有严【格的要求《如微电子产品中需】严格:控制生产环》境,中的重金属》、有机物的含量【在表2中《列出集成度》从6:4M发展到6—4G时重《金属要求从5×【1010(原—子,·c:m,。-2)严《格至小于2.5【×109(原子·c!m-2);有机物】从1×1014(】原子·cm-—2)严?格至3×《1012《(,原子·c《。。m-2?)据了解《一些微电子洁净【厂房的产品生产中】发,现极微量的Na+、!等化学物质》对产品生产影响【极,大应予严格控制
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近年来国内外研究!表明由于全球环【境保:护的严峻形势—和各类工业生产【发展、人民生—活水平提高》都使大气中污染物】种类、浓度发生了变!化尤其是城市—中的:工,业燃烧排放物和汽】车燃烧排放物—。的增加大气中—的微:粒浓度、化学—污,染物也呈增加—趋势大气中化学污染!物与所在地》区,的经济?发展状况、固定燃烧!。源和移动燃烧源【(汽车等)的组成、!类型:和数量关系》密切:据大:气检测表明大气【中的化学物质—主要有阳离子Ca2!+,、Na?+、Mg2+—、K+、阴离子【、、Cl-、F-】等还有一些浓—度较低的H》。g等随?。着国民?经济的发展人民生活!质量:的,提高这?些物:。。质总的?趋势是?逐年增加《一些城市或》一些具体场所还会由!于工业生产或—汽车数量的增加【或气象条件的变化】有时或某一》时间段这些》化学物?质的数?。量、浓?度,都会增加所以在【进行电子工厂特别在!一些:产品生产过》程对化学污染物要求!严格:。的洁净厂《房的选址《应予充分重视为【此本:条作出了三款—的,推荐性规定》
4.】1.2 本条规定!电子工?业,洁,净厂房的《新风:口与城市《交通干道之间—的距离由《。于城市交通干道上运!输车辆运行中所产生!。的污染物主要通过新!风的吸入对洁—。。净厂房产生影响根据!现行国家标准洁【净厂房设《计规:范,GB 5007【3,的相关规定此距离】宜大于?50m
!近年来我国各地区的!城市交通于道两【侧或城市交通—。于道与工厂之—间都建?设了绿化带这些【绿化带有以草—。坪,为主或树、草间种】或以树为主等多种形!式测试数据表明各种!形式:的绿化?带都具有一定吸【尘、降低空》气中微粒浓度的作用!所以本?条规定当电子工业洁!净厂房与《交通干道之间设【有城市绿化带时【可视:具体条件适当减【少距离?。
—4.1.3 【对于有微振》。控制要?求,的电:子工业洁净》厂房的位置选择时】应实际测定拟建工】。厂厂址?或已有工厂》内拟:选择:洁净厂房的场—地周围现有振源和】预,测可能的振源的振动!影响此项测定正【逐渐:被相关科技人员和工!程项目?承,建,者关注和《重视但?是由于微《振,控制要求和各类振源!对微振?控制:的影:响评价?的,技术复杂性所以本条!规定中强《调,“实际测定》”和“模拟振源”】的影响
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4.1.【4 近《年来电子工业洁净厂!房的总平面》布置时在充》分考虑电子产品【生产工艺特点—和,具,体工程项目中洁净厂!。房内各功能区(【包括洁净生产—区、辅助生产区【、非洁净生产区【、公用动《力系统和《办公等功能区)合】理布置的情况下在】合理进行人流、【物流组织方便运行】维护管?理、合理布置公用】动力管线《、降低能量消耗【、,确保:安,全生产?的,条件下常常将电【子工业洁净厂—房,。按组合式《、大体量《的综合性《厂房布置这些—电子工厂投入—使用后得到了各【方面的认同
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4?.1.5《、4.1.》6 为减》少电子工《业洁净厂房》。周围:的尘源或散发—。微粒的数量在规范】中规定?在洁净厂房》周围及其《周边或对于设有【洁净厂房《的电子工厂》内相关道路》的路面选择时应【选择整体性能好、不!易,产生裂?缝的材料不得—选用容易发》尘材料?铺砌:通常推荐采用沥青路!面
目】前电:子,工,业洁净厂《房周围?进行绿化时一般【可,以采:用铺草坪的》方式或草坪间—种灌木等树种的【方式由于电子产品】的,品种较多《。不,可能:。推荐一种绿化方式】考虑到种植各类树种!、花草等可能产生】花粉:等,尘,粒并且微粒》。的化学组成十分复】杂为确保产品质量本!规范中规定不宜种】。植对:生,产环境和产》品质:。量有影响《的植物
!4.1?。.7 本条编【写的依?据是现行国》家标准建筑设计防】火规范GB 50】0162006【中相关的规定电子工!业洁净厂房内均设】有人净设施、物【净设施?等技术措《施洁净?厂房:内的疏?散走道常常是曲折、!多变一旦出现火情后!为了方便消防人员能!够及时到达出事地点!为此本条对洁净厂房!消防车道的设置不规!定厂:房占地面积下限值
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