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10.2 常!用气体?系统
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10《.,2.1? 常用《气体:供应系统宜》在工厂内或》邻近处设置制—气装置或采用外【购液态气《体、:瓶装气体《
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10.2—.2: 氢气、氧—气管:道的终端或》最高:点,应设置放散管氢气放!散管口应设置阻火】器放散?。管引至室外应—高出本?建筑的屋《脊1:m并应?采取防雨、防杂物侵!入,的措施
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1—0.:2.3 》气体纯化装置的设】置应:符,合下列要《求
【1 气体纯化装置!应,根据气源和产品生产!工艺对气体》纯度、容许杂质含】量要求?选,择;
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2 — 气体纯化装—置宜设置在气—体纯化间(站)内】当洁净?厂,。房设有气体》入口室时气体纯化】间宜:与气体入口室合建】;
3】。 各?类气体?纯化装置宜设置在】同一气?体纯化间(站)内】若有特殊要求时也】可,。根据具体《要求分别《设,。置在各自《的气:体纯化间内;
【
4 】气体终端纯化装置】宜,设置:在邻:近用气点处
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10.》2.4 进入【洁净:厂房的?。气体管道《控,制阀门、气体过滤器!、调压装置、压力表!、流量计、在线分析!仪等宜?集中设置在》气体入口室
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1—0.2.5 气】。体纯:。化间(站)》或气体入口室内设有!氢气等?可燃:气,体纯化装置》或管道时气体纯【化间(站)或气体】入口室的火灾危险性!应按甲?类确定并应符合【。下,列规定
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1 — ,应靠外墙设置并【应设置防爆》泄压设施;
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2 氢!气等可燃气体引【入管道?。上,应设置自《动切断阀《;
3】 应具《有良好的自然通【风并应设置》事故排风装置;
】
4 【 应设置气体—泄,漏报警装置并应【与事:故排风装置联—锁;:
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5 应设—置导除静电》的接:地设施
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10.2】.,6 洁净厂房内的!氧气管道等应采取】下列安全技术措【施
1 ! 管道及阀》门、附件应经严格】的脱:脂处理;《
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2: 应设置导除静电!的接:地设施;
【
3 氧【气引入管道上应【设置自?动,切断阀?
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10.2.7 ! 各种常《用气体的气瓶库应集!中设置在洁净厂房】外当日?用气量不《超过1瓶时》。气瓶可设置在洁净室!(区)?内但应采取》不积尘和易于清洁】的措:施
10!.2.8 》 气体管道和—。阀门应根《据,产品生产工艺要【求选择宜符》合下列?规定
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1 】气体纯度大》于或等?于99.《99999》9%时应采用内壁】电抛光的低碳不锈钢!管阀:。门,应采用?隔膜:阀;
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2 气】体纯度大于或等于9!9.999》。%、露?点低:于-76《℃时宜采用内壁电】抛光的低碳不锈钢】管或内?壁电抛光的不锈【钢管:阀门:。宜采用隔膜阀—或波纹管阀;
】。
3 — 气体纯度大于或】等于99.9—。9,%、露?。。点低于-60℃时宜!采,。用,内壁抛光《的不锈钢管除—可燃气体管道宜采】用波纹管阀外其【。余气体管道宜采【用,球阀;
!。4 ?气体管?道阀门、附件的材】质宜与相连》。接,的管道材质》一,致
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10【.2.?9 ?。气体管道《连接应符《合下列规定》
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1 管【道连接应采用—焊接
《。
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2 《不锈钢管应采—用氩弧?焊宜采用自动氩【弧焊或等离子熔融】对接焊;《
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3 《 管道与设备或阀门!的连接宜采用表面密!封的:接头或双卡》套接头或双卡套的】密封材料宜》。采用:金属垫或《聚四氟乙烯垫;
】
4 【 管道与《设备的连接应符【合设备连接的要求】当采用软《管,连接时宜《采,用金属软管
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