《9 纯《水供应
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9》.1 一般规定】
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9.1.1 ! 电子产品生产【用纯水系统的选【择应:根据原水水质和【产品生产工艺对水质!的要求并结》合,系统规模、材—料及设备供应—。等,情况经技术经—济,。比较确定
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9.1《.2 纯水—的输送干管应敷设在!技术夹层或技术夹道!内,;,。。洁净室(区)内【的纯水支管宜暗装
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9.1.3 】穿越洁净室(—区,),。墙壁、?楼板、顶棚的纯水管!道应设套管套—。。管,与管道之间应—采,取,密封措施
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9.1.4 】 洁净室(区)内纯!水管:道,的保:温材料?。。不得:产生:。污染:物外表面应平整、】光滑、易于清洁【
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