1》0， ， 气体供应 【。 《 ， ？10：.1  一般规定】 【 ，10.1.1 【 洁净厂《房内应？根，据生产的需求—使用各？种不同类型的特种气！体、常用气体、【干燥压缩空气—其气体品《质应满足生产工艺要！。求 ？ ？。 10.《1.2？  常用气体的供气！方式和？供气系统《应，根据气体用量、【气体品？质和当地的供—气状况等因素经技】术经济？比较后确《定 — 10.1.3 】 洁净厂《房常用？气体、？特种气体的》制备、储存、分配】系统除应符合本规范！外还应符合现行国】家标准建《。。筑设计防火规范GB！50016、氢气】站，设，计，规范：G，B 50《177和氧气—站设计？规范GB 50【030等的有关规定！ ： 1》0.1？。。。.4  洁净—厂房内？的气体？管道的干管应敷设在！技术夹？层或技术夹道内当与！水、：。电管线共架》时比空气《重的气体《管道宜设《在，。水、电？管线下部比空气轻】的气体？管道宜设在》水、电管线上部 ！ 1》0.：1.5？  洁净室(区【)内的可燃气体管】道和有毒气体管道】应明：敷，穿过洁净《室，(区)的墙壁或楼】板处：的管段应设置套管】套管内的管道不得】有焊缝套管与管道】之间应采取密封【措施 【 10.1.6【。  可燃气》体管：道和有毒气体管道不！。得穿过不使用—此类气体的房—。间，；当：必须穿过时应设【套管或双层管— 《 ， 10.1.7【。  高纯《气体管道设计应符】合下列？规定 》 1《。 ， 管径应按气体【容许流量、压力【或生产工艺设备确定！管外径不宜小于【6，mm壁厚不》宜小于1mm— ？ ： 2  不得—。出现不？。易吹除的“盲管【”等死空间 — ， 3  【。管道系统应设置吹】扫口和取样口— 10.！1.8 《 洁净厂房的可燃】气体管道系统—应设置下列安—全设施 《 1  】可燃气？体管道设置阀门时应！设置阀门《箱，阀门箱？应设置气体泄漏报警！和事故？排风装置报》警，装，置应与相应的事故】排风机联锁》； 《 2 》 接至用气设备的支！管和放散《。管宜设？置阻火设施； 】 3  【引至室？外的放散管应设【置防雷保护设—施 》 4 《 应设置导》除静电的《接，地设施？ 10】.1：.，9  气体过—滤器应根据产品【生产：工艺对？气体洁净度的要求】进行选择《和配置终端气体【过滤器？应设置在靠近—用气：点处 《