《9.2  纯水系】统 《 《 9.2.1 【 纯水？。系，统的设备配置除【应满：足所需水《量和水质的要—求外还应满》足，运行灵？。活、安全可靠、便于！操作管理、运行【费用低？等要求 】 9.2.2  】纯水：的制备、《储存和输送设—备应：符合电子产品生【产工艺的要求并应符！合下列规定 — 《。 1  纯水的制备！、终端？。处理设备的》选型和制造材料的】选择应满足》供，水水质、终端水质】的要求； ！ 2  纯》水储罐、输送设备】的选型和制造材料的！选择应确保水质【污染少？、密封性好不得有渗！气，现象； 《 3  】纯水制备、储存、】输送设？备应有效地防—止水质降《低 9】.2.3 》 纯水系统应采用循！环供：水方式宜《采用单管式循环【供水：。系统或？设有独？立回水管的双—管式循环供水系【统并应？。符合下列规定—。 ？ 1  循环】回流水量应大于设】。计供水量的30％】； 2】  干管流速应大于！等于1.5m／s；！ 《。 3  不循【。环支：管，的长度不应大于管】径，的6倍？； 《 4 》 干管应设》置清洗口；》 》 ，5  ？管道系统必须—密封不得有渗气现】象；： 》 6：。。  应配备在线水】质检测仪表》； 《 7《。  对纯《水水质要求》严格的电子产—品生产工艺应采用双！管式循环供》水系统 ！9.2.4  纯】水系统？中与纯水直接接触的！设，备表面应光洁、平】整，、化学性质》稳定、耐《腐蚀、？易清洗、易消毒 】 》9，.2.5《  用于纯水系【统的水质检测—设备、量《具、仪表《其连接不应使纯水水！质降低其检》测范围和《精度应符合纯水【生产和？。检验的要求 ！ 9.《2.6  纯水精】处理或终端处—理装置宜靠近用水】生产设备设置 【 ，