3.—2 ?生产环?。境设计要求》
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3.2—.1: 在现《行,。国家标?准洁净厂房设—计规范GB 50】0,73-?2001中》等同采用《国际:标准:洁净室及《相关受控环》境第一篇ISO 1!4644-1中【有关洁净室及相【关,受控环境空》气,中悬浮?粒,子洁净度级别划分】
3.2!.2、3.》2.3?。 :。电子产品的种类繁多!随着微型《化、精密化、高【。。纯度、高质》量和高?可靠的?电子产品品种的增】加需要在空》气悬浮粒子受—控环境?中进行全过程—生产或?部分生产的电子产】品主要有《各种半导体》材料及其《器,件生产、《集成电路生产—、化合?物半导体《。生产、光电》子生产、薄膜晶体】管液:晶显:。示器(Thin【 F:ilm Tra【nsistor L!ig:uid Cr—。ystal》 D:isp?lay简称TFT-!LCD)生》产、微?硬盘驱动器(Ha】rd Dis—k Driver】简称HDD)生产】、等离子显示器【(Plasma【。 Disp》lay Panel!简称PDP)生产、!磁头和磁带生产、】光导纤维生产、【印制电路《板等
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各类产品—的品种不同》、生:产工:。艺不:同,所要:求的空气洁净度等】级也不?相同因?此第3.2.2【条规定各种电子产】品用洁净厂房设计时!生产环?境,的,空气洁净度等级应】根据生?产工艺要《求确定;当在设【计,时业主或发包方【未,提出要求或》暂时:未提出要求》时可参照本规范【附录A?的要求确定在附录A!所,列要求中由于各种】。产品生产工艺都各不!相同所以对于空气】洁净度等级、控【制,粒径均列出一定【的范围供《。参考为说明这些【差异下?。面列举一《些工程?。的,实例供参考》
—1 表4~表【6分别列出8″【和4″、5″硅单晶!。及硅:片加工?、集成电路》的芯片制造、T【。FT-LCD生【产所需的空气洁净】度等级、温度—、湿度?的实例
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2 》微硬盘驱动器(【HDD)生产用洁净!厂,房溅射生产》区4级组装、测试等!6级
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3: 高密度磁—盘生产?用,洁净:厂房
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4 表7、表!。8分别列出》彩,色显:像管生产、光导【纤维生产所需的空】气洁净度等级—、温:度、湿度的实例
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5 《磁头生产《用洁净厂《房,磁头装?配、溅射烧结等要】求4级?(,0.1μ《m,)研磨、检测等要】求5:级(0.1》μm)切割等要求】6级
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6 印制电!路板生产《用洁净厂《房6.?5级:、24±2℃—、65%±5%【
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《7 锂电池生【产的干作业洁净生】产区6级、23【℃露点(DP)-3!0℃:;组装、测试洁净】室(区)7》级、23±2℃、】≈20%
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8— 等离子显示器】(P:DP)生产用洁净】厂房涂屏间等5.5!级、25±2℃50!%±10%;其他生!产,间6.5~8级、2!0~26《℃、55%±10%!
—3.2.4 现代!电子产品生产的【重要特点之一在许多!电子:产品的生产过—程中需使用高纯水】、高纯气《体和高纯化学品【且各类电子产品【。生产时因品种—不,。同、产品《生产工艺《。也不同对《高纯物质的纯度、】杂质含量的要—求不同它们》之间差异很大表9是!中国电子级水的【技术指标表10是】。美国A?。STMD《5127电》子及半导《。体工业用纯水—的水:质要求?表11是TFT【-LCD生产用【纯,水水质要求表12】是一个8″集—成电路芯片制—造用高纯水水质要求!
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】3.2.5 【。近年来对一些电子】工厂的洁《净室(区)内的【噪,声级(空态)的检】测资料表明大部分】单向流洁净室(区】)内的噪声》均可小?于65dB(A)也!有少数?洁净室(区)—由于各?种原因实《际检测的噪声超【过6:5dB(A)—非单:向流:洁净室(区)内【的噪:声大部分可小于【60dB《(A)表16是部】分电子工厂洁净室(!区,)内噪声的检测数】据
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