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9.2 【 纯水?系统
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《9.2.1》 纯?。水系统的《设备配置除应满足】所需水量和水质【。的要求外还应满足】运行灵活、安全可】靠、便于操作管理、!运行费用《低等要求《
—9.2.2 纯水!的制备、《储,存和输送设》备应符合电子产品生!产工艺的《要求并应符合下列规!定
【。1 : 纯水的《制备、终《端处理设备》的选型和制造—材,料的选择应满足供】水水质、《终端水?质的要求;
【
2 纯水!储罐、输送设备【。的选型和制》造材料的选择—。应确:。保,水质污染少、—密封性好不得有渗】气,现象:;
3 ! 纯水?制备、储存》。、输送设备应有效地!防止水质《降低
【
9.2.3 纯!水系统应采用—循环供水方式宜【采用单管式》循,环供水系统》。或设有?。独立回水管的双管】式循环供水系统并应!符合下列《规定
》
1 循【环回流水量》应大于设计供水量的!30%;
!
2 干管流速应!大于等于1》.5m/s》;
【3 不《循环支管的长度不】。应,。大于:管径的6倍》;,。。
4 !干管应设置清洗口;!
—5 管道系统【必须:。密封不得《有渗气?。。现象;
!6 应配备在线水!质检:测仪表;
【
7《 对纯水》水质要求《严格的电《子产品生《产工艺应采用—双,管式循?环供水系统
!
9.2.4 !纯水系统中》与纯水直接接触【的设备表面应—光洁、平《整,、化:学性质稳《定,、耐腐蚀、易清洗、!易消毒
】。
9.2《.5 用于纯水系!统的水质检测设备、!量具:、仪表其连接不应使!纯水水质《降低其检测》范围和精《度应符合纯》水生产和检验的要】求
《
9.2—.6 ? 纯水精处理—或终端处《理装置宜靠近用【。水生产设备设置【
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