10 】气体供应
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10.1】 一?般规定
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10.1—.1 《洁净厂房《内应根据生》产的:需求使用各》种不同类型的—特种气体《、常用?气体、干燥》压缩空气其》。气体品?质应满足生产工艺】要求
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,10:.1.2 常用气!体的供气方式和【供气:系统应根据气体用量!、气体?品质和当《地的:。供气状况等因—素经技术《经济比较《后确定
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10.1》.3 洁净厂【房,。常用气体、特种气体!的制备、储存、分配!系统除?应符合本规范外【还应符合《现行国家标》准建筑设计》防火规范GB—5,0016、氢气【站设计规范GB 】50:177和氧》气站设计《规,范GB 500【30等?的有关规定
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10.1.!4 : 洁净厂房内的气体!管道:的干管应敷》设在技术夹层—或,技术:夹道内当与水、电管!。线共架时比空气重的!气体管道宜设在水】、电管线下部比空】气轻的?气体管道宜设在水】、电管线上部
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10.【1.5 》洁净室(《区,)内的可燃气—体管:道和:有毒气体管道应【明敷穿?过洁净室(区)【。。的墙壁?或楼板处的管段【。应设置套管套管内的!管道不得有》。。焊缝套管与管道【之间应采取密封措施!
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10.1.】6 可《燃气体?管道和有毒气体【管,道不得穿过不使【。用此类?气体:的房间;当》必须穿?。过时应设套管或【双,。层管
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10.【。1.:7 高纯气体管】道设计应符合下【列规定
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1 管径】应,按气体容许流量、压!。力或:生产工艺设备确定】管外:径,不宜小于6mm壁厚!不宜小于1》mm
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2— 不得出现不【易吹除?的“盲管《。。”等死?空间
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3 】管道系统《。应设置吹扫口和【取样:口
【10.1.》8 洁净厂—房的:可燃气体管道—系统应设置下列【安全设?施
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?1 ?可燃气体《管道设置阀门—时应:设置阀门箱阀—门箱应设置气体泄】漏报警和事》故排风装置报警装置!应与相应《的事故?排风机联锁》;
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2 》 接至?。用气设?。备,的支管和《放散管?宜设置阻火设施【;
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3 引至室外】的放散?管应设置防雷—保护:设施
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4 《应设:置,导除静电的接地设】施
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10.1.9 】 气体过滤器应根】据产品生产工艺对】气体洁净《度的要求《进行选择和配置终】端气体过滤器应设】。置在靠近用气—点处:
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