9 纯水!供应
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9.1 一【般规定
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9《.1:.1 《电,子,产,品生产用纯水—。系统的选择应根据原!水水质和产品—生产工艺对》水质的要求并结合系!统规模、材料及设】。备供应等情》况经:技术:经济比较确定
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》9.1.2 纯】。水的输送《干管应敷设在技术夹!层或技术夹》道内;洁净室(区】)内的纯《水支管宜暗装
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《9.1?.3 穿越洁净室!(区)?。。墙壁、楼板、—顶,棚的纯?水管道应《设套管套管与—管道之间应采—取密封措施
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?。9.1.4 洁】。净室(区)内—纯水管道的》。。保温材料《不得产生《污,染物外表《面应:平整、光滑、易于】。清洁
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