3》.2 生产—环境设计要求—
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3.2.1 】在现行国家标—。准洁:净厂房设计规范【GB ?5007《3-2001中等同!采用国际标准洁【净室及相关》受控环境第一篇IS!。O 1464—。4,-1中有关洁净【室及:相关受控环境空气中!悬浮粒子洁》净度级别划分
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3.2】.2、3.2.3】 电子产品的种】类繁多随着微—型化、精密》化,。、高纯度、》高质量和《。。高可:靠的电子产品品种的!增加:需要:在空气悬《。浮粒子受控环境【中进行全过程生产】或部分生产的电【子产品主要有各【种半导体材料—及其器件生产、【集成电路生产、化合!物半:导体生产、》光电子生产、—薄,膜,晶体管液晶显示【器(Thin Fi!lm Tr》a,nsistor 】Liguid C】。rystal D】ispl《ay简称TFT【-LCD)生—产、微?硬盘驱动器(Ha】rd D《isk Dri【ver简《称HDD)生产【、,等离子显《示器(Plas【ma Dis—play Pa【nel简《称,PDP)生产、磁】。头和:磁,带生产、光导纤维】生产、?印制电路板等
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各类》产品的品种不同、】生产工艺《不同所要求的空【气,洁净度等《级,也,不相同?因此:第3.2.2—条规定各种电—。子,产品用?洁净厂房设计时生产!环,。境的空气《洁净度等级》应根据生《产,工艺要求《确定;当在》设计时业主或发包方!未提出要求》或暂时未《提出要?求时可参照本规范】附录A的要求—确定在附录A所列要!求中由于各种产品生!。产工艺都各不相同】所,以对于空《气洁净度《等级、控制粒径【均列出一定的—。范围供参考为—说明这些差异下面列!。举一些工《程的实例供参考
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《1 表4~表6分!别列出8《。。。″和4″《、5″硅单晶及硅】片加工、《集成电?路的芯片《制造、TFT-L】CD生产所需的【空气洁净度》等级、温度、湿度的!实例
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2 微硬盘【驱动器(HD—D,。)生产用洁净厂房】溅射生产《区4级组《装、测试《等6级
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3 高!密度磁盘生》。产用洁净厂房
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4 表7】。、表8分《别列出彩色显像管】生产、光导纤维【生产所需的空—气洁净度等级、温】度、湿度《的,实例
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5 磁头!。。生产用洁净厂房磁】头装配、溅射—烧结等?要,求,4级(0《.1:μm)研磨、检测等!要求5级(》0.1μm)—切割等要求》6级
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6 印制电路!板生产用洁净厂房6!.5级、24±2℃!、6:5%±5%》
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7 锂】电池生产《的干作业洁》净生产区6级、2】3℃露点(》D,P)-3《0℃;?组装、测《试洁净室(区)7】级、:23±2℃、≈2】0%
8! 等离《子显示?器(P?。DP)生产用洁净】厂房涂屏间等—5.5级、25【±2℃5《0%±1《0%;其他生产间】6.5~8》级、2?0,。~2:6℃、5《5%:±10%《
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3.2《.4: , 现代电子》产品生产的》重要特点之一在许多!电,子产:品的生产过程—中需使用高纯水、】。高纯气体《和高纯化学品且【各类电子产品—生产时因品种—不,同、:产品生产工艺—也不同对高纯物质】。的纯度、杂》质含量的要求不【同它们之间差异很】大表9是《中国电子级水—。的技术指标》表10?。是美:国ASTMD51】2,7电子?及半导体工业—用纯水?的水质要求表1【1是T?FT-LCD生产】用纯水水质要求表】1,2是一个8″集【成电路芯《。片制造用高纯—水水质?要求
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3.】2.5 《 近年?来对一些电子工厂的!洁净室(区)内【的噪声级《(空态)的检—测资料表明大部分单!向流洁净室》(区)内《的噪声均可小于【6,5dB(《A)也有少数洁净室!(区)由于各种原】。。因实际?检测的噪声超过65!dB(A)非单向】流洁净室《(区)内的噪声【大部分可小于6【0dB?(,A)表16是—部分:。电子:工厂:洁净室(区)内噪】声的检测数据
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