10 】气体供?应,
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10《.1 一》般规定
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10.—1.1 洁净【厂,房内应根据生产【的需求使用各—。种不同类型的特【种,气体、常用气体【、,干燥压缩空气其气】。体品质应《满足:。生产工艺要求
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10.1.】2 常用气体【的供气?方式和供气系—统应根据气体用量】、气:体品质和当地的【供气:状况等因素》经技术?经济:比较后确定
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10.1.3 】 洁净厂房常用气体!、特:种气体的制备—。、储存、《分配系统除应符合本!规,范外还?应符合?现行国家《标准建筑设》计,防火规范GB5【0016《、氢气站《设计规范GB 5】0177和氧气站设!计规范GB 50】030等的有—关,规定:
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10.1.】4 洁净厂房内的!气体管?道的干管应敷设在技!术夹层或技术夹道内!当与:水、电?管线共架时比空气】重,的气体管道宜设【在水、电管线下部】比空:气轻的气体管—道宜设?在水、?电管线上部
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10.1【.5 《洁净室(《区)内的可燃气体】。管道和有毒气体【管道应明《敷穿:过洁净室(区)【的墙壁或楼板处【的管段应《设置套?。管套:管内的管道》不得有焊缝套—管,与管道之间应采【取,密,封措施
!10:.,。1.6 可—燃气体?管道和?有毒气体管道不得】穿过:不使用此类气体的】房间;当《必须穿过时应—设,套管或双《层管
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10.】1.7 高纯气】体管:道设计应符合下列】规,定
1】 管径应按—气,体容许流《量、压力或生产工】艺设备确《定,管外径不《宜小于?6mm壁厚》不宜小于《1mm
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2 不得—出现:不易吹除的》“盲管?”等死?空间:
3【 管道《系统应设置吹—。扫口和取样口
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?10.1.8 】洁净:厂房的可燃》气体管道系统应设】置下列安全设施【
1【 可燃气体管道】设置阀门时应设置阀!门箱阀门箱应设置气!体泄:漏报:。警和事故排风—装,置,报警:装置应与相应的事】故排风机联》锁;
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2? 接至用气设备】的支管和《放散管宜《设置:阻火设施;
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3《 引至室》。。外的放散管应设【置防:雷保护设施
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:4 应设》置导除静电》的接地设施》
10】.1.9 —气体过滤器应—根据:产品生产《工艺对气体洁净度的!要求进行《选择和配置终—端,。气体过滤《器应设置在》。靠近用气《点处
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