10—.，2  常用气体【系统 】 10.2—.1  常用气体】供应系统宜》在工厂内或邻近处】设置制？气装置或《采，用外购液态气体【、瓶装气体 — ？ 10.2.2】  氢气《、氧气？。管道的？终端或最高点应设】置放散管《。氢气放？散管口应设》置阻火器放散管引至！室外：应高出本建筑—的屋：脊1m并应采取防】雨、：防杂物侵入的措施】 10.！2.3  》气体纯化装置的设】置应符？合下列？要求 【 1 ？ 气体纯《化装置应根》据气源和产》。品生产工艺对气【体，。纯度、容许杂—质，含量要求选》择； 】2  ？气体纯化《装置：宜设置在气体纯【化间：(站)内当洁净【厂房设有气体—入口室时气体纯化】间宜：与气体入口室合建；！ 《 ， 3 ？ 各类气体纯化装置！宜，设置在同一》气体：纯化：间(站)内若有【特殊要求时也可根据！具体要求《分别设置在各—自的气体纯化间内；！ 》 4  气体终【端纯：化装置宜《设置在？邻，近用气点《处 ：。 ， 《10.2.》4  进入洁净厂】房的气体管道—控制：阀门：、，气体过滤器、调【压装置、压》力表、流量》计、在线《。分析仪？等宜：。集中设置在》气体入口室 — 10.】2.5？  气体《纯化间(站》)或气？体入口室内设有【氢气等可《燃气体纯化装置【或管道时气体纯化间！(站)或气体入口室！的火灾？危险性？应按甲类确定并【应符合下列规定【 —1  应《。靠外墙设置并应设】置防爆泄《压设：施； 2！  氢气等可燃气体！引入管道上应设置自！动切断阀； — ， 3  应具！有，良好的自然》通风并应设》置事故？排风装置； ！ 4？  应设置气体【泄漏报警《装置并应与》事故排风装置联锁】； 》 5  》。应设置导除静电【的接地设《施 10！.2：.6：  洁净厂房内【的氧气管《道等应采取下列安】全技术措施 【 1  【管道及阀门》、附件？应经严？格的脱脂处》理； ？ 2 【 应设置导除静电】的接地设《施； 【 3  《氧气引？入管道上应设—置自动切断阀 】 ， 10.—。2.7  各种常用！气体的气瓶》库应：集中：设置在洁净厂房外】当日用气量不超过】1瓶时气瓶》可设置在洁净室(】区)内但应采—取不积尘和易于清】洁的措施 ！ 10.2.8【  气体管道和【阀门应根据产品生】产工艺要求选—择，宜符合？下列规定 】。。 1  气—体纯度大于或等【于99？.999999【％时应采用内—壁电抛光《的低碳不锈钢管阀】。门应采用隔膜—阀，； 》 2  气体【纯度大于或等—于9：9.999％、【露点低于-76℃】时宜采用内》壁电抛光的》低碳不锈钢管或内】壁电抛光的不—锈钢管阀门宜采【用隔膜阀或》波纹管阀； 】 3《  气体纯度大【于，或等于99.—99％、露点低于-！60℃时宜采用【内壁：抛光：。的，不锈钢管除》可燃气体《管道：宜，采用波纹管》阀外其余气》体管道？。宜采用球《阀，； 》 ：4 ： ，气体管道《阀，门、附件的材质宜】与相连接的》管道材质一致 【 10.2！.9 ？ 气：。体管道连接应符合】下列规定 ！ 1  管道连接应！采用焊接 》 2 【 不锈钢管应采用】氩弧焊？宜采用自《动氩弧焊或等离子】熔融对接焊》； —。 3  管道与设】备或阀门的》连接宜采用表—。面密封的接头或双卡！套接头或《双卡套的密封—材料宜？采用金？属垫或？聚四：氟乙烯垫；》。 ： 4  管】道与设备的连接应符！合设备连接的—要求当采《。用软管连接时宜采】用金属？软管 ？ ，