10 【 气体供《应 【。 10.1 ！ ，一般规？定 ： 10！.1.？1，  洁净厂房内应根！据生产的《需，求，。使，用各种不同类型的】。特种气体、常用气】体、干燥压缩—空气其气体品质【应满足生《产工艺要求 —。 1—0.1.2 — 常用？气体的供气方—。式和供？气系统应根据气【体用量、气体—品质：和，当地的供《气状况等因素经【技术经济《比较后确《定 — 10.1》.3 ？ 洁净厂房常用【。气体、？特种气体《。的制备、储存、【。分配系统除应符合】本规：范外还应符合—现行国？家标准建筑设计【防火规范GB5【。。0，016、氢气站设计！规范：GB 50》。177和氧气—站设计规范GB 】50030等的有关！规定 《 ： ，。 10.1.4【  洁？净厂房内的气—体管道的《干管应？敷设在？技术夹？。层或技？术夹：道内当与水、—电管线共架时—比空气重的气体管】道宜设？在水、电管线下【部比空气轻的气【体管道宜设在水【、电管？线上部 ！10.1.》。5  ？洁净室(区》)内的可燃》气，体，管道和有《毒气体管道应明【敷穿过洁净室(区】。)的墙壁或楼板处的！管，段应设置套管套管】内的管道不得有【焊缝：套管与管道》之间应采取密—封措：。施 《 ？。10.1.6—  可燃气体管道和！有毒：气体管道不》得穿过不使用—此类气体的房—间；当必须穿过时】应，设套：。管或双？层管 》 10.1.7！  高？纯气体管道设计【应，符合下？列，规定 】1  管径应—按，气体容？许流：量、压力或》生产工艺设备确【定，。管外：径，不宜小于《6mm？壁厚不宜小》于1：。mm — 2  不—得出：现不易吹除》的“盲管”》等死空间 】 3  管道系】统应设置吹扫—口和取样口 【 10.1.！8  洁净厂房【的可燃？气体管道系统应设】置下列安全设施 】 1 【 可燃气《体管道设置阀门时应！设置阀门箱阀门箱】应设置气体》泄漏报警和事—故排风装置报警装】置应：与相应的事故—排风机联锁； 【 2 【 接至用《气设备的支管—和放散管宜》设置阻火设施； ！ 3  引】至室外的放散—管应设置防雷保护】设施 ？ 4  】应设置导除静电【。的接地设施 ！ 10.1.【9  气体过—。滤器应根据产品【生产工艺《对气体洁净度—的要：求进行选择和配【置终端气《体过：滤，器应设置《在靠近用气点处【 ：