3.—。。2 生产环境设计!要求
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3.2.1—。 在现行国家标准!洁净厂房设计规范】GB 50073-!2001中等—同采用国际》标准洁?净室及相《关受控环境》第一篇?ISO 146【44-?1中有关洁净室及】相关受控环境—空气中悬浮粒子【。洁净度级《。别划分
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3.2.2—、3:.2.3 》 电子产品的种类繁!多,随着微型化》、精密化、高—纯度、高质量—和高可?靠,的电子产品品种【。。的增:加需要在空气—悬浮粒子《受控环境中进—。行全:过程生产或部分生产!的电子产品》主要有?各种半?导体材料及》其器件生产、—集,成电路生产、化【合物半导体生—产、光电子生产、薄!膜晶体管液晶显示器!(Thin —Film Tra】ns:istor Li】guid Crys!tal Disp】lay简《称TFT-LCD】)生产、微硬盘【。驱动器(Hard】 Disk —。Dri?ver简称H—DD)生产、—等离子?显示器(P》lasma Dis!pl:ay P《anel《简称PDP)生产】、磁头和磁带—生产、光导纤维【生产、?印制电路板等
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各类产品的品】。种不同、生产工【艺不同?所要求的空》气洁净度等级也不相!同因此第3.2.】2,条规定?各种电子产品用【洁净厂房设计时生产!环境的空气洁净【度等:级,应,根据生产工艺要求】确定;?。当在设计时业主或】发包方未提出要求或!暂时未提出要求【时可:参照本规范附—录A的要求确—定在附录A》所列:要求中由于各种产品!生产工艺都》各,不相同所以对—。于空气洁《净度等级、控—制粒径均列出—一定:的范围供参考为说】明这些差异下面列举!一些工程的实—例供参考
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1 表4【~表6分别列出8】″和:4″:、,5″硅?单晶及硅片加工【、,集成电路的芯—片制造、T》FT-LCD生产】。所需的空气洁净【度,等级:、温:度、湿度的》实例
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2 !微硬:盘驱动器(HDD)!生产用洁净厂—房溅射生产区4【级组装、测》。试等6级
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3 】高密度?磁盘生产用洁净厂房!
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4 》表7、表8分别列出!彩色显像《管生产?、光导纤维生产【。所需:。的空:气洁净度等级—、温:度、湿?度的实?例
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5 【 磁头生产用洁【净厂房磁头》装配、溅射烧结【等要求4级》(0:.1μm)》研磨、检《测等要求5级(0】.1μm)切—割等要求6》级
【6, 印制电路板生产!用洁净?厂房6.5》级、24±2℃、6!5,%±5%
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7 》 锂电池生产的干】作业洁净生产区6】。级、:23℃露点(D【P):-30℃;组装【。、测试洁净》室,(区)7级、—2,3±:2℃、≈20%
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8 等离】子显示器(P—DP)生《产用洁净厂》房涂屏?间等5.《。5级、2《5,±2℃5《0%±1《0%;其他生产间6!.5:~8:级、20~2—6℃、5《5%:±10%
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3.》2.4 现代电子!产品生产的重—要特点?。之一在?许多电子产》品的生产《过程中需使用高纯】水、高纯气体—。和高纯化《学品且各类》电子:产品生产时因品种】不同、产《品生产工艺也不同】对高纯物《质的纯度、》杂质含?量,的要求不同它们之】间差异?很大表9是中国电子!级水的技术指标【表1:0是:美国AS《TMD5127【电子及半导体工业】用纯水的水质要【求表11《是TFT《-,LCD?生,产,用纯水?水质要求《表,12是一个8″集】成电路芯片制造用高!纯,水水质要求
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3.2.!5 近年来—对一些?电子工厂的洁净室(!区)内的噪声级【(空态)的检—测资料表明大部【分单向流洁》净室(区)内的【。。噪声均可小于—。65dB(A)也】有少数洁净》。室(区)《由于各种原因实际】检测的噪声超—过6:5dB(A》。)非单?向流洁净室》(,区)内的噪声—大部分可《小于60dB(A】)表16是部—分电子?工厂洁净室》(区)内噪声的检测!数据
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