1》0.:2, 常用气体系【。。统
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1】0.2?。.1 《常用气体供应系统宜!在工厂?内或邻近处》设,置制气装置或采用】外购液态气体、瓶装!气体
1!0.2.2 — 氢气、氧气管道的!终端或?最高点应设置放【散管:氢气放散管口—应设置阻火器—放散管引至室外应】高出本建《筑的屋脊1》m并应采《取防雨、《防杂物?侵入的措施》
—10.2.3 【 气体?纯,化装置的设置应【符合:下列要求
—
1 气体!纯化装置应根据【气源和产品》生产工艺对气—体纯度、容》许杂质含量》要求选?。择;
》
,
2 》气体纯化装置宜设】置在气体纯化间【(站)内当》洁净:厂房:设有气体入口室【。时气体纯化》。间宜:与气体入口》室合建;
—
《3 各类气体纯化!装置宜设置在—同一气体纯化间(站!)内:若有特殊要》求,时也可根据具体要求!。分别设置在各自【的气:体纯化间内;—
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4 气】。体终端纯化装—。置宜设?置在邻近用气点【处
10!.2.4《 进入洁净厂房的!气体管道控》制阀门、气体—。过滤器、《调压装置、》压力表、流量—计,、在:线,分析仪等《宜集中设《置,在,气体入口室
【
10.2.!5 气体纯—。化间(站)》或气体?入口:室内设有《。氢气等可《燃气体纯化装置或】。管道时?气体纯化间(—站)或?气体入口《室的火灾危险—性应按甲《类确定并应符—合,下列规定《
?
1 应靠外!墙设置并应设置防】爆泄压设施;
】
2 氢气!等可燃气体》引入管道上应设【置自动切断阀;
】
》3 应具有良【好的:自,然通风并应设置【事故排?风装置;
【
4《 应?设置:气体泄漏报》警装:置并应与《事故排风《装置:联锁:;
?
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5 应设置导!除静电的接地设施】
1【0.2.6》。 洁净厂房内【的氧气管道等应采取!下列安全技术—措施
?
1 管!道及阀门、附件【应,经严格的脱》脂处理;
】
2 《 应设置导除—静电的接地》设施;
—
3 》 氧气引入管道上应!设置自动切》断阀
?
1—。0.:2.:7, 各种常用气体的!。气瓶库应集中设置】在洁净厂房外当【日用气量不超—过1瓶时《气瓶可设置在洁【净室(区)内—但应采取不积尘和易!于,。清洁的措施
【
1》0,.,2.8 气体管道!和阀门应根据产【品生产工艺要求【选择:宜符合下列规定【
1【 气体纯度大【于或等于99.【999999%时应!采用内壁电》抛光的低碳不—锈钢管阀《门应采用隔膜—阀;
》
,
2 气体【纯度:大于或等于99.】999%、》。露点低于-》76℃时《宜采:。用内壁电抛光—的低碳不锈钢管【或,内壁电抛光》的不锈钢管》阀门宜采《用隔膜阀或波纹管阀!。;
【3 气《体纯度?大于或等于99.9!9%:。、露点低《于-60《℃,时宜:采用内壁抛光的不锈!钢,。。管,。除可燃气体管道【宜采用?波纹管阀外其余气】体管道宜采用球阀】;
4 ! ,气体管道阀门—、附件的材》质宜与相《连接的管道材质【一致
》
10.2.9! 气体管》道连:接应:符合下列规》定
》
1 管—道连接应采用焊【接
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2 《不,锈钢管?应,采用氩弧焊宜采用】自动:氩弧焊或等》。离子熔融对接焊;
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3— 管道与设—。备或阀门的连接宜】采,用表面密封的—。。接头或双卡》套接头或双卡套的】密封材料宜采用金】属垫或聚《四氟乙烯垫》;
》
4 》管道与设备的连接应!符合设备连接的要求!当采用软管连接时宜!采用金?属软管
》