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9 纯水【供应
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9:.,1 一《般规定
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9—.1.1 电子】产品生产用纯水【系统的选择应—根据原水水质和产品!生产工艺对水质的要!求并结合系》统规:模、材料《及设备?供应:。等情况经技术经济】比较确定
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:9.:1.2 纯水的输!。送干管应敷设在技术!。夹层或技术夹道内;!洁净室(《区)内?的纯水?支管宜?暗装:
—9.1.3》 穿越洁净室(区!)墙壁、楼板、【顶,棚的:纯水管?道应设套管套—管与管道之间应采取!密封措施
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9.1.4! 洁净室(区【),内纯水管道的保温】材料不得产生—污染物外表》面应平整、光滑、易!于清洁
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