9 纯】水供应
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9.1— :。。一般规定《
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9.】。1.1 电子产】品生产用纯水—。系统的选择应根【据原水水质和产【品生产工艺对水质】的要求并《结合系?统规模、材料及设备!供,应等情?况经技术经济—比较确定
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9.1.2 !纯水的输送干管应】敷设在技术夹层或】。技术夹道内;洁净】室(区)《内,的纯水支管》宜暗装?
—。9.1?.3 ?。 穿越洁净室(区】)墙壁、楼板、顶】棚,的纯水?管道应设套》管,套管与管《道之间应《采取密封措施
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,9.1?.4 洁净室(区!),内纯水管道的保【温材:料不得?产生污染物外—表面应平整、光【滑、易于《清洁:
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