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3 电子产品生!产环境设计要求
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3》.1 一般规定】
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3.1《.1 《电子工业洁》净厂房生产环—境的设?计应根据生》产工艺的《要求控制微》粒和对产品质量【有害的杂质同时还】应提出温《度、湿度、》压差、噪声》、振动、静》。电防护、照度等【。参数要求
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3.—1.2 》生产环境《设,计,。。。应根据产品品种及生!产工艺要求对电子】产品生?产过:程需用的包》括,化,学品:、,常用气?体和特?种气体、纯水等各】种介:质的质量《进行控制
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,3.1.3 洁】净室(?区)内产品生产过程!所使用的《工具、?器具和物《。料储运装置其—制作的材《质和:清洁方式应按生产】工艺要求《选择
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3.?1.4? 洁净《室(区)的空—气洁:净度等性能》测试和认证应—符合:本规范附《录D的?要求:
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