9 纯水!供应
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9.《1 一般规定
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9.1《.1 电子—产,品生产?用纯水系《统的:选择:应根据原水水质和产!品生:产工艺对水质的【要,。。求并结合系统规模】。、材料及设》备供应等情》况经技术《经济比较确定—
9.1!.2 纯水的【输送:干管应敷设在技术夹!层或技术夹道—。内;洁净《室,(区)内的纯水支】管宜暗装《
—9.1.《3 穿越》洁净室(《区,)墙壁、楼板—、顶棚的纯水管道应!设套管?套管与管《道之间应采取密封】措施
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9:.1.4 》 洁净室(》区)内纯水》管道的?保温材料不得—。产生污染物外—表面应平整、光滑、!易于清洁
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