3.2 !生产环境设计要【求
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3.2.1 !在现行?国家标准洁净厂【房设计规范GB 】50073》-2:001中等》同采用国际标准【洁,净室:及相关受控环—境第一篇ISO 1!464?4,-1中?有关:洁净室及《相关受控环境空气中!。悬浮粒子洁净度【级别划?分
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?3.2.《2,。、3.2《.3 电子产【品的种类繁》。多随着微型化、精】密化:、高纯度、高质量】和高可靠《的电子产《品品种?的增加需要在空【气悬浮粒子》受控环境中进—行全过程生产或【部分生产《的电子?产品主要有各种【半导体材料及—其器件生产、集成】电路生产、化合物半!。导体生产、光电子生!产,、薄膜?晶体管液晶显示【器(Th《in Film 】Transisto!r L?iguid》。 Cr?ystal D【ispla》y简称TFT-L】CD)生产、微硬】盘驱:动,器(Ha《rd ?D,isk Driv】er简称HDD【。)生产、《等离子显示器(P】la:sm:a :。Displa—y Panel【简称PDP》)生:。产、磁头《和磁带生产》、,光导纤?维生产?、印制?电路板等
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各类产品的品种!不同、?生产工?艺不同所要求的空】气,洁净度等级也不相同!因此第3.2—.,2条规定各种—电,子产品用洁》净厂房设计时生【产,环境:的,空气洁净度等级应】根据生产工艺要求】确,定;当在设计—时业主或发包—方未提?出要求或暂时未提】出要求?时可参照本规范附】录A的要《求确定在附》录A所列《要求:。中由于各种产品生】。产工艺都各不相同所!以对于?空气洁净度等级【、控制粒径均列出】一定的范围供—参,考为说明这些差异下!面,列举一?些工程的实例—供参考
!。1 表4》~表6分别列出8″!和4″、《5″硅单晶及硅片】加,工、集成《电路的?芯片制造《、,TFT-LCD【生产:所需的空气洁净【。。度等级、《温度、?湿度的实例
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2】 , 微硬盘驱动—器(HD《D)生?产用洁净《厂房溅射《生产区4级组—装、测试等6级
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3 高密度磁!盘生产用《洁净厂房
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4 表7、表】。8分别列出彩—色显:像管生产、光导【纤维生产所需—的空气洁《净度等级、温度、湿!度,。。的实例
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5 磁—头生产用《洁净厂房磁头装配】、溅:射烧结等要求4级】(0:.1μm《)研磨?。、检测等《要求5级(0.【1μm)切割等要求!6级
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6 》。印制电路板》生产:用洁净?厂,房6:.5级、24—±2℃?、65%±5%
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7 锂—电池生产《的干作?业,洁净生产《区6级?、23?℃露点(DP—)-30℃;组装】。、测试?洁净室(区》)7级?、23±2℃、【≈20%
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8 — 等离?子显示器(》PDP)生产用洁净!厂房:涂屏间等《5.5级、25±】。2℃50%±10%!;其他生产间6.】5~8级、2—0~26℃、55】%±10%
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》3.2?。.4: 现代《电子产品生》产的重要特点—之一在?许多电子产品的生】产过:程中需使用高纯水】、高纯气体和—。。。高纯化学品且—各类:电子产品《生,产时因品《种不同、产品生【产工艺也不》同对高纯物质的纯】。度、杂?质含量的要求不【同它们之间差异【很大表9是中国【电子级水《的技术指《标表1?0是美国ASTM】D512《7电子及半导—。体工业用《纯水的水质要求表1!。。1是TFT-L【C,D生:产用纯水水质要求】表,12是一个8—″集:成,电路芯片《制造用高纯水水【质要求?
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3.2.5 】 近年来对一些【电子工厂的洁净室】(区)内的噪声级】(空态)的检测资】料表明?大部分单向流洁净】。室,(区)?。内的噪声均可—小于65dB—(,A)也?有少数?洁净:室(区)《由于各种原因—实际检测的噪声【超过6?。5dB(A》)非单?。。向流洁净室(区【)内的噪声大部分可!小于6?。0dB(A)表【。16是部分电子工厂!洁净室(区)内噪声!的,检测数?据
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