9.—2  纯水系统 ！。 9.2！.1  纯水系【。统的设备配置—除应满足所需—水，量和水质的》要，求外还应满足—运行灵？活、安全《可靠、便于操作管理！、运行费用低—。等要求 】。 9.2.2  】纯水的制备、储存】和输送设备应—符合电？子产品生产工艺【的要：求并应符合下列规】定， ？ ： 1  纯》水的制？备、终端处理设备的！选型和制造材料【的选择应《满足供水水质、【终端水质的》要求； 【 2  》纯水储？罐、输送设备—的选型和制造材料的！选，择应确？保水质污染》少、密封《性，好不得有渗气—现象； 】 3 ？ 纯水制备、—储存、？输送设备应有效【地防止水质降低【 》 9.？。2.3  纯—水系：统应采用循环—供水方式宜采用单管！式循环供水系统或】设有独？立回水？管的双管式循—环供：水，系统并应符合下列】规定 1！  循环回流水【量应大？于设计供水量的3】0％； 》 2》  干？管流速应大于等于】1.5m／s；【 ： 3  不】循环支？管，的长：度不应？大于管径的6倍； ！ 4— ， 干管应设》置清：洗，。口； 【 5  管道系统】必须密封《不得有渗气现象；】 ？ 6  应【配备在线水质—检测仪表； 】 7  对【纯水：水质：要求：严格的电子产品【。生产工艺应采用双管！式循环供水系统【 9.】2，.4 ？ 纯水系统中与【纯水直接接触—的设备表面应光【洁、平整、化学性】质稳定、耐腐蚀、易！清洗、易消》毒 【9.2.《5  ？用于纯水系统的【水质检测《设备、量具、—仪表其连接不应使纯！水水质降低其检【测范围和精度应符】合纯水生产和检验的！要求 》 ？9.2.6 — ，纯水精处理或—终端：处理装置宜靠近用水！生产设备设》置 ？