9 纯水!供应
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9.1 】一般规?定
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9.1—.1 ? 电子产品生—产用纯水系》统的选择应根据【原水水质和产品【生产工艺对水质的要!求并结合《系统规?模、材?料及设?备供应?等情况经技》术经济?比较确定
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9.1》.2: 纯水的输—。送干管应敷设在技】术,夹层:或技术夹道》内,;洁净室《(,区,)内的纯水支管宜】暗装
9!.1.3 穿越】洁净室(区)—墙壁、楼板、顶棚】的纯水管道应设套】管套管与《管道之间应采取密封!措施
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9:.1.4 —洁净室(区》。)内纯水《管道的保温材—料不:得产生污《染物外表面》应平整、光滑、易】。于清:洁,。
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