安全验证
9.2【  纯水系统 【 》 9.2.1【  纯水系统—的设:备配:置除应?满足所需水量—和水质的要求外【还应满足运行灵活】、安全可靠、便于操!作,管理、运行费用低】等要求 【 9?.2.2  —纯水的制备、—储存:和输送?设备应?符合电子产品—生产:。工艺的要求并应【符合:下列规定 》 , : 1  纯水的】制备、终端处理设】备的选型和制造材料!的选:择应:满足供水《水质、终端水质的】要求;? 2  !纯水储罐、输送【设备的选型》和制造材料》的选择应确保水质污!染少、密封性好不得!有渗气现《象; ? ? 3  纯水制备!。、储存、《输,送,设备应有效地防止】水质降低 — 9.2.3!  纯水系统应采】。用循环供水》方式宜采用》单管式循环供水系统!或设有?独立回水管的双【。。管式循环供水系【统并应符合下列规定! 1 】 循环回流水量【应大于设计供水量的!30%?; 2】  干管流速应大于!等于1.5m—/s; 】 3  不循环【支管的长度不应大】于管径的《6倍; 【 4  干管【应设置清洗口—; ? ? 5  《管道系统必须密【封,不得有渗气现象【; 6 ! 应配?备在线?水质检?测仪表?; : 7  】。对纯水?水质要求严格的【电子产品《生产工艺应采用双】管,式循环供水》系统 》 9.2—.4  纯水系统中!与纯水直接接触【的设备表面》应,光洁、平《。整、化学性质稳定、!。耐腐蚀、《易清:洗、易消毒 】 9.2.5 ! 用于纯水》系统的水质检测设备!、量:具、仪?表其连接不应使纯水!。水质降低其检测范围!和精度应符》合纯水生《产和检验的要—。求 》 , 9.2.6—  纯水《精处理或终端处理装!置宜靠?近用水生产》设备设置 —