： 9.2》  纯？水系：统， 《 《9.2.1 — 纯水？系，统的设备《配置除应满》足，所需水量和水质的】要求外？还应满足运行灵【活、安全可靠—、便于？操作管理、》运行：费用低等要求 【 9.2】.2  纯水的制】备、储存和》。输送设备应符—合电子？产品生产工艺—的要求？并应符合下》列规定 《 1 【 纯水的《制备：、终端处理》设备的选型和制【造材：料的选择应满足供】水，水，质、终端水》质的要求；》 2  ！纯水储罐、》输送：设备的？选型和制造》。。。材料的？选择应确保水质【。污染：少、密封性好不得】有渗气？现象； 【 3  纯水【制备：、储存、输》。送设备应有效地防】止水：质降低 【 9.2.—3  纯水系—统，应采用循环供水方】式宜：采用单管式》循环供水《系统或设有独立【回，水管的？双管式循环供—水系：统并应符合下列规定！ ： ： 1  循—。环回流？水量应大于》设计供？水，量的30％； 【 2 【 干：管流速？应大：于等于1.5m／s！； 《 3  —不循环支管的—长，度不应大于管径【的6：倍，； 4】  干管应》设置：清洗口； 【 5  管道】系统必须《密封不得有渗—气现象； — 6 — 应配备在线—水质检测仪》表； — 7？  对纯水》水质要求《严格的电子》产品生产工》艺应采用双管—式循环？供水系统 ！ 9.2.4—  纯水系统中与纯！水直接接触的设备表！面应光洁、平整、】化学性质《。稳定、耐腐蚀—、易清洗、易消毒 ！。 《 9：.2.5  用于纯！水系统的水质检测设！备、量具、仪表其】连接不？应使纯水水质降【低其检？测范围？和精度应符》。合纯水生产和—检验的要求》。。 9【.2.6  —纯水精处理或终端】处理装置《宜靠近用水生产设备！。设，置 ？