9 【纯,水供应
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9.【1 一《般规定
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9—。。.1:.1 电子产【品生产?用纯水系统的—选择:应,。根据原水水质—和产品生产》工艺对水质的要求】并结合系《。统规模、材料及【设备供应等情况【经技术经济比—较确定
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9《.1.2《 纯水的输送干】管,应敷设在《技术夹层或技术【夹道内;洁净—室(区?。)内的纯水支管宜暗!装,
—9.1.3》 穿?。。越洁净室《(区)墙壁》。、楼板、《顶,棚的纯水《管道应设套》管套管与《管道:之间应采取》密封措施
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9》.1:.4 ?。 洁净?室,(,区)内纯水管道的保!温材:料不得产生污染【物外表面应平整、光!滑、易于清》洁
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