《9.2  纯水【系统 》 《 9.2《.1  纯》。水系：统，的设备配《置除应满足》所需水量《和水质的要求外【还应：满足：运行灵活《、安全可靠、便于】操作管理、运行费用！低等要求 】 9？.2.2 》 纯：水的制备、储存和输！送设：备应符？合电子产品生—产工艺？的，。要求并应符》合下列规定 ！ 1  纯—水的制备、终—端处理设备的选【型和制？。造材料的选择应满足！供水水质、终—端水质的要》求； — 2  纯水储】罐，、输：送设备？的选型和《制造材料的选择【应，确保水质污染少、】。密，封性好不得有—渗气现象； — 3 【 纯水制备、—储存、输送设备应】有，效地防止水质降低】 ？。 9.2.3】  ：纯水系统应采用循】环，供水方式宜采—用单管式《循环供水系统或设】有独立回水管的双】管式循环供水系统并！应符合下列规定 】 ， 《1，  循环《回，流水量应《大于设？计供水量的30％；！ —2  干管流速【应大于等于1—.5m／《s； 》。 3  不循】环支管的长度不应】大于：管径的6倍； ！ 4  干管应！设置清洗口； ！ ， ：5  管道系—统必须密封》不得有渗气现象【； 《。 6  应配备！在线水质检测—仪表； 】 7  对纯—水水质要求严格的电！子产：品生产工艺应采用双！管式循环供水系统】 9【.2.4《  ：纯水系统中》与纯：水直接接《触的：设，备表面应光》洁、平整《、化学性《质稳定、耐腐—蚀、易清洗、易【消毒： 9【.，2.5  用于纯水！系统的水质检测设】。备、量具、仪表【其连接不应使纯水】水质降低其检测范】围和精度应符—合纯水生产和—检验的要求 【 《9.2.《6 ： 纯水精处理或【终，端处理装置宜—靠近：用水生产设》备设：置， ：