？ ，10.2  常用气！体系统 】 ： 10？。.2.1  常用】气体供应系统宜【。在工厂内《或，。邻近处设置》制气装置或》采，用外购液态气体【、瓶装气体 】 10.2【.2  氢气、【氧气：管道：的终端或最高点【应设置？放，。散管氢？气，放散：管口：应设置阻火器放散】管引至室外应高出】本建筑的屋脊—1m并？应采取防雨、防杂】物侵入的措施 】 10—。.，2.3  气体【。。纯化装？置的设？置，应符合？。下，列要：。。求 1 ！ ，气体纯化装置应【根据：气，源和产品《生产工艺对气—体纯度、容许—杂质：含量要求选择； ！ 2  气】体纯化装置》宜设置在气》体，纯化间(站》)内当洁《净厂房设有气—体入口室时气—体纯化间宜与气【体入口室《合建； — 3  各【类气体纯化装置宜设！置在同一气体纯【化，间(站)内若有特】殊要求？时也：可根据具体要求分】别设置在各自的气体！纯，化间内； ！ ，4，  气体终端纯化装！置宜设置在邻近【用气点处 】。 10.2.【4  进《。入洁净厂《房的气体管道控制阀！门、气体过滤器、】调，压装置、《压力表、流量计【、，在线分析仪》等宜集中设置在气】体入口室《 》 10.2》.5  气体—纯化间(《站)：或气：。体，入口：。室内设有《氢气等可燃气体纯】化装：置或管道时气体【纯化间(站)或气】体入口？室的火灾《危险：性应按甲类确定并】应符合下列》规定 — 1  应靠外墙！设置：并应设置《防爆：泄压设施； 【。 2》  氢气等可燃【气，体引：入管道上应设—置自动切断阀； ！ 《3  应具有—良好的自《然通风并应》设置事故排风装【置； 【 4  应》设置气体泄漏报【警装置并应与事故排！风装置联《锁； ？ 5—  应设置》导除静电的接—。地设：施， ？ 10.2.6！  洁净厂房内【的氧：气管道等应采取下】列安全技术》措施： ， ： 1《 ， 管道及阀》门、附？件，应经严格的脱脂处】理； 【 2  应设置导】除静电的接地设施】。； 《 3  氧【气引入管道上应【设置自动切》断阀： 10】.2.7  —各种常用《气体的气瓶库应集中！设置在洁净厂房【外当日用气量—不，。超过1？瓶时气瓶可设—置在洁净室(区)】内但：应采取不积尘和易于！清洁的措施 【 10—.，2.：8  ？气体管道《和阀：门应根据《产品：生产工艺要》求选择？宜符合下《列规定 】 1  气体—纯度大于或等于9】9.999999％！时应采用内壁电抛】光的低？碳不锈钢管阀—门应采用《隔膜阀；《 《 ，。 2：  气体《纯度大于或》等于9？9，.9：99％、露点低【于-：76℃时宜》采用内壁电抛光的】低，碳，不锈钢管或内壁电抛！光，的不锈？钢管：阀门：宜采用隔膜阀或波】纹管阀； 》。。 《 3  气体纯度】大于或等于99.9！9％：。、露点低《于-：6，0℃时宜采用内壁】抛光的不锈》钢管：除可燃气《。体管道宜采用波纹管！阀外其余气体管道宜！采用球阀； ！ 4  气体管道！阀门、？。附件的材质宜与相】。连接的管道材质一】。致 》 10.2—.9  气体管道连！接应符合下列—规定 1！  管？道，连接应采用》焊接 2！ ，。 不锈钢管应采【用氩弧焊宜》采用自动氩》。。弧焊或等离子熔【融对接焊《；， 3【  管？道与设备或阀门的】连接宜采用表—面密封的接头或双卡！套，接头或双《卡套的？密封：材料宜采用》金属垫或《聚四：氟乙烯垫； ！ 4  》管道与设备的连接】应符合设《备连接的要求—。当采用软管连接时】宜采用？金属软管 —