4 — 总体设计
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4】.1: 位置《。。选择和总平面布置】
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4.1.1 电!子产品生产用洁净厂!房与其他《工业:洁,净厂房的重》要区别之《一是:一些电子《产品生产对化学污】。染,物有严格的要求【如微电子《产品:中需严格控制生产】环境中的重》金属:、有:。机物:的含量?。在表2中列出集【。成度从64M发【展到64G时重金属!要求从5×》1010(原子【·cm-2)严【。格至小于2.5×】109(原子·c】m-2);》有机物从1×1【014(原》子·cm《-2)严格至3【×1012》(原子·cm—-2:)据了解一》些,微电子洁《净厂房的产品生产】中发现极微》量,的Na+《。、等化学物质—对产品生《产影响极大应予【严格控制
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近年来国》内外研究表明由于】全球环境保护的【严峻:形势和?各类工业生产—发展、人民生活水平!提高都使大》气中污染物种类【、浓度发生了变化】尤其:是城:市,中的工业燃烧—排放物和汽车燃【烧排放?物的增加大气中的】微粒浓度、化学【污染物也呈增—加趋势大气中化【学污染物与所在【地,区的经济发展—状况、固定燃烧源】和移动燃《烧源(汽车等—)的组成《、类型和数》。量关:系密:切据:大气检测《表明大?气中:的化学物质主要【有阳离子Ca—2+、N《a,。+、M?g2+、K+、阴离!子、、C《l-、F-》等还有一些浓—度较:低的Hg等随着国民!经济的发展人民【生活:质量的?提高这些物质—总的趋势是逐年增加!一些城市或一些具体!场所还会由于—工业生产《或汽车?数,量的增加或气象条件!的变化有时或某【一时间段这些化【学,物质的数《量、浓度都》会增加所《以在进行电》子工厂特别在一些产!品生产过程对化学】污染物要求严格【的洁净厂《。房的选址应予—充分重?视为此本条作—出了三款的》推荐性规《定
【4.1.2 【本,条规:定电:子工业洁净厂—房的新风口与—城市:交通干道之间的【距离由于城市—交通干?道上运?输车辆运行中所产】生的污染物主要通过!新风的吸入对洁净】厂房产生影》响根据现行国家【标准洁净厂房—设计规范《GB 50073的!相关规定此距离宜】大于50《m
近年!来我国各地区的城市!交通于道两侧—或城市交《通,于道与?工厂:之间都建设了—绿化:带这些?绿化带?有,以草坪为主或树【、草间种或》。以树为主等多种【形式测试数》。据表明各《种形:式的绿化带都具【有一定吸尘、降低】空气:中微粒浓度》的作用所以本条规定!当电子工业洁净厂】房与交通干》道之间设《有城市绿化带时可】视具体条件适当【减少:距离
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4.1》.3: 对于有微振控】制,要求的电子》工业洁净厂房的位】置选择时《应实际?测定拟建工厂厂址或!。已有工厂《内拟选择洁净厂房的!。场地周围现有—振源:和预测?可能的振源》的振动影响此项测定!正,逐渐被?相关科技《人员和工程项—目承建者关注和【。重视但是由于微【。振控制要《求和各?类振源对微振控制】的影响评价的技术】复杂性所以本条【规定中强调》“,实际测定”和—“模拟振源》”的影响
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4.【1.4 近年来】电,子工业洁净厂房【的总平面布》。置时:在充分考虑电子【产品生产《工艺特?点和具体工》程项目?中洁净厂房内—各功:能区(包括洁净生产!区、辅助生产区、】非洁净生产》区、公用动力系统】和,办公等功能区)合理!布置的情况》下在合理进行人【流、物?流组织方便》运行维?护,管理、合《理,布置:公用动力管线、降低!能量消耗、确保安】全生产的《。条件下常常将电【子工业洁净》厂房按组合式—、大体量的综合性】厂房布?置这些电子工厂【投入使?用后得到《。了各方面的认—同
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4.》1,.5、4.1.【6 为减少—电子工业洁净厂房周!围的尘源或散发微】粒的数量在规范中规!定在:洁净厂房《周围及其周边—或对于设有洁净厂房!的电子工厂内相关道!路的路面选》择时应选择整—体性能?好、不易《产生裂缝的材—。料不得选《用容易发《尘材料铺《砌,通常:推荐采用沥青路面
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目—前电:。子,。工业洁净厂房周【围进行绿《化时一般可》。以采用铺草坪的方式!。或,草坪间种《灌木等树种的方式】由于:电子产?品的品种较多不可能!推荐一种绿》化方式考虑到种植各!类树种?、花草等可能产【生花粉等尘粒—并,且,。微粒的?化学组成十分复【杂为确保《产品质量本》规范:中规定不宜种植对生!产环境和《产品质量有影响的植!物
【4.1.7 本条!编写的依据是—现行国家标准建筑】设计防火规范G【B, 50016—20:06中相《关的规定电子工业洁!净厂房内均》设有人净设施—、物:。净设施等技术措【施洁净厂房内的【。疏散走道《常常是曲折、多变一!旦,出现火情后为了方】便消:。防,人员能够及时到达】出,事地点为此本条【。。对洁净厂房消防车道!的设置不规定厂房】。占地面积下》限值:
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