?
10.2 常】。用气:。体系统
【
:
10.2.【1 ?常用:气体供应系统—宜在工?厂内或邻近处设置制!气装置或采用—外购液态气体、【瓶装气体
】
1?0.2.2 【氢气、氧《。。气管道的终》端或最高点应设置放!散管:氢气放散管口—。。应设置阻火器放散管!引至室外应高出本】建筑的屋脊1m【并,应采取防《雨、防杂物》侵,入的措施
!
10.2.3【 气体纯化装置】的设置应符》合下列要求
—
1 气!体,纯,化装置应根据气源】和产:品,生产工艺对气—体纯度、《容许杂质含量—要求选择《;
2 ! ,气体纯化装置宜设置!在气:体纯:化,间(站)内当洁净】厂房设有气体入口室!时气体纯化间宜与】气体入口室》。合建;
—
:
3 各类气体纯!化装置宜设置—在,同一:气体纯化间(站)】内若有特殊要求时】也可根据具体—要求分别设置在各自!。的气体纯化间内【;,
》
4 气体终端】纯化装置宜设置在】邻近用气点处
【
1—。0.2.4 进入!洁净厂房的》气体管?道控制阀《门、气体过滤器、】调压装置、》压力:表,、流:量计、在线分析仪等!。宜集中设置在气【。体入口室
!
10.2.—5 : 气体纯化间(站】)或:气,。体入口室内设有氢气!等可燃气体纯化装】置或管道时气—体纯化间(站)或气!体入口室《的火灾危险性应按甲!类确定并《应符合下列规定【
1【 应靠《外墙:设,置并:应设置防爆泄压【设施;
》
2》 氢?气等可燃气体引【。入,管道上应设置自动切!。断阀;
—
3 应具】有良好的自》然通:风并应设置事故排风!装置;
【
4 》应设:置气体泄漏报警装置!并应与事故》排风装置联》锁;
—
,
,5 应设置导除】静电的?。接地设施
!
,10.2《.6 ? 洁净厂房内的氧】气管道等应采取【下列安全技术措施
!
》1 ?管道及?。阀门、附件应经严格!。的,。脱,脂处理;
!
2: 应设置导除【静电的接《地设:。施;
—
:3 氧《气引入管《道上应设置自动【切断阀
》
10—.2.7 》 各种常《用气体的气瓶—库应集中设置在洁净!厂房外当日用气【量,。不超过1《瓶时气瓶可设—置在洁净室(区【),内但应采取不—积尘和易于清—洁的措施
》
《
10.《2.8? 气体管道和阀门!应根据?产品生产工》艺要求选《择宜:符合下列规定
!。
1 气体纯!度大于或等于9【9.999999】%时应采《用,内壁电抛光的低碳不!锈钢管?。阀门应?采用隔膜阀;
】
2 【气体纯度大于或等于!99.9《99%、露点低于-!76℃?。时宜采用内壁电抛光!的低碳不锈钢—管或:内壁电抛《光的不锈钢管—阀门宜采用隔膜【阀或波纹管》阀;
《
:
3 气体纯】。度大于或等》于99?。.,99%?、露点低《于-60℃》时宜采用内壁抛光的!不锈钢管除可燃气体!管道:宜采用波纹》管阀:外其余气体管道【宜采用球《阀,;
?
4 气】体管道阀门、附【件的材质《。宜与相连《接的管道材质—一致
?
》10.2.9 【 气体管道连接应符!合下列规定》
《
:1 : 管道连《接应:采用焊?接
2】 不锈钢管应采】用氩弧焊宜采—用自:动氩弧焊或等离【子熔融对《接焊;
《
3 】管道与设备或阀门的!连接宜?采用表面密封的【接头或双《卡套接头《或双卡套《。的密封材《料宜采用《金属垫或聚四氟【乙烯垫;
【
4 管【道与设备的连接应】符合设备连接—的要求当采用软管】连接时宜采用金属软!管
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