。 ？。 10.2 — 常用气体》系统 】。 10.2.1】  常用气》体供应系统宜在【工厂内或邻近处设】置制气装置或采用外！购液态气体、瓶【装气体 《 《 10.2.2 】 氢气、氧气管【道的终端或最高点】应设置？放散管氢气放散【管口应设置阻火器】放散管？引至室外应高出本建！筑的屋脊1m并应】采取防雨、防杂物】侵入的措施 — 10.2！.3  气体纯化】装置的设置应符合下！列要求 》。 1》  ：气体纯化装置应根据！气，源和产品生产—工艺对气体纯度【、容许杂《质，含量要求《。选择； 》。 ： 2  气体【纯化装置宜设置在气！体纯化间(站)内当！洁净厂？房设有气体入—口室时？气体纯化《间宜与气体入口室合！建； ？ 3—  各类气体纯【化装置宜设置—在同一气《体，纯化间(站)内【若有特殊要求时也】可根据具体要求分】别设：置在各自的气体纯化！间内； ！4  气体终端【纯化：装置宜设置在邻【近用气点处 】 ： 10.2.4 】。 进：入洁净厂房的气【体管道控制阀门、】气体过滤器、调【压装置？、压力？表、流量计、—在，线分析仪等宜集中设！置在气体入口—室 》 ， 10.2》.，。5 ： 气体纯化间—(，站)或气体》入，口室内设有氢—气等可燃气体纯【化装：置或管道时》气体纯化间(站【)或气体入》口，室的火灾危》险性应按甲》类，确，定，并应符合下列规定】 ： ， ： 1  《应靠外墙设置并应】设置防爆《泄压设？施； 【 2  氢气等可燃！气体引入管道上【应设：置自：动，切断阀？； 3】  应具有良—好的自然通风并应设！置，事故排风装置—； 【4  应设置—气体泄漏《报警装置并》应与事故《排风：装置联锁； ！ 5  应设【置导：除，静电的接地设—施 【10.2《.6  《洁净：厂房：内的氧气管道等应采！取下列安全技术措】施 1】  管道及阀门【、附件应经严—格，的脱脂处《理； — 2  应设置导！。除静：电的接地设施—； ： ： 3  氧气引！入管道上应》。设置自动切》断阀 ？ ， 10.2】.7  各种—常用气体的气瓶库】应，集中设置在洁净厂房！外当日用气量不【。超过1瓶时气—瓶可设？置在洁净室(区)内！但应采取不积尘和】易于清洁的措施【 10】。.2.8  气体】管道和阀门应根【据，产品生？。产工艺要求》选择：宜符合下列规定【 》 1  《气体纯度大于或等于！99：.9999》99％时应采用内壁！电，。抛光的低碳不锈【钢管阀门应采用隔膜！。阀，； 《 ？2  气体纯度大于！或等于99.—999％、露点低】于-76℃时宜采用！内，壁电抛光的低碳【不锈钢？。管，或内壁电抛》光的不锈钢管阀门】宜，采用隔？膜，阀或波纹《管阀； 【 3  》气体纯度大于或等】于99.99％、露！。。点低于-《6，0℃时宜采用—内壁：。抛光的不《锈钢：管除：可燃气体管道宜采用！波纹管阀外其—余气体管道宜采【用球阀； — 4》  气体管道阀门】、附件的《材质宜与《。相连接？的管道材《质一致 《 》10：.2.9《  气体《管道连？接应符合下列—规定 1！  管道连接—应采用焊接 ！ 2 《 不：锈钢：管应采？用氩：弧焊宜采用》自动氩弧《焊或：等离子熔融对接【。焊；：。 3【  ：管道与设备或阀门】。的连接宜采》用表面密封的接头】或双卡？套接头或双卡套的密！封材：料宜采用《金属垫或《聚四氟乙《烯垫； 》 4》 ， 管道与设备—的，连接应符合设备连】接的要求《当采用软《管连接时宜采—用金：属软管 》