安全验证
? 3.2 》 ,生产环境设计要【求 — 3《.,2,.1:  在现行国家标准!洁净厂房设计规范】。GB 50073-!2001中》。等同采用国际—标准洁净室及相关】受,控环境?第一篇IS》O, 1:4,644-1中有关】洁净室及相关受控】环,境空:气中悬浮粒子洁净度!级别:划分 《 3》.2.?2、3.2.3 】 电子产品的种【类繁多随着微型【化、精密化、高纯】度,、高质量和高可【靠的:电子产品品种的【增加需?要在空气悬浮粒【子受控?环境中进《行全过程生》产或部分《生产的?电子产品主要有【各种半导体材料及其!器件生?产、集?成电路生产、化【合物:半导体生产、光电】子生产、薄膜—晶,体管液晶《显示:器(Thin F】ilm 《T,r,ansistor !Liguid 【Cry?stal《 D:is:play简称TF】T,-LCD)》生,产、微硬盘驱动器】(Hard —Di:sk ?Driver简称H!DD)生产、—等离:子显示器《(Plasma 】Displ》ay Panel简!称PDP)生产、磁!头,和磁带生产、光【导,。。纤维生产、》印制电路《板等 】各类产品的品种不】同、生产工艺不同】所要求的空》气,洁净度等级也不相】同因此第3》。。.2:。.2条规定各种电子!产品用洁净厂房【设计时生产环境【的,空气洁净度等级应根!据生产工艺要—求确定;当》在设计?时业:主或发包方未提【出要求或暂时未提出!要求时可《参照本规范》附录A的要求—确,。定在附录A所—列要求中由于—各种产?品,生产:工艺:都各不相同所以【对于空气洁净—度等:级、控制粒径均列出!一,。定的范围供》参考为?说明这些差》异下:面,列举一些工程的【实例供参考》 : , 1  表4~!表6分别列出8【″和4″、》5″硅单《晶及硅片加工、【集成电?路的芯片制造—、TFT-LCD生!产所需的《空气洁?净度等级、温度、】湿度的实例 ! 】 2 】 微硬盘《驱动器(HDD【。)生产用洁净厂房】溅射生产区4—。级,组装、测试等6级 !。 《 3  《高密度磁盘生产【用洁净厂房 】 : 【4  ?表7、表8分别【。列出彩色显像管生产!、光导纤维生产所】需的空气洁净—度等级、温度、湿度!的实例 】 — 》 5  磁头生产!。用洁净厂房磁头【装配、溅射烧结等】要求4级(》0.:1,μm)研磨、—检测等要《求,5级(0.》。1μm)切割等要求!6级 6! , 印制电路板生产用!。洁净厂房6.5【。级、24±2℃、6!5%±5% ! 7 《 锂电池《生,。产的干作业》洁净生产区6级【、23℃露点(DP!)-30℃;组装、!测,试洁净室《(区)7级、23】±2℃?、≈:20% 【。 8 《。 等离子《显,示器(?。PDP?。)生:产用:洁净厂房涂屏间【等,5.5级、25±】2℃50%±10%!;其他生产间—6,.5~8级、20】~26℃、55【%±10% — 《 3.2.4—  现代电》子产品生产的重【要特点之一在许多电!子产品的《生,产过程中需使用【高纯:水、高纯气体—和高纯化学品—且各类电子产—品生产时因品—种,不,同、产品生》产工艺也不同对高纯!物质:的纯度、杂质含量】的要求不同它—们之间差异很大表】。9是中?国电子级水的技术】指标表10是美国】ASTMD512】7电子及半导—体,。工业用纯水》的水质?。要求表11是—TFT-LC—D生:产用纯?水水质要求表12】是一个?8″集成《电路芯片制造用【高,纯水水?。质要求? — 》。 ! 【 ? 【 3.2.!5  近年来对一些!电,子工厂的洁净室【(区)内《的噪:声级(空态)的【检测资料表明大部】分,单向流洁净室(区】。)内的噪声均可【小于65dB(【A)也?有少数洁净室—。。(区)由于各种原因!实际检测的噪声【超过65dB—(A)非单》向流洁净室(区)】内,的噪声大《部分可小《于60dB(A)表!。16:是部分?电子工厂洁净室【(区)内噪声—的检测?数据 — 《