《10:。 气体供应
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【。10.?1 : 一般规定
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10.!1,.1 洁净厂房】内应根据生产—。。的需求使用各种【不同类型《的特:种气体、常》用气体、干燥压缩空!气其气体品质应满足!生产工艺要求
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10.》1.2 》常用气体的供气方式!和供气?。系统:应根据气体》用量、气体品质和当!地的供?气状况等《因素经技术》经济比?较后确?定
1】0.1.3》 洁净厂房—常用气体、》特种气体的制备、储!存、:分,配系统除应符合本】规范外还应符合现】行国家?。标准:建筑设计防火规范】。GB50016、氢!气站设计规范GB】 5:。0177和氧气站设!计规范GB —50030等的有】关规定
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10.1.4【 洁净厂房内【的气:体管道的干管应敷设!在,。技术夹层或技术夹】道内当与《。水、电管线共架【时比空气重的气【体管道宜设在水、】电管线下部比空气轻!的气体管道》。宜设在水、电管线上!部
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10.1.—5 洁净》室(区)内的—可燃:气体管道和有毒气】。体,管,道应明敷穿》。。过洁净?室(区)的墙—壁或楼板处的—管段应设《置套管?套管:内的管道不得有焊】缝套管与管道之【间应采取密封—措施:
10.!1.6 可燃【气体管道和有毒气体!管道不得穿过不使用!此类气体的房间;当!必须穿过时》应,设套:。管或:双层:。管
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10.1.7】 , 高纯气体管道设】计应符合下列—。规定
】1 管径》应按气体容许流量、!压力或生产工艺设】备,确定管外《。径不:宜小于6m》m壁厚不宜小—于1mm
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2? 不得《出现不易吹除—的“盲管”等死【空间
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3: 管道系统应设置!吹扫口和取》。样口
1!0.1.8》 洁净厂房的可】燃气体管道系统应】设置:下列安?全设施
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1《。 可燃气体管道设!置,阀门时应设》置阀门箱《阀门箱?应设置气体泄漏报】警,和事故排风装置报】警装置应与》相应的事《故排风机联锁;
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2 — 接至用《气设备的支》管和放散管宜设置阻!火设施;
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3 引至】室外的放《散管应设置》。防雷保护设施
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4 应设!置,。导除静电的接地设施!。
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10.1!.9 气体过滤】。器应根据产》品,。生产工艺对气—体洁净度的要求【进,行选择和配置终【。端气:体过滤器应设置在靠!近用气点处
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