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4 总】体设计
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4《.1 位》置选择和总平—面布置
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4【.1.1 电【子产品生产用洁净厂!房与其他工》。业洁净厂《房的:。重要区别之一是【一些电子产》品生产对化学污染】物有严格的要求如微!电,子产品中《。。。需严格控制生产环境!中的重金《属,、有机物的含量在表!2中:列出集成度从—64M发展到6【4G时重金属要求】从5×1《010(原子·cm!-2:),严格至小于2.5×!109(原子·cm!-2);有机物从】1,×,1,0,14(原子·cm】-2)严格至—3,×,1012(》原,。子·:cm-2)据—了,解一些微电子—洁净厂?。房的产?品生产?中发现极微》量的:Na+?、,等化学物质》对,产,品生产影响极大【应予严格控制—
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近年来国内外研!究表明由于全球环境!保护的严峻形势【和各类工业》生产发展、人民生活!水平提高都使大气】。中污:染物种类、浓度发】生,了变化尤《其是城市中的工业】燃烧:排放物和汽车—燃烧排放物的增【加大:气中的?微,粒浓度、化学污【染物也呈增加趋【势大气中化》学污:染物与所在地区的】经济发展状况—、固定?燃烧源和移动—燃烧源(汽车等【。)的组成、类—。型和数量关系—密切据大气检测表明!大气中的化》学物质主要有—阳离子Ca》2+:、N:a+、Mg2—+、K+、阴离【子、:、Cl-、F—。-,等,还有一些浓度较低的!Hg等随着国民【经济的发展人民生活!质量的提高这些【物质总?的趋势?是逐年增加一些【。城市或一些具体场所!还会由于工业生产】或汽车数量的增加】或气象条件的变【。化,有,时或:某,。一时间段这些—化学物质的数量、】浓度都会增》加所以在《进行:电子工厂特别—在,一些产品《生产过程对化学污染!物要求严格的洁【净厂房?的选址应《予,充分重视《为,此本条作出了三【款的推荐性规定【
—4.1.2 — 本条规定电子工业!洁净厂房的新—风口:与城:市交通干道》之间的距离由于城市!交通干道上运—输车辆运行中所【产生的污染物主【要,通,过新风的《吸入对洁《净,厂房产生影响—根据现?行国:家标准洁净》厂房设计《规范GB《 50?073的相关—规定此距离宜大于】50m
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近—年来我国各》地区的城市交通【于道两侧《或城市交通于—道与工?厂之间?都建设了绿》化带这些绿化—带,有以草坪《为主或树《、草间种或以—树为主等多种形式测!试数据表《明各种形式的—绿化带都具有一定】吸尘、?降低空?气中微粒浓度的【作用:所以本条规定当电子!工业:洁净厂房与》交,通干道之间设有城】市,绿化:带,时可:视具体?条件适当减少距【离
4】.,1.3 对于有】微振控制《要求的电子工业洁净!厂房的?位,置选择时应实际【测定拟建工厂厂【址或已有工厂内拟选!择洁净厂房的场地】。周围:现有振源和预测可能!的振源的振动—影响此项测》。定正逐渐被相关科】技人员和工》程项:目承建者关》注和重视但是—由于微振控制要求】和各类振源对微【振控:制的:影响:评价的技术复杂【性所:。以本条?规定中?强调“实际测定【”和“模拟振—源”的影响》
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4.1.4 近!年来电子工业—洁净厂房《的总:平面布置时》在充分考虑电子产品!生产工?。艺特:点和具?体,工程:项目中洁净厂—房内:各功能?区(包括洁净生【产,区,、,辅助生?产,区、:非洁净生产区、【。公用动?力系统和办》公等功能区)—合理布置的》情况下在《合理:进行人流、》物流组?织,方便运行《。维,。。。护管理、合理布【置公用动力》管线、降低能—量消耗、确保安全生!产的条件下常常将电!子,工业洁净厂》房按组合式》、大体量的综合性】。厂房布置这》些电子工厂投—入使用后《得到了各《方,面的认同
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4.1.5—、4.1.6 为!减少电子《工业洁净厂房周围】的尘源或散发微粒的!数量:在规范中规定在【洁净厂房周围—。及其周边或对于【设有洁净厂房的【电,子,工厂:内,相关道路的路面【。选,择时应选《择整体性能好、不】易产生裂《缝的材?料不得选用容易发】尘材料铺砌通常推荐!采用沥青路面
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目前电子工!业洁净厂房周围进】行绿化时一》般可以采用铺草坪】的方式或草坪—。间种灌木等树种的方!。式由于电《子产品?的品:种较多不可》能推:。荐一种绿《化方式考虑到种植】。各类树种、花草等可!能,产生花?粉等尘粒《并且微粒《的化学组成》十分复杂为确保产】品质量本规范中规】定不宜种植》对生产?环境和产品质量有影!响的植?物
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4?。.1.7 》 本条编写的依据是!现行国家标准建筑设!计防火规《范,GB 5001【620?06中相关的—规定电子工业洁净】。厂房内均设有人【净设施、物净设施】等技术措施洁净厂】房,内的疏散走道常常】。。。是曲折?、多变一《旦出现火情后—为了方便消》防人员能《够及时到达》出事:地点为此本条对【。。洁净厂房消防车【道的设置不规定厂房!占地面积下限—值
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