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9? 纯水供应
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9!.1 一》般,规定
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?9.1.1 电】子产品生产用纯水】系统的选《。择应根据原水—水质和产品生产工】。艺对:水质的要《求并结合系统—规,模、材料及设—。备供应?等情况经技》术经:济比:较确定?
9【.1.2 —纯水的输送干管应】敷,设在技?术夹层?或技术夹道内—。;,洁净室(区)—内的纯水支管—宜暗装
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9:.1.?3, 穿越洁净室(区!)墙壁、楼板、【顶棚的纯水管道【应设套管《套管与管道》之间应采取密封措】施
9】.1.4 —洁净室(区)内纯】水,管道的保温材料【不得产生污染物外表!面,应平整、光滑、【易于清洁
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