。 10.2】  常用《。气体系统 【 ， 10.【2.1  常用【气体：供，应，系统宜在工厂内【或邻近？处设置制气装—。置或采用外》购，液态气？体、瓶装《气体 】10.2.2  】氢气、氧气》管道的终端或最高点！应设置放散管氢气放！散管口应设置阻【火器：放散管引至室外【应高出？本建筑的屋》脊1m并应》采取防雨、防杂物侵！入的措施 ！ 10.2.3 】 气体纯化》装置的设置应符合】下，列要求 》 1》  气？体纯化装置应根【据气源和产品生产工！艺对气？体纯度？、容许杂质含量要求！选择； 》 2》。 ，。 气体纯《化装置宜设置在气】体纯化间(站)内】当洁：净厂房设有气体入口！室时气体纯化间宜】与气体入口》室合建； 】 3 《 各类？气体纯化《装置宜设《置在同一《气体：纯化间(站)—内，若有：特殊要求时也可根】据具体要求分别设】置在各自的气体【纯化间内； ！ 4  气体终端！纯化装置宜》设置在邻近用气点处！ —10.2.4  进！入洁净厂《房，。的气体管《道控：制，阀门、气体》过滤：器，、调压装置、压【力，表、流量计、在【线分析仪等宜集中设！置在气体入口—室 ？ ： ， 1：0.2.5  气体！纯化间？(站)或《。气体入口室内设【有氢气等可燃气【体纯化？装置或管道时—气，体纯化间《(，站)或气《体入：口室的火灾危险性】应按甲类确》。定并应？符合下列《规定 】1  应靠外墙设置！并，应设：置防爆泄压设施；】 ， ， 2  氢气！。等可燃气体》引入管道上应设置自！动，切断阀；《 —3  应具有良好】的自然？。通风并？应设置事《故排风装《置； 《 ： ， 4  应》设置气体泄漏报警装！置，。并应与事故排—风装置联《锁；： ， 5  】应设：置导除静电的接地设！施 《 ， ， 10.2.—6  洁《净厂房？内的氧气管道等应采！取下列安全技术措】施 【1  管道及阀门】、附件应经严格【。的脱脂处理； ！ 2 》 应设置导》除静电的接地设施；！ 3【 ， 氧气引入管—道上应设置自动切断！。阀 》 10.2.7】  各种常》用气体？的气瓶库应集中【设，置在洁净《厂房外当《日用气量不超过【1瓶时？气，瓶可设置在洁净室】(区)内但》应，采取不积尘和易【于清：洁的措施《 10】.，2.8 《 气体管道》和阀门应根》据产品？生产工艺要求选择】宜符合下列规定 ！ ， 1 》 ，气体纯度大》于或等于9》9.999999％！时，应采用？内壁电抛光的低碳不！锈钢管阀门应采用】隔膜：阀； 》 ？2  气体纯度【大于：或等于9《9.99《9％、露点低于-7！6℃时宜《采用内壁电抛—光，的低碳不《锈钢管？或内壁电抛光的不】锈钢管阀门宜—采用：隔膜阀？或波纹管阀》； 《 3《。  气体纯》度大于或等于9【9.9？9％、露点》低于-60》℃时宜？采用内壁抛光的不】锈钢：管除可？燃气体管道宜采用波！纹管阀外其》余气体管道宜—采用球？阀； 《 4 — ，气，体管道阀门、附件】。的，材质宜与相》连接的管道材质一】致， 10】.2.9  —气体：管道：连接应符合下列规定！ ： 1 — 管道连接应—采用焊接 】 2 《 不锈钢管应采用】氩弧焊宜采用自【动氩弧焊或等离【子熔融对接焊； ！ ， 3  —管，道与设备或》阀门的连接宜采【用，表面密封的接头【或双卡套接》头或双卡套的密封】。材料宜采《。用，金，属垫或聚四氟—乙烯垫；《 ： 《4  管道与设【备的连接应符—合设备连《接的要求当采用软管！连接：。时宜采用金属软管 ！ ，