9.2【  纯水系统 【 》 9.2.1【  纯水系统—的设：备配：置除应？满足所需水量—和水质的要求外【还应满足运行灵活】、安全可靠、便于操！作，管理、运行费用低】等要求 【 9？.2.2  —纯水的制备、—储存：和输送？设备应？符合电子产品—生产：。工艺的要求并应【符合：下列规定 》 ， ： 1  纯水的】制备、终端处理设】备的选型和制造材料！的选：择应：满足供水《水质、终端水质的】要求；？ 2  ！纯水储罐、输送【设备的选型》和制造材料》的选择应确保水质污！染少、密封性好不得！有渗气现《象； ？ ？ 3  纯水制备！。、储存、《输，送，设备应有效地防止】水质降低 — 9.2.3！  纯水系统应采】。用循环供水》方式宜采用》单管式循环供水系统！或设有？独立回水管的双【。。管式循环供水系【统并应符合下列规定！ 1 】 循环回流水量【应大于设计供水量的！30％？； 2】  干管流速应大于！等于1.5m—／s； 】 3  不循环【支管的长度不应大】于管径的《6倍； 【 4  干管【应设置清洗口—； ？ ？ 5  《管道系统必须密【封，不得有渗气现象【； 6 ！ 应配？备在线？水质检？测仪表？； ： 7  】。对纯水？水质要求严格的【电子产品《生产工艺应采用双】管，式循环供水》系统 》 9.2—.4  纯水系统中！与纯水直接接触【的设备表面》应，光洁、平《。整、化学性质稳定、！。耐腐蚀、《易清：洗、易消毒 】 9.2.5 ！ 用于纯水》系统的水质检测设备！、量：具、仪？表其连接不应使纯水！。水质降低其检测范围！和精度应符》合纯水生《产和检验的要—。求 》 ， 9.2.6—  纯水《精处理或终端处理装！置宜靠？近用水生产》设备设置 —