9.2 】 纯水系《。统 【 9.2.—。1  纯水系统的设！备配置？除应：满足所需水量—和水质的要求外还应！。。满足运行灵》活、安全《可靠、便于操作【管理、运《行费用低等要求 ！ 9.—2.2  纯—水的：。制备：。、，储存和输送设备【应符合电子产品生产！工，艺的要求并应符【合下列规定 】 ？1  纯水的—制备、？。终端：处理：设备：的选：型和制造《材料的选《择应满足供水水质】、终端水质的要求；！ 《 2  纯水储】罐、输送设备的选】型和制造材料的选】择应确保《水质污染少》、密封性《好不得有渗气—现象； 【 3  纯—水制：备，、储存？、输送设备应有【效，。地防止水质降—低 9】。.2.3  纯水】系统应采用》循环供水《方式宜？采用：单管式循环供—水系统或设有独立回！水管：的，双管式循《环，供水系统《并应：符合下列规定 】 ？ 1  循》环回流水《量，应大于？设计供？水量的3《0％； — ， ， 2  干管—流速应？大于：等于1.5m／【s； 《 ， ： 3  不循—环支管的长度—不应大？于管径的6倍； ！ ？。 4  干》管应设置清》洗，口； 《 ： 5？ ， 管道系统必—须，。密封：不得有渗气现象； ！ ： 6  应【配备在线水质检测】仪表：； 《 7  —对，纯水水质《要求：严格的电子产—品生产工艺应采用双！管式循环《供水：系统 】。9.：2.4 《 纯水系统中与【纯水直接接触的设】备表面应光洁、平整！、化学性质稳定、耐！腐蚀、易《清洗、易消毒 】 9.—2.：5  用于纯水系统！的水：质检测？设备、量具、仪表其！连接不应使》纯水水质《降低其？检测范围和精度应符！合纯水生产和检【验的：要求 ？ 《 9.2《.6：  纯水精处—理或终端处理装【置宜靠近用水生产设！备设置 》