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10 》 气体供应
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10《.1 一般—规定
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10.【1.1 》洁净厂房内应—根据生产的需求使用!各种不同类型的特】种气体、常》。用气体、《干燥压缩空气其气】体品:质应满?足生产工艺》要求
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10?.1.2 —常用气体的供气【方式和供气系统【应根:据气体用量、—气体品质《。和当地的供气状况】等因素经技术经济比!较后确定
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:10.1《.3 洁净厂房常!用气体、《特种气体的制备、】储存:、分配系统除应符】。合本规范外》。。还应符合现行—。国家标准建筑设计防!火规:范GB50016、!氢气站设计》。规,范,。GB: 50177和氧】气站设计规范GB】 50030—等的有关规定
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10.1!.4 《洁净厂房内的气【体,管道的干管应—敷设在技术夹层或】技术夹道内》当与水、电管线【共架时比空气—重的气体《管道宜设在》水、电管线下—部比空气轻》的气体管道》宜设在?水、电?管线上部
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10.1.—5 ?。洁净室(区)内【的可燃气体管道和】有毒气体管道应明敷!穿过洁净室(区【)的墙壁或楼板处的!管段应设置套管套管!内的管道不得有【焊缝套管与管道之】间应采取密封措【施
10!.1.6 》。 可燃气体管道【。和有毒?气体管道《不得穿?过不使?用此类?气,。体的:房间:;当必须穿过时应】设套管或《双层管
】
10.1》.7 高纯—气体管道设计应【符合下列规定
【
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1 管》径应按气体容—。。许流量、《。压力:或生产工艺设备【确,定管外径不宜小【。于6mm壁厚不【宜小于1mm
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《2 不得出现不易!吹除的“盲》管,”等死空间
!。
3 管—道系:统,应设置吹扫口和取样!口
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10.—1,.8 ? ,洁净厂房《。。。的可燃气体管—道系统应《设置下列安》。全设施
!1 ?可燃气体管道设置阀!门时:应,设置阀门箱阀—门箱应设置气体泄漏!报警和?事故:排风装置《。报警装置应与相应的!事故排风机联锁;
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2 接!至用气设备》的支管和放散管宜】设置阻火设施;【
—3 引至室外的】放散管?应设置防雷保—护设施
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?4 ?应设置导除静电【。的接:地,设施
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10.1.9 !。 气体?过滤器应根据产品生!产工艺对气体洁净】度的要求进》行选择和配置终【端气体过滤器应设置!在靠近用气点处【
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