3》 ,。 ,电子产品《生产环境设计要【。。求
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!3.:1 : 一般规定》
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3:.1.1《 电子《。工,业洁净厂《房生产环《境的:设计应根据》生产工艺的要求控】制微粒和对产品质】量有害?的杂质同时》还应:提,出温度、湿》度、压差《、噪声、《振,动、静电防护、【照度等参数要求【。
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,3,.1.2 》 生产?环境:设计:应根据产品品种及】生产工艺要求对电】子产品生产过—。程需:用的包?括化学品、常用【气体和特种气体、纯!水等各种介质—的质量进《行控制
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,3.1.3 洁】净室(区《)内产?品生产过程所—使用的?工具、器《具和物料储运装【。置其制?作的材质和清洁方】式应按生产工艺要】求选择?
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3.1.4【 , 洁净室(区)的】空气洁?净度等性能测试和】认证应符合本—规,范,。附录D的要求—
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