9 【纯水供?应
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9.1 一】般规定
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9—.1.1 电子产!品生产用纯》水系统的选择—应,根据原水《。水质和产品生—产工艺对水质的要求!并,结,合,系统规模、》材料及设备供应【等情况经技》术经济比较》确定
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9.1【.,2 纯水》的输送干管应敷设在!技,术夹层或技术夹道】内;洁净室(区)内!的纯:水支:管宜暗装
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9》.1.3 —穿越洁净室(区【)墙壁、楼板、【顶,棚的纯水管道应设套!管套管与管道之【间应:采取:密封措施
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,9.1.4 【。洁,净室(区)内—纯水管道的保温材】料不得产生污—染物外?表面:应平整?、光滑、易于清洁】
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