， 9.2  纯！水系统 — 9.【2.1  纯水系统！的设备配置》除应：满，足所需水量》和水质的要求外还应！满足运行灵活—、安全可靠》、便于操作管理、运！行费用低等要求【 ， ？。 ：9.2.2》  纯水的制—备、储存和输—送设备应《符合电子产品—生产工艺《的要：求并：。应符合下列规定【 《 1  》纯，。水的制备、终—端处理设备》的选型和制》造材料的选择应满】。足供水水质、终【。端水质的《要求； 】 2  纯》水储罐、输送设备】的选型和制造材料】的选择应确保水质污！染少：。。、密封性《好不得有渗气现象；！ ？ 3《 ， 纯水制备》、储：存、输送设备—应有：效，地防止水《质降低 【 9.《2.3  》纯水系统应采—。用循环供水方式宜】采用单管式循—环供水系统或设有】独立回水《管的：双管：式循：环供：水，。系统并应符合下列】规，定 — 1  循环回流】水量应大《。于，设计供水量的30％！； ？ 《2 ： 干管流速应—大于等于1.5m】／，s；： 3 】 不循环支管—的长度不应大于管径！的6：倍； ？ 4  干！管应设？置清洗口； 】 5  管道】。系统必？须密封不《得有渗气现象—； 6】 ， 应配备在线水【。质检：。测仪表； 【。 7  对纯水！水质要？求严格的电子—产品生产《工艺应采用》双管式循《环，供水：系统 】9，.2.4  纯【水系统中与纯—水，直接接？触的设备表面—应光洁？、平整、化学性质稳！定、耐腐蚀、易清】洗，、易消毒《 ？ 9.2.5】  用于纯水系统】。的水质检测》设备、量具》、，仪表：其连接不应使纯【水，水质降？低其检测范围和精】度应符合《纯水：生产和检验的要求】 ： ： 9.2.6 】 纯水精处理或【终端处理《装，置宜靠近用水—。生产设备设置 】