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?1,。。0,.2 ?。。 ,常用气体《系统
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10【.2.1 —常用气体供应系【统宜在工厂内—或邻近处设置制气】。装置或采用外—购液:态气体、瓶装气体】
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10.—2.2 氢—气、氧气《管道:的终端或《最高点应《。设,置放散?。管氢:气放散管口》应设置阻《火器放散管引至室】外应高?出本建筑的屋脊1】m并应采取防雨、】防,杂物侵入的措施
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10.2【.3 气体纯化装!置的设置应》符合下列要求—
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1 气体纯化】装置:应根据气源》和产品生产工—艺对气体纯度、容】。许杂质含量要求选择!;
》
2 气体【纯化装置《宜设置?在气体纯化间—(,站)内当洁净—厂房设有气》。体入:。口室时气体纯化间宜!。与气:体入:口室合建;
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3? 各类气体纯化装!置,宜设置在《同一:气体纯化间(—站)内若有特—殊要求时也可—根,据具体要求分别设】置在各自的气—体纯化间内》;
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》4 气《体终端纯《。化装:置宜设置在邻近用气!点处
【
10?.2.4 进入洁!净,厂房的气体管道【控制阀门、》气体过滤《。器、调压《装置、压力表、流量!计、在线分析—仪等宜集中》设置在?气体入口室
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10.2.—5 气体纯化【间(站)或》气体入口室内—设有氢气等可燃气】。体纯化装置或管【道,时气体纯化间(站】)或气体《。入口室?的火灾危险》性应按甲类确定并】应符合下列》规定
】1 应靠外墙设】置并应?设置防爆泄》压设施;
》
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2 氢气等】可燃气体《引入管道上应设置自!动切断阀;
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3 —应,具有良好的自然【通风并应设》置事:故排风?装置;
】
4 应设置气】体泄漏?报警装置并应与【事故排风装置—联锁;
《
5—。 应设置导—除静电的接地—设施
【
10?.2:.6 《。洁净厂房内》的氧气管道》等应采?取下列安全技术【措施
【
1 管道及阀门!、,附件应经严格的脱】脂处理;
】
2 应设置】导除静?电的接地设施—;
【3 : 氧气引入管道上应!设置自动切断阀
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10—.2.7 》 ,各,种常用气《体的:气,瓶库应集中设置在洁!净厂房?外当:日用:气量不超过1瓶时气!瓶可设置在洁净室】(区)内但》应采取不《积,尘和易于《清洁的措施
【
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10》.2.8《 气体管道和【阀门应根据》产品生?产工艺要求选择【宜符合下列规定
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《1 气体纯度大】于或等?于99.9999】99%时应采用内】壁电抛光的低碳不】锈钢管阀门应采【用隔膜阀;
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2 【气,体纯度?大于或等于9—9.9?99%、《露点低于《-76?℃时宜采用》内壁电抛光的低【碳不:锈钢管或内壁电抛光!的不锈?钢管阀门《宜,采用:隔膜阀或波纹管阀;!
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3 》气体纯度大于或等于!。99.99%、【露点低于《-60℃《时宜采用内壁抛【光的:不锈钢管除》可燃气体管》道宜采?用波纹?管,阀,外其余气《体管道宜采用—。球,阀,;
4】 ,。 气体管《。道阀门、附》件的材质宜》与相连接的管道材质!一,致
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10》.2.9 气体】管道连接应符合【下列规定《
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1 管【道连接?应采用焊接
】
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2 》不,锈钢管应采用氩弧】焊宜采用自动氩【弧,焊或等离《。子熔融对接焊;【
3 】 管道与设备或【。阀,门的连接宜采用【表面密?封,的接头或《双卡套接头》或双卡套的密封材料!宜,采用金属垫或聚四】氟乙烯垫《;
》
4 管道与设!备的连?接应符合设备连接的!要求当采《用软管连接时—宜采用金属软管【。
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